JP4236673B2 - 近接場光発生器及び近接場光記録再生装置 - Google Patents
近接場光発生器及び近接場光記録再生装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4236673B2 JP4236673B2 JP2006109389A JP2006109389A JP4236673B2 JP 4236673 B2 JP4236673 B2 JP 4236673B2 JP 2006109389 A JP2006109389 A JP 2006109389A JP 2006109389 A JP2006109389 A JP 2006109389A JP 4236673 B2 JP4236673 B2 JP 4236673B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical waveguide
- scatterer
- light
- refractive index
- medium
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 33
- 239000000463 material Substances 0.000 description 47
- 239000010408 film Substances 0.000 description 20
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 10
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 10
- 238000000034 method Methods 0.000 description 8
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 7
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 6
- 238000005253 cladding Methods 0.000 description 6
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 6
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 4
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 4
- 230000008859 change Effects 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 3
- 239000000725 suspension Substances 0.000 description 3
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 3
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 2
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000012491 analyte Substances 0.000 description 2
- 238000007654 immersion Methods 0.000 description 2
- 239000003446 ligand Substances 0.000 description 2
- 230000001902 propagating effect Effects 0.000 description 2
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000005672 electromagnetic field Effects 0.000 description 1
- 230000002708 enhancing effect Effects 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000031700 light absorption Effects 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 230000035699 permeability Effects 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 230000005641 tunneling Effects 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/02—Recording, reproducing, or erasing methods; Read, write or erase circuits therefor
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01Q—SCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING PROBE MICROSCOPY [SPM]
- G01Q60/00—Particular types of SPM [Scanning Probe Microscopy] or microscopes; Essential components thereof
- G01Q60/18—SNOM [Scanning Near-Field Optical Microscopy] or apparatus therefor, e.g. SNOM probes
- G01Q60/22—Probes, their manufacture, or their related instrumentation, e.g. holders
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
- G11B5/3109—Details
- G11B5/313—Disposition of layers
- G11B5/3133—Disposition of layers including layers not usually being a part of the electromagnetic transducer structure and providing additional features, e.g. for improving heat radiation, reduction of power dissipation, adaptations for measurement or indication of gap depth or other properties of the structure
- G11B5/314—Disposition of layers including layers not usually being a part of the electromagnetic transducer structure and providing additional features, e.g. for improving heat radiation, reduction of power dissipation, adaptations for measurement or indication of gap depth or other properties of the structure where the layers are extra layers normally not provided in the transducing structure, e.g. optical layers
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
- G11B7/12—Heads, e.g. forming of the optical beam spot or modulation of the optical beam
- G11B7/123—Integrated head arrangements, e.g. with source and detectors mounted on the same substrate
- G11B7/124—Integrated head arrangements, e.g. with source and detectors mounted on the same substrate the integrated head arrangements including waveguides
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
- G11B7/12—Heads, e.g. forming of the optical beam spot or modulation of the optical beam
- G11B7/135—Means for guiding the beam from the source to the record carrier or from the record carrier to the detector
- G11B7/1387—Means for guiding the beam from the source to the record carrier or from the record carrier to the detector using the near-field effect
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01Q—SCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING PROBE MICROSCOPY [SPM]
- G01Q80/00—Applications, other than SPM, of scanning-probe techniques
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B2005/0002—Special dispositions or recording techniques
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B2005/0002—Special dispositions or recording techniques
- G11B2005/0005—Arrangements, methods or circuits
- G11B2005/0021—Thermally assisted recording using an auxiliary energy source for heating the recording layer locally to assist the magnetization reversal
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Nuclear Medicine, Radiotherapy & Molecular Imaging (AREA)
- Radiology & Medical Imaging (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Optical Head (AREA)
- Recording Or Reproducing By Magnetic Means (AREA)
Description
[実施例1]
まず、近接場光素子へ入射光を伝える手段として導波路を用いた場合について説明する。
図1および図2に、導波路を用いた熱アシスト記録装置用ヘッドの実施例を示す。ヘッドの母体となるスライダ5の中に、近接場光発生素子に光を導くための導波路(コア3およびクラッド4から構成される)を形成し、その下部に、近接場光を発生させるための散乱体1を形成した。導波路のコア3の材質はTa2O5(屈折率=2.18)とし、クラッドの材質はSiO2とした。導波路の断面形状は正方形とし、幅Wx,Wyはいずれも500nmとした。クラッドの断面形状も正方形とし、幅Cx,Cyはいずれも1.0μmとした。
次に、近接場光素子へ入射光を伝える手段としてレンズを用いた場合について説明する。
図11に、レンズを用いた場合の実施例を示す。本実施例では、レンズとして材質がBi4Ge3O12(屈折率=2.23)である半球レンズを用いた。このレンズ16をスライダ5底面に形成し、この半球レンズの底面で光が集光するように入射光6を入射させた。このレンズの底面の焦点位置に散乱体1を形成した。散乱体の形状、材質は前記実施例と同じとした。散乱体1の周辺には、半球状の低屈折率部2を形成した。低屈折率部2の材質はSiO2とした。ここで、低屈折率部2の厚さd1は、レンズの集光特性を劣化させない程度に小さくする必要がある。そのためには、低屈折率部2の厚さd1は、レンズ中の光波長(真空中の波長をλ0、レンズの屈折率をnLとしたとき、λ0/ nL)以下にする必要がある。本実施例ではd1は250nmとした。
次に、本発明の近接場光発生器を磁気ディスク装置に用いられる単磁極ヘッドと組み合わせた場合の実施例について説明する。
図13は、単磁極ヘッドと散乱体を組み合わせた記録ヘッドの断面図を示す。スライダ5の表面に近接場光を発生させるための散乱体1を形成し、その周辺に低屈折率部2を形成した。光は波長785nmの半導体レーザを用いて発生させ、半導体レーザから発生する光を導波路22を用いてスライダ5まで導いた。導波路22から出射した光は、コリメートレンズ23を用いて平行光にした。その光はミラー24で折り返し、集光レンズ25を用いて、近接場光発生素子につながる導波路(コア3およびクラッド4から構成される導波路)にカップリングさせた。磁界は、薄膜コイル17を用いて発生させ、発生した磁界を主磁極18によって散乱体1の近くに導いた。薄膜コイル17の反対側には、閉磁路を形成するための補助磁極19を形成した。導波路の横には、記録マークを再生するための、磁気再生素子(Giant Magneto Resistive (GMR)素子又はTunneling Magneto Resistive (TMR)素子)20を形成した。磁気再生素子20の周辺には、周りからの磁界を遮蔽するためのシールド21を形成した。
2 低屈折率部
3 導波路コア部
4 導波路クラッド部
5 スライダ
6 入射光
7 反射光
8 媒体
9 エアーギャップ
10 遮光膜
11 近接場光が発生する頂点
12 保護膜
13 記録層
14 下地層
15 基板
16 レンズ
17 コイル
18 主磁極
19 補助磁極
20 磁気再生素子
21 シールド
22 導波路
23 コリメートレンズ
24 ミラー
25 集光レンズ
26 記録ヘッド
27 サスペンション
28 ボイスコイルモータ
29 記録ディスク
30 スピンドル
31 信号処理用LSI
32 半導体レーザ用パッケージ
33 導波路
Claims (6)
- 光照射されることにより近接場光を発生する散乱体と、
前記散乱体に対して所定のスポットサイズの光スポットを照射する第一の光導波媒体と、
前記散乱体の近傍に前記第一の光導波媒体に接して配置され、前記第一の光導波媒体からの出射光を前記散乱体に導く第二の光導波媒体とを有し、
前記散乱体の大きさは前記光スポットのスポットサイズよりも小さく、
前記第二の光導波媒体の屈折率が前記第一の光導波媒体の屈折率よりも小さく、
前記第一の光導波媒体と前記第二の光導波媒体の界面から、前記第一の光導波媒体の反対側に位置する前記第二の光導波媒体表面までの距離が、前記第二の光導波媒体中を伝わる光の波長よりも小さいことを特徴とする近接場光発生器。 - 請求項1記載の近接場光発生器において、前記第一の光導波媒体が導波路のコアであることを特徴とする近接場光発生器。
- 請求項1記載の近接場光発生器において、前記第一の光導波媒体が集光レンズであることを特徴とする近接場光発生器。
- 請求項1記載の近接場光発生器において、前記散乱体が導電性であることを特徴とする近接場光発生器。
- 請求項1記載の近接場光発生器において、前記第一の光導波媒体と前記第二の光導波媒体の界面から、前記散乱体の前記第一の光導波媒体と反対側に位置する面までの距離を、前記第一の光導波媒体中に戻る反射光強度が最小になるように設定したことを特徴とする近接場光発生器。
- 記録媒体と、前記記録媒体を駆動する媒体駆動部と、前記記録媒体に対して記録・再生動作を行うヘッドと、前記ヘッドを前記記録媒体に対して位置決めするためのヘッド駆動部とを備え、
前記ヘッドは近接場光発生器を備え、
当該近接場光発生器は、光照射されることにより近接場光を発生する散乱体と、前記散乱体に対して所定のスポットサイズの光スポットを照射する第一の光導波媒体と、前記散乱体の近傍に前記第一の光導波媒体に接して配置され、前記第一の光導波媒体からの出射光を前記散乱体に導く第二の光導波媒体とを有し、前記散乱体の大きさは前記光スポットのスポットサイズよりも小さく、前記第二の光導波媒体の屈折率が前記第一の光導波媒体の屈折率よりも小さく、前記第一の光導波媒体と前記第二の光導波媒体の界面から、前記第一の光導波媒体の反対側に位置する前記第二の光導波媒体表面までの距離が、前記第二の光導波媒体中を伝わる光の波長よりも小さいことを特徴とする近接場光記録再生装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006109389A JP4236673B2 (ja) | 2006-04-12 | 2006-04-12 | 近接場光発生器及び近接場光記録再生装置 |
US11/733,258 US7359599B2 (en) | 2006-04-12 | 2007-04-10 | Optical near-field generator and near-field optical recording and reproduction apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006109389A JP4236673B2 (ja) | 2006-04-12 | 2006-04-12 | 近接場光発生器及び近接場光記録再生装置 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008282956A Division JP4520524B2 (ja) | 2008-11-04 | 2008-11-04 | 熱アシスト記録用磁気ヘッドスライダ及びそれを用いた熱アシスト記録装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007280572A JP2007280572A (ja) | 2007-10-25 |
JP4236673B2 true JP4236673B2 (ja) | 2009-03-11 |
Family
ID=38604908
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006109389A Expired - Fee Related JP4236673B2 (ja) | 2006-04-12 | 2006-04-12 | 近接場光発生器及び近接場光記録再生装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7359599B2 (ja) |
JP (1) | JP4236673B2 (ja) |
Families Citing this family (43)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN101578660A (zh) * | 2006-12-27 | 2009-11-11 | 富士通株式会社 | 磁头悬浮组件、滑架组件以及磁头滑动器组件的制造方法 |
US8116174B2 (en) | 2007-02-13 | 2012-02-14 | Konica Minolta Opto, Inc. | Near field light generating device, optically assisted magnetic recording head, optically assisted magnetic recording device, near field optical microscope and near field light exposure apparatus |
JP4953852B2 (ja) * | 2007-02-14 | 2012-06-13 | 株式会社東芝 | 光出力装置並びに磁気記憶媒体駆動装置およびヘッドスライダ |
KR100978540B1 (ko) * | 2008-07-02 | 2010-08-27 | 연세대학교 산학협력단 | 플라즈모닉 소자가 적용된 후방 진행광 측정 장치 |
JP2010015641A (ja) | 2008-07-04 | 2010-01-21 | Nitto Denko Corp | 回路付サスペンション基板およびその製造方法 |
JP4989572B2 (ja) | 2008-07-07 | 2012-08-01 | 日東電工株式会社 | 回路付サスペンション基板およびその製造方法 |
JP5138549B2 (ja) | 2008-10-31 | 2013-02-06 | 日東電工株式会社 | 回路付サスペンション基板 |
JP5002574B2 (ja) | 2008-11-11 | 2012-08-15 | 日東電工株式会社 | 回路付サスペンション基板およびその製造方法 |
JP4951609B2 (ja) | 2008-11-11 | 2012-06-13 | 日東電工株式会社 | 回路付サスペンション基板 |
US8092704B2 (en) * | 2008-12-30 | 2012-01-10 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. | System, method and apparatus for fabricating a c-aperture or E-antenna plasmonic near field source for thermal assisted recording applications |
US8472286B2 (en) | 2008-12-31 | 2013-06-25 | HGST Netherlands B.V. | Near field transducer having main body and wings extending therefrom and only electrically coupled thereby |
US8169881B2 (en) * | 2008-12-31 | 2012-05-01 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. | Thermally assisted recording head having recessed waveguide with near field transducer and methods of making same |
US7880996B2 (en) * | 2008-12-31 | 2011-02-01 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. | Ridge wave-guide for thermal assisted magnetic recording |
JP5204679B2 (ja) | 2009-01-23 | 2013-06-05 | 日東電工株式会社 | 回路付サスペンション基板 |
US8254212B2 (en) * | 2009-06-25 | 2012-08-28 | Seagate Technology Llc | Integrated heat assisted magnetic recording device |
