JP4131720B2 - 磁気記録媒体、ヘッドスライダおよびそれらの製造方法 - Google Patents
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Description
ヘッドスライダが提供される。
フッ素濃度の定量および窒素濃度の定量はX線光電子分光法(XPS)で行った。
膜硬度の測定にはナノインデンテーション法を用いた。ナノインデンテーション法は、μN程度の微小荷重を用いてダイヤモンド圧子を材料に押し込み、除荷する際の微小変形を測定することで力学特性を評価する方法である。押し込み量を数nm程度に制御できるため薄膜試料の特性評価に適している。
表面自由エネルギーは対象膜に対する純水およびジヨードメタンの接触角を測定し、以下の導出式から算出した。
液体が固体表面に付着することにより安定化するエネルギーである接着仕事WSLはDupreの式(2)に従う。
以上の2式からYoung- Dupreの式(3)が導出され、接着仕事は液体の表面自由エネルギーと接触角から求められることになる。
この接着仕事に対して表面自由エネルギーの各成分の幾何平均則を適用すると、(4)式が成り立つ。
ここでd、hは分散成分、水素結合成分を意味する。
TDS(thermal desorption method:昇温脱離法)により、水の脱ガス強度として求めた。これは、サンプルを昇温して行くときに出てくる水を質量分析計の強度で評価する方法である。
暴露試験で吸着したDOPの定量はGC/MS(ガスクロマトグラフ/マススペクトロメータ)で行った。
サンプルを2,3−ジハイドロデカフルオロペンタンでリンスした。リンス前の潤滑層膜厚に対するリンス後の潤滑層膜厚に対する%割合を潤滑剤付着率とした。なお、膜厚はXPSで測定した。
Al2O3−TiCよりなるヘッドスライダ用基板上へ、ヘッド保護層としてアモルファスカーボン保護層を30nm成膜した。アモルファスカーボン保護層の形成は図3に示すFCA装置を用いグラファイトターゲットを原料として、アーク電流60A、アーク電圧30V、カソードコイル電流10Aの条件下、0.1nm/秒の成膜速度で行った。その際、同成膜室内に窒素ガスを導入し、雰囲気成膜による窒素添加を行った。この条件における単独膜の膜特性を表1に示す。
Al2O3−TiCよりなるヘッドスライダ用基板上へ、ヘッド保護層としてアモルファスカーボン保護層を30nm成膜した。窒素ガスを供給する代わりにテトラフルオロメタン(CF4)を供給した以外は実施例1と同様にしてヘッド保護層を作製した。この条件における単独膜の膜特性を表2に示す。
Al2O3−TiCよりなるヘッドスライダ用基板上へ、ヘッド保護層としてアモルファスカーボン保護層を30nm成膜した。雰囲気ガスを供給しない以外は実施例1と同様にしてヘッド保護層を作製した。この条件における単独膜の膜特性を表3に示す。
Al2O3−TiCよりなるヘッドスライダ用基板上へ、ヘッド保護層としてアモルファスカーボン保護層を成膜した。その際、実施例1と同様の手法でヘッド保護層を3nm設けたサンプルA、実施例2と同様の手法でヘッド保護層を3nm設けたサンプルB、実施例3と同様の手法でヘッド保護層を3nm設けたサンプルCの計3種類を作製した。
Al2O3−TiCよりなるヘッドスライダ上に、ヘッド保護層としてアモルファスカーボン保護層を3nm成膜した。
実施例5と同様にAl2O3−TiCよりなるヘッドスライダ上にヘッド保護層としてアモルファスカーボン保護層を3nm成膜した。アモルファスカーボン保護層は実施例3と同様の手法で3nm形成した。
基板上に磁性層、磁気記録媒体保護層および磁気記録媒体潤滑層を順次積層した磁気記録媒体において、
当該磁気記録媒体保護層が磁性層に接する下層とその上にある上層との二層で構成されており、
当該下層のイオン化ポテンシャルが当該上層よりも小さく、
当該上層の表面自由エネルギーが45mN/m以下である
磁気記録媒体。
前記下層側のイオン化ポテンシャルが5.5eV以下である、付記1に記載の磁気記録媒体。
前記上層側の膜厚が0.5nm以上、1nm以下である、付記1または2に記載の磁気記録媒体。
前記磁気記録媒体保護層の全膜厚が3nm以下である、付記1〜3のいずれかに記載の磁気記録媒体。
前記上層および下層として設置する材料の硬度が15GPa以上である、付記1〜4のいずれかに記載の磁気記録媒体。
前記下層と上層の少なくともいずれか一方がフィルタードカソーディックアーク法によって成膜されたものである、付記1〜5のいずれかに記載の磁気記録媒体。
前記上層と下層の少なくともいずれか一方が炭素を主成分として含有する、付記1〜6のいずれかに記載の磁気記録媒体。
前記上層と下層の少なくともいずれか一方がアモルファスカーボンを主成分として含有する、付記1〜7のいずれかに記載の磁気記録媒体。
前記上層が、フッ素と水素の少なくともいずれか一方の元素を含む、付記1〜8のいずれかに記載の磁気記録媒体。
前記下層が、窒素と酸素の少なくともいずれか一方の元素を含む、付記1〜9のいずれかに記載の磁気記録媒体。
磁気記録媒体に対し、記録および/または再生を行うための記録変換素子を備えたヘッドスライダであって、
ヘッドスライダ保護層およびその上のヘッドスライダ潤滑層を有し、
当該ヘッドスライダ保護層が下層とその上にある上層との二層で構成されており、
当該下層のイオン化ポテンシャルが当該上層よりも小さく、
当該上層の表面自由エネルギーが45mN/m以下である
ヘッドスライダ。
前記下層側のイオン化ポテンシャルが5.5eV以下である、付記11に記載のヘッドスライダ。
前記上層側の膜厚が0.5nm以上、1nm以下である、付記11または12に記載のヘッドスライダ。
当該ヘッドスライダ保護層の全膜厚が3nm以下である、付記11〜13のいずれかに記載のヘッドスライダ。
前記上層および下層として設置する材料の硬度が15GPa以上である、付記11〜14のいずれかに記載のヘッドスライダ。
前記下層と上層の少なくともいずれか一方がフィルタードカソーディックアーク法によって成膜されたものである、付記11〜15のいずれかに記載のヘッドスライダ。
前記上層と下層の少なくともいずれか一方が炭素を主成分として含有する、付記11〜16のいずれかに記載のヘッドスライダ。
前記上層と下層の少なくともいずれか一方がアモルファスカーボンを主成分として含有する、付記11〜17のいずれかに記載のヘッドスライダ。
前記上層が、フッ素と水素の少なくともいずれか一方の元素を含む、付記11〜18のいずれかに記載のヘッドスライダ。
前記下層が、窒素と酸素の少なくともいずれか一方の元素を含む、付記11〜19のいずれかに記載のヘッドスライダ。
付記1〜10のいずれかに記載の磁気記録媒体を備えた磁気記録装置。
付記11〜20のいずれかに記載のヘッドスライダを備えた磁気記録装置。
付記1〜10のいずれかに記載の磁気記録媒体および付記11〜20のいずれかに記載のヘッドスライダを備えた磁気記録装置。
基板上に磁性層、磁気記録媒体保護層および磁気記録媒体潤滑層を順次積層した磁気記録媒体の製造方法において、
当該磁気記録媒体保護層を磁性層に接する下層とその上にある上層との二層で構成し、
当該下層のイオン化ポテンシャルが当該上層よりも小さく、当該上層の表面自由エネルギーが45mN/m以下であるようにする
ことを含む、磁気記録媒体の製造方法。
磁気記録媒体に対し、記録および/または再生を行うための記録変換素子を備えたヘッドスライダの製造方法において、
ヘッドスライダ保護層上にヘッドスライダ潤滑層を配し、
当該ヘッドスライダ保護層を下層とその上にある上層との二層で構成し、
当該下層のイオン化ポテンシャルが当該上層よりも小さく、当該上層の表面自由エネルギーが45mN/m以下であるようにすることを含む
ヘッドスライダの製造方法。
2 ヘッドスライダ
3 回転制御機構
4 ヘッドの位置決め機構
5 記録再生信号の処理回路
6 サスペンジョン
7 ジンバル
8 ヘッド
9 ヘッド保護層
10 ヘッド潤滑層
11 磁気記録媒体
12 基板
13 Cr下地層
14 磁性層
