DE19934110C2 - Temperaturfühler - Google Patents

Temperaturfühler

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Description

Stand der Technik
Die Erfindung betrifft einen Temperaturfühler, insbesondere zur Überwachung der Temperatur von Abgasen einer Brennkraftmaschine, nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1. Ein solcher Temperaturfühler ist aus der DE 37 33 192 C1 bekannt.
In der DE 40 25 715 C1 ist ein Temperaturfühler beschrieben, der zur Steigerung der Meßgenauigkeit eine Widerstandsbahn aufweist, die in zwei separaten Schichtebenen des Sensors angeordnet ist. Dies ermöglicht eine verlängerte Widerstandsbahn mit höherem Meßwiderstand, ohne daß eine Vergrößerung des Temperaturfühlers in Kauf genommen werden muß.
Der DE 44 45 243 A1 und der DE 196 05 468 C2 sind Temperaturfühler zu entnehmen, die zur Verbesserung ihrer Meßgenauigkeit u. a. eine Aussparung zwischen sensitivem Bereich und ihrer Halterung aufweisen. Durch die Aussparung wird eine thermische Entkopplung von Meß- und Halterungsbereich erreicht.
Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, einen Temperaturfühler mit hoher Meßgenauigkeit und einfachem Aufbau zu realisieren.
Vorteile der Erfindung
Durch die vorliegende Erfindung wird ein Tempera­ turfühler geschaffen, dessen Meßgenauigkeit verbes­ sert und dessen Trägheit verringert ist.
Um diese Vorteile zu erreichen, ist bei einem Tem­ peraturfühler der oben beschriebenen Art vorgese­ hen, daß ein zwischen den zwei Endabschnitten lie­ gender Mittelbereich strukturiert ist, um einen hö­ heren thermischen Widerstand als ein Endabschnitt aufzuweisen.
Diese Strukturierung vermindert den Wärmefluß zwi­ schen dem sensitiven Abschnitt und dem Halterungs­ abschnitt, der zur Verankerung des Temperaturfüh­ lers in einer Fassung und zur elektrischen Kontak­ tierung dient. Eventuelle Temperaturabweichungen zwischen einer solchen Fassung und dem sensitiven Abschnitt verfälschen daher das Meßergebnis nur wenig. Da durch die Strukturierung des Mittelbe­ reichs der Abfluß von Wärme vom sensitiven Ab­ schnitt durch den Träger erschwert ist, hat der sensitive Abschnitt im Betrieb meist eine recht ho­ mogene Temperaturverteilung. Der gemessene Wider­ standswert des Widerstandselements erlaubt daher einen genauen Rückschluß auf die Temperatur. Außer­ dem führt die Strukturierung dazu, daß auch bei Vorhandensein einer Abweichung zwischen der Tempe­ ratur eines zu messenden Mediums und der Fassung eine stationäre Temperatur des sensitiven Ab­ schnitts, die der tatsächlichen, zu messenden Tem­ peratur näher kommt, schneller erreicht wird als bei einem entsprechenden nicht strukturierten Temperaturfühler.
Die Strukturierung besteht vorzugsweise aus einer Verminderung des Querschnitts des Trägers im Mit­ telbereich, verglichen mit den Endabschnitten, ins­ besondere in Form von wenigstens zwei Durchbre­ chungen oder Vertiefungen, die an verschiedenen Seiten des Trägers ausgebildet sind.
Die Vertiefungen oder Durchbrechungen können in den Träger gefräst, gebohrt oder geschliffen sein. Bei einem Träger aus Keramikmaterial wird die Durchbrechung oder Vertiefung vorzugsweise vor dem Sintern erzeugt.
Bei einem aus einer Mehrzahl von Schichten aufge­ bauten Träger können die Vertiefungen des Mittelbereichs alternativ auch dadurch gebildet sein, daß we­ nigstens eine durchbrochene Schicht und wenigstens eine geschlossene Schicht zusammengefügt sind.
Das temperaturempfindliche Widerstandselement kann zum Beispiel in Form eines Mäander- oder Zickzack­ musters in einer oder sogar mehreren Ebenen an dem sensitiven Abschnitt angeordnet sein. Diese relativ große Länge des Widerstandselements trägt dazu bei, daß ein starkes, rauscharmes Nutzsignal in Form ei­ ner temperaturabhängigen Widerstandsänderung ge­ messen werden kann. Dabei hat die große Länge des Widerstandselements, die im Betrieb einer relativ homogenen Temperatur ausgesetzt ist, den zusätzli­ chen Vorteil, daß temperaturabhängige Wider­ standsänderungen von Leiterbahnen, die das Wider­ standselement mit den Kontakten verbinden, und die sich entlang des Halterungsabschnitts bei unter­ schiedlichen Temperaturen erstrecken, das Meßergeb­ nis nur wenig verfälschen können.
Das Widerstandselement ist vorzugsweise aus einem Platin-Aluminiumoxid-Gemisch oder allgemein aus platinummantelten, nichtleitenden Keramikteilchen gebildet.
Um den Einfluß der Zuleitungen, das heißt der Lei­ terbahnen des Halterungsabschnitts, die das Wider­ standselement mit den Kontakten verbinden, auf den gemessenen Widerstandswert gering zu halten, ist es ferner zweckmäßig, für diese Zuleitungen eine an­ dere Materialzusammensetzung als für das Wider­ standselement des zweiten Endbereichs zu wählen. Insbesondere können die Zuleitungen aus metalli­ schem Platin bestehen.
Ausführungsbeispiele der Erfindung werden im folgenden mit Bezug auf die Figuren beschrieben.
Figuren
Es zeigen:
Fig. 1 eine Draufsicht auf einen Temperatursen­ sor gemäß der Erfindung;
Fig. 2A bis 2C Schnitte durch der Sensor aus Fig. 1 entlang der Linie II-II gemäß unterschiedlichen Ausge­ staltungen der Erfindung; und
Fig. 3 einen Schnitt entlang der Linie III- III aus Fig. 1 gemäß einer Ausgestaltung der Er­ findung.
Beschreibung der Ausführungsbeispiele
Fig. 1 zeigt eine Draufsicht auf einen Temperatursensor 1 gemäß der Erfindung. Auf einem Träger 2 aus Oxidkeramikmaterial sind Leiterbahnen 3, 4, ein Wi­ derstandselement 5 und elektrische Kontakte 6 angeordnet. Die elektrischen Kontakte 6 befinden sich in einem ersten Endabschnitt 7 des Trägers 2, als Halterungsabschnitt bezeichnet, der zum Einstecken oder Einklemmen in einer (nicht dargestellten) Fas­ sung vorgesehen ist, die zu den Kontakten 6 komple­ mentäre Kontakte aufweist, und über die der Tempe­ ratursensor mit einer Meßspannung versorgt werden kann.
Die Leiterbahnen 3, 4 erstrecken sich geradlinig über einen Mittelbereich 8 des Trägers 2 bis in die Umgebung einer an der Oberfläche des Trägers 2 gebil­ deten Aussparung 9. Die Leiterbahnen 3, 4 bestehen aus metallischem Platin. Die Länge des Mittelbe­ reichs 8 macht mehr als die Hälfte der Länge des Trägers 2 aus.
An die Aussparung 9 schließt sich ein sensitiver Abschnitt 10 des Trägers 2 an. Die Länge dieses sen­ sitiven Abschnitts 10 ist etwa ein Viertel der Ge­ samtlänge des Trägers 2. In diesem Abschnitt 10 bildet das Widerstandselement 5 eine Verbindung zwischen den Leiterbahnen 3, 4. Der Querschnitt des Widerstandselements 5 ist geringer als der der Lei­ terbahnen 3, 4, außerdem besteht es aus einem Mate­ rial mit höherem Flächenwiderstand, wie etwa pla­ tinummantelten Keramikteilchen, insbesondere Alumi­ niumoxid-Teilchen oder einer Mischung von Pt mit nichtleitenden Keramikteilchen. Das Widerstandsele­ ment 5 verläuft im Zickzack auf einem großen Teil der Fläche des sensitiven Abschnitts 10, so daß seine Gesamtlänge wesentlich größer ist als die Länge oder Breite dieses Abschnitts 10. Hierdurch, durch die Wahl des Materials und durch den im Vergleich zu den Leiterbahnen 3, 4 verringerten Querschnitt wird erreicht, daß das Widerstandselement 5 den bei weitem überwiegenden Teil zum gesamten elektrischen Widerstand des Temperatursensors beiträgt. Die Tem­ peraturabhängigkeit dieses Widerstands ist daher praktisch ausschließlich abhängig von der Tempera­ tur des sensitiven Abschnitts 10. Der Halterungsab­ schnitt 7, an dem der Temperatursensor gehalten ist, ist unter normalen Betriebsbedingungen erheb­ lich kühler als der sensitive Abschnitt 10. Durch die Aussparung 9 wird erreicht, daß das unvermeid­ liche Temperaturgefälle zwischen den zwei Abschnit­ ten 7,10 sich großenteils auf den Bereich der Aus­ sparung 9 konzentriert, wo der Querschnitt des Trä­ gers verringert und infolgedessen sein thermischer Widerstand erhöht ist; der sensitive Abschnitt 10 selber hat infolgedessen eine relativ homogene Tem­ peratur, auf die aus einem gemessenen elektrischen Widerstand des Temperatursensors eindeutig und ex­ akt rückgeschlossen werden kann. Infolge der Anord­ nung der Aussparung 9 in unmittelbarer Nähe zum zweiten Endbereich wird der Anteil der Masse des Temperatursensors, der einer Temperaturänderung des zu messenden Mediums folgen muß, klein gehalten. Daher vermag der Sensor Temperaturänderungen sehr schnell zu folgen.
Fig. 2 zeigt nicht maßstabsgetreu verschiedene mögliche Querschnitte von Temperatursensoren ent­ lang der Linie II-II aus Fig. 1.
Bei der in Fig. 2A gezeigten ersten Variante ist auf einem Trägertape 12 aus Yttrium-stabilisierter Zirkonoxidkeramik eine Isolierungsschicht 13, das im Zickzack oder in Mäandern verlaufende Wider­ standselement 5, darüber eine zweite Isolierungs­ schicht 14 und schließlich ein sogenanntes Abdeck­ tape 15 aufgebracht. Aufgabe der Isolierungsschich­ ten 13, 14 aus Aluminiumoxidkeramik ist, die Leiter­ bahn elektrisch von Träger- und Abdecktape 12,15 zu isolieren. Der Grund dafür ist, daß bei den von dem Sensor zu erfassenden Temperaturen, nämlich den Temperaturen eines Sauerstoff-Sensors zur Überwa­ chung des Abgases einer Brennkraftmaschine, die - aufgrund ihrer guten thermomechanischen Eigenschaf­ ten als Material für den Träger 2 bevorzugte - Zir­ konoxidkeramik geringfügig elektrisch leitend wird, Aluminiumoxidkeramik hingegen nicht.
Um Gase aus der Umgebung des Temperatursensors daran zu hindern, zum Widerstandselement 5 vorzu­ dringen und diese bei den hohen Arbeitstemperaturen des Sensors zu beschädigen, sind die Isolierungs­ schichten 13, 14 und das Widerstandselement 5 auch an den Seiten von gasdichten Wänden 16 aus Zir­ konoxidkeramik umgeben.
Die Dicke der Tapes 12, 15 ist in dem Bereich, in dem diese die Mäander des Widerstandselements 5 überdecken, verringert. Die Verringerung der Dicke kann durch vollflächiges Abschleifen oder Abfräsen des durch ein Bindemittel zusammengehaltenen Tapes vor dem Sintern erfolgen, wie für das Trägertape 12 dargestellt, es kann aber auch selektiv eine Aus­ sparung 17 über dem im Zickzack verlaufenden Be­ reich der Leiterbahn 5 erzeugt werden, wie am Bei­ spiel des Abdecktapes 15 dargestellt. An den Seiten der Aussparung 17 stehenbleibende Stege 18 dienen zur Aufrechterhaltung der mechanischen Festigkeit des Sensors.
Eine solche Verringerung der Dicke kann selbstver­ ständlich auch an nur einem der Tapes 12, 15 durch­ geführt werden.
Der Temperatursensor kann hergestellt werden durch sukzessives Siebdrucken des Trägertapes 12, der Isolierungsschicht 13, der Leiterbahn 5, der Isolie­ rungsschicht 14, der Wände 16 und des Abdecktapes 15 und anschließendes Sintern des erhaltenen Ver­ bundes bei Temperaturen im Bereich von 1350 bis 1360°C. Diese Temperatur genügt, um das Zirkonoxid der Tapes 12, 15 und der Wände 16 luftdicht sintern zu lassen, während beim Aluminiumoxid der Isolie­ rungsschichten 13, 14 eine gewisse Restpororität be­ stehen bleibt.
Fig. 2B zeigt eine Schichtstruktur des Sensors, mit der sich eine besonders kurze Reaktionszeit des Sensors erzielen läßt.
Zwei Tapes 12, 15 aus Yttrium-stabilisiertem Zir­ konoxid sind übereinander aufgetragen, um einen Träger von ausreichender mechanischer Festigkeit aufzubauen. Auf diesem befindet sich eine erste Isolierungsschicht 13, die zusammen mit einer zwei­ ten Isolierungsschicht 14, die eine Außenfläche des Sensors bildet, die Leiterbahn 5 einschlieft. An­ ders als bei den Ausgestaltungen der Fig. 2A, 2B bilden hier die Isolierungsschichten 13, 14 Außenflächen des Sensors; um die Leiterbahn 5 vor der Zerstörung durch eindringende Gase zu schützen, müssen diese Isolierungsschichten 13, 14 luftdicht, aber bei der Ein­ satztemperatur des Sensors elektrisch nicht leitend sein. Dies läßt sich erreichen durch Verwendung von ultrafeinem Aluminiumoxidpulver mit einer Partikel­ größe im Nanometerbereich, das eine niedrigere Sin­ tertemperatur als Aluminiumoxid mit gröberer Kör­ nung aufweist, oder durch Versetzen des die Isolie­ rungsschichten 13, 14 bildenden Aluminiumoxids mit Sinterhilfsmitteln wie etwa Magnesiumoxid oder Si­ liciumdioxid.
Die Masse des sensitiven Abschnitts 10 und damit seine thermische Trägheit ist durch Aussparungen 17 im Zirkonoxidmaterial des Tapes verringert.
Denkbar ist auch, wie in Fig. 2C angedeutet, eines der Tapes 12 im sensitiven Abschnitt 10 vollständig abzutragen oder von vornherein nicht vorzusehen, wenn dies im Hinblick auf die erforderliche mecha­ nische Festigkeit des Sensors vertretbar ist.
Eine weitere Möglichkeit, die Masse des sensitiven Abschnitts 10 gering zu halten ist die, das Wider­ standselement 5 in mehreren, voneinander elektrisch isolierten Schichten übereinander anzuordnen. Dies verringert bei gleichbleibender Länge des Wider­ standselements die für es benötigte Trägerfläche und damit die benötigte Masse des sensitiven Ab­ schnitts 10.
Fig. 3 zeigt einen möglichen Querschnitt des Temperatursensors aus Fig. 1 in Höhe der Linie III-III, bei dem eine Mehrzahl von Aussparungen 9 im Mittelbereich 8 vorgesehen ist. Falls wie hier die Aussparungen 9 als Sacklöcher ausgebildet sind, ist es zweckmäßig, diese abwechselnd an ver­ schiedenen Seiten des Trägers 2 auszubilden, und so nicht nur den effektiven Wärmeleitungsquerschnitt des Temperatursensors im Bereich einer Aussparung 9 zu verringern, sondern zusätzlich die effektive Weglänge für einen Teil des Wärmeflusses zu vergrö­ ßern.
Diese Variante kann mit einem beliebigen Schichtaufbau des Trägers 2 kombiniert werden, wes­ wegen in der Figur auch die einzelnen Schichten nicht dargestellt sind.

Claims (11)

1. Temperaturfühler (1), insbesondere zur Überwachung der Temperatur eines Abgases einer Brennkraftmaschine, mit einem Träger (2) aus Keramikmaterial und einem an einem ersten Endabschnitt des Trägers (2), als sensitiver Abschnitt (10) bezeichnet, angeordneten temperaturabhängigen Widerstandselement (5), und an einem zweiten Endabschnitt des Trägers (2), als Halterungsabschnitt (7) bezeichnet, angeordneten elektrischen Kontakten (6), und sich über einen Mittelbereich (8) des Trägers (2) erstreckenden, die Kontakte (6) mit dem Widerstandselement (5) verbindenden Leiterbahnen (3, 4), dadurch gekennzeichnet, daß im Mittelbereich (8) des Trägers (2) mindestens zwei Aussparungen (9) ausgebildet sind, damit der Mittelbereich (8) jeweils einen höheren thermischen Widerstand als der erste oder der zweite Endabschnitt (7, 10) aufweist, und daß die Aussparungen (9) an verschiedenen Seiten des Trägers (2) ausgebildet sind.
2. Temperaturfühler nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Aussparungen (9) als Sacklöcher ausgebildet sind.
3. Temperaturfühler nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Träger (2) aus einer Mehrzahl von Schichten aufgebaut ist, und daß die Aussparungen (9) des Mittelbereichs (8) durch wenigstens eine durchbrochene Schicht und wenigstens eine geschlossene Schicht gebildet sind.
4. Temperaturfühler nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Aussparungen (9) unmittelbar an den sensitiven Abschnitt (10) angrenzend angeordnet sind.
5. Temperaturfühler nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Länge des sensitiven Abschnitts (10) maximal ein Viertel der Länge des Trägers (2) ausmacht.
6. Temperaturfühler nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Widerstandselement (5) in mehreren Ebenen angeordnet ist.
7. Temperaturfühler nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Widerstandselement (5) aus platinummantelten nichtleitenden Keramikteilchen gebildet ist.
8. Temperaturfühler nach einem der vorhergehenden Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß das Widerstandselement (5) aus einem Platin-Aluminiumoxid- Gemisch gebildet ist.
9. Temperaturfühler nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Leiterbahnen (3, 4) eine andere Zusammensetzung als das Widerstandselement (5) haben.
10. Temperaturfühler nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Leiterbahnen (3, 4) aus metallischem Platin bestehen.
11. Temperaturfühler nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der sensitive Abschnitt (10) wenigstens stellenweise eine geringere Dicke als der Halterungsabschnitt (7) aufweist.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102009000942A1 (de) 2009-02-18 2010-08-19 Robert Bosch Gmbh Messvorrichtung
CN113167658A (zh) * 2018-12-12 2021-07-23 罗伯特·博世有限公司 传感器、电能存储器和设备

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10045940B4 (de) * 2000-09-16 2017-08-03 Robert Bosch Gmbh Temperaturfühler
DE20211328U1 (de) * 2002-07-26 2002-10-17 Günther GmbH & Co., Metallverarbeitung, 35066 Frankenberg Temperaturfühler und Heizvorrichtung für Heißkanalsysteme
GB0313703D0 (en) * 2003-06-13 2003-07-16 Ceramaspeed Ltd Temperature sensor assembly for an electrical heating arrangement
GB0402412D0 (en) * 2004-02-04 2004-03-10 Ceramaspeed Ltd Temperature sensor assembly
DE102005061703A1 (de) * 2005-12-21 2007-07-05 Innovative Sensor Technology Ist Ag Vorrichtung zur Bestimmung und/oder Überwachung einer Prozessgrösse und Verfahren zur Herstellung einer entsprechenden Sensoreinheit
DE102012110210B4 (de) * 2012-10-25 2017-06-01 Heraeus Sensor Technology Gmbh Hochtemperaturchip mit hoher Stabilität

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3733192C1 (de) * 1987-10-01 1988-10-06 Bosch Gmbh Robert PTC-Temperaturfuehler sowie Verfahren zur Herstellung von PTC-Temperaturfuehlerelementen fuer den PTC-Temperaturfuehler
DE4025715C1 (de) * 1990-08-14 1992-04-02 Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart, De
DE4445243A1 (de) * 1993-12-27 1995-06-29 Ngk Insulators Ltd Temperaturfühler
DE19605468C2 (de) * 1995-02-15 1998-11-19 Murata Manufacturing Co Platintemperatursensor

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63102204A (ja) * 1986-10-17 1988-05-07 松下電器産業株式会社 温度センサ
DE3923535C1 (de) * 1989-07-15 1990-10-31 Heraeus Sensor Gmbh, 6450 Hanau, De
DE19621000C2 (de) * 1996-05-24 1999-01-28 Heraeus Sensor Nite Gmbh Temperatur-Sensor mit einem Meßwiderstand
JPH10308301A (ja) * 1997-05-08 1998-11-17 Tdk Corp 抵抗型温度センサー
JPH11121214A (ja) * 1997-10-14 1999-04-30 Murata Mfg Co Ltd 温度センサ素子の製造方法

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3733192C1 (de) * 1987-10-01 1988-10-06 Bosch Gmbh Robert PTC-Temperaturfuehler sowie Verfahren zur Herstellung von PTC-Temperaturfuehlerelementen fuer den PTC-Temperaturfuehler
DE4025715C1 (de) * 1990-08-14 1992-04-02 Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart, De
DE4445243A1 (de) * 1993-12-27 1995-06-29 Ngk Insulators Ltd Temperaturfühler
DE19605468C2 (de) * 1995-02-15 1998-11-19 Murata Manufacturing Co Platintemperatursensor

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102009000942A1 (de) 2009-02-18 2010-08-19 Robert Bosch Gmbh Messvorrichtung
CN113167658A (zh) * 2018-12-12 2021-07-23 罗伯特·博世有限公司 传感器、电能存储器和设备

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