WO2011004716A1 (ja) * | 2009-07-06 | 2011-01-13 | 株式会社日立製作所 | 熱アシスト記録用ヘッド及び熱アシスト記録装置 |
JP5204738B2 (ja) | 2009-10-16 | 2013-06-05 | 日東電工株式会社 | 回路付サスペンション基板およびその製造方法 |
JP5227940B2 (ja) | 2009-11-26 | 2013-07-03 | 日東電工株式会社 | 回路付サスペンション基板 |
US8355299B2 (en) | 2010-01-29 | 2013-01-15 | Headway Technologies, Inc. | Heat-assisted magnetic recording head with convergent lens |
JP5020354B2 (ja) | 2010-06-25 | 2012-09-05 | 株式会社日立製作所 | 熱アシスト記録用磁気ヘッド及びそれを搭載した磁気記録装置 |
CN102446513B (zh) | 2010-10-12 | 2015-09-23 | 日东电工株式会社 | 带电路的悬挂基板及其制造方法 |
US8861142B2 (en) | 2010-10-13 | 2014-10-14 | Nitto Denko Corporation | Suspension board with circuit and producing method thereof |
JP5729716B2 (ja) * | 2010-11-15 | 2015-06-03 | セイコーインスツル株式会社 | 記録ヘッドの製造方法、記録ヘッド及び情報記録再生装置 |
US8238202B2 (en) | 2010-12-16 | 2012-08-07 | Headway Technologies, Inc. | Directional waveguide coupler for ABS reflected light |
US8456966B1 (en) | 2010-12-17 | 2013-06-04 | Western Digital (Fremont), Llc | Method and system for enhancing optical efficiency for an EAMR head |
JP5688986B2 (ja) * | 2011-02-02 | 2015-03-25 | セイコーインスツル株式会社 | 近接場光発生装置の製造方法 |
JP5805402B2 (ja) | 2011-02-14 | 2015-11-04 | セイコーインスツル株式会社 | 近接場光発生素子の製造方法 |
JP6103916B2 (ja) | 2012-02-20 | 2017-03-29 | 日東電工株式会社 | 回路付サスペンション基板およびハードディスクドライブ |
US8902719B2 (en) * | 2012-04-25 | 2014-12-02 | Seagate Technology Llc | Heat assisted magnetic recording heads having bilayer heat sinks |
US8619511B1 (en) | 2012-08-06 | 2013-12-31 | HGST Netherlands B.V. | Heat-assisted magnetic recording head with optical spot-size converter fabricated in 2-dimensional waveguide |
US8908331B2 (en) * | 2013-01-22 | 2014-12-09 | Tdk Corporation | Thermally-assisted magnetic recording head including a waveguide, a magnetic pole, and a plasmon generator and method of manufacturing the same |
US8971159B2 (en) * | 2013-05-08 | 2015-03-03 | Seagate Technology Llc | Light delivery apparatus |
US8908482B1 (en) * | 2014-02-14 | 2014-12-09 | HGST Netherlands B.V. | Sacrificial protection layer for preventing ion mill damage to HAMR optical components |
JP2015204124A (ja) * | 2014-04-15 | 2015-11-16 | 株式会社東芝 | 磁気記録ヘッド、およびこれを備えたディスク装置 |
US9396749B2 (en) * | 2014-04-21 | 2016-07-19 | Seagate Technology Llc | Waveguide core layer with reduced downtrack thickness proximate a near-field transducer |
US9524740B2 (en) * | 2014-10-23 | 2016-12-20 | Seagate Technology Llc | Waveguide of a write head with reduced crosstrack width proximate a near-field transducer |
US9558764B2 (en) * | 2014-10-23 | 2017-01-31 | Seagate Technology Llc | Waveguide of a write head with reduced cross sectional area proximate a near-field transducer |
US9558769B1 (en) * | 2015-09-30 | 2017-01-31 | HGST Netherlands B.V. | Anti-reflection waveguide for heat-assisted magnetic recording |
US9484051B1 (en) * | 2015-11-09 | 2016-11-01 | The Provost, Fellows, Foundation Scholars and the other members of Board, of the College of the Holy and Undivided Trinity of Queen Elizabeth near Dublin | Method and system for reducing undesirable reflections in a HAMR write apparatus |
US9940953B1 (en) | 2016-10-25 | 2018-04-10 | Seagate Technology Llc | Si-based overcoat for heat assisted magnetic recording media |
US10249326B1 (en) * | 2017-03-22 | 2019-04-02 | Seagate Technology Llc | Heat-assisted magnetic recording head including a waveguide with dielectric cavity to reduce optical feedback |
US10360939B2 (en) * | 2017-12-23 | 2019-07-23 | Western Digital Technologies, Inc. | Metal-insulator-metal near-field transducer for heat-assisted magnetic recording |
