JP4171268B2 - 半導体装置およびその製造方法 - Google Patents
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- H01L29/1095—Body region, i.e. base region, of DMOS transistors or IGBTs
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は半導体装置およびその製造方法に係り、特に実動作領域最外周のトレンチ底部での電界集中を緩和し、耐圧劣化を抑制する半導体装置およびその製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
図12に従来の半導体装置を、トレンチ構造のNチャネル型のパワーMOSFETを例に示す。
【0003】
N+型のシリコン半導体基板21の上にN−型のエピタキシャル層からなるドレイン領域22を設け、その表面にP型のチャネル層24を設ける。チャネル層24は、実動作領域全面にわたり同じ形成深さであり、実動作領域外のチャネル層24周端部には、耐圧を確保するためのP+型領域24aが設けられる。
【0004】
チャネル層24を貫通し、ドレイン領域22まで到達するトレンチ27を設け、トレンチ27の内壁をゲート酸化膜31で被膜し、トレンチ27に充填されたポリシリコンよりなるゲート電極33を設ける。トレンチ27に隣接したチャネル層24表面にはN+型のソース領域35が形成され、隣り合う2つのセルのソース領域35間のチャネル層24表面にはP+型のボディコンタクト領域34を設ける。さらにチャネル層24にはソース領域35からトレンチ27に沿ってチャネル領域(図示せず)が形成される。ゲート電極33上は層間絶縁膜36で覆い、ソース領域35およびボディコンタクト領域34にコンタクトするソース電極37を設ける。
【0005】
図13から図18を参照して、従来の半導体装置の製造方法を、トレンチ構造のNチャネル型パワーMOSFETを例に示す。
【0006】
図13では、N+型シリコン半導体基板21にN−型のエピタキシャル層を積層してドレイン領域22を形成する。実動作領域外の予定のチャネル層24周端部に高濃度のP型不純物を注入・拡散して、P+型領域24aを形成する。更に、全面にドーズ量1013オーダーでボロン等の不純物を注入した後、拡散してP型のチャネル層24を形成する。
【0007】
図14から図15にトレンチを形成する工程を示す。
【0008】
図14では、全面にCVD法によりNSG(Non−doped Silicate Glass)のCVD酸化膜25を厚さ数千Åに生成し、レジスト膜によるマスクをトレンチ開口部26となる部分を除いてかけて、CVD酸化膜25をドライエッチングして部分的に除去し、チャネル領域24が露出したトレンチ開口部26を形成する。
【0009】
図15では、CVD酸化膜25をマスクとしてトレンチ開口部26のシリコン半導体基板をCF系およびHBr系ガスによりドライエッチングし、チャネル層24を貫通してドレイン領域22まで達する深さのトレンチ27を形成する。
【0010】
図16ではダミー酸化をしてトレンチ27内壁とチャネル層24表面に酸化膜(図示せず)を形成してドライエッチングの際のエッチングダメージを除去し、その後、この酸化膜とCVD酸化膜25をエッチングにより除去する。その後、ゲート酸化膜31を形成する。すなわち、全面を熱酸化してゲート酸化膜31を例えば厚み約数百Åに形成する。
【0011】
図17では、トレンチ27に埋設されるゲート電極33を形成する。すなわち、全面にノンドープのポリシリコン層32を付着し、リンを高濃度に注入・拡散して高導電率化を図り、ゲート電極33を形成する。その後全面に付着したポリシリコン層32をマスクなしでドライエッチして、トレンチ27に埋設したゲート電極33を残す。
【0012】
図18ではレジスト膜によるマスクにより選択的にボロンをドーズ量1015オーダーでイオン注入し、P+型のボディコンタクト領域34を形成した後、レジスト膜PRを除去する。
【0013】
その後、新たなレジスト膜PRで予定のソース領域35およびゲート電極33を露出する様にマスクして、砒素をドーズ量1015オーダーでイオン注入し、N+型のソース領域35をトレンチ27に隣接するチャネル層24表面に形成した後、レジスト膜を除去する。
【0014】
更に、全面にBPSG(Boron Phosphorus Silicate Glass)層をCVD法により付着して、層間絶縁膜36を形成する。その後、レジスト膜をマスクにして少なくともゲート電極33上に層間絶縁膜36を残す。その後アルミニウムをスパッタ装置で全面に付着して、ソース領域35およびボディコンタクト領域34にコンタクトするソース電極37を形成する。
【0015】
このように、従来のトレンチ構造のMOSFETでは、実動作領域に設けられるトレンチの深さは全て均一である(例えば、特許文献1参照。)。
【0016】
かかるトレンチ構造の高耐圧MOSFETにおいて、ソース電極とドレイン電極の間に、ドレイン電極を正電圧とした電源電圧を印加した状態でゲート電極に閾値電圧以上の駆動電圧を印加すると、トレンチに沿ったチャネル層にチャネル領域が形成され、チャネル領域を通じて電流が流れ、MOSFETはオン状態となる。
【0017】
一方、ソース電極とドレイン電極の間に、ドレイン電極を正電圧とした電源電圧を印加した状態でゲート電極に印加する駆動電圧が、閾値電圧以下の場合、MOSFETはオフ状態となる。
【0018】
【特許文献1】
特開平9−270512号公報 (第10頁、第23図)
【0019】
【発明が解決しようとする課題】
かかる従来のトレンチ構造の高耐圧MOSFETでは、オフ状態において、逆バイアスとなるチャネル層24とドレイン領域22界面のPN接合から、図12の破線の如く空乏層が広がる。これを駆動電圧V0印加時の空乏層とする。ドレイン領域22であるN−エピタキシャル層はP型のチャネル層24に比較して不純物濃度が低いため、空乏層の多くはドレイン領域22方向に延び、ドレイン電圧を保持する。
【0020】
この状態において、最外周トレンチの27aのボトムエッジは、実動作領域内のトレンチ27のボトムエッジと比較して最も大きな電界強度を有しているため、ここに電界集中が発生する。
【0021】
以下にその理由を説明する。
【0022】
まず、各トレンチのボトムエッジの電界強度Eは次式によって示される。
【0023】
E= V0/d
上式において、dは、各トレンチのボトムエッジから、最も近接するドレイン領域側の空乏層端までの距離であり、図12の如く、最外周トレンチ27aではd11であり、実動作領域のトレンチ27ではd12である。
【0024】
また、ドレイン領域22に広がる空乏層は、隣接する空乏層が一体化して連続しているが、チャネル層24に広がる空乏層は絶縁膜が設けられたトレンチ27内部へ広がらないため、トレンチ27により分離されている。実動作領域においては、各トレンチ27で分離され且つチャネル層24の不純物濃度がドレイン領域22の不純物濃度よりも高濃度であるため、チャネル層24側への空乏層の広がりは少なく、ドレイン領域22側へ大きく広がる。一方最外周トレンチ27aの外側では、P+型領域まで充分離間されており、トレンチ27による制限が無いため、チャネル層24側では実動作領域よりも空乏層が広がりやすい。更に、固定された印加電圧V0の場合、最も広がった部分の空乏層の幅d0は実動作領域内およびその外周でほぼ均一である。
【0025】
つまり、最外周トレンチ27aの外側では、チャネル層24側への空乏層が広がりやすい分、ドレイン領域33側への空乏層の広がりが実動作領域内よりも少なくなる。従って、トレンチ27よりもボトムエッジから空乏層端までの距離が狭く(d12>d11)なる。尚、実動作領域内では、等間隔でトレンチ27が配置されており、空乏層は均等に広がるため、最外周トレンチ27aのみ、空乏層端までの距離d11が短くなる。
【0026】
すなわち、各トレンチのボトムエッジの電界強度Eは最外周トレンチ27aが最も強くなり、ここに電界集中が発生するのである。このため、ドレイン−ソース間(IGBTであればコレクタ−エミッタ間)の耐圧が劣化し、高温時では定格値割れする問題があった。
【0027】
具体的には図19に、コレクタ−エミッタ間耐圧(VCES)と温度(Ta)の特性図を示す。この図によれば、電界集中のため周囲温度が75℃以上ではVCES値が下がり、負の温度特性となってしまう。このため特性の向上が図れず、電界集中によるコレクタ−エミッタ間の耐圧劣化が大きな問題であった。
【0028】
【課題を解決するための手段】
本発明はかかる課題に鑑みてなされ、第1に、多数のトレンチ型MOSトランジスタのセルを配列した実動作領域の最外周のトレンチ深さを他のトレンチよりも浅くすることにより解決するものである。
【0029】
第2に、一導電型半導体基板表面に設けた逆導電型領域と、前記半導体基板に設けたトレンチと、少なくとも前記トレンチ内を覆う絶縁膜と、前記トレンチ内に埋設された半導体材料よりなる電極と、前記逆導電型領域表面で前記トレンチに隣接して設けられた一導電型領域とからなるセルを多数個配列した実動作領域を有する半導体装置において、前記実動作領域の最外周に配置されるトレンチ深さを前記実動作領域の他のトレンチよりも浅くすることにより解決するものである。
【0030】
第3に、ドレイン領域となる一導電型半導体基板表面に設けた逆導電型のチャネル層と、前記半導体基板に設けたトレンチと、少なくとも前記トレンチ内を覆う絶縁膜と、前記トレンチ内に埋設された半導体材料よりなる電極と、前記チャネル層表面で前記トレンチに隣接して設けられた一導電型のソース領域とからなるセルを多数個配列した実動作領域を有する半導体装置において、前記実動作領域の最外周に配置されるトレンチ深さを前記実動作領域の他のトレンチよりも浅くすることにより解決するものである。
【0031】
また、前記最外周のトレンチ開口幅は他のトレンチ開口幅よりも狭いことを特徴とするものである。
【0032】
第4に、多数のトレンチ型MOSトランジスタのセルを配列した実動作領域の最外周に向かってトレンチ深さを徐々に浅く設けることにより解決するものである。
【0033】
第5に、一導電型半導体基板表面に設けた逆導電型領域と、、前記半導体基板に設けたトレンチと、少なくとも前記トレンチ内を覆う絶縁膜と、前記トレンチ内に埋設された半導体材料よりなる電極と、前記逆導電型領域表面で前記トレンチに隣接して設けられた一導電型領域とからなるセルを多数個配列した実動作領域を有する半導体装置において、前記実動作領域の最外周付近の前記トレンチの深さを前記最外周に向って徐々に浅く設けることにより解決するものである。
【0034】
第6に、ドレイン領域となる一導電型半導体基板表面に設けた逆導電型のチャネル層と、前記半導体基板に設けたトレンチと、少なくとも前記トレンチ内を覆う絶縁膜と、前記トレンチ内に埋設された半導体材料よりなる電極と、前記チャネル層表面で前記トレンチに隣接して設けられた一導電型のソース領域とからなるセルを多数個配列した実動作領域を有する半導体装置において、前記実動作領域の最外周付近の前記トレンチの深さを前記最外周に向って徐々に浅く設けることにより解決するものである。
【0035】
また、前記最外周付近の前記トレンチ開口幅は、前記最外周に向かって徐々に狭くなることを特徴とするものである。
【0036】
第7に、開口幅の異なるマスクを用いて、実動作領域内部とその最外周で深さの異なるトレンチを同一工程で形成することにより解決するものである。
【0037】
第8に、一導電型の半導体基板表面に逆導電型領域を形成する工程と、予定の実動作領域とその最外周とで深さの異なるトレンチを形成する工程と、前記トレンチの内壁に絶縁膜を形成する工程と、前記トレンチに埋設される半導体材料からなる電極を形成する工程と、前記逆導電型領域表面で前記トレンチに隣接して一導電型領域を形成する工程とを具備することにより解決するものである。
【0038】
第9に、ドレイン領域となる一導電型の半導体基板表面に逆導電型のチャネル層を形成する工程と、予定の実動作領域とその最外周とで深さの異なるトレンチを形成する工程と、前記トレンチの内壁にゲート絶縁膜を形成する工程と、前記トレンチに埋設される半導体材料からなる電極を形成する工程と、前記チャネル層で前記トレンチに隣接して一導電型のソース領域を形成する工程とを具備することにより解決するものである。
【0039】
また、前記実動作領域の最外周は他の実動作領域よりもマスクの開口幅を狭く形成し、深さの異なるトレンチを同時に形成することを特徴とするものである。
【0040】
第10に、開口幅の異なるマスクを用いて、実動作領域最外周に向かって徐々に深さの異なるトレンチを同一工程で形成することにより解決するものである。
【0041】
第11に、一導電型の半導体基板表面に逆導電型領域を形成する工程と、予定の実動作領域最外周付近においてはその深さが徐々に浅くなるように前記予定の実動作領域にトレンチを形成する工程と、前記トレンチの内壁に絶縁膜を形成する工程と、前記トレンチに埋設される半導体材料からなる電極を形成する工程と、前記逆導電型領域表面で前記トレンチに隣接して一導電型領域を形成する工程とを具備することにより解決するものである。
【0042】
第12に、ドレイン領域となる一導電型の半導体基板表面に逆導電型のチャネル層を形成する工程と、予定の実動作領域最外周付近においてはその深さが徐々に浅くなるように前記予定の実動作領域にトレンチを形成する工程と、前記トレンチの内壁にゲート絶縁膜を形成する工程と、前記トレンチに埋設される半導体材料からなる電極を形成する工程と、前記チャネル層で前記トレンチに隣接して一導電型のソース領域を形成する工程とを具備することにより解決するものである。
【0043】
また、前記実動作領域最外周付近では徐々にマスクの開口幅を狭く形成し、前記最外周に向って徐々に浅くなるトレンチを同時に形成することを特徴とするものである。
【0044】
【発明の実施の形態】
以下に本発明の実施の形態をトレンチ構造のNチャネル型のパワーMOSFETを用いて詳細に説明する。
【0045】
まず、本発明の第1の実施の形態の半導体装置を、図1から図8を参照して説明する。
【0046】
図1は、パワーMOSFETの構造を示す。
【0047】
トレンチ型パワーMOSFETは、半導体基板1、2と、チャネル層4と、トレンチ7、7aと、ゲート酸化膜11と、ゲート電極13と、ソース領域15と金属電極17とから構成される。
【0048】
半導体基板は、N+型のシリコン半導体基板1の上にN−型のエピタキシャル層を積層してドレイン領域2とする。
【0049】
チャネル層4は、ドレイン領域2の表面に選択的にP型のボロン等を注入した拡散領域であり、実動作領域の内部ではトレンチ7の深さよりも浅くなっている。このチャネル層4のトレンチ7に隣接した領域に、チャネル領域(図示せず)が形成される。チャネル層4は、実動作領域全面にわたり同じ形成深さであり、実動作領域外のチャネル層4周端部には、耐圧を確保するためのP+型領域が設けられる。
【0050】
トレンチ7は、チャネル層4を貫通してドレイン領域2まで到達させ、一般的には半導体基板上に格子状またはストライプ状にパターニングする。
【0051】
実動作領域の最外周のトレンチ7aは、その深さが他のトレンチ7より浅く設けられ、このトレンチ7aにおいてはドレイン領域2まで到達しなくてもよい。トレンチ7、7a内壁にはゲート酸化膜11を設け、ゲート電極13を形成するためにポリシリコンを埋設する。
【0052】
ゲート酸化膜11は、少なくともチャネル層4と接するトレンチ7内壁に、駆動電圧に応じて数百Åの厚みに設ける。ゲート酸化膜11は絶縁膜であるので、トレンチ7内に設けられたゲート電極13と半導体基板に挟まれてMOS構造となっている。
【0053】
ゲート電極13は、トレンチ7に埋設されたポリシリコンよりなり、そのポリシリコンには、低抵抗化を図るためにP型不純物が導入されている。このゲート電極13は、半導体基板の周囲を取り巻くゲート連結電極(図示せず)まで延在され、半導体基板上に設けられたゲートパッド電極(図示せず)に連結される。
【0054】
ソース領域15は、トレンチ7に隣接したチャネル層4表面にN+型不純物を注入した拡散領域であり、実動作領域を覆う金属のソース電極17とコンタクトする。また、隣接するソース領域15間のチャネル層4表面には、P+型不純物の拡散領域であるボディコンタクト領域14を設け、基板の電位を安定化させる。
【0055】
