JP4193750B2 - 水素分離膜、燃料電池、およびその水素分離膜、燃料電池の製造方法 - Google Patents

水素分離膜、燃料電池、およびその水素分離膜、燃料電池の製造方法 Download PDF

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Description

本発明は、水素の解離・結合を活性化する触媒金属の使用を抑制した水素分離膜、燃料電池、およびその水素分離膜、燃料電池の製造方法に関する。
従来、燃料電池などに用いられる、水素リッチなガスから水素のみを分離する機能を持つ水素分離膜として、例えば、下記の特許文献1に記載されたものが知られている。かかる特許文献1に示される水素分離膜は、水素透過性金属層(バナジウム(V))を基材として、その両面に金属拡散抑制層をコーティングしている。さらに、それら金属拡散抑制層の表面に水素の解離または結合を活性化し、促進する触媒金属(以下、水素解離・結合用触媒金属とも呼ぶ。)としてパラジウム(Pd)を膜状にコーティングしている。
特開平7−185277号公報
しかしながら、上述した水素分離膜において、水素解離・結合用触媒金属として用いられるパラジウム(Pd)は、高価であり、できるだけパラジウム(Pd)の使用量を抑制したいという要望があった。
なお、上記問題は、パラジウム(Pd)に限らず、水素結合・解離触媒金属として用いられる他の金属においても同様の問題である。
本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであり、水素解離・結合用触媒金属の使用量を抑制した水素分離膜、燃料電池、およびその水素分離膜、燃料電池の製造方法を提供することを目的とする。
上記目的の少なくとも一部を達成するために、本発明の水素分離膜の製造方法は、
水素分離膜の製造方法であって、
(a)基材としての水素透過性金属の表面に、水素透過性を有する酸化物から成り、前記水素透過性金属層の酸化を抑制するための酸化抑制層を形成する工程と、
(b)前記酸化抑制層の表面に水素の解離もしくは結合反応に活性のある触媒金属を粒子状に付着させる工程と、
を備えることを要旨とする。
上記水素分離膜の製造方法によれば、触媒金属を粒子状に付着させるので、従来の触媒金属を膜状に形成した場合と比べて、触媒金属の活性界面の表面積を増加させることができる。従って、例えば、この活性界面の表面積が、触媒金属を膜状に形成した場合における触媒金属の活性界面の表面積と同程度となるように設定した場合には、触媒金属を膜状に形成した場合に比べて、触媒金属の使用量を抑制することができる。
上記水素分離膜の製造方法では、前記工程(b)において付着させる前記触媒金属は、水素透過性金属としてもよい。
また、上記水素分離膜の製造方法では、
(c)形成された前記酸化抑制層の表面を凹凸化する工程をさらに備え、
前記工程(b)では、凹凸化させた前記酸化抑制層の表面に水素の解離もしくは結合反応に活性のある触媒金属を粒子状に付着させるようにしてもよい。
このようにすれば、凹凸化させた酸化抑制層に触媒金属を粒子状に付着させるので、凹凸化させた酸化抑制層の表面に沿って触媒金属を膜状に形成した場合と比べて、触媒金属の活性界面の表面積を増加させることができる。従って、例えば、この活性界面の表面積が、凹凸化させた酸化抑制層の表面に沿って触媒金属を膜状に形成した場合における触媒金属の活性界面の表面積と同程度となるように設定した場合には、触媒金属を膜状にした場合に比べて、触媒金属の使用量を抑制することができる。
なお、上記酸化抑制層を、以下のようにすれば、凹凸化させることができる。
すなわち、上記水素分離膜の製造方法において、
前記工程(a)では、前記酸化抑制層を、非晶質に形成し、
前記工程(c)では、非晶質な前記酸化抑制層を結晶化させることにより前記酸化抑制層の表面を凹凸化させるようにしてもよい。
このようにすれば、非晶質な酸化抑制層が、結晶化する際に生じる物理変化を利用して酸化抑制層を凹凸化させることができる。
また、上記水素分離膜の製造方法において、
前記工程(a)では、前記酸化抑制層を、酸化が不完全な金属酸化物で形成し、
前記工程(c)では、酸化が不完全な前記金属酸化物から成る前記酸化抑制層を酸化させることにより前記酸化抑制層を凹凸化させるようにしてもよい。
このようにすれば、酸化が不完全な金属酸化物から成る酸化抑制層が、酸化する際に生じる物理変化を利用して酸化抑制層を凹凸化させることができる。
上記水素分離膜の製造方法において、
前記工程(a)は、
(a1)前記水素透過性金属の表面に、純金属を形成する工程と、
(a2)前記工程(c)として、前記純金属を酸化させ、凹凸化させる工程と、
を含むことを特徴とする。
このようにすれば、純金属から成る酸化抑制層が、酸化する際に生じる物理変化を利用して酸化抑制層を凹凸化させることができる。
上記目的の少なくとも一部を達成するために、本発明の燃料電池の製造方法は、
上記水素分離膜を製造する工程と、
(d)前記水素分離膜の表面に、プロトン伝導性を有する電解質膜を形成する工程と、
を備えることを要旨とする。
上記燃料電池の製造方法によれば、上記の触媒金属の使用量を抑制することができる水素分離膜を用いるので、燃料電池の製造コストも抑制することができる。
上記目的の少なくとも一部を達成するために、本発明の水素分離膜は、
基材としての水素透過性金属層と、
水素透過性を有する酸化物から成り、前記水素透過性金属層の酸化を抑制するために、前記水素透過性金属層の表面に形成される酸化抑制層と、
前記酸化抑制層の表面に、水素の解離もしくは結合反応に活性のある触媒金属を粒子状に付着して成る水素解離結合活性層と、
を備えることを特徴とする。

上記水素分離膜によれば、触媒金属を粒子状に付着させるので、従来の触媒金属を膜状にした場合と比べて、触媒金属の活性界面の表面積を増やすことができる。従って、例えば、この活性界面の表面積が、触媒金属を膜状にした場合における触媒金属の活性界面の表面積と同程度となるように設定した場合には、触媒金属を膜状にした場合に比べて、触媒金属の使用量を抑制することができる。
上記目的の少なくとも一部を達成するために、本発明の燃料電池は、
上記水素分離膜と、
前記水素分離膜の表面に形成されるとともにプロトン伝導性を有する電解質膜と、
を備えることを要旨とする。
上記燃料電池によれば、上記の触媒金属の使用量を抑制することができる水素分離膜を用いるので、燃料電池の製造コストも抑制することができる。
以下では、本発明の実施の形態を実施例に基づいて以下の手順で説明する。
A.第1の実施例:
A1.水素分離膜の製造方法:
A2.実施例の効果:
B.第2の実施例:
B1.水素分離膜の製造方法:
B2.実施例の効果:
C.第3の実施例:
C1.水素分離膜の製造方法:
C2:実施例の効果:
D.変形例:
A.第1の実施例:
A1.水素分離膜の製造方法:
図1は、本発明の第1の実施例における水素分離膜を製造する工程を示したフローチャートである。このフローチャートには、各工程に形成される部材等も図示してある。
それでは、本発明の第1の実施例としての水素分離膜を製造する方法を、図1に示すフローチャートを用いて以下に説明する。
まず、基材として水素透過性金属層100を用意する。この水素透過性金属層100は、水素を選択的に透過する(ステップS100)。また、本実施例では、水素透過性金属層100として、バナジウム(V)を用い、厚さは50μm程度とした。この厚さは、生成する水素分離膜の用途に応じて任意に設定可能である。
次に、基材としての水素透過性金属層100の両面に、その酸化を抑制するための酸化抑制剤を水素透過性金属層100に対して平坦にコーティングして、酸化抑制層110を形成する(ステップS120)。この酸化抑制剤としては、水素をよく透過するものを用いる。例えば、三酸化タングステン(WO3)、三酸化モリブデン(MoO)、バリウムセレート(BaCeO)やストロンチウムセレート(SrCeO)系のセラミックスペロブスカイト(以下、ペロブスカイトとも呼ぶ。)(ABO)、および、SmZrなどのセラミックスパイロクロア(以下、パイロクロアとも呼ぶ。)(A)などを用いることができる。また、これらの酸化抑制剤のコーティングは、例えば、イオンプレーティングやスパッタリングなどのPVD法で行う。このコーティングは、酸化抑制剤が非晶質(アモルファス)とならない300℃〜500℃程度の温度下で行うのが望ましい。本実施例では、酸化抑制層110の厚さは、100nm程度とした。この厚さは、生成する水素分離膜の用途に応じて任意に設定可能である。なお、酸化抑制層110は、バナジウム(V)と、後述する水素解離・結合用触媒金属120との間で起こり得る金属拡散を抑制する機能も有している。
続いて、酸化抑制層110の表面に、水素解離・結合用触媒金属120を粒子状にコーティングする(ステップS140)。水素解離・結合用触媒金属120としては、例えば、パラジウム(Pd)やルテニウム(Ru)などの貴金属が用いられる。この粒子状である水素解離・結合用触媒金属120において、酸化抑制層110と接する以外の粒子表面は、水素の解離または結合が活性化する活性界面となる。また、この水素解離・結合用触媒金属120のコーティングは、PVD法などで行う。ステップS140に示すように、このコーティングは、粒子同士が結合して、膜状にならないように、粒子の大きさが20nm以下となるように行うことが望ましい。
以上のようにして、水素分離膜10を生成する。
A2.実施例の効果:
以上のように、本実施例の水素分離膜の製造方法によれば、平坦に形成された酸化抑制層110の表面に、水素解離・結合用触媒金属120を粒子状にコーティングしている(ステップS140)。このようにすれば、水素解離・結合用触媒金属120において、酸化抑制層110と接する以外の粒子表面が活性界面となるので、水素解離・結合用触媒金属120を膜状にした場合と比べて、活性界面の表面積を増やすことができる。従って、例えば、水素解離・結合用触媒金属120の活性界面の表面積が、水素解離・結合用触媒金属120を膜状にした場合における活性界面の表面積と同程度となるように設定した場合には、水素解離・結合用触媒金属120を膜状にした場合と比べて、水素解離・結合用触媒金属120の使用量を抑制することができる。
B.第2の実施例:
次に、本発明における第2の実施例を説明する。本実施例の水素分離膜の製造方法は、以下の点で第1の実施例の水素分離膜の製造方法と相違している。すなわち、第1の実施例では、水素透過性金属層100の両面に酸化抑制層110を平坦に形成し、形成した酸化抑制層110に水素の解離・結合用触媒金属120をコーティングしていたが、本実施例では、酸化抑制層を凹凸化させて、その凹凸化させた酸化抑制層に水素の解離・結合用触媒金属をコーティングするようにしている。従って、以下では、この第1の実施例と相違する点を表わす工程を中心に、本実施例を説明する。
B1.水素分離膜の製造方法:
図2は、本発明の第2の実施例における水素分離膜を製造する工程を示したフローチャートである。このフローチャートには、第1の実施例と相違する工程において、その工程で形成される部材等も図示してある。
まず、第1の実施例と同様に、基材として水素透過性金属層100を用意する(ステップS100)。
次に、基材としての水素透過性金属層100の両面に、酸化抑制剤を室温(例えば、20℃)下でコーティングして、非晶質な酸化抑制層125を形成する(ステップS200)。この酸化抑制剤としては、水素をよく透過するものを用いる。例えば、酸化タングステン(WO)、三酸化モリブデン(MoO)、ペロブスカイト(ABO)、および、パイロクロア(A)などを用いる。また、酸化抑制層125のコーティング方法は、上述と同様イオンプレーティングやスパッタリングなどのPVD法で行う。なお、上述では、酸化抑制剤を室温下でコーティングしているが、酸化抑制剤をコーティングする温度は、酸化抑制層125が非晶質に形成される範囲内で任意の温度に設定可能である。
続いて、非晶質な酸化抑制層125を熱処理して結晶化させる(ステップS220)。熱処理の方法としては、例えば、レーザ照射などを用いる。レーザ照射は、酸化抑制層125にレーザを照射することにより発熱させる方法である。また、熱処理の温度は、300℃〜500℃程度で行うことが望ましい。以上のように酸化抑制層125を結晶化させれば、ステップS220に示すように、結晶化に伴い、酸化抑制層125の表面は、凹凸化する。すなわち、非晶質な酸化抑制層125が、結晶化する際に生じる物理変化を利用して酸化抑制層125を凹凸化させることができる。なお、本実施例では、この凹凸における凸部の頂面と凹部の底面との差(以下、凹凸差とも呼ぶ。)を、10nm〜100nm程度としている。
続いて、凹凸化した酸化抑制層125の表面に、水素解離・結合用触媒金属130を粒子状にコーティングする(ステップS240(図2))。水素解離・結合用触媒金属130としては、例えば、パラジウム(Pd)やルテニウム(Ru)などの貴金属が用いられる。また、この水素解離・結合用触媒金属130のコーティングは、PVD法などで行う。図2(ステップS240)に示すように、このコーティングは、粒子同士が結合し、膜状にならないように、粒子の大きさが20nm以下となるように行うことが望ましい。
以上のようにして、水素分離膜20を生成する。
B2.実施例の効果:
図3は、従来例としての凹凸化した酸化抑制層125の表面に沿って水素解離・結合用触媒金属を膜状にコーティングした場合の水素分離膜を説明する図である。図には、酸化抑制層125の表面に沿って水素解離・結合用触媒金属130を膜状にコーティングして成る水素解離・結合層135(50nm程度)を備えた水素分離膜15が示されている。
従来では、図3のごとく、凹凸な酸化抑制層125に沿って水素解離・結合用触媒金属130を膜状にコーティングしていたが、上述した本実施例の水素分離膜の製造方法によれば、凹凸に形成された酸化抑制層125の表面に、水素解離・結合用触媒金属130を粒子状にコーティングしている(ステップS240(図2))。このようにすれば、水素解離・結合用触媒金属130において、酸化抑制層125と接する以外の粒子表面が活性界面となるので、図3のごとく凹凸な酸化抑制層125に沿って水素解離・結合用触媒金属130を膜状にした場合と比べて、活性界面の表面積を増やすことができる。従って、例えば、水素解離・結合用触媒金属130の活性界面の表面積が、水素解離・結合用触媒金属130を膜状にした場合の活性界面の表面積と同程度となるように設定した場合には、凹凸な酸化抑制層125に沿って水素解離・結合用触媒金属130を膜状にした場合と比べて、水素解離・結合用触媒金属130の使用量を抑制することができる。
また、上述のようにすれば、水素解離・結合用触媒金属130の粒子は、酸化抑制層125の凹凸な部分にコーティングされるので、互いに影響を受けにくくなり、結合用触媒金属130の粒子同士が結合し、凝集してしまうシンタリング現象を抑制することができる。
C.第3の実施例:
次に、本発明における第3の実施例を説明する。本実施例の水素分離膜の製造方法は、以下の点で第2の実施例の水素分離膜の製造方法と相違している。すなわち、第2の実施例では、水素透過性金属層100の表面に非晶質な酸化抑制層125を形成し、それを結晶化させることで、酸化抑制層125の表面を凹凸化させていたが、本実施例では、水素透過性金属層100の表面に酸化が不完全な金属酸化物からなる酸化抑制層を形成し、それをさらに酸化させることで、酸化抑制層の表面を凹凸化させている。従って、以下では、この第2の実施例と相違する点を表わす工程を中心に、本実施例を説明する。
C1.水素分離膜の製造方法:
図4は、本発明の第3の実施例における水素分離膜を製造する工程を示したフローチャートである。このフローチャートには、第2の実施例と相違する工程において、その工程で形成される部材等も図示してある。
まず、第2の実施例と同様に、基材として水素透過性金属層100を用意する(ステップS100)。
次に、基材としての水素透過性金属層100の両面に、酸化が不完全な金属酸化物(以下、不完全金属酸化物とも呼ぶ。)である酸化抑制剤をコーティングして、酸化抑制層127を形成する(ステップS300)。この不完全金属酸化物である酸化抑制剤としては、例えば、酸化が不完全な酸化タングステン(WO3−x)、酸化が不完全な酸化モリブデン(MoO3−x)、酸化が不完全なペロブスカイト(ABO3−x)、および、酸化が不完全なパイロクロア(A7−x)などを用いることができる。また、酸化抑制層127のコーティングは、上述と同様にイオンプレーティングやスパッタリングなどのPVD法で行う。このコーティングは、酸化抑制剤が非晶質(アモルファス)とならない300℃〜500℃程度の温度下で行うのが望ましい。本実施例では、酸化抑制層110の厚さは、100nm程度とした。この厚さは、生成する水素分離膜の用途に応じて任意に設定可能である。
続いて、酸化抑制層127の表面に酸化促進触媒140を粒子状にコーティングする(ステップS320)。この酸化促進触媒140は、酸化抑制層127の酸化を促進させるための触媒であり、例えば、プラチナ(Pt)やパラジウム(Pd)などが用いられる。このようにすれば、後述のステップS340(図4)の工程で、酸化抑制層127を酸化する際に効率よく酸化することができる。また、この酸化促進触媒140のコーティングは、PVD法などで行う。このコーティングは、粒子同士が結合し、膜状にならないように行い、しかも、酸化抑制層127の多くを被覆しないように、粒子の大きさが5nm以下となるように行うことが望ましい。
続いて、酸化促進触媒140をコーティングした酸化抑制層127を空気雰囲気下で熱処理して酸化させる(ステップS340(図4))。熱処理の方法としては、例えば、レーザ照射などを用いる。熱処理の温度は、500℃程度で行う。以上のように酸化抑制層127を酸化させれば、図4(ステップS340)に示すように、酸化に伴い、酸化抑制層127の表面は、凹凸化する。すなわち、酸化が不完全な金属酸化物から成る酸化抑制層127が、酸化する際に生じる物理変化を利用して酸化抑制層127を凹凸化させることができる。なお、本実施例では、この凹凸化における凹凸差を、10nm〜100nm程度としている。また、上述では、酸化抑制層127を熱処理する際には、処理温度を500℃程度としているが、酸化抑制層127が酸化する範囲内で任意の温度に設定可能である。
次に、凹凸化した酸化抑制層127の表面に、水素解離・結合用触媒金属150を粒子状にコーティングする(ステップS360)。この水素解離・結合用触媒金属150のコーティングは、PVD法などで行う。図4(ステップS360)に示すように、このコーティングは、粒子同士が結合し、膜状にならないように、粒子の大きさが20nm以下となるように行うことが望ましい。
以上のようにして、水素分離膜30を生成する。
C2:実施例の効果:
以上のように、本実施例の水素分離膜の製造方法によれば、凹凸に形成された酸化抑制層127の表面に、水素解離・結合用触媒金属150を粒子状にコーティングしている(ステップS360(図4))。このようにすれば、水素解離・結合用触媒金属150において、酸化抑制層127と接する以外の粒子表面が活性界面となるので、凹凸な酸化抑制層127に沿って水素解離・結合用触媒金属150を膜状にした場合と比べて、活性界面の表面積を増やすことができる。従って、例えば、水素解離・結合用触媒金属150の活性界面の表面積が、水素解離・結合用触媒金属150を膜状にした場合の活性界面の表面積と同程度となるように設定した場合には、凹凸な酸化抑制層127に沿って水素解離・結合用触媒金属150を膜状にした場合と比べて、水素解離・結合用触媒金属150の使用量を抑制することができる。
また、上述のようにすれば、水素解離・結合用触媒金属150の粒子は、酸化抑制層127の凹凸な部分にコーティングされるので、互いに影響を受けにくくなり、結合用触媒金属150の粒子同士が結合し、凝集してしまうシンタリング現象を抑制することができる。
D.変形例:
なお、本発明では、上記した実施の形態に限られるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々の態様にて実施することが可能である。
D1.変形例1:
上記実施例で生成した水素分離膜10、20および30において、これら水素分離膜を燃料電池に用いてもよい。例えば、この燃料電池は、これらのうちの1つの水素分離膜Mと、所定の電極部材と、これらの間に電解質膜が挟まれるサンドイッチ構造としてもよい。この場合、水素分離膜Mは、電極としても機能する。また、電解質膜は、プロトン(もしくは水素原子)伝導性を有する、例えば、バリウムセレート(BaCeO)やストロンチウムセレート(SrCeO)系のセラミックスペロブスカイト、SmZrなどのセラミックスパイロクロア、および、水素透過性金属で挟まれたナフィオン膜、などから構成されていてもよい。また、上記所定の電極部材は、例えば、導電性多孔質体(カーボンブラックなど)に電極反応を促進させる触媒(プラチナ(Pt)、パラジウム(Pd)、ルテニウム(Ru)など)を担持させたものでもよいし、水素分離膜10、20、および30の何れかをさらに用いてもよい。なお、この燃料電池では、上記水素分離膜Mをアノード電極とし、上記所定の電極部材をカソード電極とすることが望ましい。
D2.変形例2:
上記実施例において、基材として用意する水素透過性金属層100は、バナジウム(V)から構成されているが、本発明はこれに限られるものではなく、種々の構成とすることができる。例えば、水素透過性金属層100は、ニオブ(Nb)、タンタル(Ta)などの5族金属、およびそれら5属金属との合金(例えば、バナジウム(V)−ニッケル(Ni))から構成されていてもよい。また、水素透過性金属層100は、複数の水素透過性金属層から構成されていてもよい。
D3.変形例3:
上記第3の実施例において、ステップS300(図4)の工程で、酸化抑制剤として不完全金属酸化物をコーティングして酸化抑制層127を形成しているが、本発明はこれに限られるものではない。例えば、酸化抑制剤として、タングステン(W)、モリブデン(Mo)、ペロブスカイトの構成金属からなるもの(AB)、パイロクロアの構成金属からなるもの(AB)などの純金属をコーティングして酸化抑制層127を形成してもよい。このようにすれば、純金属から成る酸化抑制層が、酸化する際に生じる物理変化を利用して酸化抑制層を凹凸化させることができる。そして、上記第3の実施例と同様に、ステップS320〜ステップS360(図4)の工程を行うことにより、水素分離膜30と同様の機能を奏する水素分離膜を製造することができる。
D4.変形例4:
上記第3の実施例および変形例3において、ステップS320(図4)の工程で、酸化抑制層127に酸化を促進するための酸化促進触媒140をコーティングしているが、この工程を省略してもよい。
本発明の第1の実施例における水素分離膜を製造する工程を示したフローチャートである。 本発明の第2の実施例における水素分離膜を製造する工程を示したフローチャートである。 従来例としての凹凸化した酸化抑制層125の表面に沿って水素解離・結合用触媒金属を膜状にコーティングした場合の水素分離膜を説明する図である。 本発明の第3の実施例における水素分離膜を製造する工程を示したフローチャートである。
符号の説明
10,15,20,30...水素分離膜
100...水素透過性金属層
110,125,127...酸化抑制層
120,130,150...水素解離・結合用触媒金属
135...水素解離・結合用触媒層
140...酸化促進触媒

Claims (9)

  1. 水素分離膜の製造方法であって、
    (a)基材としての水素透過性金属の表面に、水素透過性を有する酸化物から成り、前記水素透過性金属層の酸化を抑制するための酸化抑制層を形成する工程と、
    (b)前記酸化抑制層の表面に水素の解離もしくは結合反応に活性のある触媒金属を粒子状に付着させる工程と、
    を備えることを特徴とする水素分離膜の製造方法。
  2. 請求項1に記載の水素分離膜の製造方法において、
    前記工程(b)において付着させる前記触媒金属は、水素透過性金属であることを特徴とする水素分離膜の製造方法。
  3. 請求項1または請求項2に記載の水素分離膜の製造方法において、
    (c)形成された前記酸化抑制層の表面を凹凸化する工程をさらに備え、
    前記工程(b)では、凹凸化させた前記酸化抑制層の表面に水素の解離もしくは結合反応に活性のある触媒金属を粒子状に付着させることを特徴とする水素分離膜の製造方法。
  4. 請求項3に記載の水素分離膜の製造方法において、
    前記工程(a)では、前記酸化抑制層を、非晶質に形成し、
    前記工程(c)では、非晶質な前記酸化抑制層を結晶化させることにより前記酸化抑制層の表面を凹凸化させることを特徴とする水素分離膜の製造方法。
  5. 請求項3に記載の水素分離膜の製造方法において、
    前記工程(a)では、前記酸化抑制層を、酸化が不完全な金属酸化物で形成し、
    前記工程(c)では、酸化が不完全な前記金属酸化物から成る前記酸化抑制層を酸化させることにより前記酸化抑制層を凹凸化させることを特徴とする水素分離膜の製造方法。
  6. 請求項3に記載の水素分離膜の製造方法において、
    前記工程(a)は、
    (a1)前記水素透過性金属の表面に、純金属を形成する工程と、
    (a2)前記工程(c)として、前記純金属を酸化させ、凹凸化させる工程と、
    を含むことを特徴とする水素分離膜の製造方法。
  7. 水素分離膜を備えた燃料電池の製造方法であって、
    請求項1ないし請求項3のいずれかに記載の水素分離膜を製造する工程と、
    (d)前記水素分離膜の表面に、プロトン伝導性を有する電解質膜を形成する工程と、
    を備えることを特徴とする燃料電池の製造方法。
  8. 水素分離膜であって、
    基材としての水素透過性金属層と、
    水素透過性を有する酸化物から成り、前記水素透過性金属層の酸化を抑制するために、前記水素透過性金属層の表面に形成される酸化抑制層と、
    前記酸化抑制層の表面に、水素の解離もしくは結合反応に活性のある触媒金属を粒子状に付着して成る水素解離結合活性層と、
    を備えることを特徴とする水素分離膜。
  9. 水素分離膜を備えた燃料電池であって、
    請求項8に記載の水素分離膜と、
    前記水素分離膜の表面に形成されるとともにプロトン伝導性を有する電解質膜と、
    を備えることを特徴とする燃料電池。
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