JP4882983B2 - 半導体装置 - Google Patents
半導体装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4882983B2 JP4882983B2 JP2007312753A JP2007312753A JP4882983B2 JP 4882983 B2 JP4882983 B2 JP 4882983B2 JP 2007312753 A JP2007312753 A JP 2007312753A JP 2007312753 A JP2007312753 A JP 2007312753A JP 4882983 B2 JP4882983 B2 JP 4882983B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- trench
- insulating film
- vicinity
- cross
- gate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Description
実施の形態1.
図1は、本発明にかかる半導体装置のトレンチ終端近傍部分の平面形状の第1の例を示す模式的概略図であり、図2は、図1の切断線A−A’におけるトレンチの断面形状を示す模式的概略図である。図1および図2において、符号21は半導体基板であり、符号22で示す網掛け部分はトレンチである。図1に示すように、第1の例では、トレンチ22の平面形状は、トレンチ22の終端近傍部分23の幅がそれよりも中央寄りの胴部分24の幅よりも一段階狭いボトルネック型になっている。このような平面形状のトレンチ22は、この形状に対応するパターンのマスク酸化膜を半導体基板上に形成して周知のドライエッチングをおこなうことによって形成される。形成されたトレンチ22では、図2に示すように、終端近傍部分23の方が胴部分24よりも浅くなる。
実施の形態1ではトレンチ内のゲート絶縁膜の厚さは均一であったが、実施の形態2は、トレンチ終端近傍部分の先細り形状の部分において、トレンチ内のそれ以外の部分よりもゲート絶縁膜を厚くしたものである。たとえば、実施の形態1で説明したようにして図1および図2に示す形状のトレンチ22を形成した後、図21に示すように、トレンチ終端近傍部分23の先細り形状の部分が絶縁膜で埋まるように、絶縁膜27を成膜する。そして、図22に示すように、等方性エッチングをおこない、トレンチ22内の、トレンチ終端近傍部分23以外の部分、すなわち胴部分24の絶縁膜27を所望の厚さのゲート絶縁膜28とする。その際、トレンチ終端近傍部分23に充填された絶縁膜27は除去されずゲート絶縁膜29として残る。つまり、トレンチ終端近傍部分23は、胴部分24のゲート絶縁膜28よりも厚いゲート絶縁膜29で覆われる。
22,32,42,52,62,63,65〜69,100,200,300,400,500 トレンチ
23,33,43,53 トレンチの終端近傍部分
28,29,38,39,48,49,58,59,205,305,405,505 ゲート絶縁膜(ゲート酸化膜)
64 最外周のトレンチ
206,306,406,506 ゲート電極
Claims (1)
- 半導体基板に形成されたトレンチの内部、または側壁もしくは底部の付近に電流経路が設けられ、かつ前記トレンチの底面の一部もしくは全部、または前記トレンチの側壁の一部もしくは全部に沿って、ゲート絶縁膜を介してゲート電極が設けられた半導体装置において、
交差する複数のトレンチの端部同士を接続するように設けられたトレンチ(以下「最外周トレンチ」という)はその内側のトレンチよりも浅く、かつ、前記最外周トレンチの幅はその内側のトレンチの幅よりも狭いことを特徴とする半導体装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007312753A JP4882983B2 (ja) | 2007-12-03 | 2007-12-03 | 半導体装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007312753A JP4882983B2 (ja) | 2007-12-03 | 2007-12-03 | 半導体装置 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2001384811A Division JP4178789B2 (ja) | 2001-12-18 | 2001-12-18 | 半導体装置およびその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008103751A JP2008103751A (ja) | 2008-05-01 |
JP4882983B2 true JP4882983B2 (ja) | 2012-02-22 |
Family
ID=39437778
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007312753A Expired - Fee Related JP4882983B2 (ja) | 2007-12-03 | 2007-12-03 | 半導体装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4882983B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012209344A (ja) * | 2011-03-29 | 2012-10-25 | Toyota Motor Corp | 半導体装置 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3325692B2 (ja) * | 1994-03-07 | 2002-09-17 | 三菱電機株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
JPH09260485A (ja) * | 1996-03-26 | 1997-10-03 | Sony Corp | 半導体装置の製造方法 |
JP3904648B2 (ja) * | 1997-01-31 | 2007-04-11 | 株式会社ルネサステクノロジ | 半導体装置 |
JP2001024193A (ja) * | 1999-07-13 | 2001-01-26 | Hitachi Ltd | トレンチゲート型半導体装置およびその製造方法 |
JP4171268B2 (ja) * | 2001-09-25 | 2008-10-22 | 三洋電機株式会社 | 半導体装置およびその製造方法 |
-
2007
- 2007-12-03 JP JP2007312753A patent/JP4882983B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2008103751A (ja) | 2008-05-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4414863B2 (ja) | 絶縁ゲート型半導体装置およびその製造方法 | |
US8168498B2 (en) | Insulated gate type semiconductor device and method for fabricating the same | |
JP4178789B2 (ja) | 半導体装置およびその製造方法 | |
JP5530602B2 (ja) | 半導体装置およびその製造方法 | |
TWI509809B (zh) | 帶有自對準有源接觸的基於高密度溝槽的功率mosfet及其制備方法 | |
US20140213026A1 (en) | Trench metal oxide semiconductor field effect transistor with embedded schottky rectifier using reduced masks process | |
JP2018060924A (ja) | 半導体装置および半導体装置の製造方法 | |
US10026833B2 (en) | Semiconductor device and semiconductor device manufacturing method | |
JP2008066694A (ja) | 半導体装置及びその製造方法 | |
JP2008034794A (ja) | 縦型トレンチ型絶縁ゲートmos半導体装置 | |
US20160027913A1 (en) | Trench mosfet and manufacturing method thereof | |
JP6885101B2 (ja) | 半導体装置 | |
JP2012009671A (ja) | 半導体装置およびその製造方法 | |
WO2006035877A1 (ja) | 半導体装置 | |
JP2018049908A (ja) | 半導体装置及びその製造方法 | |
JP2005322949A (ja) | 半導体装置 | |
JP7024273B2 (ja) | 半導体装置 | |
JP5446297B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP2006093459A (ja) | トレンチゲート型半導体装置およびその製造方法 | |
JP4882983B2 (ja) | 半導体装置 | |
US8445956B2 (en) | Method for manufacturing a semiconductor device and semiconductor device | |
US7507630B2 (en) | Method of fabricating a semiconductor device | |
US11302805B2 (en) | Semiconductor device and manufacturing method to manufacture semiconductor device | |
KR101803978B1 (ko) | 반도체 장치 및 그 제조 방법 | |
WO2011117920A1 (ja) | 半導体装置およびその製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20091112 |
|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20091112 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20091112 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20110422 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110811 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110816 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20111017 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20111108 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20111121 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20141216 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4882983 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |