JP4187691B2 - 閾値変調型イメージセンサ - Google Patents
閾値変調型イメージセンサ Download PDFInfo
- Publication number
- JP4187691B2 JP4187691B2 JP2004190853A JP2004190853A JP4187691B2 JP 4187691 B2 JP4187691 B2 JP 4187691B2 JP 2004190853 A JP2004190853 A JP 2004190853A JP 2004190853 A JP2004190853 A JP 2004190853A JP 4187691 B2 JP4187691 B2 JP 4187691B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- region
- photoelectric conversion
- gate electrode
- drain
- voltage
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 125
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 89
- 238000002955 isolation Methods 0.000 claims description 52
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 44
- 230000007704 transition Effects 0.000 claims description 6
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 25
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 description 23
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 22
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 21
- 238000000034 method Methods 0.000 description 19
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 18
- 108091006146 Channels Proteins 0.000 description 13
- 238000009825 accumulation Methods 0.000 description 13
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 12
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 11
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 11
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 11
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 11
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 description 10
- 230000008569 process Effects 0.000 description 10
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 9
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 9
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 9
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 9
- -1 boron ions Chemical class 0.000 description 8
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 7
- 230000008859 change Effects 0.000 description 7
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 6
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 description 6
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 6
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000000137 annealing Methods 0.000 description 5
- 229910052785 arsenic Inorganic materials 0.000 description 5
- 229910052681 coesite Inorganic materials 0.000 description 5
- 229910052906 cristobalite Inorganic materials 0.000 description 5
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 5
- 238000002513 implantation Methods 0.000 description 5
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 5
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 5
- 229920005591 polysilicon Polymers 0.000 description 5
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 5
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 description 5
- 229910052682 stishovite Inorganic materials 0.000 description 5
- 229910052905 tridymite Inorganic materials 0.000 description 5
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 4
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 4
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 4
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 4
- 229910021332 silicide Inorganic materials 0.000 description 4
- FVBUAEGBCNSCDD-UHFFFAOYSA-N silicide(4-) Chemical compound [Si-4] FVBUAEGBCNSCDD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000004913 activation Effects 0.000 description 3
- RQNWIZPPADIBDY-UHFFFAOYSA-N arsenic atom Chemical compound [As] RQNWIZPPADIBDY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000005036 potential barrier Methods 0.000 description 3
- 102100038837 2-Hydroxyacid oxidase 1 Human genes 0.000 description 2
- 101000887873 Arabidopsis thaliana Glycolate oxidase 2 Proteins 0.000 description 2
- 229910019001 CoSi Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 2
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 2
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 2
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 2
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 2
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 2
- 238000005268 plasma chemical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 230000004044 response Effects 0.000 description 2
- 238000005070 sampling Methods 0.000 description 2
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 2
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 2
- 101710160338 2-Hydroxyacid oxidase 1 Proteins 0.000 description 1
- 101001015570 Arabidopsis thaliana Glycolate oxidase 1 Proteins 0.000 description 1
- ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N Chlorine atom Chemical compound [Cl] ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 101001031589 Homo sapiens 2-Hydroxyacid oxidase 1 Proteins 0.000 description 1
- 102000004129 N-Type Calcium Channels Human genes 0.000 description 1
- 108090000699 N-Type Calcium Channels Proteins 0.000 description 1
- 206010034972 Photosensitivity reaction Diseases 0.000 description 1
- 229910008484 TiSi Inorganic materials 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 1
- HAYXDMNJJFVXCI-UHFFFAOYSA-N arsenic(5+) Chemical class [As+5] HAYXDMNJJFVXCI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000460 chlorine Substances 0.000 description 1
- 229910052801 chlorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910017052 cobalt Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010941 cobalt Substances 0.000 description 1
- GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N cobalt atom Chemical compound [Co] GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012141 concentrate Substances 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 230000006870 function Effects 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 1
- 208000030523 mesoaxial synostotic syndactyly with phalangeal reduction Diseases 0.000 description 1
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 1
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 1
- 230000036211 photosensitivity Effects 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 230000000644 propagated effect Effects 0.000 description 1
- 238000004151 rapid thermal annealing Methods 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 1
- 238000004088 simulation Methods 0.000 description 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 230000001629 suppression Effects 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
- H01L27/144—Devices controlled by radiation
- H01L27/146—Imager structures
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
- H01L27/144—Devices controlled by radiation
- H01L27/146—Imager structures
- H01L27/14601—Structural or functional details thereof
- H01L27/14609—Pixel-elements with integrated switching, control, storage or amplification elements
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/70—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components formed in or on a common substrate or of parts thereof; Manufacture of integrated circuit devices or of parts thereof
- H01L21/77—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components or integrated circuits formed in, or on, a common substrate
- H01L21/78—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components or integrated circuits formed in, or on, a common substrate with subsequent division of the substrate into plural individual devices
- H01L21/82—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components or integrated circuits formed in, or on, a common substrate with subsequent division of the substrate into plural individual devices to produce devices, e.g. integrated circuits, each consisting of a plurality of components
- H01L21/822—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components or integrated circuits formed in, or on, a common substrate with subsequent division of the substrate into plural individual devices to produce devices, e.g. integrated circuits, each consisting of a plurality of components the substrate being a semiconductor, using silicon technology
- H01L21/8232—Field-effect technology
- H01L21/8234—MIS technology, i.e. integration processes of field effect transistors of the conductor-insulator-semiconductor type
- H01L21/8238—Complementary field-effect transistors, e.g. CMOS
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
- H01L27/144—Devices controlled by radiation
- H01L27/146—Imager structures
- H01L27/14601—Structural or functional details thereof
- H01L27/14603—Special geometry or disposition of pixel-elements, address-lines or gate-electrodes
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
- H01L27/144—Devices controlled by radiation
- H01L27/146—Imager structures
- H01L27/14601—Structural or functional details thereof
- H01L27/1463—Pixel isolation structures
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
- H01L27/144—Devices controlled by radiation
- H01L27/146—Imager structures
- H01L27/14683—Processes or apparatus peculiar to the manufacture or treatment of these devices or parts thereof
- H01L27/14689—MOS based technologies
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/08—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof in which radiation controls flow of current through the device, e.g. photoresistors
- H01L31/10—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof in which radiation controls flow of current through the device, e.g. photoresistors characterised by at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. phototransistors
Description
図8は、本実施の形態にかかるイメージセンサの全体構成と画素の回路を示す図である。図8(A)の全体構成図に示されるように、画素アレイ20内には、行方向に延びるゲート線Gateと、列方向に延びるドレイン線Drain及びソース線Sourceが設けられ、それらの交差位置に画素PXが設けられる。ゲート線は、行選択回路22により所定の電圧に駆動され、ドレイン線はドレイン駆動回路24により所定の電圧に駆動され、ソース線は読み出し回路26に接続される。読み出し回路26は、画素内に入射した光量に応じて変化するソース電圧を読み出し信号として検出する。
図9〜図25により、本実施の形態のイメージセンサの製造プロセスを説明する。図8で説明したように、イメージセンサは、画素アレイと周辺駆動回路及び読み出し回路とで構成されるので、これらが同じチップ内に形成されれば、コストを下げることができる。そこで、以下の説明では、画素部とその周辺回路であるロジック回路部とを対比して、或いは個別に説明する。
(1)埋設N型分離領域N-ISO
P+ 1200k 0.5〜1.5E12 注入ピーク深さ〜1.20μm
P+ 900k 0.5〜1.5E12 注入ピーク深さ〜0.98μm
P+ 550k 1〜2E12 注入ピーク深さ〜0.63μm
(2)P型フローティングウエル領域FPWとP型のポテンシャルポケット領域HPK
B+ 130k 0.5〜1.5E12 注入ピーク深さ〜0.37μm
B+ 35k 3〜5E12 注入ピーク深さ〜0.10μm
(3)閾値電圧調整用のN型不純物領域CH
As+ 90k 1〜3E12 注入ピーク深さ〜0.03μm 図12の工程(E)にて、フォトダイオード領域と検出トランジスタ領域を除く領域に開口を有するレジストRGTを形成し、リンPとヒ素Asのイオン注入を以下の通り行い、基板表面から基板内の深さ領域まで延びるN型の分離領域N-ISOを形成する。これにより、基板表面から延びるN型分離領域N-ISOは、基板内に埋設されたN型分離領域N-ISOと結合して、P型ウエル領域FPWと光電変換領域PDとを、基板及び他の画素から分離する。
P+ 470k 2〜5E12 注入ピーク深さ〜0.55μm
P+ 270k 2〜5E12 注入ピーク深さ〜0.33μm
P+ 100k 1〜5E13 注入ピーク深さ〜0.13μm
As+ 80k 5E13〜2E14 注入ピーク深さ〜0.03μm
上記のイオン注入により、図11の工程(D)でのボロンBのイオン注入領域FPW、HPKは打ち消されて、N型領域になる。
B+ 600k 2〜4E12 注入ピーク深さ 〜1.15μm
B+ 500k 2〜4E12 注入ピーク深さ 〜1.0μm
このイオン注入により、ゲート電極直下の埋め込みN型分離領域N-ISOの厚さを薄くする。つまり、ポテンシャルポケット領域HPKが形成されるフローティングウエル領域FPWと、基板Subとの間に、幅が狭い急峻な不純物濃度プロファイルを有するN型の埋設分離領域が形成される。この工程(F)により、画素部のイオン注入によるウエル領域形成工程は終了する。
図26は、本実施の形態の閾値変調イメージセンサ(VMIS)の駆動方法を示す図である。図中には、3本のゲート線の電圧VG1〜VG3が示されている。また、図27はリセット動作、図28は蓄積動作、図29は読み出し動作、図30、図31は非選択動作をそれぞれ示す図である。まず、概略的動作を説明すると、最初に、図27に示されリセット動作により、P型ポテンシャルポケット領域HPKとP型フローティングウエル領域FPWとを完全空乏化して、蓄積されている電荷(ホール)を基板側に掃き出す。掃き出された電荷は、基板に接続されているグランド電源に吸収される。このとき、ゲートに8〜9V、ソースに6〜7V、ドレインに6〜7Vとそれぞれに高い正電圧を印加して、Pウエル領域内を完全に空乏化する。この完全空乏化により熱雑音を除去することができる。
第1導電型の基板に形成され、前記光電変換素子を構成する第2導電型のシールド領域及びその下の第1導電型の光電変換領域と、
前記第1導電型の基板に形成され、前記光電変換領域に連結する第1導電型のウエル領域と、
当該ウエル領域上に形成されたリング状ゲート電極と、
前記ウエル領域内であって前記リング状ゲート電極の内側に形成された第2導電型のソース領域と、
前記ウエル領域を囲むように隣接し、前記リング状ゲート電極及び前記光電変換領域の外側に形成された第2導電型のドレイン領域と、
前記ウエル領域内であって前記リング状ゲート電極の下に前記電荷を蓄積するポテンシャルポケット領域とを有し、
前記ゲート電極の幅が、前記光電変換領域に近接する部分がそれ以外の部分よりも短く形成されていることを特徴とするイメージセンサ。
第1導電型の基板に形成され、前記光電変換素子を構成する第2導電型のシールド領域及びその下の第1導電型の光電変換領域と、
前記第1導電型の基板に形成され前記光電変換領域に連結する第1導電型のウエル領域と、
当該ウエル領域上に形成されたリング状ゲート電極と、
前記ウエル領域内であって前記リング状ゲート電極の内側に形成された第2導電型のソース領域と、
前記ウエル領域を囲むように隣接し、前記リング状ゲート電極及び前記光電変換領域の外側に形成された第2導電型のドレイン領域と、
前記ウエル領域内であって前記リング状ゲート電極の下に前記電荷を蓄積するポテンシャルポケット領域とを有し、
前記ポテンシャルポケット領域のチャネル方向の幅が、前記光電変換領域に近接する部分がそれ以外の部分よりも短く形成されていることを特徴とするイメージセンサ。
第1導電型の基板に形成され、光電変換素子を構成する第2導電型のシールド領域及びその下の第1導電型の光電変換領域と、
前記第1導電型の基板に形成され前記光電変換領域に連結する第1導電型のウエル領域と、
当該ウエル領域上に形成されたリング状ゲート電極と、
前記ウエル領域内であって前記リング状ゲート電極の内側に形成された第2導電型のソース領域と、
前記ウエル領域を囲むように隣接し、前記リング状ゲート電極及び前記光電変換領域の外側に形成された第2導電型のドレイン領域と、
前記ウエル領域内であって前記リング状ゲート電極の下の領域に、前記ソース領域側に偏在することなく、前記電荷を蓄積するポテンシャルポケット領域とを有し、
前記ポテンシャルポケット領域の前記電荷に対するポテンシャルの高さが、前記光電変換領域に近接する部分とそれ以外の部分とで、高々100mV以内であることを特徴とするイメージセンサ。
第1導電型の基板に形成され、前記光電変換素子を構成する第2導電型のシールド領域及びその下の第1導電型の光電変換領域と、
前記第1導電型の基板に形成され前記光電変換領域に連結する第1導電型のウエル領域と、
当該ウエル領域上に形成されたリング状ゲート電極と、
前記ウエル領域内であって前記リング状ゲート電極の内側に形成された第2導電型のソース領域と、
前記ウエル領域に隣接し前記リング状ゲート電極及び前記光電変換領域の外側に形成された第2導電型のドレイン領域と、
前記ウエル領域内であって前記リング状ゲート電極の下に前記電荷を蓄積する第1導電型のポテンシャルポケット領域とを有し、
当該ポテンシャルポケット領域の不純物濃度が、前記光電変換領域に近接する部分でそれ以外の部分よりも薄いことを特徴とするイメージセンサ。
第1導電型の基板に形成され、前記光電変換素子を構成する第2導電型のシールド領域及びその下の第1導電型の光電変換領域と、
前記第1導電型の基板に形成され前記光電変換領域に連結する第1導電型のウエル領域と、
当該ウエル領域上に形成されたリング状ゲート電極と、
前記ウエル領域内であって前記リング状ゲート電極の内側に形成された第2導電型のソース領域と、
前記ウエル領域を囲むように隣接し前記リング状ゲート電極及び前記光電変換領域の外側に形成された第2導電型のドレイン領域と、
前記ウエル領域内であって前記リング状ゲート電極の下に前記電荷を蓄積する第1導電型のポテンシャルポケット領域とを有し、
前記リング状ゲート電極に近接する前記ドレイン領域が、前記基板の表面であって前記ポテンシャルポケット領域に近接する表面領域と、前記基板の表面より深い領域であって前記ポテンシャルポケット領域から離間された深さ領域とを有することを特徴とするイメージセンサ。
さらに、前記基板内に埋め込まれ、前記ウエル領域と光電変換領域を囲み、当該ウエル領域及び光電変換領域を基板から分離する第2導電型の分離領域を有し、当該分離領域は前記ドレイン領域に結合していることを特徴とするイメージセンサ。
前記ポテンシャルポケット領域は、前記リング状ゲート電極と同等のリング状の形状をなし、ほぼ同じ不純物濃度を有することを特徴とするイメージセンサ。
前記ポテンシャルポケット領域は、前記リング状ゲート電極と同等のリング状の形状をなし、ほぼ同じポテンシャルの深さを有することを特徴とするイメージセンサ。
前記リング状ゲート電極は、全円周においてほぼ同じゲート幅を有し、
前記ポテンシャルポケット領域は、前記リング状ゲート電極と同等のリング状の形状を有することを特徴とするイメージセンサ。
前記ポテンシャルポケット領域は、前記ウエル領域よりも高い不純物濃度を有することを特徴とするイメージセンサ。
更に、前記ウエル領域と基板との間に埋め込まれ、前記ドレイン領域に連結する第2導電型の埋設分離領域を有し、
前記埋設分離領域は、平面的に見て、前記ゲート電極を包含する形状に形成されていることを特徴とするイメージセンサ。
更に、前記ウエル領域と基板との間に埋め込まれ、前記ドレイン領域に連結する第2導電型の埋設分離領域を有し、
前記ゲート電極のゲート電圧より前記ドレイン領域のドレイン電圧が低い第1の状態から、前記ゲート電極のゲート電圧より前記ドレイン領域のドレイン電圧が高い第2の状態に遷移するとき、前記ドレイン電圧を先に上昇させた後に前記ゲート電圧を降下させることを特徴とするイメージセンサ。
更に、前記ウエル領域と基板との間に埋め込まれ、前記ドレイン領域に連結する第2導電型の埋設分離領域を有し、
前記ゲート電極のゲート電圧より前記ドレイン領域のドレイン電圧が低い第1の状態から、前記ゲート電極のゲート電圧より前記ドレイン領域のドレイン電圧が高い第2の状態に遷移するとき、前記ゲート電圧を前記第1の状態と第2の状態における電圧の中間電圧にした後に、前記ドレイン電圧を上昇させ、その後に前記ゲート電圧を第2の状態に降下させることを特徴とするイメージセンサ。
第1導電型の基板に形成され、前記光電変換素子を構成する第1導電型の光電変換領域と、
前記第1導電型の基板に形成され、前記光電変換領域に連結する第1導電型のウエル領域と、
当該ウエル領域上に形成されたリング状ゲート電極と、
前記ウエル領域内であって前記リング状ゲート電極の内側に形成された第2導電型のソース領域と、
前記ウエル領域を囲むように隣接し、前記リング状ゲート電極及び前記光電変換領域の外側に形成された第2導電型のドレイン領域と、
前記ウエル領域と基板との間に埋め込まれ、前記ドレイン領域に連結する第2導電型の埋設分離領域を有し、
前記ゲート電極のゲート電圧より前記ドレイン領域のドレイン電圧が低い第1の状態から、前記ゲート電極のゲート電圧より前記ドレイン領域のドレイン電圧が高い第2の状態に遷移するとき、前記ドレイン電圧を先に上昇させた後に前記ゲート電圧を降下させることを特徴とするイメージセンサ。
第1導電型の基板に形成され、前記光電変換素子を構成する第1導電型の光電変換領域と、
前記第1導電型の基板に形成され、前記光電変換領域に連結する第1導電型のウエル領域と、
当該ウエル領域上に形成されたリング状ゲート電極と、
前記ウエル領域内であって前記リング状ゲート電極の内側に形成された第2導電型のソース領域と、
前記ウエル領域を囲むように隣接し、前記リング状ゲート電極及び前記光電変換領域の外側に形成された第2導電型のドレイン領域と、
前記ウエル領域と基板との間に埋め込まれ、前記ドレイン領域に連結する第2導電型の埋設分離領域を有し、
前記ゲート電極のゲート電圧より前記ドレイン領域のドレイン電圧が低い第1の状態から、前記ゲート電極のゲート電圧より前記ドレイン領域のドレイン電圧が高い第2の状態に遷移するとき、前記ゲート電圧を前記第1の状態と第2の状態における電圧の中間電圧にした後に、前記ドレイン電圧を上昇させ、その後に前記ゲート電圧を第2の状態に降下させることを特徴とするイメージセンサ。
SHD:シールド領域、DR:ドレイン領域、SC:ソース領域
GT:ゲート電極、HPK:ポテンシャルポケット領域
N−ISO:分離領域
Claims (5)
- 光電変換素子と、当該光電変換素子で発生した電荷に応じて閾値が変動する検出トランジスタとを有する画素を複数個有するイメージセンサにおいて、
第1導電型の基板に形成され、前記光電変換素子を構成する第2導電型のシールド領域及びその下の第1導電型の光電変換領域と、
前記第1導電型の基板に形成され、前記光電変換領域に連結する第1導電型のウエル領域と、
当該ウエル領域上に形成されたリング状ゲート電極と、
前記ウエル領域内であって前記リング状ゲート電極の内側に形成された第2導電型のソース領域と、
前記ウエル領域を囲むように隣接し、前記リング状ゲート電極及び前記光電変換領域の外側に形成された第2導電型のドレイン領域と、
前記ウエル領域内であって前記リング状ゲート電極の下に前記電荷を蓄積するポテンシャルポケット領域とを有し、
前記ゲート電極の幅が、前記光電変換領域に近接する部分がそれ以外の部分よりも短く形成されていることを特徴とするイメージセンサ。 - 請求項1において、
さらに、前記基板内に埋め込まれ、前記ウエル領域と光電変換領域を囲み、当該ウエル領域及び光電変換領域を基板から分離する第2導電型の分離領域を有し、当該分離領域は前記ドレイン領域に結合していることを特徴とするイメージセンサ。 - 請求項1において、
前記ポテンシャルポケット領域は、前記リング状ゲート電極と同等のリング状の形状をなし、同じポテンシャルの深さを有することを特徴とするイメージセンサ。 - 請求項1において、
更に、前記ウエル領域と基板との間に埋め込まれ、前記ドレイン領域に結合する第2導電型の埋設分離領域を有し、
前記ゲート電極のゲート電圧より前記ドレイン領域のドレイン電圧が低い第1の状態から、前記ゲート電極のゲート電圧より前記ドレイン領域のドレイン電圧が高い第2の状態に遷移するとき、前記ドレイン電圧を先に上昇させた後に前記ゲート電圧を降下させる駆動回路を有することを特徴とするイメージセンサ。 - 請求項1において、
更に、前記ウエル領域と基板との間に埋め込まれ、前記ドレイン領域に結合する第2導電型の埋設分離領域を有し、
前記ゲート電極のゲート電圧より前記ドレイン領域のドレイン電圧が低い第1の状態から、前記ゲート電極のゲート電圧より前記ドレイン領域のドレイン電圧が高い第2の状態に遷移するとき、前記ゲート電圧を前記第1の状態と第2の状態における電圧の中間電圧にした後に、前記ドレイン電圧を上昇させ、その後に前記ゲート電圧を第2の状態に降下させる駆動回路を有することを特徴とするイメージセンサ。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004190853A JP4187691B2 (ja) | 2004-06-29 | 2004-06-29 | 閾値変調型イメージセンサ |
TW093136524A TWI268705B (en) | 2004-06-29 | 2004-11-26 | Threshold voltage modulation image sensor |
KR1020040104106A KR100681777B1 (ko) | 2004-06-29 | 2004-12-10 | 임계값 변조형 이미지 센서 |
CNB2004100819457A CN100495712C (zh) | 2004-06-29 | 2004-12-21 | 阈值电压调制图像传感器 |
US11/089,366 US7683452B2 (en) | 2004-06-29 | 2005-03-25 | Threshold voltage modulation image sensor |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004190853A JP4187691B2 (ja) | 2004-06-29 | 2004-06-29 | 閾値変調型イメージセンサ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006013285A JP2006013285A (ja) | 2006-01-12 |
JP4187691B2 true JP4187691B2 (ja) | 2008-11-26 |
Family
ID=35504694
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004190853A Expired - Fee Related JP4187691B2 (ja) | 2004-06-29 | 2004-06-29 | 閾値変調型イメージセンサ |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7683452B2 (ja) |
JP (1) | JP4187691B2 (ja) |
KR (1) | KR100681777B1 (ja) |
CN (1) | CN100495712C (ja) |
TW (1) | TWI268705B (ja) |
Families Citing this family (24)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006024687A (ja) * | 2004-07-07 | 2006-01-26 | Seiko Epson Corp | 固体撮像装置 |
KR100808950B1 (ko) * | 2007-01-30 | 2008-03-04 | 삼성전자주식회사 | 씨모스 이미지 센서 및 그 제조 방법 |
JP5167799B2 (ja) * | 2007-12-18 | 2013-03-21 | ソニー株式会社 | 固体撮像装置およびカメラ |
JP2009266842A (ja) * | 2008-04-21 | 2009-11-12 | Toshiba Corp | 固体撮像装置およびその製造方法 |
JP5356726B2 (ja) * | 2008-05-15 | 2013-12-04 | 浜松ホトニクス株式会社 | 距離センサ及び距離画像センサ |
JP4715931B2 (ja) * | 2009-02-10 | 2011-07-06 | ソニー株式会社 | 電荷検出装置及び電荷検出方法、並びに固体撮像装置及びその駆動方法、並びに撮像装置 |
JP5564909B2 (ja) * | 2009-11-30 | 2014-08-06 | ソニー株式会社 | 固体撮像装置とその製造方法、及び電子機器 |
FR2969821A1 (fr) * | 2010-12-23 | 2012-06-29 | St Microelectronics Sa | Dispositif d'imagerie matriciel a photosites a commandes monocoup de transfert de charges |
KR101845257B1 (ko) | 2011-02-07 | 2018-04-04 | 삼성전자주식회사 | 이미지 센서 |
EP2727145A4 (en) * | 2011-07-03 | 2015-07-29 | Eoplex Ltd | Conductor carrier with heat-insulated packaging components |
JP5930650B2 (ja) | 2011-10-07 | 2016-06-08 | キヤノン株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
