JP4235612B2 - ガスセンサ及びガスセンサを製造する方法 - Google Patents

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Description

本発明は、独立請求項の上位概念部に記載された形式のガス測定センサに関する。
このような形式のガス測定センサは、例えばドイツ連邦共和国特許公開第19707456号明細書に記載されている。ガス測定センサは金属製のハウジングを有していて、このハウジング内には、軸方向で相前後して位置する2つのセラミック成形体が配置されており、両セラミック成形体はセンサエレメントを受容するための貫通孔を有している。両セラミック成形体の間には中間室が形成されていて、この中間室内には、センサエレメントを取り囲むガラスシール部材が設けられている。セラミック成形体はシールリングによってハウジング内においてシールされている。
この公知のガス測定センサには次のような欠点がある。すなわち公知のガス測定センサでは、セラミック成形体にシール部材が入れられた場合に、ガス測定センサの運転中に生じる温度変化によっての形成されるおそれが高い。さらにセラミック成形体とハウジングとの間におけるシール部材は製造技術的に面倒かつ高価である。
ドイツ連邦共和国特許公開第19751424号明細書に基づいて公知のガス測定センサは、金属製のハウジングを備えていて、このハウジング内にセラミック成形体が配置されており、このセラミック成形体はセンサエレメントを受容するための切欠きを有している。セラミック成形体はセンサエレメントの真ん中を取り囲んでいる。センサエレメントは測定ガスに向けられた端部に、単数又は複数の測定エレメント、特に電気化学式のセルを有している。センサエレメントにおいて測定ガスとは反対側の端部には、コンタクト面が設けられており、これらのコンタクト面は接触接続部によって、ガス測定センサから延びる導体エレメントと電気的に接続されている。セラミック成形体とセンサエレメントの、接触接続部に向けられた端部との間において、センサエレメントはガラスシール部材によって取り囲まれている。ガラスシール部材は、金属製の受容体内に配置されており、この受容体は溶接結合部によってハウジングに固定されている。金属製の受容体と、センサエレメントの、接触接続部に向けられた端部と、接触接続部とは、金属製のスリーブによって取り囲まれており、このスリーブは別の溶接結合部によってハウジングと結合されている。
このようなガス測定センサのためのセンサエレメントを製造するために、機能層をプリントされたセラミックシートが積層されて焼結される。焼結時にセラミックシートは収縮する。この場合センサエレメントの小さな屈曲は、しばしば回避することができない。従ってセンサエレメントを受容するためのセラミック成形体の切欠きは、センサエレメントが切欠き内に遊びを有するように、寸法設定されている。センサエレメントは接触接続部に向けられた端部においてだけ、素材結合式の結合部によって固定されているので、センサエレメントは、運転中に生じる振動によってセラミック成形体の切欠き内において振動することがあり、これによってセンサエレメントは損傷してしまうことがある。さらに剛性のセラミック成形体内にセンサエレメントを組み込むことは、面倒で、製作技術的に困難であり、これによってもセンサエレメントは損傷する可能性がある。
発明の利点
請求項1の特徴部に記載のように構成された本発明によるガス測定センサと、本発明によるガス測定センサを製造する方法には、公知のものに対して次のような利点がある。すなわち本発明によるガス測定センサ及びその製造方法では、ハウジング内におけるセンサエレメントのシールは少なくとも1つのシールエレメントを用いて製造技術的に簡単かつ安価に行われ、しかもセンサエレメントは運転中に生じる振動に対して鈍感である。そのためにシールエレメントは金属製の受容体内に配置されていて、この受容体は金属製のハウジングに固定されており、またシールエレメントはセンサエレメントをその長さLに沿って真ん中で又は測定ガスに向けられた側において取り囲んでいる。
請求項1に記載されたガス測定センサの別の有利な構成は、請求項2以下に記載されている。
センサエレメントは主として、金属製の受容体内に配置されたシールエレメントによって(並びにさらに僅かではあるが接触接続部によって)保持されている。これによってセラミック成形体を節約することができるので、金属製の受容体を測定ガスに直にさらすことができる。
シールエレメントは有利には主に、ガラス又はガラスセラミックから成っており、かつセンサエレメント及び金属製の受容体に対する素材結合式の結合部を形成している。ガラスシール部材又はガラスセラミックシール部材は、センサエレメントの形状に適合することができる。これによって湾曲したセンサエレメントでも確実に保持することができる。温度変化時における機械的な応力を回避するために、シールエレメントの膨張係数とセンサエレメントの膨張係数とは最大でも10%しか異なっていない。
ガラスもしくはガラスセラミックは例えば、予めプレスされた又は溶融されたガラスピルの形、又は予めプレスされたタブレット形の粉体混合物の形で、粉体ばら物質として、受容体内にもたらされる。ガラスはガラス形成成分を、ガラスセラミックはセラミック成分とガラス形成成分とを、例えばセラミックパウダ及びガラス形成パウダの形で有している。次いで行われる熱処理の間に、ガラスもしくはガラスセラミックのガラス形成成分は溶融し、そして周囲の材料に対する素材結合式の結合部を形成する。
本発明の別の有利な構成では、金属製の受容体が素材結合式の結合部によって、特にレーザ溶接によってハウジングに固定されている。本発明のさらに別の構成では、ガス測定センサの、測定ガスとは反対の側に、スリーブが設けられていて、該スリーブがセンサエレメントの1区分とセンサエレメントの接触接続部とを取り囲んでおり、金属製の受容体とスリーブとが共通の素材結合式の結合部によってハウジングに固定されている。この場合素材結合式の結合部が、溶接結合部、特にレーザ溶接によって生ぜしめられた円形溶接シーム(Rundschweissnaht)であると、製造技術的に特に有利である。
本発明の有利な構成では、金属製の受容体がポット状に成形されていて、ポット状に成形された金属製の受容体の底部が、センサエレメントを受容するための切欠きを有している。金属製の受容体はその開放した端部に、金属製の受容体の長手方向軸線に対して水力に外方に向かって延びる区分を有しており、この区分には、別のスリーブ状の区分が接続していて、その結果金属製の受容体はカラー状の拡大部を有している。このカラー状の拡大部の外側のスリーブ状の区分は、レーザ溶接によってハウジングに固定されている。
また、センサエレメントとポット状に成形された金属製の受容体の側壁との間の間隔が、少なくとも部分的に、センサエレメントの高さの2倍よりも小さいか又は同じであると、ガス測定センサを特に簡単かつ安価に製造することができる。なおこの場合センサエレメントの高さというのは、センサエレメントの大きな面積に対して垂直な方向におけるセンサエレメントの長さを意味している。
本発明の第1の変化実施例では、金属製の受容体が第1のシールエレメントと第2のシールエレメントとを有している。両シールエレメントは主構成部分としてガラス又はガラスセラミックを有していて、センサエレメントの長手方向において相前後して受容体内に配置されている。測定ガスに向けられた第1のシールエレメントのガラス形成成分は、測定ガスとは反対側に位置する第2のシールエレメントのガラス形成成分に比べて高い融点を有している。センサエレメントの構成時には、金属製の受容体と第1及び第2のシールエレメントとセンサエレメントとから成る複合体は、第2のシールエレメントのガラス形成成分が完全に溶融するのに対して、第1のシールエレメントのガラス形成成分はまったく又は完全には溶融しないような温度に、加熱される。両シールエレメントのこのような構成によって、第2のシールエレメントはセンサエレメント及び金属製の受容体に対する気密でかつ素材結合式の結合部を形成することができ、しかも第1のシールエレメントによって、第2のシールエレメントのガラスが受容体から流出することを回避することができる。さらにまた、第2のシールエレメントが第1のシールエレメントと第3のシールエレメントとの間に配置されているような構成も可能であり、このような構成では第3のシールエレメントはガス測定センサの使用温度時に粘流動性の軟度を有している。シールエレメントのこのような配置形式によって、ガラスもしくはガラスセラミックと空気との間の移行部の領域において、ガラスもしくはガラスセラミックに亀裂が生じる危険や、センサエレメントが破損する危険を減じることができる。
本発明の第2の変化実施例では、金属製の受容体が第1のシールエレメントと第2のシールエレメントとを有しており、両シールエレメントがセンサエレメントの長手方向において相前後して金属製の受容体内に配置されている。測定ガスに向けられた第1のシールエレメントは焼結されたセラミックを有していて、測定ガスとは反対側に位置する第2のシールエレメントはガラス又はガラスセラミックを含んでいる。このように構成されていると、第1のシールエレメントによって、第2のシールエレメントのガラス又はガラスセラミックがガス測定センサの製造時にセラミック製の受容体から流出することが阻止される。さらにまた、第1のシールエレメントと第2のシールエレメントとの間に、プレスされたセラミック製の粉体材料から成る円板が第3のシールエレメントとして設けられていてもよい。
本発明によるガス測定センサを製造するために、本発明の方法では、センサエレメントと単数又は複数のシールエレメントとが金属製の受容体内に装入されて、熱処理され、その際に少なくとも1つのシールエレメントのガラス形成成分は溶融し、その結果センサエレメントは金属製の受容体内においてシールエレメントによって気密にシールされる。その後で金属製の受容体とシールエレメントとセンサエレメントとから成る複合体は、ハウジング内にもたらされ、金属製の受容体はハウジング内において固定される。
図面
次に図面を参照しながら本発明の実施例を説明する。
図1は、本発明によるガス測定センサの第1実施例を示す断面図であり、
図2aは、第1実施例の金属製の受容体を図2bのIIa−IIaに沿って断面した図であり、
図2bは、図2aに示された金属製の受容体を上から見た平面図であり、
図3は、本発明によるガス測定センサの第2実施例を示す断面図であり、
図4aは、第2実施例の金属製の受容体を図4bのIVa−IVaに沿って断面した図であり、
図4bは、図4aに示された金属製の受容体を上から見た平面図であり、
図5は、本発明によるガス測定センサの第1実施例の第1変化実施例を示す断面図であり、
図6は、本発明によるガス測定センサの第1実施例の第2変化実施例を示す断面図であり、
図7は、本発明によるガス測定センサの第1実施例の第3変化実施例を示す断面図であり、
図8は、本発明によるガス測定センサの第1実施例の第4変化実施例を示す断面図である。
実施例の記載
図1には、本発明の1実施例としてガス測定センサ10の一部が示されている。このガス測定センサ10は例えば、測定ガスの温度又は酸素含有量を測定するために働き、内燃機関の排気ガスラインの測定開口に取り付けることができる(図示せず)。そのためにガス測定センサ10は、ねじ山23及び六角形部22を備えたハウジング21を有している。このハウジング21は扁平で縦長のセンサエレメント20を取り囲んでおり、このセンサエレメント20はセラミック製の多層系として構成されている。センサエレメント20は、測定ガスにさらされる第1の区分26に、例えば電極又はヒータのような測定エレメントを有している。センサエレメント20の第1の区分26は、ハウジング21から測定ガス室28内に進入しており、この測定ガス室28は、ハウジング21に固定された保護管24によって取り囲まれている。保護管24は複数の開口(符号なし)を有しており、これらの開口はセンサ10の一部の第1の区分26への測定ガスの流入を可能にしている。
センサエレメント20の、測定ガスから隔てられた第2の区分27には、センサエレメント20の外側面にコンタクト箇所(図示せず)が設けられている。コンタクト箇所は、センサエレメント20の層複合体に配置された供給ラインによって測定エレメントと電位接続されている。コンタクト箇所は接触接続装置によって導体エレメントと電気的に接触接続されており(図示せず)、これらの導体エレメントによって測定エレメントは、センサエレメント20の外側に設けられた評価電子装置に接続されている。センサエレメント20の第2の区分27と接触接続装置とは、スリーブ25によって取り囲まれており、このスリーブ25はハウジング21に固定されている。図1、図3及び図5〜図8にはスリーブ25が部分的に断面して示されている。
センサエレメント20の第1の区分26を第2の区分27からシールするために、シールエレメント32が設けられており、このシールエレメント32は、該シールエレメント32のための金属製の受容体31内に配置されている。この金属製の受容体31は図2a及び図2bに個別エレメントとして示されている。シールエレメント32はセンサエレメント20の長手方向区分を取り囲んでいる。この長手方向区分はセンサエレメント20の中央(センサエレメント20の長さLで見て)に、又は測定ガスに向けられたセンサエレメント20の半部に設けられている。これによってシールエレメント32はセンサエレメント20の保持装置としても働き、かつハウジング21内におけるセンサエレメント20の振動を阻止している。
シールエレメント32はガラス又はガラスセラミックから成っており、ガラス粉体の形又は、セラミック粉体(セラミック成分)とガラス形成粉体(ガラス形成成分)とから成る混合物の形で、金属製の受容体31内に入れられる。ガラス粉体もしくはガラス形成粉体は主として酸化物、BaO, SrO, ZnO, BO, AlO, MgO, CaO及び/又はSiOを基礎としている。セラミック粉体は有利には、ステアタイト、ホルステタイト、AlO, AlO, MgO又はCaO, MgO又はYOによって安定化されたZrO又はその混合物から成っている。
シールエレメント32用の出発材料は、粉体ばら物質として、センサエレメント20を備えた金属製の受容体31内に装入されて機械的に圧縮される。択一的に出発材料を、予めプレスされた又は溶融されたガラスピルとして、又は予めプレスされたタブレット形の粉体混合物として、センサエレメント20と一緒に受容体31内に導入することも可能であり、この場合ガラスピルもしくは予めプレスされた粉体混合物は、センサエレメント20を受容するための切欠きを有している。
センサエレメント20とシールエレメント32と金属製の受容体31とから成る予め組み立てられた複合体を、次いで熱処理した時に、ガラスもしくはガラスセラミックのガラス形成成分が溶融し、その結果センサエレメント20とシールエレメント32との間及び金属製の受容体31とシールエレメント32との間に気密な結合部が形成される。この場合所望の温度を導くことによって、ガラス又はガラス形成成分を部分的に又は完全に結晶化することができ、その結果シールエレメント32は熱処理の後では部分的に又は完全に結晶化されたガラスセラミックになる。
金属製の受容体31はポット状に成形されている。金属製の受容体31の底部35は中央に、センサエレメント20用の切欠きを有している。切欠き33はセンサエレメント20の横断面に相応して方形に成形されている。センサエレメント20と受容体31との間の間隔は、切欠き33の領域において次のように小さく、すなわち溶融過程中におけるシールエレメント32の流出が回避されるように小さくなければならない。受容体31の解放した端部にはカラー34が設けられており、このカラー34はハウジング21に装着することができる。カラー34はハウジング21を、測定ガスとは反対の側において取り囲む、かつカラー34自体は、スリーブ25によって取り囲まれている。スリーブ25とカラー34とは共通の円形溶接シームによってハウジング21に固定されている。
測定ガス室28は受容体31と保護管24とによって画成されている。センサエレメント20を除くと、測定ガス室28内にはその他のエレメントは設けられていない。
図3には、本発明の第2実施例としてガス測定センサ10の一部が示されている。第2実施例が図1に示された第1実施例と異なっているのは、受容体31の構成である。互いに対応するエレメントに対しては、図3においても図1におけると同じ符号で示されている。ポット状に成形された受容体31の壁とセンサエレメント20との間の間隔は、第2実施例ではほぼちょうどセンサエレメント20の高さに(つまりセンサエレメント20の大面積に対して垂直な方向におけるセンサエレメント20の長さに)相当しており、しかしながら最大でセンサエレメント20の高さの2倍に相当している。受容体31の壁の形状はこの場合センサエレメント20の形状にほぼ相当しており、つまり受容体31の壁は、横断面が方形である。壁の縁部は丸く面取りされている。
受容体31は第1実施例とは異なりカラー34を有していない。受容体31をハウジング21と結合するために、S字形の金属製の中間部材36が設けられており、この中間部材36は金属製の受容体31とハウジング21とに溶接結合部41によって固定されている。
図4a及び図4bに示された受容体31は、図3に示された実施例におけるようにセンサエレメント20をぴったりと取り囲んでいるが、図3の実施例とは異なりカラー34を有しており、このカラー34によって金属製の受容体31は、第1実施例におけるように溶接結合部を用いてハウジング21に固定されている。
図5〜図8にはガス測定センサ10の種々様々な実施形態が示されており、これらの実施形態は、シールエレメントの構成の点で第1実施例とは異なっている。互いに対応するエレメントに対しては図5〜図8においても、図1におけると同じ符号が使用されている。
図5の実施形態では金属製の受容体31は第1のシールエレメント321と第2のシールエレメント322とを有しており、この場合第1のシールエレメント321は金属製の受容体31の、測定ガスに向けられた側に設けられている。両シールエレメント321,322は主としてガラス又はガラスセラミックから成っており、第1のシールエレメント321のガラスの溶融温度は、受容体31と第1及び第2のシールエレメント321,322とセンサエレメント20とから成る複合体が加熱される温度を上回っており、これによって第2のシールエレメント322のガラスを溶かすことができる。すなわちこれによって、第2のシールエレメント322は製造後にハウジング21及びセンサエレメント20と素材結合式(stoffschluessig)に結合され、かつセンサエレメント20をガス測定センサ10のハウジング21内において気密にシールする。第1のシールエレメント321のガラス形成成分は、製造時に完全には溶融しない。これによって、第2のシールエレメント322の材料が溶融時に受容体31から流れ出すことを回避することができる。
図6に示された実施形態は図5に示された実施形態に相当しているが、付加的に第3のシールエレメント323を有しており、この第3のシールエレメント323は第2のシールエレメント322の、測定ガスとは反対の側に配置されている。第3のシールエレメント323は主としてガラス又はガラスセラミックから成っており、ガス測定センサ10が規定通りの使用時にさらされる温度では粘流動性の軟度(zaehfluessige Konsistenz)を有するという特性を備えている。
図7に示された実施形態では受容体31は第1のシールエレメント321と第2のシールエレメント322とを有していて、この場合第1のシールエレメント321は受容体31の、測定ガスに向けられた側に設けられている。第1のシールエレメント321は、センサエレメント20のための切欠きを備えた焼結されたセラミック円板であり、第2のシールエレメント322は、第1実施例及び第2実施例におけるようにガラス又はガラスセラミックを有している。第1のシールエレメント321は、ガラス形成成分が溶融時に受容体31から流出することを阻止する。センサエレメント20のための切欠き33は図7の実施形態では広幅に設計されている(受容体31の底部とセンサエレメント20との間の間隔は例えばセンサエレメント20の高さに相当している)ので、センサエレメント20は切欠き33内に容易に導入することができる。
図8に示された実施形態は図7に示された実施形態に相当していて、付加的に第3のシールエレメント333を有しており、この第3のシールエレメント333は、第1のシールエレメント331と第2のシールエレメント332との間に配置されている。第3のシールエレメント333は、プレスされたセラミック製の粉体材料から成る円板であり、この円板によって付加的に、溶融時における第2のシールエレメント332の材料の流出が阻止される。図示されていない別の実施形態では、第3のシールエレメント333と第2のシールエレメント332とを交換することもできる。
本発明のさらに別の実施形態では、図5又は図6に示された実施形態と図7又は図8に示された実施形態とを組み合わせることができる。この場合1つの実施形態におけるシールエレメントと他の実施形態におけるシールエレメントとを交換すること、もしくは1つの実施形態におけるシールエレメントに他の実施形態におけるシールエレメントを付け加えることが可能である。
また当業者は、図5〜図8に示された実施形態のシールエレメントを相応に合わせられたジオメトリで、図3又は図4a及び図4bに示された第2実施例の受容体に挿入することによって、本発明の別の実施形態を得ることができる。
本発明によるガス測定センサの第1実施例を示す断面図である。 第1実施例の金属製の受容体を図2bのIIa−IIaに沿って断面した図である。 図2aに示された金属製の受容体を上から見た平面図である。 本発明によるガス測定センサの第2実施例を示す断面図である。 第2実施例の金属製の受容体を図4bのIVa−IVaに沿って断面した図である。 図4aに示された金属製の受容体を上から見た平面図である。 本発明によるガス測定センサの第1実施例の第1変化実施例を示す断面図である。 本発明によるガス測定センサの第1実施例の第2変化実施例を示す断面図である。 本発明によるガス測定センサの第1実施例の第3変化実施例を示す断面図である。 本発明によるガス測定センサの第1実施例の第4変化実施例を示す断面図である。

Claims (12)

  1. 測定ガスの物理的な特性、特にガス成分の濃度又は排気ガスの温度を測定するガス測定センサ(10)であって、金属製のハウジング(21)内にセンサエレメント(20)が配置されていて、該センサエレメント(20)が、金属製の受容体(31)内に配置された少なくとも1つのシールエレメント(32,321,322,323,331,332,333)によってシールされており、金属製の受容体(31)がハウジング(21)に固定されている形式のものにおいて、シールエレメント(32,321,322,323,331,332,333)がセンサエレメント(20)を該センサエレメントの長さLに沿って真ん中で又は該センサエレメント(20)の、測定ガスに向けられた半部のところで取り囲んでおり、金属製の受容体(31)がポット状に成形されていて、片側において閉鎖されて構成されており、ポット状に成形された金属製の受容体(31)の、片側において閉鎖された部分である底部(35)が、センサエレメント(20)を受容するための切欠き(33)を有しており、金属製の受容体(31)がその開放端部に、金属製の受容体(31)の長手方向軸線に対して垂直に外方に向かって延びる区分(34)を有していて、該区分(34)に別のスリーブ状の区分(34)が接続しており、さらに受容体(31)の閉鎖された底部(35)が、ハウジング(21)における受容体(31)の固定部に比べて、測定ガス室(28)の近傍に位置していて、金属製の受容体(31)が直接的に測定ガス室(28)に隣接していることを特徴とするガス測定センサ。
  2. センサエレメント(20)が、1つのシールエレメント(32)又は複数のシールエレメント(321,322,323,331,332,333)と、少なくとも間接的に金属製の受容体(31)とによって、ガス測定センサ(10)のハウジング(21)内において固定されている、請求項1記載のガス測定センサ。
  3. シールエレメント(32,321,322,323,332)がセンサエレメント(20)及び金属製の受容体(31)と結合されている、請求項1又は2記載のガス測定センサ。
  4. シールエレメント(32,321,322,323,332)が主としてガラス又はガラスセラミックから成っている、請求項1からまでのいずれか1項記載のガス測定センサ。
  5. センサエレメント(20)及び金属製の受容体(31)と結合されたシールエレメント(32,321,322,323,332)の膨張係数と、センサエレメント(20)の膨張係数との差が、最大でも10%である、請求項又は記載のガス測定センサ。
  6. 金属製の受容体(31)が溶接結合部(41)によってハウジング(21)に固定されている、請求項1からまでのいずれか1項記載のガス測定センサ。
  7. ガス測定センサ(10)の、測定ガスとは反対の側に、スリーブ(25)が設けられていて、該スリーブ(25)がセンサエレメント(20)の1区分とセンサエレメント(20)の接触接続部とを取り囲んでおり、金属製の受容体(31)とスリーブ(25)とが共通の溶接結合部(41)によって、ハウジング(21)に固定されている、請求項1からまでのいずれか1項記載のガス測定センサ。
  8. センサエレメント(20)とポット状に成形された金属製の受容体(31)の側壁との間の間隔が、少なくとも部分的に、センサエレメント(20)の高さの2倍よりも小さいか又は同じであり、センサエレメント(20)の高さが、該センサエレメント(20)の長手方向に対して垂直な方向におけるセンサエレメント(20)の寸法である、請求項記載のガス測定センサ。
  9. ガラスを含んでいる第1のシールエレメント(321)とガラスを含んでいる第2のシールエレメント(322)とが設けられており、両シールエレメント(321,322)がセンサエレメント(20)の長手方向において相前後して受容体(31)内に配置されており、測定ガスに向けられた第1のシールエレメント(321)のガラスが、測定ガスとは反対側に位置する第2のシールエレメントのガラスに比べて高い融点を有しており、第2のシールエレメント(322)のガラスが、熱処理後に完全に溶融して、センサエレメント(20)に対する結合部を形成するのに対して、第1のシールエレメント(321)のガラスはまったく又は完全には溶融しない、請求項1からまでのいずれか1項記載のガス測定センサ。
  10. ガラスを含んでいる第3のシールエレメント(323)が第2のシールエレメント(322)の、測定ガスとは反対の側に設けられている、請求項記載のガス測定センサ。
  11. 測定ガスに向けられた第1のシールエレメント(331)と測定ガスとは反対側の第2のシールエレメント(332)とが設けられており、両シールエレメント(331,332)がセンサエレメント(20)の長手方向において相前後して金属製の受容体(31)内に配置されており、第1のシールエレメント(331)が受容体(31)の、測定ガスに向けられた側に配置されており、さらに第1のシールエレメント(331)がセラミックを有していて、第2のシールエレメント(332)がガラス又はガラスセラミックを含んでいる、請求項1からまでのいずれか1項記載のガス測定センサ。
  12. 第1のシールエレメント(331)と第2のシールエレメント(332)との間に、プレスされたセラミック製の粉体材料から成る第3のシールエレメント(333)が設けられている、請求項11記載のガス測定センサ。
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