JP4126332B2 - 低抵抗p型単結晶酸化亜鉛およびその製造方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、低抵抗p型単結晶酸化亜鉛(ZnO)およびその製造方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
低抵抗n型のZnOは、従来のB、Al、Ga、またはInドーピング技術で容易に作製することができた。しかしながら、p型のZnOとなると、N(窒素)を利用したドーピングによって得られた高抵抗のものに関する報告のみとなる。例えば、Nドーピングを用いたp型のZnOに関しては、第59回応用物理学会において山梨大学工学部春日研究室から報告されている(講演番号17p-YM-8,Japanese Journal of Applied Physics,Part2,vol.36,No.11A,p.1453,1 Nov.1997)。この山梨大学工学部春日研究室で製造されたp型ZnO薄膜の抵抗率は、100Ω・cmと未だ高抵抗率であり、実用には向かない。また、アニール後、p型からn型への電気伝導型が反転するなど実験の再現性に課題を残し、低抵抗p型のZnO育成は実現できていない。
【0003】
また、p型を作る目的でアクセプターとして考えられる周期律表内のI族元素であるLiに関しては、高抵抗なZnO薄膜のみがこれまでに作られており、半導体デバイス材料としてではなく、絶縁物としての誘電体分野でそのドーピング効果が研究されている。例えば、北海道大学大学院理学研究科小野寺 彰は、日本物理学会誌Vol.53、No.4、pp.282-286で、メモリー材料として、高抵抗率(比抵抗)1010Ω・cmを有するLiドーピングされたZnOを水熱法と言われる結晶成長法によって作成することを報告している。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
伝導型がp型のZnOは、高抵抗のものはできるが、低抵抗でかつp型のZnO単結晶薄膜の育成は、自己補償効果やp型ドーパントの小さな溶解度のために不可能であった。
【0005】
ZnOの単結晶薄膜として、低抵抗率を持つp型ZnOが合成できれば、B(ホウ素)、Al(アルミニウム)、Ga(ガリウム)、もしくはIn(インジウム)を利用した不純物ドーピングにより既に実現されている低抵抗n型のZnO(酸化亜鉛)と組み合わせることにより、同一半導体化合物であるZnO(酸化亜鉛)においてpn接合が実現できる。このpn接合は、ホモ接合と呼ばれ、注入型発光ダイオード、半導体レーザ、さらには、薄膜太陽電池のような半導体デバイスの作製において、高品質低価格化を可能とさせる。例えば、高密度記録や大量情報の伝達に必要な紫外光半導体レーザーダイオードをZnOで作製することができる。
【0006】
【課題を解決するための手段】
上記の課題を解決するために、本発明者は、p型ドーパントをZnO内に取り込み、さらに安定化させる新規なドーピング法を開発した。
【0007】
すなわち、本発明は、p型ドーパントとn型ドーパントとを含有している低抵抗p型ZnO単結晶に関する。
【0008】
本発明の低抵抗p型単結晶ZnOにおいて、n型ドーパントは、B、Al,Ga、In、Zn、F、ClまたはHの群からなる1種または2種以上とすることができ、p型ドーパントは、Li、Naのいずれか1種または2種とする。
【0009】
また、含有しているp型ドーパントとn型ドーパントとの濃度比は、好ましくは、1.3:1から3:1、最も好ましくは、2:1である。
【0010】
本発明の低抵抗p型単結晶ZnOは、ホール濃度が2×1018/cm3 以上、より好ましくは、1×1019/cm3 以上であり、また、電気抵抗率が20Ω・cm以下、より好ましくは、10Ω・cm以下、さらに好ましくは1Ω・cmよりも小さい。
【0011】
ZnO単結晶中に上記のn型のドーパントとp型のドーパントをドーピングすることにより、ZnO単結晶中にn型のドーパントとp型のドーパントの対が形成されるため、p型のドーパントによる散乱機構を反対の電荷をもつn型のドーパントが短距離化させる。これにより、キャリアのホール移動度を大きく増大させることができるため、低抵抗のp型ZnO単結晶が得られる。
【0012】
周期律表のII族元素は上記のn型ドーパントおよびp型ドーパントに加えて含有させると伝導型には影響せず、母体半導体化合物ZnOの酸素の安定化に寄与し、酸素空孔濃度減少をもたらす役目を担う。特に、この作用をもたらすII族元素としては、Mgまたは/およびBeが望ましい。すなわち、本発明は、n型ドーパントおよびp型ドーパントに加えて、Mgまたは/およびBeを含有し、該Mgまたは/およびBeは結晶内にMg−Oまたは/およびBe−Oの化学結合を形成していることを特徴とする上記の低抵抗p型単結晶酸化亜鉛である。
【0013】
また、本発明は、酸化亜鉛の単結晶を薄膜形成法により形成する際に、上記n型ドーパントおよびp型ドーパントを、p型ドーパント濃度がn型ドーパント濃度より大きくなるように、好ましくは、濃度比が1.3:1から3:1となるようにドーピングすることを特徴とする上記の低抵抗p型単結晶酸化亜鉛の製造方法である。
【0014】
さらに、本発明は、酸化亜鉛の単結晶を薄膜形成法により形成する際に、n型ドーパントおよびp型ドーパントに加えて、Mgまたは/およびBeを、ラジオ波、レーザー、X線、または電子線によって電子励起して原子状にし、ドーピングすることで、結晶内にMg−Oまたは/およびBe−Oの化学結合を形成して、酸素抜けを防ぐことを特徴とする低抵抗p型単結晶酸化亜鉛の製造方法である。
【0015】
さらに、本発明は、上記薄膜形成法は、Zn固体ソースからの原子状ガス、活性化した酸素を半導体基板上に供給して、単結晶酸化亜鉛薄膜を基板上に成長させる方法であることを特徴とする上記の低抵抗p型単結晶酸化亜鉛の製造方法である。
【0016】
本発明の低抵抗p型単結晶ZnOの製造方法においては、MOCVD(Metal Organic Chemical Vapor Deposition) 法や原子状ビームを用いたMBE(Molecular Beam Epitaxy)法などを用いてZn固体ソースから気化した原子状ガスと活性化された酸素を半導体基板上に流入、供給して、低温で基板上にZnOを積もらせることにより、十分な酸素プラズマ下で、半導体基板上に単結晶ZnO薄膜を成長させる。この際に、上記のp型ドーパント、n型ドーパント、好ましくは、さらにII族元素をドーピングする。
【0017】
本発明は、上記のn型のドーパントとp型のドーパントをドーピングすることにより、p型ドーパント間のクーロン反発力による静電エネルギー増大を抑止し、n型とp型ドーパント間のクーロン引力によってエネルギー利得を生じさせることができる。この静電的相互作用利得の効果でp型ドーパントを取り込み、さらに安定化させ、高濃度まで安定にp型ドーパントをドープすることができる。上記n型のドーパントとp型のドーパントをドーピングするに当たっては、それぞれをドーピングする時間をずらして実施してもよいが、望ましくは同時にドーピングした方が良い。
【0018】
p型ドーパント濃度がn型ドーパント濃度より大きくなるようにするための具体的方法は、仕込み量における調整とその原子ガス圧の調整において、行うことができる。p型ドーパント、n型ドーパント、II族元素は、ラジオ波、レーザー、X線、または電子線によって電子励起して原子状にすることができる。
【0019】
基板温度は、300℃〜650℃が好ましい。300℃より低いと薄膜成長速度が極端に遅くなり、実用化に向かない。650℃より高いと酸素抜けが激しくなり、欠陥が多くなるため、結晶性が悪くなるとともにドーピング効果が弱くなる。基板としては、シリコン単結晶基板、SiCを形成したシリコン単結晶基板、サファイア単結晶基板などを使用できる。基板としてはZnOと同じ結晶構造で、ZnOの格子定数とほとんど相違がないものが好ましい。しかし、現在使用している、上記基板はいずれもその条件を満たしていないことから、これらの基板の間では、優劣の大きな相違はない。また、基板と薄膜との間にそれぞれの格子定数の中間の格子定数を有する酸化クロムや酸化チタンなどの層を介在させて結晶格子の不整合性を緩和してもよい。
【0020】
さらに、本発明は、低抵抗p型単結晶酸化亜鉛を基板上に形成した後、一旦室温に冷却し、さらに高温、例えば100〜250℃程度で電場をかけながら熱処理することが好ましい。これにより、不純物として侵入する水素のドナーを結晶外に取り去る(水素の不働態化)ことができる。
【0021】
本発明の低抵抗p型単結晶ZnOを、既に実現されている低抵抗のn型ZnOと組み合わせることにより、エネルギーギャップの大きさを自由に制御できることから、可視光から紫外光領域にわたる光エレクトロニクス材料として高性能な、注入型発光ダイオード、半導体レーザへの応用は広がる。さらには、光電変換デバイス、例えば、太陽電池のような低抵抗半導体としての応用へとその応用領域を広げることが可能となる。
【0022】
また、低抵抗p型ZnO単結晶薄膜中に磁性元素である遷移金属、Mn、FeまたはCoをドーピングすれば磁性−半導体ハイブリッド機能素子を作製することができる。
【0023】
【作用】
本発明におけるドーピングの効果は、結晶中にドナー・アクセプター対(例:Li−F−Li)を形成させ、(1)p型ドーパント間のクーロン反発による静電エネルギー上昇を抑制し、p型ドーパントの溶解度を増大させること、(2)ホールの運動へ与えるドーパントの散乱機構は、単独ドーピング法では100オングストローム以上に渡るが、それを数十オングストロームへと短距離化させ、その結果としてキャリアの平均自由行程を増大させること、である。
【0024】
さらに、II族元素、特に、Mgまたは/およびBeをドーピングすることで、(3)結晶内にMg−Oまたは/およびBe−Oの強い化学結合が形成され、酸素抜けを防ぐこと、の3つである。これらの効果により高濃度までp型ドーパントを安定にドープすることが可能となり、その結果、可視光から紫外光領域にわたる光エレクトロニクス材料として利用できる。
【0025】
特に、ZnO単結晶薄膜中では酸素が抜けやすく、この酸素空孔をB、Al、Ga、In、Zn、F,ClまたはHの群からなる1種または2種以上のn型ドーパントが占有し、空孔形成による結晶性低下を防ぐと共に、さらにイオン結合性によってp型ドーパントのLi、Naのいずれか1種または2種をZn位置に安定させる。
【0026】
例えば、p型ドーパントとしてLiを、n型ドーパントとしてFを用い、例えば、F:Li=1:2でドーピングすることにより、ZnOの結晶薄膜内に、近接しているFとLiとが強い化学結合を形成し、Li−F−Liからなる複合体を結晶薄膜内に形成する。単独でLiドーピングされた場合、格子系のエネルギー増大がもたらされ、その結果として酸素空孔が誘発される。これは、ドナーとして働くことと、結晶性の低下をももたらし、Liは格子間に移動してしまい、アクセプターからドナーへとその役割が反転しまう。よって、低抵抗p型の創製を阻む。
【0027】
一方、(F,Li)同時ドーピングされた結晶中では、上記による複合体形成の結果、ドーピングされたLiは安定化し、その結果、浅い準位に移動するため、より低温(より室温に近い温度で)でキャリアーが多く生成され、低抵抗のp型ZnO単結晶薄膜が得られる。
【0028】
【実施例】
以下、MBE法により基板上にp型単結晶ZnO薄膜を形成する方法を実施例に基づいてさらに詳しく説明する。
【0029】
図1に示すように、真空度1.333×10 −12 MPa (10−8Torr)に維持された真空チャンバ1内にサファイア基板2を設置し、この基板2にZnの原子状ガスとOの原子状ガスを供給し、ZnO薄膜を基板2上に作製した。Znとしては、純度99.99999%の固体ソースをヒータ加熱により原子状にしたものを用いた。また、酸素は、RFラジカルセルにより活性化した純度99.9999%の酸素を用いた。p型アクセプターとなるLiおよびn型ドナーとなるFは、分子ガスにマイクロ波領域の電磁波を照射したり、また、単体セルを高温で原子状にしたものを用いた。図1には、そのためのRF(高周波)コイル3、ヒータ4、単体セル(Li源)5を示している。成膜中に、この基板2に向けて、n型ドーパントであるFを分圧1.333×10 −11 MPa (10−7Torr)で、さらにp型ドーパントであるLiを分圧6.665×10 −11 MPa ( 5×10−7Torr)で、同時に基板2上に流しながら、350℃、400℃、450℃、600℃でp型単結晶ZnO薄膜6を結晶成長させた。
【0030】
各結晶成長温度で得られたp型単結晶ZnO薄膜に対して、ホール測定と四探針法でホール濃度、抵抗率、ホール移動度を測定し、その結果を、n型ドーパントであるFのドーピングを同時には行わず、p型ドーパントであるLiのみを単独ドーピングした場合との比較で表1に示す。
【0031】
表1には、Mg、Liを同時にドーピングした場合(2)と、Li、F、Mgを同時にドーピングした場合(4)についても示す。この場合のMgは、分子ガスにマイクロ波領域の電磁波を照射したり、また、単体セルを高温で原子状にしたものを用いた。Li、F、Mgの3つをドーピングする場合、装置は単体セルを1つ増やすのみでよい。
【0032】
【表1】
【0033】
表1に示すホール濃度(個/cm3 )から分かるように、結晶成長温度が高いほどホール濃度は高く、(1)Liの単独ドーピングの結果と比較すると、各結晶成長温度において、(2)LiおよびMgの同時ドーピング、(3)LiおよびFの同時ドーピング、(4)LiおよびFおよびMgの同時ドーピング、の方がホール濃度が3桁以上高くなっている。
【0034】
さらに、ホール移動度(cm2 /V・s)が、(1)Li単独ドーピングの結果に比べて2桁以上増大していることが分かる。ホール濃度とホール移動度との積に反比例する抵抗率(Ω・cm)は、同時ドーピングした場合、単独ドーピングのときと比較して、5桁以上減少し、基板温度が400℃以上では、10Ω・cmより小さくなっている。
【0035】
また、(4)Li、F、Mgの3元素の同時ドーピングされたサンプルでは、350℃の低い結晶成長温度でも8×1018(個/cm3 )の高いホール濃度のp型単結晶ZnO薄膜が得られた。すなわち、10Ω・cmの低抵抗のp型単結晶ZnO薄膜が得られた。
【0036】
図2に、第1原理バンド構造計算法を用いて決めたZnO結晶中の2つのアクセプターと1つのドナーの構造配置を示す。図2から分かるように、ZnO結晶中に、アクセプターであるLiと共にドナーであるFが入ることによりLiの結晶学的な構造配置が安定化し、より高濃度まで安定してLiをドーピングできることが確認された。なお、II族元素のMgは、Li、Fとはほぼ独立に結晶内に位置し、酸素を安定化させる。
【0037】
【発明の効果】
以上、説明したように、本発明のZnOは、従来実現されていなかった新規な低抵抗p型単結晶ZnOであって、該単結晶ZnOの利用に革新をもたらすものであり、また、本発明の方法によれば、該低抵抗p型単結晶ZnOを容易に得ることができるものである。
【図面の簡単な説明】
【図1】MBE法により、基板上に低抵抗p型単結晶ZnO薄膜を形成させる場合の真空チャンバ内の概略構成を示す概念図である。
【図2】第1原理バンド構造計算法を用いて決めたZnO結晶中のp型ドーパントとn型ドーパントの構造配置を示した模式図である。
【符号の説明】
1 真空チャンバ。
2 基板。
3 RFコイル。
4 ヒータ。
5 単体セル。
6 p型単結晶ZnO薄膜。
Claims (6)
- 酸化亜鉛の単結晶中にp型ドーパントとn型ドーパントを含有し、p型ドーパントは、Li、Naのいずれか1種または2種、n型ドーパントは、B、Al、Ga、In、Zn、F、ClまたはHの群からなる1種または2種以上であり、ホール濃度が2×10 18 /cm 3 以上、電気抵抗率が20Ω・cm以下であることを特徴とする低抵抗p型単結晶酸化亜鉛。
- Mgまたは/およびBeを含有し、該Mgまたは/およびBeは結晶内にMg−Oまたは/およびBe−Oの化学結合を形成していることを特徴とする請求項1記載の低抵抗p型単結晶酸化亜鉛。
- 酸化亜鉛の単結晶を薄膜形成法により形成する際に、n型ドーパントおよびp型ドーパントを、ラジオ波、レーザー、X線、または電子線によって電子励起して原子状にし、p型ドーパント濃度とn型ドーパント濃度との濃度比が1.3:1から3:1となるようにドーピングすることを特徴とする請求項1記載の低抵抗p型単結晶酸化亜鉛の製造方法。
- 請求項3記載の方法において、n型ドーパントおよびp型ドーパントに加えて、Mgまたは/およびBeを、ラジオ波、レーザー、X線、または電子線によって電子励起して原子状にし、ドーピングすることで、結晶内にMg−Oまたは/およびBe−Oの化学結合を形成して、酸素抜けを防ぐことを特徴とする請求項2記載の低抵抗p型単結晶酸化亜鉛の製造方法。
- 請求項3または4記載の方法において、薄膜形成法は、Zn固体ソースからの原子状ガス、活性化した酸素を半導体基板上に供給して、単結晶酸化亜鉛薄膜を基板上に成長させる方法であることを特徴とする低抵抗p型単結晶酸化亜鉛の製造方法。
- 請求項3乃至5のいずれかに記載の方法により低抵抗p型単結晶酸化亜鉛を基板上に形成した後、冷却し、さらに高温で電場をかけながら熱処理することを特徴とする低抵抗p型単結晶酸化亜鉛の製造方法。
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JP2009043920A (ja) * | 2007-08-08 | 2009-02-26 | Rohm Co Ltd | p型MgZnO系薄膜及び半導体発光素子 |
KR100958137B1 (ko) * | 2008-02-18 | 2010-05-18 | 부산대학교 산학협력단 | Li과 Ⅶ족 불순물을 동시 도핑한 p-형 ZnO반도체 |
TW200949004A (en) * | 2008-04-25 | 2009-12-01 | Lumenz Inc | Metalorganic chemical vapor deposition of zinc oxide |
KR101300560B1 (ko) * | 2009-07-01 | 2013-09-03 | 삼성코닝정밀소재 주식회사 | 산화아연계 전도체 |
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US7829376B1 (en) | 2010-04-07 | 2010-11-09 | Lumenz, Inc. | Methods of forming zinc oxide based II-VI compound semiconductor layers with shallow acceptor conductivities |
US8722456B2 (en) * | 2010-09-25 | 2014-05-13 | Hangzhou Bluelight Opto-electronic Material Co., Ltd. | Method for preparing p-type ZnO-based material |
EP2787547A4 (en) * | 2011-11-28 | 2015-07-08 | Oceans King Lighting Science | POLYMERIC SOLAR CELL AND PROCESS FOR PREPARING THE SAME |
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US6379521B1 (en) * | 1998-01-06 | 2002-04-30 | Canon Kabushiki Kaisha | Method of producing zinc oxide film, method of producing photovoltaic element, and method of producing semiconductor element substrate |
US6342313B1 (en) * | 1998-08-03 | 2002-01-29 | The Curators Of The University Of Missouri | Oxide films and process for preparing same |
US6291085B1 (en) * | 1998-08-03 | 2001-09-18 | The Curators Of The University Of Missouri | Zinc oxide films containing P-type dopant and process for preparing same |
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