JP5334085B2 - 基板への種付け処理方法、ダイヤモンド微細構造体及びその製造方法 - Google Patents
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シリコンの微細加工の場合にはボッシュプロセスというディープエッチング方法がある(特許文献1参照)。これは、深さ方向の異方性エッチングと側壁の保護膜形成プロセスを組み合わせたものであり、数百μmオーダーの深さのエッチングが可能である。このような3次元構造体を製造する技術はバルクマイクロマシニングと呼ばれている。
エッチングによるダイヤモンド微細加工では、加工面の平坦性、マスク材料とのエッチング選択比、エッチング速度についてのさまざまな技術開発が行われている。ダイヤモンドの場合は、その化学的安定性の影響で、ウエットエッチングを行うことは非常に困難であり、かつ、ドライエッチングでも所望の3次元微細構造体を得ることは困難であるという問題がある。ダイヤモンドのディープエッチングで深い構造を作成する場合、エッチング中にハードマスク材がスパッタにより散乱し、これがダイヤモンド表面上に再付着して、微小なハードマスクとなるため、エッチング面が平坦とならず、意図しない針状構造となってしまう問題が知られている。
ダイヤモンドをドライエッチングする場合、ダイヤモンドの化学的安定性を考慮してハードマスク材を選択する必要がある。そこで、例えば、金属もしくは金属化合物をハードマスクとしてダイヤモンドとのエッチング選択比を向上させる方法(特許文献2)およびダイヤモンドに対する酸素と不活性ガスのエッチング性能差を利用してダイヤモンド表面の平坦性およびマスク材料に対するエッチング選択比を向上させるエッチング方法(特許文献3)が提案されている。しかし、いずれの場合も、ハードマスク材のスパッタが起こるため、ダイヤモンドのディープエッチングにこれらの技術を用いても上記問題の解決とはならない。そこで、たとえば、被エッチング材であるダイヤモンド試料近傍をダイヤモンドと同一元素である炭素系材料とすることにより、周辺からの異物による微小マスク効果を防ぎ、高いエッチング速度とエッチング選択比をたもったまま平坦なエッチング面を得る方法(特許文献4)が提案されている。しかし、これは、容器内壁等材料のスパッタによる微小マスク効果に関するもので、ハードマスク材の再付着を考慮したものではない。
このように、既存の技術では、ダイヤモンドのディープエッチングで所望の微細構造体を得ることは事実上不可能であった。
すなわち、本発明は、酸素終端処理して形成された酸素終端領域の表面と、HF処理、水素プラズマ処理、水素雰囲気中の加熱処理、水素ラジカル処理、のうち少なくともひとつである水素終端処理して形成された水素終端領域の表面とを有する基板へのダイヤモンド微粒子の種付け処理方法であって、ナノダイヤモンド微粒子を用いることにより、基板表面を酸素終端処理して形成された酸素終端領域の基板表面のみ種付けが行われ、基板表面を水素終端処理して形成された水素終端領域の基板表面には、種付けが行われないことを特徴とする基板の特定箇所のみ種付けを行う基板への種付け処理方法(ただし、粉末表面に極性基と非極性基とが付着して共存分布する種ダイヤモンド粉末を用いる場合を除く。)である。
また、本発明においては、種付けされる基板をダイヤモンド若しくはシリコンとすることができる。
さらに、本発明は、ナノダイヤモンド微粒子のアルコール分散液若しくは水分散液に基板を入れ、10〜120分の超音波処理を行うことにより種付け処理をおこなうことができる。
また、本発明においては、基板の酸素終端処理が、大気中の自然酸化処理、酸素雰囲気中の加熱処理、酸素プラズマ処理、オゾン処理、のうち少なくともひとつであることができる。
さらに、本発明は、本発明の種付け処理方法により得られたダイヤモンド種付け基板を600〜1000℃に保持し、プラズマ状態の、炭素源ガスと水素ガスを導入し、ダイヤモンド結晶成長を行うダイヤモンド微細構造体の製造方法であり、炭素源ガスと水素ガスのほかにさらに酸素源ガス、アルゴンガス、窒素ガス、ホウ素源ガス、リン源ガスから選ばれるガスを導入することもできる。
本発明のダイヤモンド微細構造体製造方法では、表面の終端構造を、酸素終端および水素終端でパターニングすることにより、両表面へのダイヤモンド微粒子の種付け挙動の違いを利用して、ダイヤモンドのエッチング工程を用いずに、ダイヤモンド成膜工程だけで、ダイヤモンド微細構造体を製造することが可能となる。表面終端構造のパターニング、種付け処理、ダイヤモンド成膜処理に加えて、随時、表面保護層の形成等MEMS技術を用いることにより、単純な柱および壁構造だけでなく、中空構造等の任意の3次元的微細構造体も製造可能である。
また、本発明では、種付けされる基板として、ダイヤモンドを用いることができる。ダイヤモンド表面は、種々の処理により、酸素終端表面および水素終端表面の作成が可能である。ダイヤモンド表面を基板として用いた場合、酸素終端表面および水素終端表面の両表面で、ダイヤモンド膜が成膜される。しかし、たとえば、ダイヤモンド基板として、単結晶ダイヤモンドを用いることにより、ダイヤモンド微粒子が種付けされる酸素終端表面ではナノダイヤモンド膜もしくは多結晶ダイヤモンド膜を、ダイヤモンド微粒子が種付けされない水素終端表面では単結晶ダイヤモンドを、微細に成膜することが可能である。
さらに本発明は、種付けするダイヤモンド微粒子として、ナノダイヤモンド微粒子を用いることにより、微細構造体を正確に製造することが可能である。代表的にはナノダイヤモンド微粒子のアルコール分散液に基板を入れ、10〜120分の超音波処理を行うことにより種付けを行う。アルコール以外の有機溶剤も用いることができるが、アルコールが好ましく用いられる。アルコールとしてはメタノール、エタノールなどを用いることができるが、エタノールがとくに好ましく用いられる。
また、本発明では、基板の酸素終端処理として、大気中の自然酸化処理、酸素雰囲気中の加熱処理、酸素プラズマ処理、オゾン処理、のうち少なくともひとつを用いることにより、ダイヤモンド微粒子の種付けに良好な酸素終端表面を製造することができる。
また、本発明では、基板の水素終端処理として、HF処理、水素プラズマ処理、水素雰囲気中の加熱処理、水素ラジカル処理、のうち少なくともひとつを用いることにより、ダイヤモンド微粒子が種付けされない水素終端表面を製造することができる。
さらに、本発明は、種付けするダイヤモンド微粒子が直径1〜100nmのナノダイヤモンド微粒子であることを特徴とするダイヤモンド微細構造体製造方法を要旨とする。粒子径のそろった微小なナノダイヤモンド微粒子を種付けすることにより、正確な微細構造体の製造が可能となる。
さらに、本発明におけるダイヤモンド微細構造体製造方法では、ダイヤモンド成膜に、プラズマCVD、熱フィラメント等の既存の手法および装置が利用できる。ダイヤモンド成膜時には、ダイヤモンド種付け基板を600〜1000℃に保持し、炭素源ガスおよび水素ガスを任意の混合比で混ぜ合わせたガスを使用することができる。さらに、これに加えて、酸素源ガス、アルゴンガス、窒素ガスを用いることができる。これにより、成膜されるダイヤモンドの粒径を制御することができる。また、n型およびp型の半導体ダイヤモンドを成膜する場合には、ホウ素源ガス、リン源ガスを用いることができる。
以下に、図面を参照して従来法および本発明の実施の形態を説明する。
(実施の形態)