JP5357291B2 (ja) * | 2012-03-21 | 2013-12-04 | 浜松ホトニクス株式会社 | 距離センサ及び距離画像センサ |
US20140104942A1 (en) * | 2012-10-12 | 2014-04-17 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Recess gate transistors and devices including the same |
KR20140047494A (ko) * | 2012-10-12 | 2014-04-22 | 삼성전자주식회사 | 서브픽셀, 이를 포함하는 이미지 센서, 및 이미지 센싱 시스템 |
CN104347420B (zh) * | 2013-08-07 | 2018-06-01 | 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司 | Ldmos器件及其形成方法 |
KR20150068219A (ko) * | 2013-12-11 | 2015-06-19 | 삼성전자주식회사 | 이미지 센서, 이의 제조 방법 및 이를 포함하는 이미지 처리 시스템 |
CN104091851B (zh) * | 2014-06-11 | 2015-07-22 | 南京大学 | 一种基于环栅mosfet结构的太赫兹传感器 |
CN104215265A (zh) * | 2014-08-18 | 2014-12-17 | 中国空间技术研究院 | 一种高精度的psd信号降噪方法 |
US9793208B2 (en) * | 2015-09-29 | 2017-10-17 | Globalfoundries Singapore Pte. Ltd. | Plasma discharge path |
FR3046495B1 (fr) * | 2015-12-30 | 2018-02-16 | Stmicroelectronics (Crolles 2) Sas | Pixel de detection de temps de vol |
TWI692861B (zh) * | 2019-03-14 | 2020-05-01 | 晶相光電股份有限公司 | 影像感測器及其製造方法 |
CN110926508B (zh) * | 2019-11-28 | 2021-11-19 | 北京大学深圳研究生院 | 一种主动驱动式光电传感器、前端电路及驱动方法 |
KR20210074654A (ko) * | 2019-12-12 | 2021-06-22 | 에스케이하이닉스 주식회사 | 이미지 센싱 장치 |
CN115280502A (zh) * | 2020-03-18 | 2022-11-01 | 索尼半导体解决方案公司 | 成像装置和电子设备 |
Family Cites Families (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0666446B2 (ja) * | 1984-03-29 | 1994-08-24 | オリンパス光学工業株式会社 | 固体撮像素子 |
JPH08125155A (ja) * | 1994-10-20 | 1996-05-17 | Sony Corp | 増幅型固体撮像素子及びその製造方法 |
JPH09162380A (ja) * | 1995-10-04 | 1997-06-20 | Sony Corp | 増幅型固体撮像素子及びその製造方法 |
JP2935492B2 (ja) | 1997-10-30 | 1999-08-16 | イノビジョン株式会社 | 固体撮像素子及び固体撮像素子による光信号検出方法 |
US6051857A (en) | 1998-01-07 | 2000-04-18 | Innovision, Inc. | Solid-state imaging device and method of detecting optical signals using the same |
DE19830179B4 (de) * | 1998-07-06 | 2009-01-08 | Institut für Mikroelektronik Stuttgart Stiftung des öffentlichen Rechts | MOS-Transistor für eine Bildzelle |
JP2002050753A (ja) | 2000-08-04 | 2002-02-15 | Innotech Corp | 固体撮像素子、その製造方法及び固体撮像装置 |
US6448596B1 (en) * | 2000-08-15 | 2002-09-10 | Innotech Corporation | Solid-state imaging device |
JP2002141420A (ja) | 2000-10-31 | 2002-05-17 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体装置及びその製造方法 |
JP2002329856A (ja) | 2001-05-02 | 2002-11-15 | Canon Inc | 光電変換装置及びその製造方法 |
JP2002353433A (ja) | 2001-05-25 | 2002-12-06 | Canon Inc | 固体撮像装置 |
JP2004247407A (ja) * | 2003-02-12 | 2004-09-02 | Sharp Corp | 固体撮像素子およびその製造方法、携帯型電子機器 |
JP3891126B2 (ja) * | 2003-02-21 | 2007-03-14 | セイコーエプソン株式会社 | 固体撮像装置 |
JP3829833B2 (ja) * | 2003-09-09 | 2006-10-04 | セイコーエプソン株式会社 | 固体撮像装置及びその駆動方法 |
JP3829832B2 (ja) * | 2003-09-09 | 2006-10-04 | セイコーエプソン株式会社 | 固体撮像装置及びその駆動方法 |
JP3829830B2 (ja) * | 2003-09-09 | 2006-10-04 | セイコーエプソン株式会社 | 固体撮像装置及びその駆動方法 |
JP3829841B2 (ja) * | 2003-11-26 | 2006-10-04 | セイコーエプソン株式会社 | 固体撮像装置 |
-
2004
- 2004-06-29 JP JP2004190853A patent/JP4187691B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2004-11-26 TW TW093136524A patent/TWI268705B/zh not_active IP Right Cessation