US10249336B1 (en) * | 2017-12-23 | 2019-04-02 | Western Digital Technologies, Inc. | Architecture for metal-insulator-metal near-field transducer for heat-assisted magnetic recording |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5432605A (en) * | 1993-07-19 | 1995-07-11 | Tsi Incorporated | Interferometric cylinder sizing and velocimetry device |
WO1998020323A1 (en) * | 1996-11-08 | 1998-05-14 | Purdue Research Foundation | Particle analysis system and method |
JP4083330B2 (ja) * | 1998-02-25 | 2008-04-30 | セイコーインスツル株式会社 | 近視野光メモリヘッド |
JP4162292B2 (ja) * | 1998-07-07 | 2008-10-08 | セイコーインスツル株式会社 | 情報記録媒体および情報再生装置 |
JP3513448B2 (ja) * | 1999-11-11 | 2004-03-31 | キヤノン株式会社 | 光プローブ |
AU2003211414A1 (en) * | 2002-03-08 | 2003-09-22 | Sharp Kabushiki Kaisha | Light source apparatus and optical communication module comprising it |
JP2004069395A (ja) * | 2002-08-02 | 2004-03-04 | Nec Corp | マイクロチップ、マイクロチップの製造方法および成分検出方法 |
JP4325172B2 (ja) | 2002-11-01 | 2009-09-02 | 株式会社日立製作所 | 近接場光発生プローブ及び近接場光発生装置 |
-
2006
- 2006-04-12 JP JP2006109389A patent/JP4236673B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2007
- 2007-04-10 US US11/733,258 patent/US7359599B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US7359599B2 (en) | 2008-04-15 |
US20070242921A1 (en) | 2007-10-18 |
JP2007280572A (ja) | 2007-10-25 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4236673B2 (ja) | 近接場光発生器及び近接場光記録再生装置 | |
JP4129031B2 (ja) | 近接場光発生器及び記録再生装置 | |
JP4520524B2 (ja) | 熱アシスト記録用磁気ヘッドスライダ及びそれを用いた熱アシスト記録装置 | |
KR100738096B1 (ko) | 열보조 자기기록헤드 및 그 제조방법 | |
JP4081485B2 (ja) | 熱アシスト記録装置用ヘッド及び熱アシスト記録装置 | |
US8705325B2 (en) | Thermal-assisted magnetic recording head capable of supressing the temperature rise of scatterer | |
US8102736B2 (en) | Near-field light generator comprising waveguide with inclined end surface | |
US8325567B2 (en) | Thermally-assisted magnetic recording head comprising near-field light generator | |
US8248891B2 (en) | Near-field transducers for focusing light | |
KR100738078B1 (ko) | 근접장광발생장치와 이를 채용한 열보조 자기기록헤드 | |
JP5001413B2 (ja) | 近接場光発生素子を備えた熱アシスト磁気記録ヘッド | |
JP5680295B2 (ja) | 近接場光発生素子を備えた熱アシスト磁気記録ヘッド | |
JP2007188622A (ja) | 熱補助磁気記録ヘッド | |
US8130599B2 (en) | Thermally-assisted magnetic recording head comprising near-field optical device with propagation edge | |
JP2007184075A (ja) | 熱補助磁気記録ヘッド | |
JP4885973B2 (ja) | 表面プラズモンポラリトン方向変換器、情報記録再生ヘッド、光アシスト磁気記録装置および光回路 | |
JP4835746B2 (ja) | 熱アシスト磁気ヘッド、ヘッドジンバルアセンブリ及びハードディスク装置。 | |
JP2011141942A (ja) | 熱アシスト磁気ヘッドおよびその製造方法並びにヘッドジンバルアセンブリおよびハードディスク装置 | |
JP2007220174A (ja) | 磁気ヘッド、および情報記憶装置 | |
US8619518B1 (en) | Thermally-assisted magnetic recording head having expanded near-field light generating layer and method of manufacture |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20080411 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080415 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080616 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20080902 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20081104 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20081113 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20081209 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20081216 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111226 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111226 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121226 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131226 Year of fee payment: 5 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |