JP4215317B2 - Icリードフレーム用切断刃およびその製造方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
この発明は、耐摩耗性、耐欠損性、経済性に優れるICリードフレーム用切断刃とその製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
ICリードフレーム用切断刃は、寿命の長いもの、即ち、耐摩耗性、耐欠損性をより高めたものが望まれているが、その2つの要求に応え、同時に経済性も向上させたものはまだ無い。
【0003】
耐摩耗性に優れる材料としては、例えば(1)特開平4−198453号公報に示されるもの、(2)特開平5−59481号公報に示されるもの、或いは、(3)特開平4−202738号公報に示されるものがある。
【0004】
(1)は、IVa、Va、VIa族金属元素の特定粒径の炭化物質の硬質相と特定量の鉄族の金属結合相とから成る超硬合金であって、ビッカース硬度が1800以上ある。
【0005】
また、(2)は、WCを主体にしてMoやMo2 CやVCの硬質相を加え、さらに、Coベースの結合相を加えた超硬合金であって、ビッカース硬度が2300以上ある。
【0006】
さらに、(3)は、平均粒径の小さなWC−Co系超硬合金であって、飽和磁化量とCo量との関係を特定することで強度と安定性を向上させて微細加工での適性を向上させている。
【0007】
しかしながら、上記(1)〜(3)の超硬合金は、高硬度化により耐摩耗性が飛躍的に向上している反面、耐欠損性が低下し、ICリードフレーム用切断刃の材料としては、満足のいくものではなかった。
【0008】
一方、特開平7−242982号公報は、cBN(立方晶窒化硼素)の刃先部と超硬合金のボディを複合化したタイバーカットパンチ(ICリードフレーム用切断刃)を開示している。これは、刃先部がcBN多結晶焼結体であるので耐摩耗性に優れ、また、ボディは超硬合金であるため耐欠損性に優れる。しかし、高価なcBN多結晶焼結体を用いているのでコストアップが避けられない。また、超硬合金と異種材料のcBN多結晶焼結体を接合しているため、接合強度にも問題があり、ボディによる刃先部の補強効果(ボディによる刃先部の欠損防止効果)もあまり期待できない。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】
超硬合金は、耐摩耗性材料の中で最も一般的な材料であり、他の耐摩耗性材料に比べて安価であるが、耐摩耗性と耐欠損性の双方に優れるものがなく、従って、超硬合金を材料にしたICリードフレーム用切断刃は、早期摩耗又は欠損が生じて短寿命となる。
【0010】
一方、刃先部をcBN多結晶焼結体で形成した特開平7−242982号公報のタイバーカットは、コスト高となり、ボディによる刃先部の補強が充分でないため、耐欠損性にも問題がある。
【0011】
そこで、この発明は、耐摩耗性と耐欠損性を両立させ、さらに、経済性やボディによる刃先部補強効果も高めたICリードフレーム用切断刃とその切断刃の製造方法を提供することを課題としている。
【0012】
【課題を解決するための手段】
上記の課題を解決するため、この発明においては、次の2つのICリードフレーム用切断刃を提供する。
【0013】
そのひとつ(以下、第1発明品と云う)は、下記Aの超硬合金で形成される刃先部と、下記Bの超硬合金で形成されるボディ部が金属結合相を介して一体に接合されて成る。
A:重量比でWCを95%以上、99.8%未満含有し、残部がCo又はNiもしくはCo、Niの両者と不可避不純物の金属結合相で構成された、抗折力が50kg/mm2 以上、ビッカース硬度が2000以上の超硬合金。
B:重量比でWCを85%以上、95%未満含有し、残部がCo又はNiもしくはCo、Niの両者と不可避不純物の金属結合相で構成された、抗折力が300kg/mm2 以上、ビッカース硬度が1500以上の超硬合金。
【0014】
また、他のひとつ(以下、第2発明品と云う)は、下記Cの超硬合金で形成される刃先部と、下記Dの超硬合金で形成されるボディ部が金属結合相を介して一体に接合されて成る。
C:重量比でWCを90%以上、98%未満、TiC、TiCN、TaC、NbC、Mo2 C、VC、Cr3 C2 の中から選ばれた物質の少なくとも1種を0.1%以上、10%未満含有し、残部がCo又はNiもしくはCo、Niの両者と不可避不純物の金属結合相で構成され、かつその金属結合相の含有量が超硬合金Dよりも少なく、抗折力が50kg/mm2 以上、ビッカース硬度が2000以上の超硬合金。
D:重量比でWCを85%以上、95%未満、TiC、TiCN、TaC、NbC、Mo2 C、VC、Cr3 C2 の中から選ばれた物質の少なくとも1種を0.1%以上、10%未満含有し、残部がCo又はNiもしくはCo、Niの両者と不可避不純物の金属結合相で構成された、抗折力が300kg/mm2 以上、ビッカース硬度が1500以上の超硬合金。
【0015】
これ等の切断刃は、刃先部とボディ部の各超硬合金の金属結合相の含有量に差がつくようにしている(刃先部側が少ない)が、その差が大きくなる場合には、刃先部とボディ部との間に超硬合金で形成される中間層を介在し、その中間層の金属結合相の含有量を刃先部より多く、ボディ部より少なくし、かつ、刃先部からボディ部側に向かって増加させた構成にすると望ましい。
【0016】
また、刃先部及びボディ部の超硬合金中に含まれるWC粒子の粒径が、1.0μm未満であるものが望ましい。
【0017】
さらに、表面に、CVD法又はPVD法によるTiC、TiN、TiCN、Al2 O3 又はダイヤモンドライクカーボン(DLC)の被覆層を設けるのも好ましい。この場合の被覆層は上記材料のどれかひとつの層であってもよいし、異なる材料を複数積層した層であってもよい。上記の中間層も単層、多層を問わない。
【0018】
また、これ等の切断刃は、ボディ部用の超硬合金粉末と刃先部用の超硬合金粉末又はボディ部用の超硬合金粉末と中間層用の超硬合金粉末と刃先部用超硬合金粉末を順に黒鉛型に充填し、その粉末に黒鉛パンチで200kg/cm2 以上、500kg/cm2 以下の圧力を加え、その加圧下で黒鉛型及び黒鉛パンチに通電して黒鉛型を1000℃以上、1500℃未満に発熱させ、この状態を5分以上、10分未満保持して黒鉛型内の超硬合金粉末を焼結一体化する通電加圧焼結法で製造すると好ましい。
【0019】
【作用】
第1発明品、第2発明品とも、刃先部をビッカース硬度の高い超硬合金で、ボディ部を抗折力の高い超硬合金で各々形成し、その2種類の超硬合金をそれぞれの合金に含まれる金属結合層を介して一体化させることで耐摩耗性と耐欠損性を両立させている。
【0020】
刃先部の耐摩耗性は、cBN多結晶焼結体を用いた特開平7−242982号のタイバーカットの方が勝るが、これは、刃先部とボディ部の接合強度、つまりはボディによる刃先部の補強に問題がある。これに対し、この発明の切断刃は、超硬合金の金属結合相が結びついて抗折力の高いボディ部が刃先部をしっかり支えるため、耐欠損性が上記のタイバーカットよりも向上し、耐摩耗性と耐欠損性がバランス良く発揮されて寿命が延びる。
【0021】
また、刃先部も安価な超硬合金を用いているのでコストも下がる。
【0022】
ここで、第1発明品において、刃先部(超硬合金A)のWC含有量を限定したのは、その量が95%(重量比%、以下も同じ)未満では所望の硬度が得られず、耐摩耗性が不足し、一方、99.8%以上では硬く脆くなって刃先のチッピング(微少欠け)を起こすからである。
【0023】
ボディ部(超硬合金B)のWC含有量も、85%未満では硬さが不足して使用中にボディ部が座屈を生じ、95%以上では所望の抗折力が得られず、突発的な欠損を起こす可能性があるので85%以上、95%未満にした。
【0024】
さらに、刃先部の抗折力を50kg/mm2 以上としたのは、それ未満の値ではチッピングを起こし易いからである。また刃先部のビッカース硬度を2000以上としたのは、同数値に満たない硬度では従来品と差別化できるだけの耐摩耗性が得られないからである。なお、この抗折力、硬度は高いほど良いので上限を定めていないが、超硬合金Aの組成での抗折力の上限は300kg/mm2 、ビッカース硬度の上限は2700程度と考えられる。
【0025】
ボディ部の抗折力を300kg/mm2 以上としたのは、これ未満では突発的な欠損が考えられるからである。また、このボディ部のビッカース硬度を1500以上としたのは、使用中の座屈を回避するためである。この場合も、抗折力、ビッカース硬度は高いほどほいが、超硬合金Bの組成での抗折力の上限は6000kg/mm2 、ビッカース高度の上限は2000程度と考えられる。
【0026】
第2発明品も、上記と同様の理由から、刃先部の超硬合金Cとボディの超硬合金DのWC含有量、抗折力、ビッカース硬度に限定を加えた。この第2発明品は、リードフレーム切断時にICのパッケージであるレジン樹脂も一緒に切断するときに特に有効なものである。刃先部、ボディ部の各超硬合金に含ませたTiC、TiCN、TaC、NbC、Mo2 C、VC、Cr3 C2 がレジン樹脂に対して優れた耐摩耗性を発揮し、延命効果を高めるからである。
【0027】
この場合、上記元素の炭化物、炭窒化物の添加量が0.1%以下では顕著な効果が現れず、逆に10%を越えると、超硬合金C、Dが硬く脆くなって刃先部ではチッピング、ボディ部では突発的な欠損の問題が生じて好ましくない。このように、第2発明品は、Tiの炭化物等の硬質相の添加により刃先部、ボディ部の硬度が高まるので、刃先部、ボディ部ともWC含有量を第1発明品より若干少なくしてビッカース硬度を調整している。
【0028】
この発明の切断刃は、上記超硬合金AとB又はCとDの組合わせにより、ボディ部の金属結合相含有量が刃先部の金属結合相含有量よりも多くなって、ボディ部の熱膨張係数が刃先部のそれより大きくなり、ボディ部との熱膨張差で刃先部に圧縮残留応力が発現する。そのため、刃先部のチッピングが起こり難くなり、これによっても耐欠損性が高められる。
【0029】
但し、刃先部とボディ部の金属結合相含有量の差が10%を越えると、刃先部の圧縮残留応力が大きくなり過ぎ、寿命に影響しない程度の微小欠陥でも、それが刃先部にあったならそこを起点に切断刃が大破することがある。そこで、このようなときに上記の中間層を設ける。この中間層は、刃先部側からボディ側に向かって金属結合相の含有量を増加させることで熱膨張係数を変化させており、刃先部とボディ部間での熱膨張係数の急変を防止して刃先部の圧縮残留応力を実用化レベルまで低減させる効果をもつ。
【0030】
なお、刃先部、ボディ部の合金に含まれるWC粒子の粒径が1μm以上あるとアブレイシブ摩耗以外にWC粒子の脱落により摩耗が進行する場合があるので、WCの粒径は1μm以下にするのがよい。その粒径は細かいほどよく、下限はないが、現状の技術レベルでは0.3μm程度が限界である。
【0031】
次に、この発明の切断刃の製造を通電加圧焼結法で行うと、金属結合相が結びついて各部の超硬合金の接合が強固になされる。また、中間層を設ける場合、その中間層の金属結合相の量を変化させるのも容易である。例えば、中間層を多層構造にして各層の超硬合金粉末の金属結合相量を変える方法で傾斜組成の中間層を形成できる。従って、現状の接合技術ではこの方法が最良と考えられる。この方法での黒鉛パンチによる加圧力が200kg/mm2 未満では、超硬合金にポア(いわゆる巣)が発生し易く、一方、500kg/mm2 以上では黒鉛型が破損し易く、経済的でない。
【0032】
また、焼結温度が1000℃未満では超硬合金の緻密化が充分でなく、1500℃を越えると金属結合相が溶出するので好ましくない。焼結温度の保持時間も5分未満では各部の超硬合金の均一焼成ができず、10分を越えると各部の超硬合金の組成の均一化が起こり、所望の特性を得ることができなくなる。以上の理由から、加圧力、焼結温度、保持時間に限定を加えた。
【0033】
【発明の実施の形態】
図1、図2に、この発明の切断刃の概要を示す。図の1は刃先部、2はボディ部、3は中間層であり、これ等は焼結によって一体化している。なお、第1発明品は、刃先部1を前述の超硬合金Aで、ボディ部2を超硬合金Bで各々形成し、第2発明品は刃先部1を前述の超硬合金Cで、ボディ部2を超硬合金Dで各々形成する。
【0034】
図2の切断刃の中間層3を構成する超硬合金は、金属結合相の含有量が刃先部1側からボディ部2側に行くにつれて増加し、刃先部1との接合部は刃先部1の超硬合金に近似した組成、ボディ部2との接合部はボディ部2の超硬合金に近似した組成になっている。この中間層2は、単層構造、多層構造のどちらであってもよい。
【0035】
なお、刃先部1の厚みは、切断するリードフレームもしくはICパッケージの厚みよりも3mm程度大きくしておくのが好ましい。ボディ部2は、ホルダ(図示せず)への取付けを安定して行える厚みにする必要がある。中間層3の厚みは1mm〜10mmぐらいが好ましい。従って、一般的には中間層厚み<刃先部厚み<ボディ部厚みの関係が成立するものになる。
【0036】
図3は、通電加圧焼結法による切断刃の製造方法を示している。図中4は、黒鉛ブロック5で支持した黒鉛型であり、外枠4aと抜き取り自在の底蓋4bとから成る。この黒鉛型4内にボディ部用超硬合金B(又はD)の粉末、中間層用超硬合金Eの粉末(これは省く場合がある)、刃先部用超硬合金A(又はC)の粉末を順に充填し、黒鉛パンチ6で所定の圧力を加える。そして、その加圧下で電極7、8を介して黒鉛型4及び黒鉛パンチ6に通電し(9は電源)、所定の温度を所定時間保持して各部の超硬合金粉末を焼結一体化する。
【0037】
以下に、より詳細な実施例を挙げる。
【0038】
−実施例1−
表1に示す組成の超硬合金粉末を準備し、ボディ部用、刃先部用又はボディ部用、中間層用、刃先部用の順に超硬合金粉末を黒鉛型に充填し、黒鉛パンチにより400kg/mm2 の圧力を加えてその加圧下で黒鉛型及び黒鉛パンチに通電して黒鉛型を1200℃に発熱させ、その状態を7分間保持して、サンプル1〜20を得た。また、従来品として、WC−2%Coの組成の超硬合金イとWC粒度の異なるWC−10%Coの組成の2種類の超硬合金ロ、ハを準備した。表1に、各サンプルの刃先部、ボディ部、中間層並びに従来品の抗折力とビッカース硬度を示す。
【0039】
【表1】
【0040】
次に、サンプル1〜20及び従来品を用いて0.5mm径の銅製リードフレームを切断し、寿命に至るまでの切断回数を調べた。この試験での寿命判定は、切断刃の摩耗によって切断後のリードフレームに0.1mmのバリが発生した時点を寿命とした。結果を表2に示す。
【0041】
【表2】
【0042】
−実施例2−
実施例1のサンプル20及び従来品を用いて0.7mm径の銅製リードフレームをパッケージのレジン樹脂と共に切断し、寿命までの切断回数を調べた。この場合の寿命判定は、切断刃の欠損もしくは摩耗により切断したレジン樹脂に0.1mmのバリが発生した時点とした。結果を表3に示す。
【0043】
【表3】
【0044】
−実施例3−
刃先部、ボディ部の材料として、実施例1のサンプル1と同一組成の超硬合金粉末を用い、実施例1で採用した通電加圧焼結法における加圧力、焼結温度、その温度の保持時間を表4のように変化させて同表に示すサンプル21〜33を得た。これ等のサンプルの刃先部とボディ部の抗折力とビッカース硬度を表4に示す。
【0045】
【表4】
【0046】
−実施例4−
実施例1のサンプル1の表面に表5に示す材料の被覆層をCVD法にて形成し、こうして得られたサンプル34〜38で0.7mm径の銅製リードフレームをパッケージのレジン樹脂と共に切断した。この試験での寿命までの切断回数を表5に示す。なお、寿命判定の基準は実施例2と同じである。
【0047】
【表5】
【0048】
【発明の効果】
この発明の切断刃は、特性の異なる超硬合金を刃先部とボディ部とで使い分け、さらに、その2種類の超硬合金を共通の金属結合相を介して一体に接合することにより、耐摩耗性に優れる反面、抗折力に問題のある刃先部の超硬合金を抗折力に優れるボディ部の超硬合金でしっかりと支えて耐摩耗性と耐欠損性を両立させたので、上記の実施例から判るように、従来品に比べて寿命が大巾に向上する。
【0049】
また、材料が全て超硬合金であるので経済性にも優れる。
【0050】
なお、刃先部とボディ部の超硬合金にTiの炭化物、炭窒化物やTa、Nbなどの炭化物を添加したものは、ICの樹脂パッケージを一緒に切断する場合の寿命向上に顕著な効果を奏する。
【0051】
また、刃先部とボディ部間に中間層を介在したものは、熱膨張係数差による刃先部の圧縮残留応力を適正レベルに制御できる。
【0052】
さらに、刃先部、ボディ部の超硬合金に含まれるWC粒子の粒径を1μm以下にしたものはWC粒子の脱落が防止されて耐摩耗性がより良くなる。
【0053】
このほか、表面に硬質材の被覆層を設けたものは、被覆層による耐摩耗性の向上で寿命がより一層延びる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の切断刃の概要を示す断面図
【図2】中間層を設けた切断刃の断面図
【図3】この発明の切断刃の製造法(通電加圧焼結法)を示す概念図
【符号の説明】
1 刃先部
2 ボディ部
3 中間層
4 黒鉛型
5 黒鉛ブロック
6 黒鉛パンチ
7、8 電極
9 電源
Claims (6)
- 下記Aの超硬合金で形成される刃先部と、下記Bの超硬合金で形成されるボディ部が金属結合相を介して一体に接合されて成るICリードフレーム用切断刃。
A:重量比でWCを95%以上、99.8%未満含有し、残部がCo又はNiもしくはCo、Niの両者と不可避不純物の金属結合相で構成された、抗折力が50kg/mm2 以上、ビッカース硬度が2000以上の超硬合金。
B:重量比でWCを85%以上、95%未満含有し、残部がCo又はNiもしくはCo、Niの両者と不可避不純物の金属結合相で構成された、抗折力が300kg/mm2 以上、ビッカース硬度が1500以上の超硬合金。 - 下記Cの超硬合金で形成される刃先部と、下記Dの超硬合金で形成されるボディ部が金属結合相を介して一体に接合されて成るICリードフレーム用切断刃。
C:重量比でWCを90%以上、98%未満、TiC、TiCN、TaC、NbC、Mo2 C、VC、Cr3 C2 の中から選ばれた物質の少なくとも1種を0.1%以上、10%未満含有し、残部がCo又はNiもしくはCo、Niの両者と不可避不純物の金属結合相で構成され、かつその金属結合相の含有量が超硬合金Dよりも少なく、抗折力が50kg/mm2 以上、ビッカース硬度が2000以上の超硬合金。
D:重量比でWCを85%以上、95%未満、TiC、TiCN、TaC、NbC、Mo2 C、VC、Cr3 C2 の中から選ばれた物質の少なくとも1種を0.1%以上、10%未満含有し、残部がCo又はNiもしくはCo、Niの両者と不可避不純物の金属結合相で構成された、抗折力が300kg/mm2 以上、ビッカース硬度が1500以上の超硬合金。 - 刃先部とボディ部との間に超硬合金で形成される中間層を介在し、その中間層の金属結合相の含有量を刃先部より多く、ボディ部より少なくし、かつ、刃先部からボディ部側に向かって増加させたことを特徴とする請求項1又は2記載のICリードフレーム用切断刃。
- 刃先部及びボディ部の超硬合金中に含まれるWC粒子の粒径が、1.0μm未満であることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載のICリードフレーム用切断刃。
- 表面に、CVD法又はPVD法によるTiC、TiN、TiCN、Al2 O3 又はダイヤモンドライクカーボンの被覆層を設けた請求項1乃至4のいずれかに記載のICリードフレーム用切断刃。
- ボディ部用の前記B又はDの超硬合金の粉末と刃先部用の前記A又はCの超硬合金の粉末、もしくは、ボディ部用の前記B又はDの超硬合金の粉末と金属結合相の含有量を刃先部より多く、ボディ部より少なくした中間層用の超硬合金の粉末と刃先部用の前記A又はCの超硬合金の粉末を順に黒鉛型に充填し、その粉末に黒鉛パンチで200kg/cm2以上、500kg/cm2以下の圧力を加え、その加圧下で黒鉛型及び黒鉛パンチに通電して黒鉛型を1000℃以上、1500℃未満に発熱させ、この状態を5分以上、10分未満保持して黒鉛型内の超硬合金粉末を焼結一体化することを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載のICリードフレーム用切断刃の製造方法。
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