DE102004024123A1

DE102004024123A1 - Kopfplattenbaugruppe für einen Aktor und Herstellungsverfahren für einen Aktor

Info

Publication number: DE102004024123A1
Application number: DE102004024123A
Authority: DE
Inventors: Claus Zumstrull
Original assignee: Siemens AG
Current assignee: Continental Automotive GmbH
Priority date: 2004-05-14
Filing date: 2004-05-14
Publication date: 2005-12-08
Also published as: WO2005112142A1; US7646139B2; US20080191065A1

Abstract

Die Erfindung betrifft eine Kopfplattenbaugruppe (1) für einen Aktor mit einer Abdeckung (2), einer Durchführung (3), mindestens einem durch die Durchführung (3) hindurchgeführten Anschlussstift (4) und einer die Durchführung des Anschlussstifts verschließenden Dichtung (5). Es wird vorgeschlagen, dass die Kopfplattenbaugruppe (1) ohne den Aktor vormontiert ist.

Description

Die Erfindung betrifft eine Kopfplattenbaugruppe für einen Aktor gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 1 und ein Herstellungsverfahren für einen Aktor gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 15.
In modernen Einspritzanlagen für Brennkraftmaschinen werden piezoelektrische Aktoren als Stellglieder für Einspritzventile eingesetzt. Um die Piezoaktoren vor schädigenden Umwelteinflüssen zu schützen, werden die Aktoren mit abgedichteten Gehäusen versehen. Dabei müssen die Zuleitungen des Aktors durch das den Aktor umgebende Gehäuse hindurchgeführt werden.

In der DE 197 15 487 A1 wird ein Piezoaktor beschrieben, der aus einem vorgefertigten Hohlprofil besteht, in das Piezoelemente und zwei Anschlussstifte, die zur Kontaktierung der Piezoelemente dienen, eingebracht werden. Auf das Hohlprofil mit den eingesetzten Piezoelementen und den eingesetzten Anschlussstiften wird ein Deckel aufgesetzt, der anschließend mit Kunststoff umspritzt wird.

Nachteilig an dem beschriebenen Aufbau ist beispielsweise, dass ein Vordringen der Spritzgussmasse in das Innere des Aktors vermieden werden muss. Weiterhin ist die Umspritzung mit Kunststoff aufwändig. Außerdem ist auch die Abdichtwirkung des Kunststoffs an den Durchführungen für die Anschlusskontakte unzureichend, so dass das Innere des Aktors ungenügend gegen eindringendes Motoröl oder eindringendes Wasser geschützt ist.

Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, eine Vorrichtung für einen Aktor anzugeben, die mit möglichst geringem Aufwand das Innere des Aktors möglichst zuverlässig abdich tet. Es ist weiterhin Aufgabe der Erfindung, ein Herstellungsverfahren anzugeben, mit dem eine solche Vorrichtung mit möglichst geringem Aufwand hergestellt werden kann.

Die Aufgabe wird mit einer Kopfplattenbaugruppe gemäß Anspruch 1 gelöst. Weiterhin ist ein Herstellungsverfahren gemäß Anspruch 15 geeignet, einen Aktor mit einer solchen Kopfplattenbaugruppe herzustellen.

Die Erfindung geht von der technischen Erkenntnis aus, dass in die Kopfplattenbaugruppe zuverlässigere Dichtungen eingebaut werden können, falls die Kopfplattenbaugruppe ohne den Aktor vormontiert wird. Dabei können Dichtungen verwendet werden, deren Einbau in eine Abdeckung des Aktors beispielsweise bestimmte Temperaturführungen erfordert. Durch die Vormontage der Kopfplattenbaugruppe ist es möglich, mit Temperaturführungen zu arbeiten, die bei einer herkömmlichen Montage, das heißt bei Abdichtung des bereits zusammengesetzten Aktors, Teile des Aktors zerstören könnten.

Vorteilhafterweise wird die Kopfplattenbaugruppe aus einer Abdeckung und einem hindurchgeführten Anschlussstift aufgebaut, wobei der Anschlussstift eine ausreichende Länge aufweist, so dass er zumindest über einen Großteil der Länge eines Aktorkörpers reicht. Dies hat den Vorteil, dass für eine Kontaktierung beispielsweise einzelner Piezoelemente des Aktorkörpers lediglich eine kurze elektrische Leitung zwischen dem Piezoelement und dem Anschlussstift nötig ist. Vorteilhafterweise ist der Anschlussstift daher ausreichend lang, so dass er sich über die gesamte Länge des Aktorkörpers erstreckt.

Die Durchführung des Anschlussstifts durch die Abdeckung wird vorzugsweise mit einer Dichtung abgedichtet. Damit kann das Innere des Aktors vor schädigenden Umwelteinflüssen geschützt werden. Für die Dichtung eignen sich beispielsweise Keramik- oder Kunststoffdichtungen, aber auch andere Materialien, die geeignet sind, die Durchführung abzudichten. Vorteilhaft ist, dass bei der Auswahl der Dichtung keine Rücksicht auf eine mögliche Beschädigung des Aktorkörpers beim Montieren der Dichtung genommen werden muss, da die Dichtung montiert wird, bevor die Kopfplattenbaugruppe mit dem Aktorkörper verbunden wird.

Vorzugsweise ist die Dichtung eine Glasdichtung. Eine Glasdichtung bietet den Vorteil einer sehr guten Abdichtung, wobei die Glasdichtung vorzugsweise eine Grenzleckrate von 10^-8 mbar/s aufweist. Eine kleine Grenzleckrate ist vorteilhaft, da sie ein Eindringen von Flüssigkeiten oder Gasen in den Aktorraum verhindert. So können auch Glasdichtungen mit einer Grenzleckrate von 10^-11 mbar/s oder weniger sinnvoll sein. Wird der Anschlussstift vollständig von der Glasdichtung umschlossen, so bietet dies den Vorteil, dass die Glasdichtung gleichzeitig den Anschlussstift gegenüber der Abdeckung elektrisch isoliert, was besonders dann von Vorteil ist, wenn die Abdeckung aus Metall besteht. Es kann jedoch auch aufgrund der Konstruktion der Glasdichtung oder der Abdeckung vorteilhaft sein, dass die Glasdichtung den durchgeführten Anschlussstift nur teilweise umschließt.

Die Glasdichtung kann als angepasste Glas-Metall-Durchführung oder als Druckglasdurchführung ausgeführt sein. Bei angepassten Glas-Metall-Durchführungen werden Gläser und Metallteile verwendet, deren Ausdehnungskoeffizienten zwischen Raumtemperatur und der Transformationstemperatur des Glases weitgehend übereinstimmen. Damit wird erreicht, dass der durchgeführte Anschlussstift in das Glas eingeschmolzen wird, ohne dass beim Abkühlen mechanische Spannungen in der Verschmelzung entstehen. Angepasste Glas-Metall-Durchführungen bieten beispielsweise auch den Vorteil, dass in eine Durchführung ohne großen Aufwand mehrere Anschlussstifte eingeschmolzen werden können, die durch das Glas voneinander elektrisch isoliert sind. Die Erfindung bietet hier besondere Vorteile, da bei der Temperaturführung für den Einbau der angepassten Glasme talldurchführung, das heißt während das Einschmelzen des Glases, keine Rücksicht auf eine Temperaturempfindlichkeit von Bauelementen des Aktorkörpers genommen werden muss. Zuerst wird die Kopfplattenbaugruppe mit der Abdeckung, der Glasdichtung und dem hindurchgeführten Anschlussstift vormontiert und anschließend der Aktorkörper mit der Kopfplattenbaugruppe zusammengebaut. Im Gegensatz zu angepassten Glas-Metall-Durchführungen werden bei Druckglasdurchführungen Metalle und Gläser eingesetzt, deren Wärmeausdehnungskoeffizienten unterschiedlich sind. Vorzugsweise ist der Wärmeausdehnungskoeffizient der außen liegenden Abdeckung höher als der des Einschmelzglases und der des metallischen Anschlussstifts. Dies bietet den Vorteil, dass nach dem Einsetzen der Glasdichtung und des metallischen Anschlussstifts und der nachfolgenden Abkühlung die außen liegende Abdeckung infolge ihrer wesentlich höheren Kontraktion das Glas zusammendrückt. Dies bietet den Vorteil, dass die Dichtung unter Druck steht und damit eine sehr geringe Leckrate aufweist. Beispielsweise kann die Abdeckung aus einem Metall bestehen, das zwischen 20 und 300°C einen Wärmeausdehnungskoeffizienten α von 13 × 10^-6 1/K aufweist. Es ist auch möglich, Ausdehnungskoeffizienten zwischen 9 × 10^-6 1/K und 18 × 10^-61/K zu verwenden. Die Ausdehnungskoeffizienten des Glases und des Anschlussstifts in demselben Temperaturbereich sollten darunter liegen, beispielsweise zwischen 5 × 10^-6 1/K und 9 × 10^-6 1/K. Auch bei Druckglasdurchführungen bietet das erfindungsgemäße Vormontieren der Kopfplattenbaugruppe den Vorteil einer unabhängigen Temperaturführung beim Einbau der Glasdichtung.

Vorteilhafterweise weist der Anschlussstift zumindest eine flache Seite auf. Dies bietet einerseits den Vorteil, dass zur Außenkontaktierung auch flache Stecker aufgesetzt werden können, die einen besseren Halt bieten können als runde Stecker. Zum anderen bietet dies den Vorteil, dass Kontaktierungen von Piezoelementen des Aktorkörpers mit kurzen Verbindungsdrähten leichter an den Anschlussstift angeschlossen werden können, da ein Anschweißen von Drähten an ebenen Ober flächen leichter zu bewerkstelligen ist als ein Anschweißen auf runden Oberflächen. Der Anschlussstift kann dabei einen Querschnitt aufweisen, bei dem von einem Kreis ein Stück abgeschnitten wird. Er kann aber auch beliebige andere Formen wie beispielsweise eine Rechteckform aufweisen. Es kann außerdem vorteilhaft sein, den Anschlussstift auf Höhe des Aktorkörpers mit einem anderen Querschnitt zu versehen als auf Höhe der Durchführung oder der Außenkontaktierung. Dies kann beispielsweise vorteilhaft sein, falls für die Kontaktierung des Aktorkörpers eine bestimmte Querschnittsform vorteilhaft ist und für das Anbringen eines Steckerkontakts eine andere.

Vorzugsweise besteht die Abdeckung mindestens teilweise aus Metall oder Keramik. Metall oder Keramik bieten den Vorteil einer hohen Festigkeit und einer hohen Widerstandsfähigkeit gegen Angriffe schädlicher Umgebungseinflüsse.

Wird eine Halterung zur räumlichen Fixierung eines Aktorkörpers zusammen mit der Kopfplattenbaugruppe vormontiert, so bietet dies den Vorteil, dass der Aktorkörper durch die Halterung an einer definierten Stelle gehalten wird, beispielsweise wenn im weiteren Herstellungsverfahren der Aktor ausgegossen wird. Weiterhin bietet eine mit der Kopfplattenbaugruppe vormontierte Halterung den Vorteil, dass der Aktorkörper zur Montage lediglich in die Halterung geschoben werden muss, zur Befestigung kann beispielsweise ein Clip vorgesehen sein, der den Aktorkörper gegen ein Herausrutschen aus der Halterung während des weiteren Montageprozesses sichert. Im fertig montierten Aktor ist der Aktorkörper üblicherweise in seiner Längsrichtung, das heißt in seiner Wirkungsrichtung, eingespannt. Die Halterung hält ihn in Querrichtung.

Vorzugsweise weist die erfindungsgemäße Halterung einen integrierten Kantenschutz auf, um eine axial, das heißt in Längsrichtung, verlaufende Kante des Piezostapels zu schützen. Dieser Kantenschutz kann beispielsweise mindestens einen axial verlaufenden Steg aufweisen, der die zu schützende Kan te des Piezostapels abdeckt. Üblicherweise werden die einzelnen Elemente von Piezostapeln kontaktiert, indem eine Drahtumwicklung vorgenommen wird, welche die Anschlussstifte mit den Piezoelementen verbindet. Da bei der Bewicklung des Piezostapels mit Draht üblicherweise zwei gegenüberliegende Kanten mechanisch beansprucht werden, deckt der Kantenschutz vorzugsweise zwei axial verlaufende, gegenüberliegende Kanten des Piezostapels ab. Ein derartiger Kantenschutz kann beispielsweise dadurch realisiert werden, dass die Halterung der erfindungsgemäßen Montageaufnahme käfigförmig ausgebildet ist und zwei Stirnplatten aufweist, die durch Stege miteinander verbunden sind, wobei die Stege zwischen den beiden Stirnplatten zusätzlich als Kantenschutz für den Piezostapel dienen.

Wird zwischen dem Kantenschutz und dem Piezostapel ein Spalt gelassen, der ausreichend groß ist, um beim Vergießen des Piezoaktors in einer Montageaufnahme das Eindringen der Vergussmasse zu ermöglichen, so bietet dies den Vorteil, dass der Piezostapel zuverlässig eingegossen wird.

Bei der Bewicklung der Piezoeinheit, die den Piezostapel und die Halterung umfasst, mit einem elektrisch leitfähigen Draht wird die Piezoeinheit mit der Kopfplattenbaugruppe einschließlich der Anschlussstifte üblicherweise relativ zu der Drahtzuführung gedreht. Dies führt während des Bewicklungsvorganges zu einer Drahtspannung, die bei konstanter Drehgeschwindigkeit der Piezoeinheit von dem effektiven Bewicklungsradius der Piezoeinheit abhängt. Zur Erleichterung der Drahtabwicklung bilden die axial verlaufenden Kanten des Piezostapels mit den Anschlussstiften und dem Kantenschutz im Querschnitt daher vorzugsweise ein Polygon mit mindestens sechs Ecken. Eine derartige Ausgestaltung der Halterung bietet den Vorteil, dass die Drahtspannung während des Bewicklungsvorganges nur geringfügige Schwankungen aufweist. Hierbei ist zu erwähnen, dass das von den Kanten des Piezostapels, den Anschlussstiften und dem Kantenschutz gebildete Po lygon in der Praxis keine exakten Ecken und Kanten aufweist, so dass dieser Begriff anschaulich zu verstehen ist. So können beispielsweise die Stege zwischen den Stirnplatten der käfigförmigen Halterung in der Praxis stark abgerundet sein, was jedoch der Drahtbewicklung im erfindungsgemäßen Sinne nicht entgegensteht. Um einen möglichst gleichbleibenden Radius bei der Bewicklung zu erhalten, ist es vorteilhaft, wenn das durch die Kanten des Piezostapels, die Anschlussstifte und den Kantenschutz gebildete Polygon im Wesentlichen gleichseitig ist.

Weiterhin ist ein Aktor mit einer Kopfplattenbaugruppe in einer der oben beschriebenen erfindungsgemäßen Ausgestaltungen Gegenstand der Erfindung. Ein solcher Aktor bietet den Vorteil, dass er zuverlässig gegen das Eindringen von Verschmutzungen geschützt ist, da die vormontierte Kopfplattenbaugruppe eine zuverlässige Abdichtung der Durchführungen der Anschlussstifte erlaubt.

Vorteilhafterweise weist der Aktor eine Rohrfeder und eine mit der Rohrfeder verbundene Bodenplatte zur Aufbringung einer Vorspannung auf den Aktorkörper auf. Besteht der Aktorkörper aus Piezoelementen, so bietet dies den Vorteil, dass eine Zerstörung der Piezoelemente vermieden wird. Die Rohrfeder ist vorzugsweise mit der Kopfplattenbaugruppe verbunden, sie kann beispielsweise mit der Abdeckung verschweißt sein. Der Aktorkörper ist vorteilhafterweise zwischen der Bodenplatte und der Abdeckung eingespannt, während er in Querrichtung durch die Halterung gegen seitliches Ausweichen gestützt ist.

Vorzugsweise wird der Aktor mit einer Vergussmasse ausgegossen, um dem Aktorkörper und den Kontaktierungen Halt zu geben, so dass beispielsweise eine Zerstörung der Aktorkontaktierungen durch Stöße im Betrieb vermieden wird. Das Ausgießen mit einer Vergussmasse bietet außerdem den Vorteil, dass die Aktorkontaktierungen elektrisch isoliert werden und es zu keinen unerwünschten Kontakten während des Betriebs kommt. Als Vergussmasse eignet sich beispielsweise Silikon, es können jedoch auch andere Materialien verwendet werden, die isolierend sind und sich leicht vergießen lassen.

Vorteilhafterweise wird der Aktor in ein Metallgehäuse und eine Abdichtmembran eingebaut, so dass der Aktor nach außen abgedichtet ist. Wird das Metallgehäuse mit der Kopfplattenbaugruppe und der Bodenplatte verschweißt, so ist es möglich, einen rundum abgedichteten Aktor herzustellen, der zuverlässig gegen Umgebungseinflüsse geschützt ist.

Weiterhin ist ein Injektor für eine Brennkraftmaschine mit einem erfindungsgemäßen Aktor und eine Einspritzanlage für eine Brennkraftmaschine mit einem solchen Injektor Gegenstand der Erfindung.

Die erfindungsgemäße Kopfplattenbaugruppe und der erfindungsgemäße Aktor, die mit einem erfindungsgemäßen Herstellungsverfahren hergestellt werden können, werden anschließend anhand der beigefügten Abbildungen näher erläutert.
1 zeigt schematisch in einer Explosionsdarstellung den Aufbau einer erfindungsgemäßen Kopfplattenbaugruppe und eines die Kopfplattenbaugruppe enthaltenen Piezoaktors.
2 zeigt einen abgedichteten Piezoaktor.
1 zeigt eine vormontierte Kopfplattenbaugruppe 1, die hergestellt wird, indem in einer Abdeckung 2 aus Metall zwei Durchführungen 3 angeordnet werden, durch die zwei Anschlussstifte 4 hindurch geführt werden. Die Durchführungen 3 werden abgedichtet, indem zwischen der Abdeckung 2 und den Anschlussstiften 4 angepasste Glas-Metall-Durchführungen als Glasdichtungen 5 angebracht werden.
Im nächsten Schritt wird an der Kopfplattenbaugruppe 1 noch ein Aktorkäfig 6 montiert, indem dieser mit der Abdeckung 2 verschweißt wird. Der Aktorkäfig 6 dient als Halterung für einen Piezostack 7, der aus einem Stapel von vielen einzelnen Piezoelementen besteht. Der Aktorkäfig 6 weist zwei Stege 8 auf, die den Piezostack 7 beim Bewickeln mit einem Anschlussdraht schützen. Außerdem sind in dem Aktorkäfig 6 Durchführungen zur Durchführung der Anschlussstifte 4 angebracht.
Wenn der Piezostack 7 in dem Aktorkäfig 6 montiert ist, wird der Piezostack 7 kontaktiert, indem eine Bewicklung mit Draht erfolgt (nicht gezeigt). Die einzelnen Windungen der Drahtbewicklung haben dabei jeweils einen Abstand, welcher der Höhe eines Piezoelementes entspricht. Der Draht wird jeweils an einem der beiden Anschlussstifte 4 und an einer Piezoaußenkontaktierung 9 (in 1 ist nur die vordere gezeigt) angeschweißt. Die überflüssigen Stücke des Drahtes werden herausgetrennt.
Nachfolgend wird eine Rohrfeder 10 über den Aktorkäfig 6 gesteckt und an der Kopfplattenbaugruppe 1 angeschweißt. An der der Kopfplattenbaugruppe 1 abgewandten Seite der Rohrfeder 10 wird eine Bodenplatte 11 angeschweißt, so dass die Rohrfeder 10 eine Vorspannung auf den Piezostack 7 aufbringt.
Zur Verhinderung von Masseschlüssen, zur Verbesserung der Wärmeableitung und zur besseren Schwingungsdämpfung wird der Piezoaktor in diesem Zustand mit z.B. Silikon ausgespritzt. Anschließend wird ein Metallgehäuse 12 und eine Abdichtmembran an den Piezoaktor geschweißt, um einen vollständig abgedichteten Piezoaktor herzustellen, der in 2 dargestellt ist. In 2 bezeichnen ansonsten gleiche Bezugszeichen gleiche Teile wie in 1.
Die Erfindung ist nicht auf das vorstehend beschriebene bevorzugte Ausführungsbeispiel beschränkt. Vielmehr ist eine Vielzahl von Varianten und Abwandlungen möglich, die eben falls von dem Erfindungsgedanken Gebrauch machen und deshalb in den Schutzbereich fallen.

Claims

Kopfplattenbaugruppe (1) für einen Aktor, insbesondere für einen Piezoaktor einer Einspritzanlage für eine Brennkraftmaschine, mit, – einer Abdeckung (2) zur Abdeckung des Aktors, – mindestens einer in der Abdeckung (2) angeordneten Durchführung (3), – mindestens einem durch die Durchführung (3) hindurchgeführten Anschlussstift (4) zur elektrischen Kontaktierung des Aktors, wobei der Anschlussstift (4) eine ausreichende Länge aufweist, so dass er zumindest über einen Großteil der Länge eines Aktorkörpers (7) reicht, und – einer die Durchführung (3) verschließenden Dichtung (5), dadurch gekennzeichnet, dass die Kopfplattenbaugruppe (1) ohne den Aktor vormontiert ist.
Kopfplattenbaugruppe nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Dichtung (5) eine Glasdichtung (5) ist.
Kopfplattenbaugruppe nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Glasdichtung (5) eine eingeschmolzene Glasdichtung (5) ist.
Kopfplattenbaugruppe nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Anschlussstift (4) zumindest eine flache Seite aufweist.
Kopfplattenbaugruppe nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Abdeckung (2) mindestens teilweise aus Metall oder Keramik besteht.
Kopfplattenbaugruppe nach einem der vorhergehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch eine Halterung (6) zur räumlichen Fixierung eines Aktorkörpers (7), wobei die Halterung ohne den Aktorkörper (7) in der Kopfplattenbaugruppe (1) vormontiert ist.
Kopfplattenbaugruppe nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Halterung (6) einen Kantenschutz (8) zum Schutz einer axial verlaufenden Kante des Aktorkörpers (7) aufweist, wobei der Kantenschutz (8) einen axial verlaufenden Steg (8) umfasst.
Kopfplattenbaugruppe nach Anspruch 6 oder 7, gekennzeichnet durch zwei Anschlussstifte (4), wobei der Kantenschutz (8) zwei axial verlaufende gegenüberliegende Kanten des Aktorkörpers (7) abdeckt und mit zwei anderen axial verlaufenden Kanten des Aktorkörpers (7) und den zwei Anschlussstiften (4) ein Polygon mit mindestens sechs Ecken bildet, um eine Drahtabwicklung zu erleichtern.
Aktor mit einer Kopfplattenbaugruppe (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche.
Aktor nach Anspruch 9, gekennzeichnet durch eine Rohrfeder (10) und eine mit der Rohrfeder (10) verbundene Bodenplatte (11) zur Aufbringung einer Vorspannung auf den Aktorkörper (7), wobei die Rohrfeder (10) mit der Kopfplattenbaugruppe (1) verbunden ist.
Aktor nach Anspruch 9 oder 10, dadurch gekennzeichnet, dass der Aktor mit einer Vergussmasse ausgegossen ist.
Aktor nach einem der Ansprüche 9 bis 11, gekennzeichnet durch ein Metallgehäuse (12) und eine Abdichtmembran, so dass der Aktor nach außen abgedichtet ist.
Injektor für eine Brennkraftmaschine mit einem Aktor nach einem der Ansprüche 9 bis 12.
Einspritzanlage für eine Brennkraftmaschine mit einem Injektor nach Anspruch 13.
Herstellungsverfahren für einen Aktor mit einem Aktorkörper (7) und einer Kopfplattenbaugruppe (1), wobei die Kopfplattenbaugruppe (1) eine Abdeckung (2), mindestens eine Durchführung (3), mindestens einen durch die Durchführung (3) hindurchgeführten Anschlussstift (4) und mindestens eine die Durchführung verschließende Dichtung (5) aufweist, gekennzeichnet durch folgende Schritte in dieser Reihenfolge: – Vormontage der Kopfplattenbaugruppe (1) und – Zusammenbau der Kopfplattenbaugruppe (1) mit dem Aktorkörper (7).
Herstellungsverfahren nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, dass die Dichtung (5) eine Glasdichtung (5) ist.
Herstellungsverfahren nach Anspruch 16, gekennzeichnet durch die folgenden Schritte: – Einführen des Anschlussstifts (4) in die Durchführung (3) und – Einschmelzen der Glasdichtung (5) in der Durchführung (3).
Herstellungsverfahren nach einem der Ansprüche 15 bis 17, dadurch gekennzeichnet, dass eine Halterung (6) über den durch die Abdeckung (2) hindurchgeführten Anschlussstift (4) gesteckt wird und an der Kopfplattenbaugruppe (1) befestigt wird, wobei die Halterung (6) dazu geeignet ist, einen Piezostapel (7) als Aktorkörper (7) aufzunehmen.
Herstellungsverfahren nach Anspruch 18, gekennzeichnet durch folgende Schritte: – Anordnen von zwei Durchführungen (3) in der Abdeckung (2), – Durchführen von zwei Anschlussstiften (4) durch die zwei Durchführungen (3), – Abdichten der zwei Durchführungen (3), – Montage der Halterung (6), – Einlegen eines Piezostapels (7) in die Halterung (6), – Bewicklung der Halterung (6) mit dem eingelegten Piezostapel (7) und den Anschlussstiften (4) der Kopfplattenbaugruppe (1) mit mindestens einem elektrisch leitfähigem Draht oder Drahtgeflecht, – Elektrische Verbindung von Drahtabschnitten des Drahts mit jeweils einem der beiden Anschlussstifte (4) und einem von zwei Anschlusskontakten (9) des Piezostapels (7), und – Trennung des Drahts zwischen den kontaktierten Drahtabschnitten und Entfernung der abgetrennten Drahtabschnitte.
Herstellungsverfahren nach Anspruch 15 bis 19, gekennzeichnet durch folgende Schritte: Anbringen einer Rohrfeder (10) und einer Bodenplatte (11) an der Kopfplattenbaugruppe (1), wobei die Rohrfeder (10) über die Bodenplatte (11) eine Vorspannung gegenüber der Abdeckung (2) auf den Piezostapel (7) aufbringt.
Herstellverfahren nach einem der Ansprüche 18 bis 20, gekennzeichnet durch – Einsetzen der Halterung (6) mit der daran befestigten Kopfplattenbaugruppe (1), dem Anschlussstift (4) und dem Piezostapel (7) in eine Gussform und – Vergießen des Aktors mit einer Vergussmasse in der Gussform.
Herstellverfahren nach Anspruch 20, gekennzeichnet durch Umschließen des Aktors mit einem abdichtenden Gehäuse (12), das abgedichtet an der Abdeckung (2) und der Bodenplatte (11) angebracht wird.