図1は、本発明と同様のダイヤモンド微細構造体を得るために必要であった従来方法の一例である。(1)P1はダイヤモンドを成膜するための基板である。(2)ダイヤモンドの核形成に必要な種付け処理もしくは表面加工P2を施す。(3)CVD法などを用いてダイヤモンド膜P3を成膜する。(4)微細なパターニングのためのフォトリソグラフィ法には平坦な表面が必要であるため、表面の研磨を行う。(5)ダイヤモンドエッチング時に必要なハードマスク材P4の成膜を行う。(6)フォトレジストP5を用いて微細なパターニングを行う。(7)フォトレジストP5をマスクにして、ハードマスク材P4のエッチングを行う。(8)フォトレジストを除去する。(9)ハードマスク材P4をマスクとして、ダイヤモンドのエッチングを行う。(10)酸を用いて、ハードマスク材P4を除去する。このように従来法は、一旦成膜したダイヤモンド膜をエッチングによって削るという効率の悪さがある。また、フォトリソグラフィ法の制約から表面研磨を必要とする。さらに、(7)および(9)に示されるように、目的物のエッチング時にハードマスク材も同時にエッチングされる。ダイヤモンドで深い構造を得るためには、ハードマスク材の厚みも厚いものが必要となるが、そのためには、フォトレジストの厚みも要求される。すなわち、いくつかの工程にわたるフォトレジストやハードマスク材の選定および成膜・エッチング条件の最適化が必要となる。このため、ダイヤモンドのディープエッチングは、非常に困難であり、いまだ成功していない。
図3は、本発明に係るダイヤモンド微細構造体の製造方法により、製造可能な構造を示した図である。(1)図2(7)のあとに酸素終端処理を行い、再びダイヤモンド微粒子の種付けを行ってダイヤモンドを成膜することにより、任意の高さを持つダイヤモンド微細構造体が製造可能である。(2)さらに、凹部分をシリコン酸化物等で埋め、ダイヤモンドを成膜することにより、3次元的なダイヤモンド微細構造体も製造可能である。シリコン酸化物を酸で除去すれば、中空構造が製造可能である。
次に本発明の実施例を詳述するが、本発明はこれらの実施例に拘束されるものではない。
Claims (6)
- 酸素終端処理して形成された酸素終端領域の表面と、HF処理、水素プラズマ処理、水素雰囲気中の加熱処理、水素ラジカル処理、のうち少なくともひとつである水素終端処理して形成された水素終端領域の表面とを有する基板へのダイヤモンド微粒子の種付け処理方法であって、ナノダイヤモンド微粒子を用いることにより、基板表面を酸素終端処理して形成された酸素終端領域の基板表面のみ種付けが行われ、基板表面を水素終端処理して形成された水素終端領域の基板表面には、種付けが行われないことを特徴とする基板の特定箇所のみ種付けを行う基板への種付け処理方法(ただし、粉末表面に極性基と非極性基とが付着して共存分布する種ダイヤモンド粉末を用いる場合を除く。)。
- 種付けされる基板がダイヤモンド若しくはシリコンであることを特徴とする請求項1に記載の基板への種付け処理方法。
- ナノダイヤモンド微粒子のアルコール分散液若しくは水分散液に基板を入れ、10〜120分の超音波処理を行う請求項1又は請求項2に記載した基板への種付け処理方法。
- 基板の酸素終端処理が、大気中の自然酸化処理、酸素雰囲気中の加熱処理、酸素プラズマ処理、オゾン処理、のうち少なくともひとつであることを特徴とする請求項1から請求項3のいずれかに記載の基板への種付け処理方法。
- 請求項1ないし請求項4のいずれかひとつの基板への種付け処理方法により得られたダイヤモンド種付け基板を600〜1000℃に保持し、プラズマ状態の、炭素源ガスと水素ガスを導入し、ダイヤモンド結晶成長を行うダイヤモンド微細構造体の製造方法。
- 炭素源ガスと水素ガスのほかにさらに酸素源ガス、アルゴンガス、窒素ガス、ホウ素源ガス、リン源ガスから選ばれるガスを導入する請求項5に記載したダイヤモンド微細構造体の製造方法。
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