層間絶縁膜16は、ソース電極17とゲート電極13との絶縁のため、少なくともゲート電極13を覆って設けられ、トレンチ開口部にその一部を残している。
【0056】
ソース電極17は、アルミニウム等をスパッタして所望の形状にパターニングされる。実動作領域上を覆い、ソース領域およびボディコンタクト領域とコンタクトする。
【0057】
隣接するトレンチ7および7aで囲まれた部分が1つのセルとなり、このセルが多数個集まって実動作領域となっている。
【0058】
かかるトレンチ構造の高耐圧MOSFETにおいて、ソース電極とドレイン電極の間に、ドレイン電極を正電圧とした電源電圧を印加した状態でゲート電極に閾値電圧以上の駆動電圧を印加すると、トレンチに沿ったチャネル層にチャネル領域が形成され、チャネル領域を通じて電流が流れ、MOSFETはオン状態となる。
【0059】
一方、ソース電極とドレイン電極の間に、ドレイン電極を正電圧とした電源電圧を印加した状態でゲート電極に印加する駆動電圧が、閾値電圧以下の場合、MOSFETはオフ状態となる。
【0060】
本発明の特徴は、実動作領域最外周のトレンチ7a深さを他の実動作領域のトレンチ7深さよりも浅く設けることにある。
【0061】
かかるトレンチ構造の高耐圧MOSFETでは、オフ状態において、逆バイアスとなるチャネル層4とドレイン領域2界面のPN接合から、図1の破線の如く空乏層が広がる。これを駆動電圧V0印加時の空乏層とする。ドレイン領域2であるN−エピタキシャル層は、P型のチャネル層に比較して不純物濃度が低いため、空乏層の多くはドレイン領域2方向に延び、ドレイン電圧を保持する。
【0062】
本実施形態においては、最外周トレンチ7aの深さが異なるのみで、他の構成要素は従来と同一である。このとき同じ駆動電圧V0を印加すると、空乏層は従来の図12と同様に広がる。また、最外周トレンチ7aからチャネル層4の周端部のP+型領域4aまでの距離も従来と同様であるので、チャネル層4側への空乏層の広がりも従来と同等であり、空乏層全体の厚みも従来と同等のd0となる。
【0063】
しかし、本実施形態では、最外周トレンチ7aが浅く設けられており、最外周トレンチ7aのボトムエッジから、ドレイン領域2に広がる空乏層端までの距離d2が、従来のd11よりも大きくなっている。つまり、図1に示す最外周トレンチ7aのボトムエッジの電界強度E2(=V0/d2)は従来の最外周トレンチ27aのボトムエッジの電界強度E1(=V0/d11)より小さくなり、電界集中を緩和することができる。これにより、ドレイン−ソース間の耐圧劣化が抑制でき、高温時に定格値割れする問題を大幅に低減することができる。
【0064】
具体的なコレクタ−エミッタ間耐圧と周囲温度の特性(VCES−Ta特性)を図2に示す。実線が本実施形態の半導体素子による特性であり、点線が従来の特性である。この図によれば本発明の構造を採用することにより、周囲温度(Ta)が絶対最大定格である150℃の範囲においてVCESが正の温度特性となった。従来は75℃以上の周囲温度にて負の温度特性となっていたことと比較すると、大幅に特性が改善されたことになる。
【0065】
尚、本発明の実施の形態においてはMOSFETを例に説明したが、IGBTにおいても、本発明の構造が適用できる。
【0066】
次に本発明の半導体装置の製造方法を図3から図8を用いて説明する。尚、チャネル層周端部のP+型領域は図示を省略する。
【0067】
本発明の半導体装置の製造方法は、ドレイン領域となる一導電型の半導体基板表面に逆導電型のチャネル層を形成する工程と、予定の実動作領域とその最外周とで深さの異なるトレンチを形成する工程と、トレンチの内壁にゲート絶縁膜を形成する工程と、トレンチに埋設される半導体材料からなる電極を形成する工程と、チャネル層でトレンチに隣接して一導電型のソース領域を形成する工程とから構成される。
【0068】
本発明の第1の工程は図3に示す如く、ドレイン領域2となる一導電型の半導体基板表面に逆導電型のチャネル層4を形成することにある。
【0069】
N+型シリコン半導体基板1にN−型のエピタキシャル層を積層してドレイン領域2を形成する。実動作領域外の予定のチャネル層4周端部には、高濃度のP型不純物を注入、拡散してP+型領域を形成する。更に、全面にドーズ量1013オーダーでボロン等の不純物を注入した後、拡散してP型のチャネル層4を形成する。
【0070】
尚、IGBTの場合は、P型半導体領域にN型エピタキシャル層を設け、その上にN−型エピタキシャル層を積層してコレクタ領域を形成すれば、後の工程は同一工程で実施ができる。
【0071】
本発明の第2の工程は図4から図6に示す如く、予定の実動作領域とその最外周とで深さの異なるトレンチを形成することにある。
【0072】
本工程は本発明の特徴となる工程であり、トレンチ開口部の開口幅が異なるマスクを用いて実動作領域内とその最外周で深さの異なるトレンチを同一工程にて形成するものである。
【0073】
図4では、全面にCVD法によりNSG(Non−doped Silicate Glass)のCVD酸化膜5を厚さ数千Åに生成する。その後、レジスト膜によるマスクをトレンチ開口部となる部分を除いてかけて、CVD酸化膜5をドライエッチングして部分的に除去し、チャネル領域4が露出したトレンチ開口部を形成する。このとき、同一エッチング条件であればトレンチ深さは開口部の幅が小さいほうが浅くなる特性を利用して、実動作領域最外周のトレンチ開口部6aが実動作領域内のトレンチ開口部6より開口幅が小さくなるようなパターンのマスクを用いて露光する。具体的には実動作領域内のトレンチ開口部6が例えば1μm程度の開口幅であれば最外周トレンチ開口部6aは0.5μm程度に形成する。
【0074】
図5では、CVD酸化膜5をマスクとしてトレンチ開口部6、6aのシリコン半導体基板をCF系およびHBr系ガスによりドライエッチングし、トレンチを形成する。このとき、前述のごとく最外周では開口幅が狭いため、他の部分よりも浅いトレンチ7aとなり、1度のエッチングで深さの異なる2種類のトレンチ7、7aが形成される。ここで必ずしも最外周のトレンチ7aはドレイン領域2に達する深さでなくてもよい。これにより、後の工程でトレンチにゲート電極13を埋設すると、実動作領域最外周のゲート電極(トレンチ7a)ボトムエッジの電界集中を緩和することができる。
【0075】
通常、深さの異なるトレンチを形成するには、エッチング条件を変えるなど、工程を増やすことになるが、本発明においては開口幅を小さくすることにより同一工程で深さの異なるトレンチを同時に形成できる。つまり、トレンチエッチングのマスクパターンを変更するだけで、従来の製造プロセスを用いてトレンチ7aボトムエッジの電界集中を緩和することができる。
【0076】
本発明の第3の工程は図6に示す如く、トレンチ7の内壁にゲート絶縁膜を形成することにある。
【0077】
ダミー酸化をしてトレンチ7内壁とチャネル層4表面に酸化膜(図示せず)を形成してドライエッチングの際のエッチングダメージを除去し、その後、この酸化膜とCVD酸化膜5をエッチングにより除去する。
【0078】
更に、全面を熱酸化してゲート酸化膜11を駆動電圧に応じて例えば厚み約700Åに形成する。
【0079】
本発明の第4の工程は図7に示す如く、トレンチに埋設される半導体材料からなる電極を形成することにある。
【0080】
全面にノンドープのポリシリコン層を付着し、リンを高濃度に注入・拡散して高導電率化を図り、ゲート電極13を形成する。その後全面に付着したポリシリコン層をマスクなしでドライエッチして、トレンチ7に埋設したゲート電極13を残す。
【0081】
本発明の第5の工程は図8に示す如く、チャネル層4でトレンチ7に隣接して一導電型のソース領域15を形成することにある。
【0082】
まず、基板の電位を安定化させるために、レジスト膜によるマスクにより選択的にボロン等の不純物をドーズ量1015オーダーでイオン注入し、P+型のボディコンタクト領域14を形成した後、レジスト膜を除去する。
【0083】
その後、新たなレジスト膜で予定のソース領域15およびゲート電極13を露出する様にマスクして、砒素をドーズ量1015オーダーでイオン注入し、N+型のソース領域15をトレンチ7に隣接するチャネル層4表面に形成した後、レジスト膜を除去する。
【0084】
更に、全面にBPSG(Boron Phosphorus Silicate Glass)層をCVD法により付着して、層間絶縁膜16を形成する。その後、レジスト膜をマスクにして少なくともゲート電極13上に層間絶縁膜16を残す。その後アルミニウムをスパッタ装置で全面に付着して、ソース領域15およびボディコンタクト領域14にコンタクトするソース電極17を形成する。
【0085】
次に、本発明の第2の実施の形態を図9から図11を参照して詳細に説明する。第2の実施の形態は、実動作領域最外周付近のトレンチ深さを最外周にむかって徐々に浅く設けるものである。
【0086】
図9には、第2の実施の形態の構造を示す。
第2の実施の形態のトレンチ型パワーMOSFETは、半導体基板1、2と、チャネル層4と、トレンチ7、7a、7bと、ゲート酸化膜11と、ゲート電極13と、ソース領域15と金属電極17とから構成される。
【0087】
尚、トレンチ7、7a、7b以外の構成要素は第1の実施形態と同様であるので詳細な説明は省略する。
【0088】
半導体基板1上のドレイン領域2表面にはチャネル層4を設け、チャネル層4を貫通してトレンチ7、7a、7bを設ける。
【0089】
実動作領域のほとんどの領域のトレンチ7は、チャネル層4を貫通してドレイン領域2まで到達させ、一般的には半導体基板上に格子状またはストライプ状にパターニングする。
【0090】
本実施形態においては、実動作領域の最外周付近に位置する複数周のトレンチは、最外周に向ってトレンチ深さが徐々に浅くなるように設ける。例えば実動作領域のトレンチ7と比較して、実動作領域最外周のトレンチ7aは、浅く設けられる。更に、最外周のトレンチ7aよりも深く、多くの実動作領域のトレンチ7よりも浅いトレンチ7bを最外周の内側(以降本明細書では外周と称する)に設ける。すなわちトレンチは実動作領域最外周付近、本実施形態では最外周と外周の2周に於いて、徐々に、その深さを浅く設ける。これらトレンチ7a、7bにおいてはドレイン領域2まで到達しなくてもよい。これらの深さの一例としては、実動作領域トレンチ7=約3μm、外周トレンチ7b=約2.5μm〜3μm、最外周トレンチ7a=約2.5μm程度である。
【0091】
トレンチ7、7b、7a内壁にはゲート酸化膜11を設け、ポリシリコンを埋設してゲート電極13を形成する。このゲート電極13は、半導体基板の周囲を取り巻くゲート連結電極(図示せず)まで延在され、半導体基板上に設けられたゲートパッド電極(図示せず)に連結される。
【0092】
トレンチ7に隣接したチャネル層4表面にN+型不純物を注入し、実動作領域を覆う金属のソース電極17とコンタクトするソース領域15を設ける。また、隣接するソース領域15間のチャネル層4表面には、P+型不純物の拡散領域であるボディコンタクト領域14を設け、基板の電位を安定化させる。
【0093】
層間絶縁膜16は、ソース電極17とゲート電極13との絶縁のため、少なくともゲート電極13を覆って設けられ、トレンチ開口部にその一部を残している。
【0094】
ソース電極17は、アルミニウム等をスパッタして所望の形状にパターニングされる。実動作領域上を覆い、ソース領域およびボディコンタクト領域とコンタクトする。
【0095】
隣接するトレンチ7、7bおよび7aで囲まれた部分が1つのセルとなり、このセルが多数個集まって実動作領域となっている。
【0096】
本実施形態によれば、実動作領域外周付近の例えば2周において、外周トレンチ7b、最外周トレンチ7aと徐々にその深さが浅く成るトレンチを設けることにある。
【0097】
この場合、オフ状態において、駆動電圧V0印加時の逆バイアスとなるチャネル層とドレイン領域界面のPN接合から広がる空乏層を破線で示す。空乏層の広がりおよび空乏層の幅d0は、従来と同様であるので、外周トレンチ7bのボトムエッジから空乏層までの距離d3は、d11<d3<d2となる。すなわち電界強度E3もE2<E3<E1となり、電界強度の変化をゆるやかに遷移させることができる。
【0098】
これにより、ドレイン−ソース間の耐圧劣化が抑制でき、高温時に定格値割れする問題を大幅に低減することができる。
【0099】
尚、本発明の実施の形態においてはMOSFETを例に説明したが、IGBTにおいても、本発明の構造が適用できる。
【0100】
次に図10、図11および図9を用いて第2の実施形態の半導体装置の製造方法を説明する。尚、チャネル層周端部のP+型領域は図示を省略する。
【0101】
第2の実施形態における半導体装置の製造方法は、一導電型の半導体基板表面に逆導電型領域を形成する工程と、予定の実動作領域最外周付近においてはその深さが徐々に浅くなるように前記予定の実動作領域にトレンチを形成する工程と、前記トレンチの内壁に絶縁膜を形成する工程と、前記トレンチに埋設される半導体材料からなる電極を形成する工程と、前記逆導電型領域表面で前記トレンチに隣接して一導電型領域を形成する工程とから構成される。尚、第2工程であるトレンチ形成工程以外は第1の実施の形態と同様であるので詳細な説明は省略する。
【0102】
第1工程:ドレイン領域2となる一導電型の半導体基板表面に逆導電型のチャネル層4を形成する。
【0103】
尚、IGBTの場合は、P型半導体領域にN型エピタキシャル層を設け、その上にN−型エピタキシャル層を積層してコレクタ領域を形成すれば、後の工程は同一工程で実施ができる。
【0104】
第2工程:予定の実動作領域最外周付近においてはその深さが徐々に浅くなるように前記予定の実動作領域にトレンチを形成する工程(図10、図11)。
【0105】
本工程は本発明の特徴となる工程であり、トレンチ開口部の開口幅が異なるマスクを用いて実動作領域最外周付近においてはその深さが徐々に浅くなるトレンチを同一工程にて形成するものである。
【0106】
図10では、全面にCVD法によりNSG(Non−doped Silicate Glass)のCVD酸化膜5を厚さ数千Åに生成する。その後、レジスト膜によるマスクをトレンチ開口部となる部分を除いてかけて、CVD酸化膜5をドライエッチングして部分的に除去し、チャネル領域4が露出したトレンチ開口部を形成する。このとき、同一エッチング条件であればトレンチ深さは開口部の幅が小さいほうが浅くなる特性を利用して、実動作領域最外周付近のたとえば最外周とその内側の2周に配置されるトレンチにおいて、トレンチ開口幅が徐々に狭くなるようなパターンのマスクを用いて露光する。すなわち、最外周トレンチ開口部6aは、実動作領域内のトレンチ開口部6より開口幅を小さくし、更に最外周の内側(以降外周と称する)では実動作領域内より狭く、最外周トレンチ開口部6aよりも広いトレンチ開口部6bとする(6<6b<6a)。具体的には実動作領域内のトレンチ開口部6を例えば0.86μm程度の開口幅とし、外周トレンチ開口幅6bを0.5μm、最外周トレンチ開口部6aは0.38μm程度に形成する。
【0107】
図11では、CVD酸化膜5をマスクとしてトレンチ開口部6、6a、6bのシリコン半導体基板をCF系およびHBr系ガスによりドライエッチングし、トレンチを形成する。このとき、前述のごとく最外周および外周では開口幅が狭いため、段階的に浅いトレンチ7b、7aとなり、1度のエッチングで深さの異なる3種類のトレンチ7、7b、7aが形成される。ここで必ずしも外周トレンチ7bおよび最外周のトレンチ7aはドレイン領域2に達する深さでなくてもよい。これにより、後の工程でトレンチにゲート電極13を埋設すると、実動作領域最外周のゲート電極(トレンチ7b、7a)ボトムエッジの電界集中を緩やかな変化で緩和することができる。
【0108】
通常、深さの異なるトレンチを形成するには、エッチング条件を変えるなど、工程を増やすことになるが、本発明においてはトレンチエッチングのための開口幅を小さくすることにより同一工程で深さの異なるトレンチを同時に形成できる。トレンチ開口幅は、フォトリソグラフィの限界までせばめることができるので、実動作領域中央付近の開口幅からこの限界の開口幅まで段階的に狭く(トレンチ深さを浅く)することができる。つまり、トレンチエッチングのためのマスクパターンを変更するのみで、従来の製造プロセスを用いてゲート電極ボトムエッジの電界集中を緩和する半導体装置の製造方法を提供することができる。
【0109】
第3工程:全面を熱酸化してゲート酸化膜11を駆動電圧に応じて例えば厚み約700Åに形成する(図6参照)。
【0110】
第4の工程:トレンチに埋設されるポリシリコン層からなるゲート電極13電極を形成する(図7参照)。
【0111】
第5の工程:チャネル層4でトレンチ7に隣接して一導電型のソース領域15を形成し、基板の電位を安定化させるために、P+型のボディコンタクト領域14を形成する(図8参照)。
【0112】
更に、層間絶縁膜16を形成する。その後アルミニウムをスパッタ装置で全面に付着して、ソース領域15およびボディコンタクト領域14にコンタクトするソース電極17を形成し、図9に示す最終構造を得る。
【0113】
第1の実施の形態の如く、最外周のみを浅くしてもトレンチボトムエッジの電界集中を緩和させることが可能であるが、第2の実施の形態の如く段階的に浅くするとより電界集中の緩和に効果的である。この場合、トレンチを段階的に浅く設ける遷移領域は、前述の如く、開口部を徐々に狭くすることで同一工程に置いて深さの異なるトレンチを形成できる。つまり、従来どおりの一度のトレンチ形成プロセスで実施できるので、プロセス上フォトリソグラフィの限界まで段階的に形成することが可能である。しかし、遷移領域のトレンチは、ドレイン領域に達する深さでなくてもよく、その場合MOSFETのセルとして機能しない。このようなトレンチを増やしてしまうと、動作特性にも影響しかねないため、電界集中の緩和を目的とするのであれば、第2の実施形態に示した2段階程度で十分である。
【0114】
【発明の効果】
本発明に依れば、実動作領域最外周はその内部よりトレンチ深さが浅いため、実動作領域の周端部のトレンチボトムエッジの電界集中を緩和できる。電界集中を抑えることによりドレイン−ソース間(IGBTであればコレクタ−エミッタ間)の耐圧の劣化を抑制する半導体装置を実現できる。
【0115】
また、開口幅の異なるマスクを用いて、実動作領域内とその最外周で深さの異なるトレンチを同一工程で形成することを特徴とするもので、エッチング工程を追加することなく、従来のプロセスで実動作領域内よりもその外周のトレンチ深さを浅く形成することができ、耐圧劣化を抑制する半導体装置の製造方法を提供できるものである。
【0116】
つまり、ドレイン−ソース間(IGBTであればコレクタ−エミッタ間)の耐圧劣化が抑制でき、高温時に定格値割れする問題を大幅に低減することができる。
【0117】
また、本発明の製造方法によれば、同一エッチング工程において深さの異なるトレンチを同時に形成できる。つまり、製造工程を増やすことなく、従来と同一プロセスでボトムエッジの電界集中を緩和できる。つまりドレイン−ソース間(IGBTであればコレクタ−エミッタ間)の耐圧劣化を抑制し、高温時の定格値割れを抑える半導体装置の製造方法を容易に提供できる利点を有する。
【0118】
また、図9の如く、実動作領域最外周付近の複数周のトレンチについて段階的に浅くすることにより、最外周のみを浅くした場合と比較して更に電界集中を緩和できる。この製造プロセスも最外周と外周のトレンチ開口幅を2段階で縮小することにより、同一のトレンチ形成工程で徐々に深さが浅くなるトレンチを形成することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の半導体装置を説明する断面図である。
【図2】本発明の半導体装置を説明する特性図である。
【図3】本発明の半導体装置の製造方法を説明する断面図である。
【図4】本発明の半導体装置の製造方法を説明する断面図である。
【図5】本発明の半導体装置の製造方法を説明する断面図である。
【図6】本発明の半導体装置の製造方法を説明する断面図である。
【図7】本発明の半導体装置の製造方法を説明する断面図である。
【図8】本発明の半導体装置の製造方法を説明する断面図である。
【図9】本発明の半導体装置を説明する断面図である。
【図10】本発明の半導体装置の製造方法を説明する断面図である。
【図11】本発明の半導体装置の製造方法を説明する断面図である。
【図12】従来の半導体装置を説明する断面図である。
【図13】従来の半導体装置の製造方法を説明する断面図である。
【図14】従来の半導体装置の製造方法を説明する断面図である。
【図15】従来の半導体装置の製造方法を説明する断面図である。
【図16】従来の半導体装置の製造方法を説明する断面図である。
【図17】従来の半導体装置の製造方法を説明する断面図である。
【図18】従来の半導体装置の製造方法を説明する断面図である。
【図19】従来の半導体装置を説明する特性図である。
Claims (10)
- コレクタ領域となる一導電型半導体層と、
該一導電型半導体層表面に設けられた逆導電型チャネル層と、
前記一導電型半導体層の裏面に設けられたコレクタ領域となる逆導電型半導体領域と、
前記チャネル層の形成深さが略均一な実動作領域と、
該実動作領域の内側に設けられた第1トランジスタと、第2トランジスタとを有し、
前記第1トランジスタは、第1トレンチと、該第1トレンチ内を覆う第1絶縁膜と、前記第1トレンチ内に埋設された第1ゲート電極と、該第1トレンチに隣接して設けられた一導電型の第1エミッタ領域とを備え、
前記第2トランジスタは、第2トレンチと、該第2トレンチ内を覆う第2絶縁膜と、前記第2トレンチ内に埋設された第2ゲート電極と、該第2トレンチに隣接して設けられた一導電型の第2エミッタ領域とを備え、
前記第2トランジスタは、複数の前記第1トランジスタを囲む最外周に配置され、前記第2トレンチの深さは、前記第1トレンチより浅いことを特徴とする半導体装置。 - ドレイン領域となり一導電型の高濃度半導体基板と低濃度半導体層を積層した半導体基板と、
該半導体基板表面に設けられた逆導電型チャネル層と、
該チャネル層の形成深さが略均一な実動作領域と、
該実動作領域の内側に設けられた第1トランジスタと、第2トランジスタとを有し、
前記第1トランジスタは、第1トレンチと、該第1トレンチ内を覆う第1絶縁膜と、前記第1トレンチ内に埋設された第1ゲート電極と、該第1トレンチに隣接して設けられた一導電型の第1ソース領域とを備え、
前記第2トランジスタは、第2トレンチと、該第2トレンチ内を覆う第2絶縁膜と、前記第2トレンチ内に埋設された第2ゲート電極と、該第2トレンチに隣接して設けられた一導電型の第2ソース領域とを備え、
前記第2トランジスタは、複数の前記第1トランジスタを囲む最外周に配置され、前記第2トレンチの深さは、前記第1トレンチより浅いことを特徴とする半導体装置。 - 前記第2トレンチの開口幅は前記第1トレンチの開口幅よりも狭いことを特徴とする請求項1または請求項2に記載の半導体装置。
- 前記実動作領域の内側に設けられた第3トレンチと、該第3トレンチ内を覆う第3絶縁膜と、前記第3トレンチ内に埋設された第3ゲート電極と、該第3トレンチに隣接して設けられた一導電型の第3エミッタ領域とを有する第3トランジスタを有し、該第3トランジスタは前記第1トランジスタと前記第2トランジスタの間に配置され、前記第3トレンチの深さは、前記第1トレンチより浅く前記第2トレンチより深いことを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。
- 前記実動作領域の内側に設けられた第3トレンチと、該第3トレンチ内を覆う第3絶縁膜と、前記第3トレンチ内に埋設された第3ゲート電極と、該第3トレンチに隣接して設けられた一導電型の第3ソース領域とを有する第3トランジスタを有し、該第3トランジスタは前記第1トランジスタと前記第2トランジスタの間に配置され、前記第3トレンチの深さは、前記第1トレンチより浅く前記第2トレンチより深いことを特徴とする請求項2に記載の半導体装置。
- 前記第3トレンチの開口幅は、前記第1トレンチの開口幅より狭く、前記第2トレンチの開口幅より広いことを特徴とする請求4または請求項5に記載の半導体装置。
- 一導電型半導体層が逆導電型半導体領域上に積層された半導体基板を準備し、コレクタ領域となる前記半導体基板表面に逆導電型チャネル層を形成する工程と、
前記チャネル層の形成深さが略均一な実動作領域の内側の、トレンチの形成領域に、第1の開口幅と、該第1の開口幅より狭い第2の開口幅の開口部を有するマスクを用いて、複数の第1トレンチと、該第1トレンチを囲む最外周に該第1トレンチより浅い第2トレンチを同時に形成する工程と、
該第1トレンチおよび第2トレンチの内壁にそれぞれ第1絶縁膜および第2絶縁膜を形成する工程と、
前記第1トレンチおよび第2トレンチに埋設される第1ゲート電極および第2ゲート電極を形成する工程と、
前記逆導電型チャネル層表面で前記第1トレンチおよび第2トレンチにそれぞれ隣接して逆導電型の第1エミッタ領域および第2エミッタ領域を形成する工程と、
を具備することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - ドレイン領域となり一導電型の高濃度半導体基板と低濃度半導体層を積層した半導体基板表面に逆導電型チャネル層を形成する工程と、
前記チャネル層の形成深さが略均一な実動作領域の内側の、トレンチの形成領域に、第1の開口幅と、該第1の開口幅より狭い第2の開口幅の開口部を有するマスクを用いて、複数の第1トレンチと、該第1トレンチを囲む最外周に該第1トレンチより浅い第2トレンチを同時に形成する工程と、
該第1トレンチおよび第2トレンチの内壁にそれぞれ第1絶縁膜および第2絶縁膜を形成する工程と、
前記第1トレンチおよび第2トレンチに埋設される第1ゲート電極および第2ゲート電極を形成する工程と、
前記チャネル層表面で前記第1トレンチおよび第2トレンチにそれぞれ隣接して逆導電型の第1ソース領域および第2ソース領域を形成する工程と、
を具備することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記マスクは、第1の開口幅より狭く、前記第2の開口幅より広い第3の開口幅の開口部が設けられ、該マスクを用いて、前記第1トレンチより外側で前記第2トレンチより内側の前記半導体基板の表面に前記第1トレンチより浅く前記第2トレンチより深い第3トレンチを前記第1トレンチおよび前記第2トレンチと同時に形成する工程と、
該第3トレンチ内壁に第3絶縁膜を形成する工程と、
前記第3トレンチに埋設される第3ゲート電極を形成する工程と、
前記第3トレンチに隣接する一導電型の第3エミッタ領域を形成する工程と、
を具備することを特徴とする請求項7に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記マスクは、第1の開口幅より狭く、前記第2の開口幅より広い第3の開口幅の開口部が設けられ、該マスクを用いて、前記第1トレンチより外側で前記第2トレンチより内側の前記半導体基板の表面に前記第1トレンチより浅く前記第2トレンチより深い第3トレンチを前記第1トレンチおよび前記第2トレンチと同時に形成する工程と、
該第3トレンチ内壁に第3絶縁膜を形成する工程と、
前記第3トレンチに埋設される第3ゲート電極を形成する工程と、
前記第3トレンチに隣接する一導電型の第3ソース領域を形成する工程と、
を具備することを特徴とする請求項8に記載の半導体装置の製造方法。
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