JP4116321B2 - 酸化アルミニウム蒸着フィルム及びその製造方法 - Google Patents
酸化アルミニウム蒸着フィルム及びその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4116321B2 JP4116321B2 JP2002123191A JP2002123191A JP4116321B2 JP 4116321 B2 JP4116321 B2 JP 4116321B2 JP 2002123191 A JP2002123191 A JP 2002123191A JP 2002123191 A JP2002123191 A JP 2002123191A JP 4116321 B2 JP4116321 B2 JP 4116321B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- aluminum oxide
- film
- aluminum
- vapor
- deposited film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Laminated Bodies (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、耐水性に優れた透明性、酸素あるいは水蒸気等のガスバリア性を有する酸化アルミニウム蒸着フィルムおよびその製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
近年、酸素あるいは水蒸気等に対するバリア性材料として、プラスチック基材に酸化ケイ素、酸化アルミニウム等の無機酸化物を、真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法、化学気相成長法等で形成してなる透明ガスバリア性フィルムが注目されている。
【0003】
通常、酸化アルミニウム蒸着膜を有するガスバリア性フィルムを製造するには、電子ビーム等で加熱蒸発させたアルミニウムに酸素ガスを供給して酸化させながら、プラスチック基材の上に酸化アルミニウムを蒸着する方法が採用されている。しかしながら、加熱蒸発させたアルミニウムと酸素とは極めて容易に反応するので、例えば酸素の供給量を多くすると緻密な膜が形成できず、その結果、ガスバリア性、特に水蒸気バリア性に優れたフィルムが得られない。一方、酸素の供給量を少なくすると透明性が低下し、何れにしても品質が安定したガスバリア性に優れたフィルムを得るには酸素の供給量とアルミニウムの蒸発量を厳密に制御する必要がある。
【0004】
酸化アルミニウムの蒸着量等を制御する方法の1つとして、例えば、平均アルミニウム蒸発量(モル/分)と酸素ガス導入量(モル/分)との比を特定の範囲に保持する方法(特開昭62−103359号公報)が知られている。ところが、前述のように、供給する酸素の量により酸化アルミニウム膜の性質が微妙に変化し、得られる酸化アルミニウム層とフィルム基材との接着強度、特に水分の存在下における接着強度が低くなり、水分を多く含む被包装材料の包装材としては改良が望まれている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
本発明者らは、酸化アルミニウム蒸着フィルムの耐水性を改良すべく種々検討した結果、真空中で酸素とアルミニウム蒸気とを反応させてフィルム基材上に酸化アルミニウムを形成する際に、酸素の導入を特定の位置から行うことや蒸着条件により、耐水性、特に水分の存在下における酸化アルミニウム層とフィルム基材との接着強度に優れた酸化アルミニウム蒸着フィルムが得られることが分かり、さらに酸素、水蒸気のバリア性、水分下での酸化アルミニウムと基材フィルムとの接着強度を同時に有する酸化アルミニウム蒸着フィルムを得られることが分かり本発明に到達した。
【0006】
【発明を解決するための手段】
【発明の概要】
本発明は、酸化アルミニウム層の高水分下におけるフィルム基材との剥離強度が少なくとも0.3N/15mmであり、その酸化アルミニウム層が、得られる酸化アルミニウム蒸着フィルム(1)の蛍光X線強度(A)kcps(アルミニウムKα線)と酸素を導入しないで得られるアルミニウム蒸着フィルム(2)の蛍光X線強度(B)kcps(アルミニウムKα線)との比(A/B)が(A/B)≦0.85の範囲で蒸着して得られうることを特徴とする酸化アルミニウム蒸着フィルム及びその製造方法に関し、好ましくは、フィルム基材が二軸延伸フィルムである。
【0007】
また本発明は、酸化アルミニウム層の高水分下におけるフィルム基材との剥離強度が少なくとも0.3N/15mmであり、かつ酸素透過度が40ml/m2・day・MPa以下及び透湿度が4.0g/m2・day以下であることを特徴とする酸化アルミニウム蒸着フィルム、好ましくはフィルム基材が二軸延伸フィルム、並びに酸化アルミニウム層が、得られる酸化アルミニウム蒸着フィルム(1)の蛍光X線強度(A)kcps(アルミニウムKα線)と酸素を導入しないで得られるアルミニウム蒸着フィルム(2)の蛍光X線強度(B)kcps(アルミニウムKα線)との比(A/B)が
0.35≦(A/B)≦0.85
の範囲で蒸着して得られうる層である酸化アルミニウム蒸着フィルム及びその製造方法に関する。
【0008】
【発明の具体的説明】
酸化アルミニウム蒸着フィルム(A)
本発明の酸化アルミニウム蒸着フィルム(A)は特定の剥離強度を有する酸化アルミニウム蒸着フィルム(A−1)及びさらに特定の酸素透過度等を有する酸化アルミニウム蒸着フィルム(A−2)であり、酸化アルミニウム蒸着フィルム(A−1)は、酸化アルミニウム層の高水分下におけるフィルム基材との剥離強度が少なくとも0.3N/15mm、好ましくは0.3〜10N/15mm、さらに好ましくは0.5〜10N、最も好ましくは1〜10N/15mmの範囲にある。
【0009】
本発明の酸化アルミニウム蒸着フィルム(A−2)は、さらに酸素透過度が40ml/m2・day・MPa以下、好ましくは30ml/m2・day・MPa以下でかつ透湿度が4.0g/m2・day以下、好ましくは3.0g/m2・day以下のバリア性を有する。
【0010】
酸化アルミニウム層とフィルム基材との剥離強度を測定しようとしても、酸化アルミニウム層が極めて薄いため、そのままでは剥離試験を行うことはできない。したがって、酸化アルミニウム層とフィルム基材との剥離強度を測定するには、酸化アルミニウム層上に接着剤を塗布して他のフィルムを積層し、フィルム基材と他のフィルムとを剥離して測定する必要がある。しかしながら、かかる測定方法では、必然的に積層に用いた接着剤及び他のフィルムの種類に酸化アルミニウム層とフィルム基材との剥離強度が影響を受ける。
したがって、本発明における酸化アルミニウム層の高水分下におけるフィルム基材との剥離強度は、酸化アルミニウム蒸着膜を内側にして、その表面にポリウレタン系ドライラミネート用接着剤(三井武田ケミカル社製 タケラックA310:タケネートA3 12:1で混合 塗布量:3g/m2)を塗布し、厚さ50μm、密度0.920g/cm3の線状低密度ポリエチレンフィルム(東セロ社製 TUX FCS )を積層し、さらに基材フィルム側に50μmのニ軸延伸ポリプロピレンフィルムからなる粘着テープを裏打ちした積層フィルムを用いた。そして、剥離強度は、この積層フィルムから15mm幅の試験片を切出し、フィルム基材と線状低密度ポリエチレンフィルムとの接着面の一部を剥離し、その剥離面に水滴を滴下したのち、300mm/分の速度で180度剥離強度を測定して求めた値を剥離強度(N/15mm)とする。なお、酸化アルミニウム層とフィルム基材とが剥離しているか否かは、剥離試験を行った後、フィルム基材の表面を蛍光X線測定することにより酸化アルミニウムの有無を確認することができる。即ち、フィルム基材表面に酸化アルミニウムが検出されなければ、酸化アルミニウム層とフィルム基材との界面で剥離しており、かかる剥離強度が酸化アルミニウム層とフィルム基材との剥離強度であり、全ての酸化アルミニウムがフィルム基材に残っておれば、酸化アルミニウム層と接着剤層との剥離強度を測定したことになり、酸化アルミニウム層とフィルム基材との剥離強度を測定したことにはならない。又、酸化アルミニウムの一部がフィルム基材に残っておれば、剥離時に、酸化アルミニウム層が破壊したことを示しており、酸化アルミニウム層とフィルム基材との剥離強度は、その強度以上を有していることと言える。
