JP2003506705A - 高温検出器及びその製造方法 - Google Patents

高温検出器及びその製造方法

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Abstract

(57)【要約】 高温検出器は高温測定素子(100)、高温安定材料からなり前記測定素子に接続された第1、第2の接続部を含む温度センサーを含んでいる。その高温センサーは細長いケース(300)内でその第1端部の近くに配置され、ケース(300)は高温安定材料からなる第1と第2の導体路を含み、それらの導体路は前記第1と第2の接続部に接続され、ケースの第2端部の方向に延びている。また、接続点(214,302)が設けられており、その接続点はによって作られた信号を取り出すために使用され、ケースの第2端部の近くに配置されている。そのような装置を製造するために、初めにセンサー(100)を準備し、第1基板(230)の第1端部の近くの開口部に配置する。続いて、第2と第3のセラミック基板(200,260)に配置されてそれぞれの第2端部に延びている導体路がセンサーの接続部に接続されるように、第2と第3のセラミック基板を第1セラミック基板に融合する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】 本発明は高温検出器及びそのような高温検出器を製造する方法に関するもので
ある。
【0002】 従来技術においては、薄膜技術により製造されて600℃までの温度範囲で使
用するようになっている白金測定抵抗体が広く用いられている。温度範囲と使用
分野に従って異なった形態のものが開発されてきている。この2,3年、更に高
温(例えば800℃まで、又はさらに1000℃及びそれ以上まで)で使用するの
に適する形態に対する要請が高まってきている。そのような白金測定抵抗体は、
例えばこの出願後に公開されたDE19901183AやDE19901184
に記載されている。
【0003】 物品が量産品として扱われる場合、信頼できる機能に加えて、特に低価格に生
産できることが最も重要であることが多い。
【0004】 この従来技術から出発して、本発明の目的は簡単で低価格の高温検出器と、高
温検出器を簡単にかつ低価格で製造する方法を提供することである。
【0005】 この目的は請求項1による装置と請求項9による方法により実現される。
【0006】 本発明は、高温安定材料からなる高温測定素子、第1接続部及び第2接続部を
含む高温センサーと、第1端部を備えてその近くに前記高温センサーを配置した
細長いケースと、高温安定材料からなり、前記高温センサーの第1と第2の接続
部に接続され、前記ケースの第2端部の方向に延びる第1と第2の導体路と、前
記高温センサーによって作られた信号を取り出すのに使用され、前記ケースの第
2端部の近くに配置された接続点とを備えた高温検出器を提供するものである。
【0007】 本発明は、始めに高温測定素子、高温安定材料からなり前記高温測定素子に接
続された第1接続部及び高温安定材料からなり前記高温測定素子に接続された第
2接続部を含んだ高温センサーを準備するステップを含んで高温検出器を製造す
る方法を提供するものである。その高温センサーを第1セラミック基板の第1端
部の近くに配置された開口内に配置する。第2セラミック基板上に配置され第2
セラミック基板の第2端部に延びている導体路が高温センサーの第1接続部に接
続されるように、第1セラミック基板を第2セラミック基板と融合させる。最後
に、第3のセラミック基板上に配置され第3セラミック基板の第2端部に延びて
いる導体路が高温センサーの第2接続部に接続されるように、第1セラミック基
板を第3セラミック基板と融合させる。
【0008】 本発明の好ましい形態は従属項に定義されている。
【0009】 以下に、本発明の好ましい実施例を添付の図面を参照しながら詳細に説明する
【0010】 本発明の好ましい実施例の以下の説明においては、異なる図で同一又は同様の
部分には同じ参照数字を用いる。
【0011】 本発明はいわゆるSMDチップから始まる。SMDチップは適度な価格で製造
することができ、半田付け可能な接点をもち、低温領域、例えば150℃までの
領域で利用されるものとして知られている。しかしながら、非常な高温を含む用
途の場合には、測定電流用リード線の信頼できる接触を保証するために、不利な
環境条件で白金抵抗層の信頼できる保護を確かなものとすること(すなわち、白
金に有害な外部物質が拡散するのを防ぐこと)のためには、大幅な変更が必要で
ある。特に注目しなければならないのは、使用されている材料は、使用される目
的温度において必要な測定電流によって電気化学的に分解しない適当な材料だけ
でなければならないという事実である。
【0012】 まず第一に、適当なSMDチップを製造しなければならない。そのSMDチッ
プは、白金膜がセラミック基板に形成されてパターン化されているが、保護ガラ
ス層で覆われていない限りにおいて、また接触領域が銀又は銀合金(例えばAg
/Pd)を含まず純白金である限りにおいて、従来の形態とは異なる
【0013】 図1は、例えばAL23からなるセラミック基板102を含んだそのようなS
MDチップ100を示している。セラミック基板102の第1主面104には、
白金又はロジウムが僅かに合金化された白金の膜からなるパターン化された測定
膜106が形成されている。第1接続部108が形成されており、それは測定膜
106の第1端部110に接続されている。図1からわかるように、第1接続部
108はセラミック基板102の第1主面104からセラミック基板102の側
面を通り、セラミック基板102の第2主面上に延びている。第2接続部112
は測定膜106の第2端部114に接続されているものであるが、同じように形
成されている。
【0014】 図1に示された実施例において、測定膜106、第1接続部108及び第2接
続部112は同じ高温安定材料、例えば白金からなっている。しかし、他の実施
例においては、必要な高温安定性を持つという条件を満たせば、他の材料もまた
使用することができる。可能な材料は白金合金であり、簡単な使用(800℃程
度での使用)に対してはニッケル及びニッケル合金も可能である。
【0015】 それ故、図1に示されるSMDチップ100は高温センサーであり、膜106
が高温測定素子を定義づけている。
【0016】 図2を参照し、本発明による装置のケースを製作するのに使用する各セラミッ
ク基板を以下に詳細に説明する。
【0017】 図2aは第1もしくは下側のセラミック基板又はセラミックカバープレート20
0を表わしており、ここに示されている面はケースを組み立てた状態では高温セ
ンサー又はSMDチップと対向する関係に設けられる面である。事柄を容易にす
るために、この側を「内側」という。図2aにおいて、セラミック基板200と
SMDチップ100が重なって配置されている領域が破線で示されている。セラ
ミック基板200の第2端部が参照数字204で示されている。セラミック基板
200の内側上に、白金又は白金合金(例えばPtRh)のような高温安定材料か
らなる導体路206が形成されている。
【0018】 セラミック基板200の第1端部202の近くにおいて、導体路206は接点
208を備えており、導体路206は検出器が組み立てられるときその接点20
8を介してSMDチップ100の第1接続部108(図1参照)と接触する。導
体路206は接点208からセラミック基板200の第2端部204の方向に延
び、セラミック基板200の第2端部204の近くに配置された導体路端部には
貫通接触手段210が設けられており、導体路206はこの貫通接触手段210
によって図2aに示されているセラミック基板200の「内側」から図2bに部
分的に示されているセラミック基板200の「外側」212へ導かれていること
がわかる。図2bから分かるように、接続領域214はセラミック基板200の
「外側」212に配置されている。
【0019】 導体路を他の方法で実現する場合には、貫通接触手段(図4)は省略することが
できる。その場合、第1セラミック基板(中間セラミック基板)は第2端部で前面
と背面に約3mmの長さの金属被覆を有する。2枚の外側のセラミック基板(第
2と第3のセラミック基板)はその実施例では約2mm短いものとする。その結
果、第2と第3のセラミック基板の第2端部の領域に、第1セラミック基板の金
属層とのそれぞれの重なり領域が存在し、そしてその重なり領域の外側に第1セ
ラミック基板の金属皮膜がそれぞれの接続領域を形成し、例えばそこは溶接によ
って接続線を取り付けるのに使用される。
【0020】 両方の(接続線との)接点が、出来上がったセンサー素子の一方の側に設けられ
る実施例では、上述の導体路実現方法の組合わせを使用することができる(貫通
接触が1つ、重なり接触が1つとなる)。
【0021】 セラミック基板200はその境界にグレーズ(glaze)層216を備えている
。このグレーズ層216は、ケースの各部材が組み立てられるとき、まだ説明し
ていない1部のセラミック基板を含む各セラミック基板が密閉状態に融合する結
果をもたらす。
【0022】 図2cには第2セラミック基板230が示されている。第2セラミック基板2
30は図2aと2bを参照して説明した第1基板200と同じ材料からなる。第
2或いは中間のセラミック基板230は導体路構造を含んでおらず、図1を参照
して説明したSMDチップ100(破線で表わされている)が嵌め込まれる開口或
いは切り抜き部分232だけが設けられている。その開口232は第2セラミッ
ク基板230の第1端部234の近くに配置され、セラミック基板230の第2
端部は参照数字236で示されている。
【0023】 図2dは「上側」セラミックカバープレート或いは第3セラミック基板260
を示している。その構造的意匠は、SMDチップ100の第2接続部112(図
1参照)と接触するのに使用される接触領域262が第3のセラミック基板26
0の第1端部264からより離れて設けられているという点を除いて、図2aを
参照して説明したセラミックプレート200と実質的に同一である。このことは
SMDチップ100のそれぞれの接続部の配置様式が異なっていることによる。
図2aを参照して説明した接点208と同様に、接点262も第2接続部112
(図1参照)を介してSMDチップ100と電気的に接触するのに使用される。
接点262から始まって、導体路266は第3基板260の第2端部268の方
向に延びている。導体路266は図2aに関して説明した導体路の材料に対応す
る材料で形成することができる。図2aと同様に、図2dはセラミック基板26
0の「内側」、すなわち組み立てられた状態では第2基板230に対向して設け
られる側を示している。第3基板260の第2端部268の近くには、貫通接触
手段270が設けられている。第1セラミック基板と同様に、この貫通接触手段
270は、導体路266を「外側」へ延ばし、そこで図2dには示されていない
接続部に接続されるようにするものである。
【0024】 上に述べたように、図1を基にして説明したSMDチップ100は第1から第
3のセラミック基板200,230,260を含んだ特別なセラミック構造物内
に収納される。そうすることにより、チップの接続及び接触領域108,112
はそれぞれの下側及び上側のセラミックカバープレート200,260の白金導
体路206,266と接触する。したがって、セラミックケースの構造的意匠は
、3つの重ね合わされたプレート200,230,260の全てからなるもので
あり、典型的な寸法として例えば25mm×3mm×0.3mm(長さ、幅、厚
さ)をもつことができる。下側と上側のカバープレート200,260はそれぞ
れ縦方向に導かれる白金導体路206,266を備えており、これらの導体路2
06,266は、それぞれ図2a及び図2dからわかるように、それぞれの端部
で外側の接触領域214に貫通接触している。中間プレート230は、図2cに示
された方法によりSMDチップ100を嵌め込むことのできる矩形の切り抜き部
分262を備えている。
【0025】 図3は3つのセラミックプレート200,230及び260の組合わせにより
得られたケース300を示している。図2を参照して説明した要素に加えて、第
3の基板260の外側にある接続部302も図3に見ることができ、第3の基板
260の導体路は貫通接触手段270を介して外側のこの接続部302に延びて
いる。
【0026】 一連の製造ステップにおいて、下側のセラミックカバープレート260を、例
えば下側のカバープレートの一部に設けられたグレーズペースト272によって
、まず中間セラミックプレート230に密着して融合させることができる(図2
d参照)。下側のプレート260の内側及び/又は上側にある白金導体路266
は、この下側プレート260の上面に配置された中間プレート230の切り抜き
部分262に嵌め込まれるSMDチップ100の「前側」接触位置までくるよう
に導かれている。
【0027】 この時、切り抜き部分262内に位置するこの導体路部分には、厚膜導体ペー
スト(例えば白金)の小さい「滴」が既につけられている。続いて、SMDチッ
プ100の接続部112がこの下側導体路266と電気的に接続されるように、
SMDチップをその切り抜き部分内に置く。次に、SMDチップ110の反対側
の接続部108には、その上側に白金圧膜ペーストの「滴」を設ける。そして、
嵌め込まれたSMDチップ100が上側セラミックプレート200の下向きの導
体路206に予め設けられた白金ペーストによって電気的に接続されるように、
上側セラミックカバープレート200(その導体路206は下側を向いている)
を中間セラミックプレート230の上面上に置く。上側のセラミックカバープレ
ート200の下側及び/又は内側の一部には、カバープレート200が焼成工程
でSMDチップ100を封入して中間プレート230と密着して融合できるよう
に、前段の工程ステップでグレーズ層216が既に設けられている。いまここで
述べた焼成工程は、1200℃から1450℃の間の温度で約30分間(ピーク
時間)行う。グレーズペーストとしては、SiO2(46.6%)、BaO(3
9.2%)、Al23(12.7%)、CaO(0.5%)、SrO(0.5%
)からなるフリット1、又はSiO2(20.5%)、Al23(55.0%)
、CaO(19.0%)、MgO(5.5%)(カッコ内は重量%である)から
なるフリット2を使用するのが好ましい。
【0028】 SMD素子は上に述べた方法により3つのセラミックプレート200,230
,260の内部に密封され、電気的接続は導体路206,266と貫通接触手段
210,270を介して外側の接触領域214,302に導かれる。
【0029】 第1、第2及び第3のセラミックプレートに替えて、いわゆる「未焼成セラミ
ック(green ceramic)」を使用すると他の実施例となる。この場合、セラミッ
クプレートを融合させるために必要とされるグレーズペーストは印刷する必要が
ない。それは、3枚の未焼成セラミック薄片(既にSMDチップを搭載しており
、かつ白金導体ペーストが既に印刷されている)は、その積層体全体に適当な焼
成処理(T>1200℃)を施すと密封構造を形成するように焼結するからであ
る。
【0030】 もしケース300が適当な全長をもつとすれば、この構造意匠はセンサーの先
端(SMDチップ)の温度よりも著しく低い温度の外部接触接続部を可能にする
【0031】 図4を参照して以下に述べるように、「離壁」が装置のほぼ中央部で有効にな
るということからも、この効果を支持することができる。図4は本発明の他の実
施例によるセンサー400を示しており、このセンサーは図3に示されているケ
ース300を含んでいる。図からわかるように、図4に示された実施例ではそれ
ぞれのリード線はSMDチップ100から間隔をもってケース300の端部に取
りつけられており、そのリード線は第1及び第2の引込み線402及び404と
して実現されている。
【0032】 ケース300に沿って接続領域210及び302からそれほど離れていない位
置に金属(例えばクロム鋼)又はセラミック(例えばAl23又はセラミック22
1)からなる隔壁406が配置されている。ケース300と離壁406の間には
、適当な熱膨張係数をもったグレーズ(フリット1)又はセラミックペースト(
例えばCotronics989)からなるシーリング組成物408が配置されている。
【0033】 リード線402,404用の接点210,302は、特に現在の接続に含まれ
る非常な高温において大きな熱負荷にさらされるものであるが、本発明による装
置の主たる利点は、それらの接点210,302を温度がずっと低い領域に適度
な価格で配置できることである。ケース300の「長い」セラミックプレート2
00,230,260の単位領域当りのコストは、温度センサーや高温センサー
100の白金被覆された薄膜セラミックのコストよりずっと低く、しかも感熱部
であるSMD素子100のサイズは比較的小さく維持することができ、それ故価
格が適度なものとなる。
【0034】 温度センサーに対して短応答時間が要求される場合には、上に述べた構造意匠
により他の利点が達成され、これもまた非常に重要である。その場合、(薄いセ
ラミックプレートの)寸法を適当に選ぶとともに、特に、従来の構造意匠では通
常必要とされている温度センサーの付加的な保護管をなくすことができることに
よって、測定媒体との最適結合を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 白金SMDチップを示す。
【図2】 aからdはケースを形成するのに使用された各セラミック基板を示す。
【図3】 セラミック基板からなるケースを示す。
【図4】 本発明の他の実施例による高温センサーを示す。
【手続補正書】特許協力条約第34条補正の翻訳文提出書
【提出日】平成13年9月28日(2001.9.28)
【手続補正1】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【手続補正2】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0003
【補正方法】変更
【補正の内容】
【0003】 物品が量産品として扱われる場合、信頼できる機能に加えて、特に低価格に生
産できることが最も重要であることが多い。 EP−A−0017359は、セラミック材料からなる絶縁基板を含んだセラ ミックセンサーを記載している。その絶縁基板上には一対のリード線が形成され 、絶縁カバーによって覆われている。その基板の一端には一対の出力接続部が設 けられ、他端にはセンサー素子が配置され、そのセンサー素子は前記リード線に よって前記出力接続部に接続されている。
【手続補正3】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0006
【補正方法】変更
【補正の内容】
【0006】 本発明は、高温測定膜、高温安定材料からなり前記高温測定膜に接続された第 1接続部及び高温安定材料からなり前記高温測定膜に接続された第2接続部を含 んでいる高温センサーと、第1の細長いセラミック基板、第2の細長いセラミッ ク基板及び第3の細長いセラミック基板を含んでいる細長いケースであって、そ れらのセラミック基板は互いに連結されており、前記第1の細長いセラミック基 板が第2の細長いセラミック基板と第3の細長いセラミック基板の間に配置され 、かつ前記第1の細長いセラミック基板がこのケースの第1端部の近くに前記高 温センサーを配置する貫通穴を備えており、前記第2及び第3のセラミック基板 が第1のセラミック基板の前記貫通穴を完全に被うように配置されている細長い ケースと、前記第2の細長いセラミック基板上にあって高温安定材料からなり、 前記高温センサーの第1接続部に接続され、前記ケースの第2端部方向に延びて いる第1導体路と、前記第3の細長いセラミック基板上にあって高温安定材料か らなり、前記高温センサーの第2接続部に接続され、前記ケースの第2端部方向 に延びている第2導体路と、前記ケースの第2端部の近くに設けられ、かつ非高 温安定材料によりリード線が接続されるように適合されており、前記高温センサ ーによって作られた信号を取り出すのに適合した接続点とを備えた混成 高温検出
器を提供するものである。
【手続補正4】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0007
【補正方法】変更
【補正の内容】
【0007】 本発明は、以下のステップを含んで混成高温検出器を製造する方法を提供する ものである。高温測定膜、高温安定材料からなり前記高温測定膜に接続された第 1接続部及び高温安定材料からなり前記高温測定膜に接続された第2接続部を含 んでいる高温センサーを準備するステップ、第1セラミック基板の第1端部の近 くに配置された貫通穴内に前記高温センサーを配置するステップ、第2セラミッ ク基板上に配置されて第2セラミック基板の第2端部へ延びている導体路が第2 セラミック基板の第1端部で前記高温センサーの第1接続部と接続されるように 、前記第1セラミック基板を第2セラミック基板と融合させるステップ、第3セ ラミック基板上に配置されて第3セラミック基板の第2端部へ延びている導体路 が第3セラミック基板の第1端部で前記高温センサーの第2接続部と接続される ように、前記第1セラミック基板を第3セラミック基板と融合させるステップ、 及び前記高温センサーによって作られた信号を取り出すように非高温安定材料に よりリード線を接続するために、前記第2の細長いセラミック基板に第1接続領 域を形成し、前記第3の細長いセラミック基板に第2接続領域を形成するステッ プ。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ハインリッヒ・ジッツマン ドイツ連邦共和国 D−91207 ラウフ・ アン・デル・ペグニッツ ブリューテンヴ ェグ 14

Claims (10)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 高温測定膜(106)、高温安定材料からなり前記高温測定
    素子(106)に接続された第1接続部(108)及び高温安定材料からなり前
    記高温測定素子(106)に接続された第2接続部(112)を含んでいる高温
    センサー(100)と、 第1の細長いセラミック基板(230)、第2の細長いセラミック基板(20
    0)及び第3の細長いセラミック基板(260)を含んでいる細長いケース(3
    00)であって、前記第1の細長いセラミック基板(230)が第2の細長いセ
    ラミック基板(200)と第3の細長いセラミック基板(260)の間に配置さ
    れ、かつ前記第1の細長いセラミック基板(230)がこのケース(300)の
    第1端部(234)の近くに前記高温センサー(100)を配置する開口部(2
    32)を備えている細長いケース(300)と、 前記第2の細長いセラミック基板(200)上にあって高温安定材料からなり
    、前記高温センサー(100)の第1接続部(108)に接続され、前記ケース
    (300)の第2端部方向に延びている第1導体路(206)と、 前記第3の細長いセラミック基板(260)上にあって高温安定材料からなり
    、前記高温センサー(100)の第2接続部(112)に接続され、前記ケース
    (300)の第2端部方向に延びている第2導体路(266)と、 前記ケース(300)の第2端部の近くに設けられ、かつ前記高温センサー(
    100)によって作られた信号を取り出すために非高温安定材料によりリード線
    (402,404)を接続するのに使用される接続点(214,302)とを含
    んでいる混成高温検出器。
  2. 【請求項2】 前記高温測定素子(106)は高温安定材料からなるパター
    ン化された膜であり、 前記第1接続部(108)、第2接続部(112)及びパターン化された膜(
    106)は同じ高温安定材料からなり、セラミック基板(102)上に形成され
    ている請求項1に記載の混成高温検出器。
  3. 【請求項3】 前記第1と第2の導体路(206,266)は、前記第1接
    続部(108)、第2接続部(112)及びパターン化された膜(106)を形
    成するのに使用されたのと同じ高温安定材料で形成されている請求項2に記載の
    混成高温検出器。
  4. 【請求項4】 前記第1導体路(206)は、前記第2の細長いセラミック
    基板(200)の面で前記第1セラミック基板(230)に対向する前記第1面
    に配置され、第2端部(204)の近くに設けられた貫通接触手段(210)を
    介して第2の細長いセラミック基板(200)の前記第2面上の接続点である第
    1接続領域(214)に接続されており、かつ 前記第2導体路(266)は、前記第3の細長いセラミック基板(260)の
    面で前記第1セラミック基板(230)に対向する前記第1面に配置され、第2
    端部(268)の近くに設けられた貫通接触手段(270)を介して第3の細長
    いセラミック基板(260)の第2面上の接続点である第2接続領域(302)
    に接続されている請求項1から4のいずれかに記載の混成高温検出器。
  5. 【請求項5】 前記ケース(300)の前記第1端部と第2端部の間に配置
    された熱遮蔽(406)を含んでいる請求項1から4のいずれかに記載の混成高
    温検出器。
  6. 【請求項6】 前記熱遮蔽(406)は金属材料又はセラミック材料からな
    る請求項5に記載の混成高温検出器。
  7. 【請求項7】 前記高温安定材料は白金である請求項1から6のいずれかに
    記載の混成高温検出器。
  8. 【請求項8】 以下のステップを含んで混成高温検出器を製造する方法。 a)高温測定膜(106)、高温安定材料からなり前記高温測定素子(106
    )に接続された第1接続部(108)及び高温安定材料からなり前記高温測定素
    子(106)に接続された第2接続部(112)を含んでいる高温センサー(1
    00)を準備するステップ、 b)第1セラミック基板(230)の第1端部(234)の近くに配置された
    開口部(232)内に前記高温センサー(100)を配置するステップ、 c)第2セラミック基板(200)上に配置されて第2セラミック基板(20
    0)の第2端部へ延びている導体路(206)が前記高温センサー(100)の
    第1接続部(108)と接続されるように、前記第1セラミック基板(230)
    を第2セラミック基板(200)と融合させるステップ、 d)第3セラミック基板(260)上に配置されて第3セラミック基板(26
    0)の第2端部へ延びている導体路(266)が前記高温センサー(100)の
    第2接続部(112)と接続されるように、前記第1セラミック基板(230)
    を第3セラミック基板(260)と融合させるステップ、 e)前記高温センサー(100)によって作られた信号を取り出すように非高
    温安定材料によりリード線(402,404)を接続するために、前記第2の細
    長いセラミック基板(200)に第1接続領域(214)を形成し、前記第3の
    細長いセラミック基板(260)に第2接続領域(302)を形成するステップ
  9. 【請求項9】 第1と第2の導体路(206,266)を、前記第2、第3
    のセラミック基板(200,260)のそれぞれの第2端部(204,268)
    の近くに配置された第1及び第2の接続領域(214,302)と接触させるス
    テップを含む請求項8に記載の方法。
  10. 【請求項10】 前記第1、第2及び第3のセラミック基板を融合して得ら
    れたケース(300)の第1端部と第2端部の間に熱隔壁(406)を配置する
    ステップを含む請求項8又は9に記載の方法。
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Families Citing this family (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19936924C1 (de) 1999-08-05 2001-06-13 Georg Bernitz Vorrichtung zur Hochtemperaturerfassung und Verfahren zur Herstellung derselben
JP2004241754A (ja) * 2002-07-16 2004-08-26 Chem Art Technol:Kk 基板処理方法及び基板処理装置
DE10356367B4 (de) 2003-11-28 2009-06-10 Georg Bernitz Verfahren zur Herstellung eines Bauelements und Bauelement
US7316507B2 (en) 2005-11-03 2008-01-08 Covidien Ag Electronic thermometer with flex circuit location
US7749170B2 (en) * 2007-05-22 2010-07-06 Tyco Healthcare Group Lp Multiple configurable electronic thermometer
US8496377B2 (en) 2007-12-31 2013-07-30 Covidien Lp Thermometer having molded probe component
DK2312288T3 (da) * 2009-10-16 2013-02-18 Jumo Gmbh & Co Kg Temperatursensor med printplade med flere lag
DE102010048309A1 (de) * 2010-10-14 2012-04-19 Continental Automotive Gmbh Verfahren zur Herstellung eines Hochtemperatur-Sensors und Hochtemperatur-Sensor
DE102010050315C5 (de) * 2010-11-05 2014-12-04 Danfoss Silicon Power Gmbh Verfahren zur Herstellung von gesinterten, elektrischen Baugruppen und damit hergestellte Leistungshalbleitermodule
DE102011103828B4 (de) * 2011-06-01 2017-04-06 Heraeus Sensor Technology Gmbh Massenproduktion kleiner Temepratursensoren mit Flip-Chips
DE102011103827B4 (de) * 2011-06-01 2014-12-24 Heraeus Sensor Technology Gmbh Verfahren zur Herstellung eines Temperatursensors
DE102011089608A1 (de) * 2011-12-22 2013-06-27 Horst Siedle Gmbh & Co. Kg Gehäuseteil für einen elektrischen Sensorsowie Verfahren zur Herstellung des Gehäuseteils

Family Cites Families (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3105229A (en) * 1958-12-08 1963-09-24 Sturm Justin Temperature sensing device
EP0017359B1 (en) * 1979-03-20 1984-08-01 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Ceramic type sensor device
US4485670A (en) * 1981-02-13 1984-12-04 The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration Heat pipe cooled probe
US4505807A (en) * 1982-02-22 1985-03-19 Ngk Spark Plug Co., Ltd. Oxygen sensor
DE3733193C1 (de) * 1987-10-01 1988-11-24 Bosch Gmbh Robert NTC-Temperaturfuehler sowie Verfahren zur Herstellung von NTC-Temperaturfuehlerelementen
JPH0310131A (ja) * 1989-06-07 1991-01-17 Ngk Spark Plug Co Ltd 高温用サーミスタ
DE3941837C2 (de) * 1989-12-19 1994-01-13 Bosch Gmbh Robert Widerstandsmeßfühler zur Erfassung des Sauerstoffgehaltes in Gasgemischen und Verfahren zu seiner Herstellung
EP0471316B1 (de) * 1990-08-17 1996-09-18 Sensycon Gesellschaft Für Industrielle Sensorsysteme Und Prozessleittechnik Mbh Sensor für thermische Massenstrommesser
JP3175890B2 (ja) * 1993-12-27 2001-06-11 日本碍子株式会社 温度センサ
CN1052299C (zh) * 1995-05-11 2000-05-10 松下电器产业株式会社 温度传感元件和装有它的温度传感器及温度传感元件的制造方法
DE19621000C2 (de) * 1996-05-24 1999-01-28 Heraeus Sensor Nite Gmbh Temperatur-Sensor mit einem Meßwiderstand
US6140906A (en) * 1996-11-08 2000-10-31 Tdk Corporation Resistive temperature sensor and manufacturing method therefor
US6081182A (en) * 1996-11-22 2000-06-27 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Temperature sensor element and temperature sensor including the same
DE19742696A1 (de) * 1997-09-26 1999-05-06 Siemens Matsushita Components Bauelement mit planarer Leiterbahn
DE19750123C2 (de) * 1997-11-13 2000-09-07 Heraeus Electro Nite Int Verfahren zur Herstellung einer Sensoranordnung für die Temperaturmessung
EP0973020B1 (de) * 1998-07-16 2009-06-03 EPIQ Sensor-Nite N.V. Elektrischer Temperatur-Sensor mit Mehrfachschicht
DE19901183C2 (de) * 1999-01-14 2001-01-25 Sensotherm Temperatursensorik Platintemperatursensor und Herstellungsverfahren für denselben
DE19901184C1 (de) * 1999-01-14 2000-10-26 Sensotherm Temperatursensorik Platintemperatursensor und Verfahren zur Herstellung desselben
DE19936924C1 (de) 1999-08-05 2001-06-13 Georg Bernitz Vorrichtung zur Hochtemperaturerfassung und Verfahren zur Herstellung derselben

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