- 2004-12-10 KR KR1020040104106A patent/KR100681777B1/ko not_active IP Right Cessation
- 2004-12-21 CN CNB2004100819457A patent/CN100495712C/zh not_active Expired - Fee Related
-
2005
- 2005-03-25 US US11/089,366 patent/US7683452B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US7683452B2 (en) | 2010-03-23 |
CN100495712C (zh) | 2009-06-03 |
TWI268705B (en) | 2006-12-11 |
TW200601826A (en) | 2006-01-01 |
CN1716621A (zh) | 2006-01-04 |
KR20060001807A (ko) | 2006-01-06 |
KR100681777B1 (ko) | 2007-02-12 |
JP2006013285A (ja) | 2006-01-12 |
US20050285165A1 (en) | 2005-12-29 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4187691B2 (ja) | 閾値変調型イメージセンサ | |
JP4224036B2 (ja) | フォトダイオード領域を埋め込んだイメージセンサ及びその製造方法 | |
US7242043B2 (en) | Imaging device and manufacturing method thereof | |
JP4739324B2 (ja) | フォトダイオード領域を埋め込んだイメージセンサ及びその製造方法 | |
KR101177129B1 (ko) | Cmos 고체 촬상 소자와 그 제조 방법, 및 cmos 고체 촬상 소자의 구동 방법 | |
US6417074B2 (en) | Method of manufacturing a structure for reducing leakage currents by providing isolation between adjacent regions of an integrated circuit | |
JP3795843B2 (ja) | 半導体受光装置 | |
US8743247B2 (en) | Low lag transfer gate device | |
CN107068703B (zh) | 图像传感器 | |
US20110045629A1 (en) | Semiconductor imaging device and fabrication process thereof | |
JP2007096271A (ja) | 固体撮像装置及びその製造方法 | |
JP2004014911A (ja) | 半導体装置およびその製造方法 | |
US20060291115A1 (en) | Semiconductor integrated circuit device and method of fabricating the same | |
US7029942B2 (en) | Method for fabricating complementary metal oxide semiconductor image sensor | |
US7611918B2 (en) | CMOS image sensor and method for fabricating the same | |
US7564083B2 (en) | Active pixel sensor | |
US7588956B2 (en) | CMOS image sensor and method of manufacturing the same | |
JP2004356246A (ja) | 固体撮像素子の製造方法および固体撮像素子 | |
US20050116250A1 (en) | Solid-state image sensing device and method of fabricating a solid-state image sensing device | |
US7642579B2 (en) | Image sensor comprising pixels with one transistor | |
JP2006179825A (ja) | 増幅型固体撮像素子 | |
KR20070071017A (ko) | 이미지 센서 및 그 제조방법 | |
KR20040093809A (ko) | 씨모스 이미지센서 및 그 제조방법 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20051125 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20080529 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080603 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080717 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20080731 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20080909 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20080909 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110919 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110919 Year of fee payment: 3 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110919 Year of fee payment: 3 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120919 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120919 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130919 Year of fee payment: 5 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |