JP3175890B2 - 温度センサ - Google Patents
温度センサInfo
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- G01K7/16—Measuring temperature based on the use of electric or magnetic elements directly sensitive to heat ; Power supply therefor, e.g. using thermoelectric elements using resistive elements
- G01K7/18—Measuring temperature based on the use of electric or magnetic elements directly sensitive to heat ; Power supply therefor, e.g. using thermoelectric elements using resistive elements the element being a linear resistance, e.g. platinum resistance thermometer
- G01K7/183—Measuring temperature based on the use of electric or magnetic elements directly sensitive to heat ; Power supply therefor, e.g. using thermoelectric elements using resistive elements the element being a linear resistance, e.g. platinum resistance thermometer characterised by the use of the resistive element
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- G01K2205/00—Application of thermometers in motors, e.g. of a vehicle
- G01K2205/04—Application of thermometers in motors, e.g. of a vehicle for measuring exhaust gas temperature
Description
ミックとのサーメットを抵抗体として用いた温度センサ
に関し、精度が高く、高温での信頼性が高い温度センサ
を提供する。
体を設け、この抵抗体をレーザーでトリミングして所定
の抵抗値とし、抵抗体上にガラスを被覆した温度センサ
が知られている(特開平4−279831号公報)。
ザー照射を受けてトリミングされる工程において、抵抗
体の温度が上昇するが、抵抗体の抵抗温度係数が大きい
ため、抵抗体の抵抗値の精度を高くすることが難しく、
個々の温度センサの抵抗値はバラツキが大きくなる場合
があった。また、抵抗体を被覆するガラス被覆層は耐熱
性が限られているので、高温で温度センサを使用できな
い場合があった。
て、高温で又は酸化若しくは還元雰囲気中で用いられる
ことがある。更に、温度センサは、自動車の排気ガス、
工場の排気ガス等の腐食性ガスを含む雰囲気で用いられ
ることもある。温度センサの抵抗体は、これらの雰囲気
で劣化し、抵抗値が経時変化する場合があった。
れらの上記の課題を解決することを目的とする。即ち、
本発明によれば、セラミック基体と、該セラミック基体
に埋没され、かつ、正の抵抗温度係数を有する抵抗体
と、該抵抗体に電流を印加するための電流リードと、該
抵抗体の電圧を検出するための電圧リードと、該電圧リ
ード間に発生する電圧を分圧する分圧抵抗体とを有し、
該抵抗体が、金属、合金、又は、金属とセラミックとの
混合物から構成されており、かつ、該抵抗体に所定の電
流を流した際に発生する電圧が所定電圧値となるように
該分圧抵抗体がトリミング調整されていることを特徴と
する温度センサが提供される。本発明において、該分圧
抵抗体は該セラミック基体の表面の少なくとも一部を被
覆することが好ましい。また、該抵抗体が該セラミック
基体の端部に位置し、該分圧抵抗体が該セラミック基体
の他の端部に位置することが好ましい。更に、本発明に
おいて、該分圧抵抗体がガラスで被覆されていることが
好ましい。更にまた、該分圧抵抗体の抵抗値は、該抵抗
体の抵抗値の100倍以上であることが好ましい。
内部に抵抗体が設けられているので、抵抗体が測定雰囲
気に接触することがなく、抵抗体が劣化し難い。従っ
て、高温酸化雰囲気、高温還元雰囲気、腐食性ガスを含
有する雰囲気でも、本発明の温度センサの安定性は高
い。
抵抗体の抵抗値と比較して、電気的に絶縁性であること
が好ましい。また、熱伝導率が小さい方が、温度センサ
の精度を高めるので好ましい。セラミック基体は、例え
ば、アルミナ、ステアタイト、ムライト等を用いること
ができる。セラミック基体は、全体が同一の材料からな
ることが好ましいが、セラミック基体のある部分が他の
部分と異なる材料であってもよい。また、セラミック基
体は、ガス分子が透過しないように、緻密であることが
好ましい。セラミック基体の形状は、板状に限らず、棒
状、パイプ状であってもよい。この形状は、抵抗体で測
定する温度が、分圧抵抗体に影響を及ぼし難い形状、即
ち、熱伝導率が小さくなるような形状が好ましい。
属を含有する。この金属として白金、ロジウム、ニッケ
ル、タングステン等を用いることができ、特に白金は好
ましい。抵抗体は、これらの金属又はこれらの金属を含
有する合金とセラミックとのサーメットであってもよ
い。また、抵抗体がこれらの金属の単体又はこれらの金
属を含有する合金であってもよいことはいうまでもな
い。本発明の温度センサは、温度変化によって抵抗体の
抵抗値が変化する特性を利用して、温度を測定するもの
である。
るものであり、電圧リードを介して抵抗体に接続する。
分圧抵抗体は、抵抗体と異なって、抵抗温度係数が小さ
いことが好ましい。分圧抵抗体は、例えば、金属又は金
属酸化物がセラミック基体に印刷付与されたもの、金属
又は金属酸化物の粒子がガラスに分散したもの、金属又
は金属酸化物からなる薄膜、金属細線等を用いることが
できる。分圧抵抗体は、セラミック基体の表面の少なく
とも一部を被覆することが好ましく、これにより、分圧
抵抗体をレーザー等でトリミングすることができ、電流
印加時の抵抗体からの出力電圧を調整することができ
る。即ち、所定温度(例えば、25℃)で、抵抗体に所
定の電流を流したときに発生する逆起電力を、出力電圧
として検出しながら、分圧抵抗体をレーザーでトリミン
グすることで、分圧抵抗体の抵抗値を調整することがで
きる。従って、個々の温度センサにおける抵抗体での出
力電圧のバラツキが低減される。
温度係数が小さいので、レーザで分圧抵抗体をトリミン
グすることを、レーザーで抵抗体をトリミングすること
と比較すると、レーザー照射を受ける分圧抵抗体に発生
する熱に起因する分圧抵抗体の抵抗値の誤差が小さくな
る。更にまた、分圧抵抗体は、温度を測定する雰囲気に
は接触しない部位に配置できるので、分圧抵抗体が劣化
し難くなり、分圧抵抗体は抵抗値が経時変化し難い。
度を高めるために、抵抗体の抵抗値の100倍以上であ
ることが好ましく、1000倍以上であることは更に好
ましい。また、温度を測定する環境又は抵抗体からの伝
熱を避けるため、分圧抵抗体は、抵抗体からある程度離
れた位置に配置することが好ましい。例えば、抵抗体
は、セラミック基体の端部に配置し、分圧抵抗体は、セ
ラミック基体の他の端部に配置することが好ましい。
るため、ガラスで被覆されていることが好ましい。温度
センサで高温を測定するときであっても、分圧抵抗体
は、その高温の影響を被り難い部位に配置できるので、
分圧抵抗体のガラス被覆層は、十分に耐久性を保つこと
ができる。ガラスで被覆する方法は、例えば、ホウケイ
酸鉛ガラス等のガラス粉末をスラリーとし、このスラリ
ーを浸漬、ブレード塗布、スプレー塗布等によって分圧
抵抗体の表面に付着させ、この表面に付着しているスラ
リーを乾燥させ、次いで、焼成することが挙げられる。
に印加して電圧を検出する。この場合、リード、端子パ
ッド等は、抵抗値がかなり高くても、温度を測定する精
度は維持できる。この場合、抵抗体に電流を印加したと
きに発生する電圧を検出するための電圧検出リードを有
する。この電圧検出リードは抵抗体に電気的に接続す
る。抵抗体、リード、端子パッドは、セラミック基体に
印刷塗布されることが好ましい。しかし、ブレード塗
布、スプレー塗布等されてもよい。
る。ただし、本発明は下記実施例により制限されるもの
ではない。 (実施例1)本発明の一実施例の温度センサについて、
図面を参照しながら説明する。図1は、本発明の一実施
例の分解斜視図である。また、図1は、本発明の一実施
例を製造する過程における斜視図として把握することも
できる。セラミック基板1の表面に、白金とアルミナと
の混合ペーストから構成される抵抗体2が印刷付与され
る。図1において、セラミック基板1は、生素地のアル
ミナであって、焼成されていないものである。
の両端に接続された電流リード3、4が印刷付与され
る。電流リード3、4の他方の端部には、セラミック基
板1の側面1sでの導通を確保するための接続パッド
9、10が設けられている。セラミック基板1の表面に
は、抵抗体2の両端に接続された電圧検出リード5、6
が印刷付与される。電圧検出リード5、6の他方の端部
には、セラミック基板1の側面1sでの導通を確保する
ための接続パッド7、8が設けられている。なお、抵抗
体2の端部2aは、電流リード3及び電圧検出リード5
に分枝し、抵抗体2の端部2bは、電流リード4及び電
圧検出リード6に分枝する。
6及び接続パッド7、8、9、10は、例えば、白金と
アルミナとの混合ペーストで構成される。これらは、抵
抗体が印刷付与される工程で、同時に印刷付与されるこ
とが好ましい。しかし、電流リード3、4、電圧検出リ
ード5、6及び接続パッド7、8、9、10の材料は、
抵抗体2と電気的に接続する限り、抵抗体2の材料と同
一性を有する必要はない。セラミック基板11は、セラ
ミック基板1と同一の材料で構成されていることが好ま
しい。図1において、セラミック基板11は、例えば、
生素地のアルミナである。セラミック基板11の側面1
1sには、接続パッド7、8に電気的に接続するための
側面導通12、13が、印刷付与されている。
的に接続する。また、側面導通12、13の間には、分
圧パッド16が印刷付与される。分圧パッドは、側面導
通12、13のほぼ中央に配置してもよい。分圧パッド
16は、端子パッド17に接続する。端子パッド15
と、端子パッド17とは互いに交わらない。端子パッド
15、17及び分圧パッド16は、セラミック基板11
の端部11aの表面に印刷付与される。端子パッド1
5、17及び分圧パッド16は、例えば、白金とアルミ
ナとの混合ペーストで構成される。端子パッド15、1
7及び分圧パッド16の材料は、抵抗体2の材料と同一
性を有する必要はない。
1と同一の材料で構成されていることが好ましい。図1
において、セラミック基板18は、例えば、生素地のア
ルミナである。セラミック基板18の側面18sには、
接続パッド9、10に電気的に接続するための側面導通
19、20が、アルミナ基板18の裏面に延びるように
印刷付与されている。それぞれの側面導通19、20
は、アルミナ基板18の裏面に印刷付与される端子パッ
ド21、22に接続する。側面導通19、20及び端子
パッド21、22は、例えば、白金とアルミナとの混合
ペーストで構成される。しかし、側面導通19、20及
び端子パッド21、22の材料は、抵抗体2の材料と同
一性を有する必要はない。
1、18を互いに積層して、圧着し、次いで、1600
℃で焼成して一体化する。焼成するときの雰囲気は、抵
抗体2がタングステン、ニッケルのとき、還元雰囲気が
好ましく、抵抗体2が白金、ロジウム等のとき、還元雰
囲気でもよければ酸化雰囲気でもよい。側面導通12、
13を接続するため、酸化ルテニウムとガラスとの混合
体からなる分圧抵抗体14が印刷焼き付けされる。この
分圧抵抗体14は、分圧パッド16の少なくとも一部を
被覆し、分圧パッドと電気的に接続する。
より所定の電流を流して、端子パッド15、17で電圧
を検出しながら、分圧抵抗体をレーザーでトリミング
し、検出する電圧が所定の値となるようにして、分圧抵
抗体の抵抗値を調整した。このとき印加する電流は、直
流でもよければ、交流でもよい。
気管31に使用する態様を図2に例示する。温度センサ
30は、ハウジング32を介して、排気管31に装着さ
れる。このとき、抵抗体2が埋設する端部30aが排気
管31の内部に突出させ、分圧抵抗体14を有する端部
30bが排気管31の外部になるように配置する。ハウ
ジング32の内部には、温度センサ30との緩衝部材3
3が設けられている。温度センサ30の基体がセラミッ
クであって、衝撃に弱いため、端部30aは保護カバー
34で覆われている。保護カバー34には、複数個の貫
通孔が設けられ、排気ガスを保護カバー34の内部に導
入できるようにする。
コネクタ36に接続し、端子パッド15、17、21、
22で検出する電気信号をコネクタ36を介してライン
37に伝えることができる。温度センサ30の端部30
b及びコネクタ36はケーシング35に挿入されてい
る。
を積層圧着して、次いで、焼成することで一体化してセ
ラミック基体を形成する。しかし、3つのセラミック基
板が必須であるわけではない。例えば、セラミック基板
18を省略し、セラミック基板1の裏面に、それぞれの
接続パッド9、10に電気的に接続する端子パッドを印
刷付与してもよい。
させる他の手段を記載する。 (実施例2)生素地であって、抵抗体2、リードが設け
られている図1のセラミック基板1の表面に抵抗体2を
被覆して、リードの一部を被覆しないようにセラミック
ペーストを塗布し、これらを焼成して一体化する。図3
で、セラミック基板41a及び被覆層41bを有するセ
ラミック基体41の内部に抵抗体42が埋設する。被覆
層41bに被覆されておらず、かつ、セラミック基板4
1aの表面にあるリードの少なくとも一部を被覆するよ
うに分圧抵抗体を設け、この分圧抵抗体をガラスで更に
被覆する。
面に、実施例1と同様に、抵抗体及びリードを印刷付与
し、抵抗体は、セラミック基板の一方の端部に配置す
る。セラミック基板のその端部をセラミックスラリー中
に浸漬させ、抵抗体を含有する端部をセラミックコート
層で被覆させ、次いで、焼成し、セラミック基板とセラ
ミックコート層とを一体化させることができる。図4
で、セラミック基板46a及び被覆層46bを有するセ
ラミック基体46の内部に抵抗体47が埋設する。被覆
層46bに被覆されておらず、かつ、セラミック基板4
6aの表面にあるリードの少なくとも一部を被覆するよ
うに分圧抵抗体を設け、この分圧抵抗体をガラスで更に
被覆する。
ラミック基体51の内部に抵抗体52が埋設する。抵抗
体52で温度を測定するときの熱が、分圧抵抗体54に
伝導し難くするため、セラミック基体51には、中空部
58が設けられている。
ラミック基体61の内部に抵抗体62が埋設する。抵抗
体62で温度を測定するときの熱が、分圧抵抗体64に
伝導し難くするため、セラミック基体61の端部61a
がそれ以外の部位より薄くなっている。
ラミック基体に埋没するので、抵抗体が劣化し難い。ま
た、分圧抵抗体の抵抗値を調整できるので、温度センサ
の出力電圧のバラツキが小さくなる。更に、分圧抵抗体
の抵抗値を、抵抗体の抵抗値より大きくすることで、温
度センサの精度を向上することができる。
である。
である。
である。
である。
る。
る。
・・電流リード、4・・・電流リード、5・・・電圧検出リー
ド、6・・・電圧検出リード、7・・・接続パッド、8・・・接
続パッド、9・・・接続パッド、10・・・接続パッド、11
・・・セラミック基板、11s・・・側面、12・・・側面導
通、13・・・側面導通、14・・・分圧抵抗体、15・・・端
子パッド、16・・・分圧パッド、17・・・端子パッド、1
8・・・セラミック基板、18s・・・側面、19・・・側面導
通、20・・・側面導通、21・・・端子パッド、22・・・端
子パッド、30・・・温度センサ、31・・・排気管、32・・
・ハウジング、33・・・緩衝部材、34・・・保護カバー、
35・・・ケーシング、36・・・コネクタ、37・・・ライ
ン、41・・・セラミック基体、41a・・・セラミック基
板、41b・・・被覆層、42・・・抵抗体、46・・・セラミ
ック基体、46a・・・セラミック基板、46b・・・被覆
層、47・・・抵抗体、50・・・温度センサ、51・・・セラ
ミック基体、52・・・抵抗体、53・・・側面導通、54・・
・分圧抵抗体、55・・・端子パッド、56・・・分圧パッ
ド、57・・・端子パッド、58・・・中空部、60・・・温度
センサ、61・・・セラミック基体、61a・・・端部、62
・・・抵抗体、63・・・側面導通、64・・・分圧抵抗体、6
6・・・端子パッド、66・・・分圧パッド、67・・・端子パ
ッド
Claims (1)
- 【請求項1】 セラミック基体と、該セラミック基体に
埋没され、かつ、正の抵抗温度係数を有する抵抗体と、
該抵抗体に電流を印加するための電流リードと、該抵抗
体の電圧を検出するための電圧リードと、該電圧リード
間に発生する電圧を分圧する分圧抵抗体とを有し、該抵
抗体が、金属、合金、又は、金属とセラミックとの混合
物から構成されており、かつ、該抵抗体に所定の電流を
流した際に発生する電圧が所定電圧値となるように該分
圧抵抗体がトリミング調整されていることを特徴とする
温度センサ。
Priority Applications (4)
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---|---|---|---|
JP32930693A JP3175890B2 (ja) | 1993-12-27 | 1993-12-27 | 温度センサ |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP32930693A JP3175890B2 (ja) | 1993-12-27 | 1993-12-27 | 温度センサ |
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JP3175890B2 true JP3175890B2 (ja) | 2001-06-11 |
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ID=18219992
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
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Country Status (4)
Country | Link |
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JP (1) | JP3175890B2 (ja) |
DE (1) | DE4445243C2 (ja) |
GB (1) | GB2285138B (ja) |
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