JP4185088B2 - 標準校正リークの製造方法 - Google Patents
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Description
1つは、キャピラリ形校正リークである。例えば、ガラス・白金細線のような標準校正リークや金属フラット型の標準校正リークなどがある。
もう1つは、透過式標準リークである。例えば、石英薄膜の標準校正リークがある。
「標準校正リーク及びその校正作業」、「航空計測技術」、Vol.21,No.5,43−45(2001) 「標準校正リークの校正における問題及び解決方法」、「真空電気技術」No.2,39−41(2002)
(1)基板を準備する段階、
(2)前記基板に所定のパターン(Pattern)を有する、触媒としての薄膜を形成する段階、
(3)前記触媒層に所定の寸法及び目数の一次元ナノ構造体を成長させる段階、
(4)一次元ナノ構造体が成長された基板に第二薄膜を形成する段階、
(5)第二薄膜における一次元ナノ構造体を除去して、前記第二薄膜に前記一次元ナノ構造体の寸法と同じ寸法の透過孔を形成して、標準校正リークを形成する段階。
λ>(1/3)D及びL≧20D
(λは被測定の気体分子の自由行程、Dは透過孔の口径、Lは透過孔の長さ)の条件を全て満足する場合、クヌーセン(Knusen)式の
Q=n×(P1−P2)×Y
(n(n≧1)は透過孔の目数、P1は校正リークの気体流入端における圧力度、P2は校正リークの気体流出端における圧力度、
Y=12.1×(√(29/M))×(D3/L)
(Mは透過孔における被測定の気体分子量))により、リーク量を計算して、他の装置を使用せずに標準を規定することができる。
(1)シリコン基板1を提供する。この基板1の結晶方位はSi(111)、Si(100)、Si(110)のいずれか一つを選択すればよいが、本実施例ではSi(111)が好ましい。
(2)前記シリコン基板1に触媒層として一次元ナノ構造体を成長させる。この触媒層は金(Au)、鉄(Fe)、コバルト(Co)、銀(Ag)又はそれらの合金のいずれか一種から成る。触媒層は、厚さが0.2nm〜10nmにされることが好ましく、本実施例では、1nmである金膜2を採用することが好ましい。ここで、前記金膜2の形成方法は堆積、スパッター、電気めっきなどを含む。そして、光描画又は電子線描画により、前記金膜2に所定の目数及び寸法のパターン構成部21を形成する。単パターン構成部21に一つだけのナノワイヤを成長させるために、このパターン構成部21は1μm以下にされる。又、シリコン基板1に印刷技術によって所定の寸法により規則的に配列されたパターン構成部21を有する金膜2を形成する。ここで、パターン構成部21は微小のブロックやその変型体などに形成される。
(3)前記金膜2を有するシリコン基板はCVD(Chemical Vapor Deposition)の反応室(図示せず)に配置され、CVD反応室にシリコン元素を含む気体を提供する。本実施例ではSiCl4の気体を採用する。SiCl4の濃度を制御し、CVD反応室の温度を700℃〜900℃に設定する。前記金膜2の触媒機能を介して、パターン構成部21に一次元ナノ構造体、例えば、ナノワイヤ、ナノ棒などを成長させる。本実施例において、シリコン基板1に成長されたシリコンナノワイヤ11は、円柱形にされて、Si(111)の方向、即ち、シリコン基板1に垂直して配列される。ここで、シリコンナノワイヤ11は口径が10nm〜500nm、長さが100nm〜100μmになる。シリコンナノワイヤ11の口径及び長さは、金膜2のパターン構成部21の寸法、一次元ナノ構造体の成長温度、前記シリコン元素を含む気体の濃度及び成長時間を制御することによって決定される。パターン構成部21の寸法は1μm以下である場合、CVD反応の条件を制御して、ナノワイヤ11の目数をパターン構成部21と同じようにする。なお、後続の工程のため、シリコンナノワイヤ11をSiO2ナノワイヤに酸化する場合もある。Knusen式によって得られたリーク量の計算結果が5%以下になるために、シリコンナノワイヤ11の長さはその口径の20倍以上に設計される必要がある。
(4)シリコンナノワイヤ11が成長されたシリコン基板1には、第二薄膜を堆積する。この第二薄膜は金属、ガラス、セラミックなどのいずれか一種からなるが、使用材料により、成型品である標準校正リークの適用範囲を決定する。例えば、金属はヘリウムを透過させないので、ヘリウムのリーク量の測定に利用すればよい。ガラス及びセラミックは空気、酸素、アルゴンを透過させないので、空気、酸素、アルゴンのリーク量の測定に利用すればよい。本実施例によれば、銅、ニッケル、モリブデンのいずれか一種から成った金属膜3を利用することもできる。この金属膜3の堆積の厚さは、実際には、ナノワイヤ11の高さの範囲に調整される。又、金属膜3を堆積してから、機械又は電気化学研磨などを介して、金属膜3の表面をスムースにしたり、露出したシリコンナノワイヤ11の端部を除去したり、所定のリーク量によって金属膜の厚さを調整し、シリコンナノワイヤ11の口径の20倍以上になるようにする。
(5)金属膜3にシリコンナノワイヤ11と同じ口径と所定の目数の透過孔31(透過孔31はシリコン基板1に垂直である)を形成するように、反応イオンエッチング方法(Reactive Ion Etching、RIE)により、シリコンナノワイヤ11及びシリコン基板を除去する。このようにすれば、金属膜3が損傷されなく、シリコンナノワイヤ11を完全に除去できる。ナノワイヤ及び第二薄膜の材料により、異なる除去技術を利用してもよい。
Y=12.1×(√(29/M))×(D3/L)……(式1)
ここで、Yは単透過孔からのヘリウムのリーク量であり、単位がL/sである。Mは透過孔におけるヘリウムの分子量であり、且つ、M=4とされる。Dは透過孔の口径であり、単位がセンチメートル(cm)とされる。Lは透過孔の長さであり、単位がセンチメートル(cm)とされる。
Y=12.1×(√(29/M))×(√(T/293))×(D3/L)……(式2)
ここで、Tは絶対温度であり、単位がケルビン(K)とされる。
Q1=n×(P1−P2)×Y……(式3)
ここで、Q1は標準校正リークのリーク量であり、単位がTorr・L/sとされる。nは標準校正リークにおける透過孔の目数(整数で、n≧1)である。P1は校正リークの気体流入端における圧力度であり、単位がTorrとされる。P2は校正リークの気体流出端における圧力度であり、単位がTorrとされる。
Y=12.1×(√(29/4))×((10−5)3/(5×10−4))≒6.51×10−11L/s、
標準校正リークのリーク量は
Q=(760−0)×6.51×10−11≒4.95×10−8Torr・L/s
となることが分かる。P1=760Torrが成立する場合、本発明にかかる標準校正リークは10−15Torr・L/sのリーク量を実現できる。なお、本発明にかかる標準校正リークは、透過孔の口径D、長さL、透過孔の目数が適当に変更されることにより、リーク量が10−3Torr・L/sに達する。
2 金膜
3 金属薄膜
31 透過孔
21 パターン構成部
11 シリコンナノワイヤ
Claims (9)
- 基板を準備する段階と、
前記基板に所定のパターンを有する、触媒としての薄膜を形成する段階と、
前記触媒層に所定の寸法及び目数の一次元ナノ構造体を成長させる段階と、
前記一次元ナノ構造体が成長された前記基板に第二薄膜を形成する段階と、
前記第二薄膜における前記一次元ナノ構造体を除去して、前記第二薄膜に前記一次元ナノ構造体の寸法と同じ寸法の透過孔を形成して、標準校正リークを形成する段階と、
を含むことを特徴とする標準校正リークの製造方法。 - 前記触媒層は金(Au)、鉄(Fe)、コバルト(Co)、銀(Ag)、並びにそれらの合金のいずれか一種からなることを特徴とする、請求項1に記載の標準校正リークの製造方法。
- 前記触媒層の厚さは0.2mm〜10mmであることを特徴とする、請求項1に記載の標準校正リークの製造方法。
- 前記パターンの寸法は1μm以下であることを特徴とする、請求項1に記載の標準校正リークの製造方法。
- 前記一次元ナノ構造体の口径は10nm〜500nmにされることを特徴とする、請求項1に記載の標準校正リークの製造方法。
- 前記一次元ナノ構造体の長さは100nm〜100μmにされることを特徴とする、請求項1に記載の標準校正リークの製造方法。
- 前記一次元ナノ構造体はSiナノワイヤ、SiO2ナノワイヤ、GaNナノワイヤ、InPナノワイヤ、ZnOナノワイヤのいずれか一つの形態に形成することを特徴とする、請求項1に記載の標準校正リークの製造方法。
- 前記第二薄膜は金属、ガラス、セラミックのいずれか一種から成ることを特徴とする、請求項1に記載の標準校正リークの製造方法。
- 前記標準校正リークのリーク量が10−3〜10−15Torr・L/Sにされることを特徴とする、請求項1に記載の標準校正リークの製造方法。
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