JP4229986B2 - 新規なコンタクト形成手段を有する圧電式アクチュエータおよび製造方法 - Google Patents

Description

圧電式アクチュエータは通例、スタックに配置されている複数のピエゾエレメントから成っている。これらエレメントの方はそれぞれピエゾセラミック層から成っていて、これらの層は両側に金属性の電極を備えている。これらの電極に電圧が印加されると、ピエゾセラミック層は反応して格子が歪み、この歪みにより主軸に沿って利用可能な長さの伸びが生じる。この伸びは主軸に沿った層厚の千分の２より僅かであるので、所望の絶対的な長さの伸びを実現するためにはアクティブなピエゾセラミックの相応の大きな層厚が用意されなければならない。しかしピエゾエレメント内のピエゾセラミック層の層厚が増大するに従って、ピエゾエレメントを応答させるために必要な電圧も上昇する。この電圧を制御可能な範囲内で実現するために、多層のアクチュエータが製造され、この場合ピエゾエレメントの厚さは通例、２０〜２００μｍにある。
それ故に、多層構造における公知のピエゾアクチュエータは全体で、数百個の個別層から成っている。その製造のために、ピエゾセラミックグリーンシートは電極材料と交番的に配置されて１つのスタックが形成されかつ一緒に、約５ｍｍの高さまでのモノリシックな複合体に積層化されかつ焼結される。比較的大きい絶対変位を有する比較的大きなアクチュエータは例えばこのようなスタックを複数個接着することによって実現することができる。圧電式アクチュエータによって高い力を伝達しなければならないとき殊に、十分に高いスチフネスを有しているのは、完全にモノリシックな多層構造の圧電式アクチュエータだけである。
多層構造におけるこの種の圧電式アクチュエータの電気的なコンタクト形成のために、例えば金属化ストリップが圧電式アクチュエータの外面にまたは個別アクチュエータの面中央において孔内に取り付けられる。例えばそれぞれ１つおきの電極層を金属化ストリップの１つに接続するために、この金属化ストリップはその間に位置する電極層に対して絶縁されなければならない。このことは、それぞれ１つおきの電極層が一方の金属化ストリップの領域において切欠を有し、該切欠において電極層が金属化ストリップまで達しないようにすることで簡単に行うことができる。それから、その他の電極層は第２の金属化ストリップの領域に切欠を有していて、交番的な極性でコンタクトが形成されるようになっている。金属化ストリップに、電気的な接続のための線材がろう付けされている。
電極層の切欠を介して交番的なコンタクト形成が行われる圧電式アクチュエータはコンタクト形成領域において圧電的にはアクティブでない。というのは、そこにはそれぞれ電極が欠けているために電界が形成されることがないからである。このために圧電式アクチュエータの分極の際にも、作動の際にも、この圧電的にアクティブでないコンタクト形成領域において機械的な応力が形成されることになり、この応力が原因で、アクティブでない領域において、ひいては金属化ストリップに電極装置に対して平行に亀裂が生じる可能性がある。このために金属化ストリップが完全に切離され、結果的に、金属化ストリップに外部から点状に電圧を供給する際に、圧電式アクチュエータの一部が電流供給から切り離され、従って非作動状態になる可能性がある。亀裂の数はアクチュエータの全高並びに内部電極とピエゾセラミックとの境界面の強度に依存しておりかつ連続作動時にも、負荷条件が変化すると一層増大する可能性がある。ダイナミック作動においては更に亀裂ないし亀裂開口のダイナミックな変化が生じるので、これにより金属化ストリップはアクチュエータの作動期間に更に損傷を受ける。
本発明の課題は、一層確実でかつ申し分なく取り扱える電気的なコンタクト形成手段を有し、該コンタクト形成手段は亀裂形成に対する安定性が高められている、セラミックアクチュエータ並びに製造方法を提供することである。
この課題は本発明によれば、請求項１に記載のアクチュエータによって解決される。本発明の有利な形態および圧電式アクチュエータを製造するための方法はその他の請求項に記載されている。
本発明のアクチュエータは従来のかつ有利にはモノリシックな構成を有していることができる。スタック形式に、圧電セラミック層および電極層が交番的に上下に配置されておりかつ有利には一緒に焼結されている。スタック体の外側に、電極層のコンタクトを交番的に形成するために本発明によれば、少なくとも２つの導電性のコンタクトタブ片が設けられている。これらは縁を介して電極層と接続されておりかつスタック体の電気的に活性の領域の高さにわたって延在している。これらは接続されている縁の側方に、突出している領域を有しかつスタック体とは反対側の外縁の領域においてスタック体の側方または高さにおいて突出する電気的な接続エレメントを有している。
コンタクトタブ片によって、アクチュエータの作動中場合により、金属化部に発生する亀裂を導電的に橋絡することができる。突出している領域が十分広く選択されていれば、亀裂はコンタクトタブ片内ないし突出している領域内で消えて無くなる。従って、亀裂が金属化部に発生したときですら、アクチュエータの全部の個別エレメントは電気的に機能を維持することができる。それ故に本発明のアクチュエータは、作動時に出力が低下することはない。
外縁における接続エレメントによって、コンタクトタブ片を外部の電流または電圧供給部に対する簡単な接続が可能になる。接続エレメントはコンタクトタブ片をスタック体の側方または高さにおいて突出しておりかつ従って、スタック体をケーシングに組み込む際にも、なお良好に接近操作が可能になりかつこのようにして簡単な電流接続が可能になる。
最も簡単な実施の形態において、接続エレメントはコンタクトタブ片の材料から作成されるもしくはコンタクトタブ片の一体構成部分である。接続エレメントは少なくとも１つの導電層を含んでいる。しかしこれは有利には、少なくとも１つの合成樹脂シートと少なくとも１つの金属シートまたは層とを有する組み合わせ材料から成っている。このような組み合わせ材料は、亀裂に対して非常に強くかつ同時に弾力性が高い場合にも高いフレキシビリティを有している。幾何学的に接続エレメントは、スタック体とは反対側の、コンタクトタブ片の外縁の、上方向への延長部であるかまたは上側の縁の、外方向ないし側方への延長部である。これにより接続が簡単化される他に、接続エレメントは、コンタクトタブ片ないしコンタクトタブ片を備えているアクチュエータを、ケーシングへの組み込み期間に殊に、一層簡単に取り扱えるようにもする。その際、接続エレメントはガイドとして用いることができる。
従って接続エレメントは有利には、それが、コンタクトタブ片の外縁の付加的な機械的な強化となるように実現されている。有利な実施の形態において、接続エレメントは金属性の接続ピンとして実現されている。接続ピンはコンタクトタブ片ないしその金属性の層にろう付けまたは別の方法で導電接続することができる。接続ピンは外縁全体にわたって延在していてよいしまたは縁の一部だけに接続されていても構わない。この形式で機械的に強化する接続エレメントによって、スタック体に固定されるコンタクトタブ片のガイドないし取扱いが容易になる。
接続ピンとして実現されている接続エレメントは、電気的な差込接続の付加的な部分とすることができる。これにより、電圧源に対する極めて簡単な接続が可能になる。
有利には、アクチュエータはスタック体の端面にプリント基板を有している。プリント基板は開口を有しており、これを通って接続エレメントは差し込まれるまたは案内される。接続エレメントが機械的に強化されている場合、開口は、接続エレメントのガイドおよび保持が保証されているような形状を有している。
有利にはプリント基板は、その中にスタック体を固定するための凹所を有している。これにより、コンタクトタブ片を含めたスタック体の、アクチュエータケーシングへの確実な組み込みが可能になり、この場合スタック体は確実に配向されかつセンタリングされる。
プリント基板に、アクチュエータの更に別のエレメントを集積することができる。これらには例えば、温度膨張補償および零点調整のための、力センサ、温度センサ、別のセンサ（例えばホールセンサ）またはスチフネスに対する調整部材としての第２のアクチュエータがある。
アクチュエータにおけるスタック体を機械的に保護するために、アクチュエータは合成樹脂のカバーを有している。このためにスタック体は有利には合成樹脂スリーブに鋳込まれるまたは剛性樹脂によって射出成形される。このために殊に、シリコーン樹脂をベースにしたエラストマーが適している。その際合成樹脂スリーブへの組み込みはプリント基板を用いて行うことができ、その際スタック体、コンタクトタブ片および接続エレメントの簡単なガイドおよび固定が実現される。
アクチュエータの長手方向において、合成樹脂による鋳込みまたは射出成形の際に、補完してアクチュエータを完成する別の上述したエレメントを一緒に、これらが別の仕方で、例えばプリント基板に組み込まれていない場合には、カバー中に組み込むことができる。
次に本発明のアクチュエータ並びにアクチュエータのコンタクトを形成するための方法を実施例および添付の９つの図に基づいて詳細に説明する。
第１図は、コンタクトタブ片および接続エレメントを有するアクチュエータを概略的に示す斜視図であり、
第２図ないし第４図は、種々のコンタクトタブ片の略図であり、
第５図および第６図は、プリント基板を備えた本発明のアクチュエータの横断面略図であり、
第７図は、合成樹脂のスリーブを備えたアクチュエータの横断面略図であり、
第８図は、合成樹脂のスリーブにスタック体を組み入れる様子を概略的に示す斜視図であり、
第９図は、複数のスタック体から形成されているアクチュエータの略図である。
第１図には、本発明のアクチュエータが部分的に示されているが、ここでは分かり易くするために、コンタクトタブ片ＫＦ１だけが示されている。アクチュエータの中心はスタック体Ｓである。これは電極Ｅ１．Ｅ２とセラミック層ＫＳとから交番的に形成されている。ここでは正方形の基面によって示されているアクチュエータは相対向するコーナに金属化ストリップＭＳを備えている。これら金属化ストリップは電極Ｅの幾何学的な構成に基づいてそれぞれ１つおきの電極に接続されているので、全部の個々のアクチュエータエレメントの並列な相互接続が可能である。第１の金属化ストリップＭＳ１に、その全体の高さにわたって、コンタクトタブ片ＫＦ１が１つの縁で、コンタクトタブ片の一部ないし残りがスタック体から側方に突出するように固定されている。スタック体とは反対の外縁の領域に、接続エレメントＡＥが配置されてる。これは、高さまたは側方においてスタック体より突出している。突出している領域の幅ａは、アクチュエータの作動または分極の期間に、金属化部および殊に金属化ストリップＭＳに生じる亀裂がコンタクトタブ片ＫＦ内で終了するのに十分に選択される一方、接続エレメントＡＥがコンタクトタブ片ＫＦないしスタック体Ｓを高さまたは側方に突出している大きさは、アクチュエータのその他の構造、そのケーシングまたはその他の電気的な接続部に依存している。
第２図には本発明の最も簡単な形態が示されているが、ここではコンタクトタブ片および接続エレメントは導電性のシート、例えば銅がコーティングされている合成樹脂シートから予め製造されて作成されている。内側の縁領域において、コンタクトタブ片は狭いろう付け層ＬＳを有している。この層を用いてコンタクトシートを金属化ストリップＭＳに簡単にろう付けすることができる。ろう付け層を用いてコンタクトタブ片は交番的に金属化ストリップなしにスタック体ないし電極層に直接固定することもできる。
固定するための有利でかつ対象を痛めない方法はレーザビームろう付けである。この方法では、熱に敏感な多層構造の熱負荷は最小にしかならない。
第３図には、コンタクトタブ片ＫＦの別の形態が示されており、これはここでも少なくとも１つの導電性の層を有するシートとして実現されている。接続エレメントＡＥはここでは金属性の接続ピンとして実現されており、これは外側の縁の領域においてコンタクトタブ片ＫＦと電気的に接続されておりかつ例えばろう付けされている。接続ピンは例えば円形の横断面を有している。
第４図には、接続エレメントＡＥがコンタクトタブ片の側方の延長部となっている、コンタクトタブ片ＫＦの別の可能な形態が示されている。接続エレメントは図示されているように、金属性の接続ピンと接続されていてよく、そうすることで組み合わされた接続エレメントを形成することができる。
すべての場合において、コンタクトタブ片ＫＦは金属化部に固定する前にまたはスタック体に直接完成されて作成され、即ち接続エレメントＡＥおよび場合によりろう付け層ＬＳが備えられる。
コンタクトタブ片を金属化部にろう付けする間または別の方法で導電的に固定する間に、コンタクトタブ片は電気的に短絡されて、例えば圧電式アクチュエータがパイロ電気効果を介して損傷することがないようにする。スタック体の熱負荷が期待されるとき、後での処理工程においても損傷は同じ手段によっていつでも回避される。
第５図には、コンタクトタブ片ＫＦを備えたスタック体Ｓと、接続エレメントＡＥに対するスルーホールＤＦを有しているプリント基板ＤＰとから成る、アクチュエータの部分モジュールが示されている。機械的に強化された接続エレメント、例えば金属性の接続ピンの場合は殊に、スルーホールＤＦは接続エレメント並びにこれに結合されているコンタクトタブ片ＫＦをガイドしかつ保持するために用いられる。プリント基板ＤＰはスタック体Ｓの端面の上に配置されておりかつ例えば、スタック体を固定するために、端面に整合されている、約５０〜１００μｍの窪みを有している。この部分モジュールによって、以降の処理、例えばアクチュエータケーシングへの組み込みが容易になる。というのは、スタック体Ｓ、コンタクトタブ片ＫＦおよび接続エレメントＡＥをプリント基板ＤＰに固定することによって、力の最適な伝達のために必要である、アクチュエータの配向およびセンタリングが容易になるからである。
第６図には、第４図に示されているように実現されているコンタクトタブ片ＫＦおよび接続エレメントＡＥを備えている変形された部分モジュールが示されている。第５図に示されているようにここでも、接続エレメントはスルーホールＤＦにかつスタック体Ｓはプリント基板の凹所に固定されている。この形態において、コンタクトタブ片をまず接続エレメントＡＥなしにスタック体Ｓの金属化部に固定しかつ更にプリント基板ＤＦを接続エレメントＡＥに固定することができる。接続エレメントとコンタクトタブ片との導電接続はこの実施形態において、プリント基板およびスタック体を接合した後、例えばろう付けによって行われる。この形態は、プリント基板および接続エレメントが固定ユニットを形成しているという利点を有する。この場合該ユニットは、例えば同時に、電流／電圧源と接続するための差込接点として用いることができる。スルーホールの気密シールはアクチュエータの機械的または熱的な負荷を考慮することなく行うことができかつこのようにして特別気密に実現することができる。
第７図：プリント基板、接続エレメント、コンタクトタブ片およびスタック体から成る部分モジュールは、電気的な不活性化および機械的な保護のためにカバーを備えている。図示の実施例ではこのためにスリーブＨが設けられている。このスリーブは、例えば合成樹脂または金属から成っており、部分モジュールの大きさに整合されておりかつプリント基板と気密に閉鎖されている。このスリーブＨ内に部分モジュールが挿入されかつ引き続いて空いたままになっている開口を介して合成樹脂Ｋ、例えばシリコーンエラストマーが鋳込まれるまたは射出成形される。その際スタック体およびコンタクトタブ片の電気的な活性の表面は全部、電気的におよび周囲の影響から絶縁され、同時に、スリーブＨ、印刷基板ＤＰおよびスタック体Ｓ間の機械的な固定連結も実現される。その際スリーブＨが合成樹脂から成っている場合、スタック体の下側の端面は空いたままである。というのは、スタック体の有利にはセラミック製の端面によって、スリーブによるよりも良好な力の伝達が可能であるからである。
部分モジュールをスリーブに鋳込むまたは射出成形する前に、セラミック製の多層スタック体Ｓの電気的に活性の表面を付加的に不活性化することができる。このことは殊に、電気的に絶縁性の申し分なくエラスチックな合成樹脂体、例えばこの場合もシリコーンエラストマーによって行われる。この不活性化は、コンタクトタブ片を、プリント基板内に固定されている接続エレメントを介して固定することによって容易になる。更に、この不活性化により、射出成形または鋳込みによって発生しかつコンタクトタブ片ＫＦに作用する機械的な力によって、コンタクトタブ片とスタック体の電気的に活性な表面領域との間に短絡が生じるのが妨げられる。もし短絡が生じれば、アクチュエータの誤機能を招来する可能性がある。
スタック体およびプリント基板から成る部分モジュールの製造の前に不活性層の塗布を行えば、フレキシブルなコンタクトタブ片ＫＦは他の手法で接続エレメントＡＥを介して固定することができ、その結果例えば刷毛塗布により不活性化は容易になる。更に、接続エレメントおよび場合によりスタック体も補助的な保持部に固定されるようにすることができる。上記の部分モジュールの接合の前にスタック体表面を不活性化することは、それからコンタクトタブ片ＫＦを引き続く処理の前にスタック体に一層緊密に配置しかつ例えば当て付けることもできるという利点を有している。これにより、スリーブＨにおける空間を節約した配置が可能になる。端面に当て付けられているコンタクトタブ片を有するスタック体は、機械的に安定しておりかつ付加的に、スリーブまたはアクチュエータケーシングに組み込む間の機械的な損傷から保護される。本発明の形態において、コンタクトタブ片をスタック体の端面に圧着しかつそこに固定することができる。この場合の固定は、例えば、当て付けられているコンタクトタブ片および接続エレメント共々スタック体の上にはめ込まれかつコンタクトタブ片および接続エレメントをスタック体に緊密に圧着するエラスチックなリングによって行われる。
第８図には、コンタクトタブ片および接続エレメントを含めたスタック体の、合成樹脂スリーブＨへの一層確実な組み込みを可能にする、本発明の別の実施の形態が図示されている。その際合成樹脂スリーブは空の中空円筒体として実現されているのではなくて、スタック体、コンタクトタブ片および接続エレメントの幾何学的な形状に整合されている内部成形部を既に有している。スタック体をスリーブＨの予め形成された内部成形部に入れた後（矢印ｂ参照）、スタック体も、コンタクトタブ片および接続エレメントも申し分なく固定されている。次に、内部成形部に対して残っている中間空間に合成樹脂を充填することによって、コンタクトタブ片の損傷もしくは、コンタクトタブ片と場合により露出している、スタック体の電気的に活性の表面との間の意図しない短絡が回避される。この形態においても、接続エレメントＡＥもスタック体Ｓも保持部、例えばプリント基板ＤＰ（第８図には図示されていない）に固定して、スタック体の、スリーブＨへの一層容易なはめ込み、並びにスタック体の、スリーブＨでの片側のハーメチックシールされた封止を可能にすることができる。
第９図には、ここまで説明してきたもののいずれとも組み合わせることができる、本発明の別の実施形態が示されている。この形態は、上下に配置された２つのスタック体Ｓ、Ｓ′から成っている多層構造であって、スタック体ＳおよびＳ′は共通のコンタクトタブ片を用いて結合されており、従って相互に固定されている。機械的に強化された接続エレメントＡＥ、例えば金属ピンが装置を付加的に安定化する。このようにして、技術的には比較的簡単に製造することができる低いスタック体からそれにも拘わらず、多層構造、ひいてはアクチュエータの可能な変位において必要な全体の高さを実現し、かつその際に２つのスタック体Ｓ、Ｓ′の簡単でかつ気の利いた結合を可能にすることができる。この場合も、複数のスタック体を上下に早い段階でセンタリングするために補助保持体を使用することができ、その際これはプリント基板に既に配置しかつ適当に配向することができる。これにより、共通のコンタクトタブ片ＫＦの、スタック体ＳおよびＳ′に対するレーザビームろう付けが簡単になりかつ射出成形の際のセンタリングが容易になる。

Claims (15)

1. 電極層（Ｅ）およびセラミック層（ＫＳ）が交番して成る少なくとも１つのスタック体（Ｓ）を有している多層構造体を備え、
   それぞれのスタック体に側方に取り付けられているストリップ形状の、導電性の、少なくとも２つのコンタクトタブ片（ＫＦ）を備え、ここでそれぞれのコンタクトタブ片（ＫＦ）は１つの縁を介して前記電極層に導電接続されておりかつ該縁の側方に、突出している領域（ａ）を有しており、
   それぞれのコンタクトタブ片に前記スタック体とは反対の側の外側の縁の領域において、前記コンタクトタブ片を側方にまたはスタック体を高さにおいて突出している接続エレメント（ＡＥ）を備えており、該接続エレメント（ＡＥ）は、前記コンタクトタブ片（ＫＦ）の外側の縁を機械的に強化しかつ該外側の縁に沿ってその全体の高さを超えて延在している金属性の接続ピンである
   セラミックアクチュエータ。
2. 前記（ＡＥ）は前記コンタクトタブ片（ＡＦ）のストリップ形状の延長部に接続されている
   請求項１記載のアクチュエータ。
3. プリント基板（ＤＦ）が前記スタック体（Ｓ）の端面の上に配置されており、該プリント基板を通って前記接続ピンとして形成されている接続エレメント（ＡＥ）が挿入されかつそこに固定されている
   請求項１または２記載のアクチュエータ。
4. 前記接続ピンとして形成されている接続エレメント（ＡＥ）は差込コンタクトして実現されている
   請求項１から３までのいずれか１項記載のアクチュエータ。
5. 前記プリント基板（ＤＦ）に凹所が設けられており、該凹所に前記スタック体（Ｓ）が固定されている
   請求項３項記載のアクチュエータ。
6. 前記スタック体（Ｓ）および前記コンタクトタブ片（ＫＦ）はコンパクトな合成樹脂カバーにおいてすべての側が合成樹脂（Ｋ）によって射出成形されているかまたは鋳込まれており、かつ前記接続ピンとして形成されている接続エレメント（ＡＥ）は端面側が該合成樹脂カバーから外に出ている
   請求項１から５までのいずれか１項記載のアクチュエータ。
7. 前記合成樹脂カバーはシリコーンエラストマー（Ｋ）から形成されている
   請求項６項記載のアクチュエータ。
8. 前記複数のスタック体（Ｓ、Ｓ′）は上下に配置されておりかつ共通のコンタクトタブ片（ＫＦ）に接続されている
   請求項１から６までのいずれか１項記載のアクチュエータ。
9. 多層構造体を有しているセラミックアクチュエータのコンタクト形成のための方法であって、
   電極層およびセラミック層（Ｅ１，ＫＳ，Ｅ２）が交番して成る、多層構造体を形成しているスタック体（Ｓ）を製造し、
   少なくとも１つの導電層を含んでいるシートから、大きさが前記多層構造体の高さに整合されているコンタクトタブ片（ＫＦ）を作成しかつ該コンタクトタブ片に縁の領域において、該コンタクトタブ片から側方にまたは該多層構造を高さにおいて突出する、接続ピンとして形成されている接続エレメント（ＡＥ）を設け、
   少なくとも２つのコンタクトタブ片を前記スタック体（Ｓ）に固定し、ここで側方に突出している領域（ａ）が残り、前記電極層に対する導電的なコンタクトが形成されるようにコンタクトタブ片は縁を介して側方にスタック体に固定され、かつ
   前記スタック体（Ｓ）を、前記コンタクトタブ片（ＫＦ）の固定の後に、合成樹脂スリーブ（Ｈ）に挿入しかつ合成樹脂（Ｋ）によって、前記接続ピンとして形成されている接続エレメント（ＡＥ）の端部が露出するように、鋳込むまたは射出成形する
   方法。
10. 前記接続ピンとして形成されている接続エレメント（ＡＥ）は前記コンタクトタブ片（ＫＦ）の固定の前に、前記スタック体と向かい合っている縁の領域において該コンタクトタブ片にろう付けされる
    請求項９記載の方法。
11. 前記電極層とのコンタクト形成のために前記スタック体（Ｓ）に側方に少なくとも２つのストリップ形状の金属化部（ＭＳ）を備えかつ前記コンタクトタブ片を該ストリップ形状の金属化部に固定する
    請求項９または１０記載の方法。
12. 前記固定をレーザろう付けによって行う
    請求項９から１１までのいずれか１項記載の方法。
13. 前記スタック体（Ｓ）の電気的にアクティブな表面をコンタクトタブ片（ＫＦ）の固定の後に、電気的に絶縁性の有機的な不活性層によって被覆し、ここでコンタクトタブ片から少なくとも前記接続ピンとして形成されている接続エレメント（ＡＥ）が露出しかつスタック体（Ｓ）から端面が露出咲いているように被覆される
    請求項９から１２までのいずれか１項記載の方法。
14. プリント基板（ＤＰ）にスルーホールを設け、該スルーホールを介して前記接続ピンとして形成されている接続エレメント（ＡＥ）をガイドし、
    前記スタック体（Ｓ）をプリント基板（ＤＰ）に固定しかつ引き続いて合成樹脂スリーブ（Ｈ）に鋳込むまたは射出成形する
    請求項９記載の方法。
15. ２つのスタック体（Ｓ，Ｓ′）を上下に配置し、共通のコンタクトタブ片（ＫＦ１，ＫＦ２）を備え、かつこのようにして１つのダブルスタック体に結合する
    請求項９から１４までのいずれか１項記載の方法。

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