15 媒体保護層
16 媒体潤滑層
31 カソード
32 アノード
33 フィルタコイル
34 ラスタコイル
35 基板
36 DLC層
37 イオンガン
Claims (4)
- 基板上に磁性層、磁気記録媒体保護層および磁気記録媒体潤滑層を順次積層した磁気記録媒体において、
当該磁気記録媒体潤滑層は、フッ素系樹脂を含み、かつ、当該磁気記録媒体潤滑層を活性エネルギー線で照射処理して当該磁気記録媒体保護層に付着せしめたものであり、
当該磁気記録媒体保護層が磁性層に接する下層とその上にある上層との二層で構成されており、
当該下層と上層とがフィルタードカソーディックアーク法によって成膜されたものであり、
当該上層と下層とがアモルファスカーボンを主成分として含有し、
当該上層が、フッ素と水素の少なくともいずれか一方の元素を含み、
当該下層が、窒素と酸素の少なくともいずれか一方の元素を含み、
当該下層のイオン化ポテンシャルが当該上層よりも小さく、かつ、5.5eV以下であり、
当該上層の表面自由エネルギーが45mN/m以下である
磁気記録媒体。 - 磁気記録媒体に対し、記録および/または再生を行うための記録変換素子を備えたヘッドスライダであって、
ヘッドスライダ保護層およびその上のヘッドスライダ潤滑層を有し、
当該ヘッドスライダ潤滑層は、フッ素系樹脂を含み、かつ、当該ヘッドスライダ潤滑層を活性エネルギー線で照射処理して当該ヘッドスライダ保護層に付着せしめたものであり、
当該ヘッドスライダ保護層が下層とその上にある上層との二層で構成されており、
当該下層と上層とがフィルタードカソーディックアーク法によって成膜されたものであり、
当該上層と下層とがアモルファスカーボンを主成分として含有し、
当該上層が、フッ素と水素の少なくともいずれか一方の元素を含み、
当該下層が、窒素と酸素の少なくともいずれか一方の元素を含み、
当該下層のイオン化ポテンシャルが当該上層よりも小さく、かつ、5.5eV以下であり、
当該上層の表面自由エネルギーが45mN/m以下である
ヘッドスライダ。 - 基板上に磁性層、磁気記録媒体保護層および磁気記録媒体潤滑層を順次積層した磁気記録媒体の製造方法において、
当該磁気記録媒体保護層を磁性層に接する下層とその上にある上層との二層で構成し、
当該下層と上層とをフィルタードカソーディックアーク法によって成膜して、当該上層と下層とにアモルファスカーボンを主成分として含有させ、
当該上層に、フッ素と水素の少なくともいずれか一方の元素を含ませ、
当該下層に、窒素と酸素の少なくともいずれか一方の元素を含ませ、
当該下層のイオン化ポテンシャルが当該上層よりも小さく、かつ、5.5eV以下であり、当該上層の表面自由エネルギーが45mN/m以下であるようにする
ことを含み、
当該磁気記録媒体潤滑層は、フッ素系樹脂を含み、かつ、当該磁気記録媒体潤滑層を活性エネルギー線で照射処理して当該磁気記録媒体保護層に付着せしめたものである、
磁気記録媒体の製造方法。 - 磁気記録媒体に対し、記録および/または再生を行うための記録変換素子を備えたヘッドスライダの製造方法において、
ヘッドスライダ保護層上にヘッドスライダ潤滑層を配し、
当該ヘッドスライダ保護層を下層とその上にある上層との二層で構成し、
当該下層と上層とをフィルタードカソーディックアーク法によって成膜して、当該上層と下層とにアモルファスカーボンを主成分として含有させ、
当該上層に、フッ素と水素の少なくともいずれか一方の元素を含ませ、
当該下層に、窒素と酸素の少なくともいずれか一方の元素を含ませ、
当該下層のイオン化ポテンシャルが当該上層よりも小さく、かつ、5.5eV以下であり、当該上層の表面自由エネルギーが45mN/m以下であるようにすることを含み、
当該ヘッドスライダ潤滑層は、フッ素系樹脂を含み、かつ、当該ヘッドスライダ潤滑層を活性エネルギー線で照射処理して当該ヘッドスライダ保護層に付着せしめたものである、
ヘッドスライダの製造方法。
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