【0011】
本発明の酸化アルミニウム蒸着フィルム(A−1)は、酸化アルミニウム層が、得られる酸化アルミニウム蒸着フィルム(1)の蛍光X線強度(A)kcps(アルミニウムKα線)と酸素を導入しないで得られるアルミニウム蒸着フィルム(2)の蛍光X線強度(B)kcps(アルミニウムKα線)との比(A/B)が(A/B)≦0.85の範囲にあり、好ましくは(A/B)≦0.80、より好ましくは(A/B)≦0.75の範囲で蒸着して得られうる上記記載の剥離強度を有する酸化アルミニウム蒸着フィルムである。この範囲で製造すれば酸化アルミニウム層の高水分下におけるフィルム基材との剥離強度が強い酸化アルミニウム蒸着フィルムとなる。
【0012】
本発明の酸化アルミニウム蒸着フィルム(A−2)は、好ましくは酸化アルミニウム層が、得られる酸化アルミニウム蒸着フィルム(1)の蛍光X線強度(A)kcps(アルミニウムKα線)と酸素を導入しないで得られるアルミニウム蒸着フィルム(2)の蛍光X線強度(B)kcps(アルミニウムKα線)との比(A/B)が0.35≦(A/B)≦0.85、さらに好ましくは0.45≦(A/B)≦0.80、より好ましくは0.60≦(A/B)≦0.75の範囲で蒸着して得られうる上記記載の剥離強度を有する酸化アルミニウム蒸着フィルムである。この範囲で製造すれば酸化アルミニウム層の高水分下におけるフィルム基材との剥離強度が強く、酸素透過度及び透湿度が低い酸化アルミニウム蒸着フィルムとなる。
【0013】
本発明の酸化アルミニウム蒸着フィルム(A)における酸化アルミニウム蒸着フィルム(1)の蛍光X線強度(A)kcpsは以下の方法により得られる。すなわち、蒸着機内に所定量の酸素を導入し、加工時の光線透過率が所定の数値になるように、アルミニウムの蒸発量を制御して得られる、又は、所定のアルミニウムが蒸着されるよう制御した条件に所定量の酸素を導入して反応させて得られる、酸化アルミニウムフィルムをサンプリングし、蛍光X線分析装置ZSX100s(理学電気工業社製)を用いてアルミニウムのKα線について測定し、この蛍光X線強度を(A)kcpsとする。
本発明の酸化アルミニウム蒸着フィルム(A)における酸素導入しないで得られるアルミニウム蒸着フィルム(2)の蛍光X線強度(B)kcpsは、酸化アルミニウムの製造時、上記酸化アルミニウムフィルムのサンプリングするのと同じ条件下で酸素の導入を止め、得られるアルミ蒸着フィルムをサンプリングし、蛍光X線分析装置ZSX100s(理学電気工業社製)を用いてアルミニウムのKα線について測定し、この蛍光X線強度を(B)kcpsとする。
本発明の酸化アルミニウム蒸着フィルム(A)は、好ましくは酸化アルミニウム(1)の蛍光X線強度(A)kcpsが、0.5〜10kcps、より好ましくは0.5〜8kcps、さらに好ましくは0.5〜5kcpsの範囲にある。この範囲にすることにより、耐水接着強度、透明性及びバリア性に優れた酸化アルミニウム蒸着フィルムとなる。
【0014】
酸化アルミニウムの膜厚は、特に限定はされないが、通常15Å〜500Å、好ましくは20Å〜450Åである。15Å未満ではガスバリア性に優れたフィルムが得られない虞があり、一方、500Å以上では可撓性に欠けたフィルムとなる虞がある。
【0015】
本発明の酸化アルミニウム蒸着フィルムには、ヒートシール性を付与するためにフィルム基材面及び/又は酸化アルミニウム蒸着面に熱融着層を積層しても良い。かかる熱融着層としては、通常熱融着層として公知のエチレン、プロピレン、ブテン−1、ヘキセン−1、4−メチル・ペンテン−1、オクテン−1等のα−オレフィンの単独若しくは共重合体、高圧法低密度ポリエチレン、線状低密度ポリエチレン(所謂LLDPE)、高密度ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリプロピレンランダム共重合体、ポリブテン、ポリ4−メチル・ペンテン−1、低結晶性あるいは非晶性のエチレン・プロピレンランダム共重合体、エチレン・ブテン−1ランダム共重合体、プロピレン・ブテン−1ランダム共重合体等のポリオレフィンを単独若しくは2種以上の組成物、エチレン・酢酸ビニル共重合体(EVA)あるいはEVAとポリオレフィンとの組成物等を用い得る。
【0016】
フィルム基材
本発明に係るフィルム基材は、通常、熱可塑性樹脂からなるシート状またはフィルム状の基材である。かかる熱可塑性樹脂としては、種々公知の熱可塑性樹脂、例えば、ポリオレフィン(ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリ4−メチル・1−ペンテン、ポリブテン等)、ポリエステル(ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート等)、ポリアミド(ナイロン−6、ナイロン−66、ポリメタキシレンアジパミド等)、ポリ塩化ビニル、ポリイミド、エチレン・酢酸ビニル共重合体、ポリアクリロニトリル、ポリカーボネート、ポリスチレン、アイオノマー、あるいはこれらの混合物等を例示することができる。これらのうちでは、ポリプロピレン、ポリエチレンテレフタレート、ポリアミド等、延伸性、透明性が良好な熱可塑性樹脂が好ましい。又、かかる熱可塑性樹脂フィルムからなる基材は、無延伸フィルムであっても、延伸フィルムであっても良い。中でも、ニ軸延伸フィルムが剛性、透明性等に優れているので好ましい。
又、フィルム基材の片面あるいは両面に、酸化アルミニウムとの接着性を改良するために例えば、コロナ処理、火炎処理、プラズマ処理、アンダーコート処理、プライマーコート処理、フレーム処理等の表面活性化処理を行っておいてもよい。フィルム基材の厚さは、通常5〜50μm、好ましくは9〜30μmの範囲にある。
【0017】
酸化アルミニウム蒸着フィルム(A)の製造方法
本発明の上記記載の剥離強度を有する酸化アルミニウム蒸着フィルム(A−1)は、上記フィルム基材上に真空中で酸素とアルミニウム蒸気とを反応させて酸化アルミニウムを形成する際に、得られる酸化アルミニウム蒸着フィルム(1)の蛍光X線強度(A)kcpsと酸素を導入しないで得られるアルミニウム蒸着フィルム(2)の蛍光X線強度(B)kcpsとの比(A/B)を(A/B)≦0.85の範囲で、好ましくは(A/B)≦0.80、より好ましくは(A/B)≦0.75の範囲で蒸着した後、酸化アルミニウム蒸着膜を酸素に触れさせることにより得られる。付着率が0.85を越えると高水分下における接着強度(剥離強度)が改良されない虞がある。
【0018】
本発明の上記記載の剥離強度を有する酸化アルミニウム蒸着フィルム(A−2)は、上記フィルム基材上に真空中で酸素とアルミニウム蒸気とを反応させて酸化アルミニウムを形成する際に、得られる酸化アルミニウム蒸着フィルム(1)の蛍光X線強度(A)kcpsと酸素を導入しないで得られるアルミニウム蒸着フィルム(2)の蛍光X線強度(B)kcpsとの比(A/B)を0.35≦(A/B)≦0.85、さらに好ましくは0.45≦(A/B)≦0.80、より好ましくは0.55≦(A/B)≦0.75の範囲で蒸着した後、酸化アルミニウム蒸着膜を酸素に触れさせることにより得られる。付着率が0.85を越えると高水分下における接着強度(剥離強度)が改良されない虞があり、一方、付着率が0.35未満では、酸素透過度及び透湿度が改良されない虞がある。付着率を0.55≦(A/B)≦0.75の範囲にすることにより、高水分下における剥離強度、耐酸素透過度及び耐透湿度に優れた酸化アルミニウム蒸着フィルムが得られる。
【0019】
得られる酸化アルミニウム蒸着フィルム(1)の蛍光X線強度(A)kcpsは、酸素との反応量に依存し、酸素の導入量(酸化度)が大きくなると金属アルミニウムとしての蒸着量が減少するので、(A)は小さくなり、酸素の導入量が少ないと金属アルミニウムとしての蒸着量が増すので(A)は大きくなる。そして、酸素を全く導入しない場合の金属アルミニウムの蒸着量を表すのが蛍光X線強度(B)kcpsである。
更に、酸化アルミニウム(金属アルミニウム)の蒸着量は、蒸着されるフィルム基材の加工速度(処理速度)、蒸発したアルミニウムがフィルム基材に付着する効率(蒸着効率)、アルミニウムの蒸発速度等に依存し、又、酸化アルミニウム(金属アルミニウム)の蒸着量と蒸着フィルムの光線透過率とは相関があり、付着率が同じならば、酸化アルミニウム(アルミニウム)の蒸着量が増すと加工時の蒸着フィルムの光線透過率は低下する。
尚、蛍光X線測定装置を蒸着槽内に装備することにより、得られる酸化アルミニウム蒸着フィルムの蛍光X線強度(B)を測定れば直接条件を管理できるため、より好ましい。
【0020】
又、蛍光X線測定装置を蒸着槽内に装備しない場合は、予め、使用する蒸着装置で、加工速度、金属アルミニウムの蒸発量、酸素導入量等を変えて蒸着フィルムを得、(A)及び(B)を測定し、加工速度、金属アルミニウムの蒸発量、酸素導入量、光線透過率等と(A)及び(B)との検量線を求めておくことが好ましい。
そして、(A/B)をかかる範囲にするには、具体的には、例えば反応させる導入酸素量とアルミニウムの蒸発量を制御することによって行い得る。導入酸素量はマスフローコントローラーを用い、一定にコントロールできる。導入酸素の量は、加工速度、膜厚等により大きく変動するが、たとえば蒸着速度600m/分、酸化アルミニウム蒸着膜の蛍光X線強度(A)が1.0kcpsの場合で巾1mあたり、好ましくは、2〜5.5L/分(SLM)、より好ましくは、3〜5L/分(SLM)にすればよい。アルミニウムの蒸発量は、アルミニウム蒸着膜の350nmでの光線透過率もしくは、導入酸素を一定とした酸化アルミニウム蒸着膜の光線透過率を基準に制御できる。光線透過率の測定装置(光線透過率計)を蒸着槽内に組込めば、蒸着中に常に酸化アルミニウムの光線透過率を監視できる。その場合、酸化アルミニウム蒸着膜の光線透過率を、好ましくは65%〜99%、より好ましくは70%〜95%にすれば、(A/B)を所望の範囲にすることができる。
【0021】
本発明の酸化アルミニウム蒸着フィルムは、好ましくは、酸素とアルミニウム蒸気との反応を、酸素を、フィルム基材の巻き出し側で且つ防着板内に設置した導入口から冷却ロールの回転方向に導入して行う。酸素の導入をフィルム基材の巻き取り側から行うと高水分下における接着強度が改良されない虞がある。
又、さらに好ましくは、真空中で酸素とアルミニウム蒸気とを反応させてフィルム基材上に酸化アルミニウムを形成する際に、酸素の導入をフィルム基材からの距離が1〜150mm、特に好ましくは1〜120mmの位置から行う。酸素の導入位置が1mm未満では、酸素導入管の関係から設計が難しく、一方、150mmを越える位置から酸素を導入すると、高水分下における接着強度が改良されない虞がある。
【0022】
アルミニウムの加熱方法は種々公知の方法、例えば電子ビーム(EB)方式、高周波誘導加熱方式、抵抗加熱方式等を用いることができる。中でも、熱効率がよく、高速で蒸着可能であり、膜厚分布の均一性がとりやすい電子ビーム方式の真空蒸着方がより好ましい。
【0023】
蒸着速度は、製造上、装置が可能な範囲で速いほどよいが、好ましくは、10〜1000m/分、好ましくは、50〜1000m/分であり、この範囲であれば安定的に製造可能である。
【0024】
フィルム基材の静電気除去や表面処理という観点から、蒸着槽内のフィルム基材の巻出し直後に、プラズマ処理を行ってもよい。プラズマを発生させる方法としては、直流グロー放電、高周波放電、マイクロ波放電等があげられる。また、放電にはガスの導入が必要であり、ガスとしては、アルゴン、ヘリウム、酸素、窒素等、放電で一般に用いられるさまざまなガスが挙げられる。
【0025】
【発明の効果】
本発明の酸化アルミニウム蒸着フィルムは、従来の酸化アルミニウム蒸着フィルムに比べ、バリア性、耐水性、特に高水分下での耐水性、に優れるので、包装材料として使用する際にも、酸化アルミニウム層がフィルム基材に十分接着し、食品包装における、水物、ボイル、レトルトでの使用においても、使用可能である。またボイル、レトルトの処理中においても、張り合わせフィルムとの剥離が生ずることなく好適に使用し得る。
また、食品の包装材料ばかりでなく、医療用途、工業用途等さまざまな包装材料としても好適に使用し得る。
【0026】
【実施例】
次に、本発明を実施例によりさらに具体的に説明するが、本発明はこれら実施例により何等限定されるものではない。
【0027】
なお、実施例および比較例における物性は以下の測定方法で行った。
(1)酸素透過度の測定
蒸着フィルムの蒸着面を内側にして、50μmのLLDPE(密度0.920g/cm3、MFR3.8g/10分)とドライラミネートしたフィルムを、温度20℃、湿度90%RHの条件で、酸素透過率測定機(MOCON社製:OXTRAN2/20)を使用して測定した。
(2)水蒸気透過度の測定
蒸着フィルムの蒸着面を内側にして、50μmのLLDPEとドライラミネートしたフィルムを、内容物として塩化カルシウムを入れ、表面積が0.01m2になるように、製袋し、温度40℃、湿度90%RHの条件で数日間放置し、その重量差で水蒸気透過度を測定した。
(3)蛍光X線強度
蛍光X線分析装置(理学電機工業製:ZSX100s)を用いてアルミニウムのKα線について測定した。
(4)残存率の測定
酸化アルミニウム蒸着フィルムのアルミニウムKα線の蛍光X線強度(A)kcpsを前もって測定する。その後剥離強度を測定したときの、基材フィルム側剥離界面における残存酸化アルミニウムのアルミニウムKα線の蛍光X線強度(C)kcpsを測定する。(C)/(A)×100を残存率とする。
(5)高水分下剥離強度の測定
剥離強度は、基材フィルムに酸化アルミニウムを蒸着し、酸化アルミニウム蒸着膜を内側にして、ポリウレタン系ドライラミネート用接着剤(三井武田ケミカル社製 タケラックA310:タケネートA3 12:1で混合 3g/m2塗布)を用い、50μm、LLDPE(東セロ社製 TUX FCS 密度0.920g/cm3、MFR3.8g/10分)と張り合わせた。さらに基材フィルム側に50μmのニ軸延伸ポリプロピレンフィルムからなる粘着テープを裏打ちした積層フィルムを用いた。そして、剥離強度は、この積層フィルムから15mm幅の試験片を切出し、フィルム基材と線状低密度ポリエチレンフィルムとの接着面の一部を剥離し、その剥離面に水滴を滴下したのち、300mm/分の速度で180度剥離強度を測定して求めた。
【0028】
実施例1
12μmの二軸延伸ポリエステルフィルム(以下PETフィルム)にフィルム基材の巻き出し側で且つ防着板内に設置した酸素導入口(基材フィルムから20mm離れたところ)から冷却ロールの回転方向に酸素3.2SLM/1mを導入し、光線透過率が79%になるようアルミニウムの蒸発量を制御しながら、酸化アルミニウム蒸着フィルムを作成した。この時の付着率は0.70であった。また、基材フィルム側剥離界面の残存率は10%であった。物性の評価結果を表1に示す。
【0029】
実施例2
PETフィルムにフィルム基材の巻き出し側で且つ防着板内に設置した酸素導入口から冷却ロールの回転方向に酸素4SLM/1mを導入し、光線透過率が85%になるようアルミニウムの蒸発量を制御しながら、酸化アルミニウム蒸着フィルムを作成した。また、基材フィルム側剥離界面の残存率は18%であった。この時の付着率は0.60であった。物性の評価結果を表1に示す。
【0030】
実施例3
PETフィルムにフィルム基材の巻き出し側で且つ防着板内に設置した酸素導入口から冷却ロールの回転方向に酸素4.5SLM/1mを導入し、光線透過率が90%になるようアルミニウムの蒸発量を制御しながら、酸化アルミニウム蒸着フィルムを作成した。この時の付着率は0.50であった。また、基材フィルム側剥離界面の残存率は22%であった。物性の評価結果を表1に示す。
【0031】
実施例4
PETフィルムにフィルム基材の巻き出し側で且つ防着板内に設置した酸素導入口から冷却ロールの回転方向に酸素6SLM/1mを導入し、光線透過率が99%になるようアルミニウムの蒸発量を制御しながら、酸化アルミニウム蒸着フィルムを作成した。この時の付着率は0.2であった。また、基材フィルム側剥離界面の残存率は15%であった。物性の評価結果を表1に示す。
【0032】
比較例1
PETフィルムにフィルム基材の巻き出し側で且つ防着板内に設置した酸素導入口から冷却ロールの回転方向に酸素1SLM/1mを導入し、光線透過率が60%になるようアルミニウムの蒸発量を制御しながら、酸化アルミニウム蒸着フィルムを作成した。この時の付着率は0.95であった。また、基材フィルム側剥離界面の残存率は0%であった。物性の評価結果を表1に示す。
【0033】
比較例2
PETフィルムにフィルム基材の巻き出し側で且つ着板外、基材フィルムより200mm離れたところに設置した酸素導入口から冷却ロールの方向に酸素4SLM/1mを導入し、光線透過率が85%になるようアルミニウムの蒸発量を制御しながら、酸化アルミニウム蒸着フィルムを作成した。この時の付着率は0.60であった。また、基材フィルム側剥離界面の残存率は3%であった。物性の評価結果を表1に示す。
参考例1
市販されている酸化アルミニウム蒸着ニ軸延伸ポリエステルフィルム(東洋メタライジング社製 バリアロックス1011HG)の高水分下の剥離強度は0.1N/15mmであった。また基材フィルム側の剥離界面の残存率は0%であった。
【0034】
【表1】
【0035】
表1から明らかなように、付着率を0.7〜0.5にして得られた酸化アルミニウム蒸着フィルム(実施例1〜3)は、酸素透過度が14.0ml/m2・day・MPa以下及び透湿度が2.0g/m2・day以下と何れも耐酸素透過性及び耐透湿性に極めて優れており、かつ高水分下におけるフィルム基材との剥離強度も0.6N/15mm以上有し、耐水接着強度にも優れている。一方、付着率を0.2とした酸化アルミニウム蒸着フィルム(実施例4)は、高水分下におけるフィルム基材との剥離強度は6.5N/15mmと極めて強いが、耐酸素透過性及び耐透湿性は幾分低下している。
それに比べ、付着率を0.95とした酸化アルミニウム蒸着フィルム(比較例1)は、高水分下におけるフィルム基材との剥離強度は0.1N/15mmと低く、耐酸素透過性及び耐透湿性もあまり良くないことが明らかである。
Claims (9)
- 酸化アルミニウム層の高水分下におけるフィルム基材との剥離強度が少なくとも0.3N/15mmであり、その酸化アルミニウム層が、得られる酸化アルミニウム蒸着フィルム(1)の蛍光X線強度(A)kcps(アルミニウムKα線)と酸素を導入しないで得られるアルミニウム蒸着フィルム(2)の蛍光X線強度(B)kcps(アルミニウムKα線)との比(A/B)が(A/B)≦0.85の範囲で蒸着して得られうることを特徴とする酸化アルミニウム蒸着フィルム。
- 酸素透過度が40ml/m2・day・MPa以下及び透湿度が4.0g/m2・day以下である請求項1記載の酸化アルミニウム蒸着フィルム。
- フィルム基材が二軸延伸フィルムである請求項1または2に記載の酸化アルミニウム蒸着フィルム。
- 酸化アルミニウム層が、得られる酸化アルミニウム蒸着フィルム(1)の蛍光X線強度(A)kcps(アルミニウムKα線)と酸素を導入しないで得られるアルミニウム蒸着フィルム(2)の蛍光X線強度(B)kcps(アルミニウムKα線)との比(A/B)が0.35≦(A/B)≦0.85の範囲で蒸着して得られうる請求項1記載の酸化アルミニウム蒸着フィルム。
- 酸化アルミニウム蒸着フィルム(1)の蛍光X線強度(A)kcpsが0.5〜10kcpsの範囲にある請求項3または4に記載の酸化アルミニウム蒸着フィルム。
- 真空中で酸素とアルミニウム蒸気とを反応させてフィルム基材上に酸化アルミニウムを形成する際に、得られる酸化アルミニウム蒸着フィルム(1)の蛍光X線強度(A)kcps(アルミニウムKα線)と酸素を導入しないで得られるアルミニウム蒸着フィルム(2)の蛍光X線強度(B)kcps(アルミニウムKα線)との比(A/B)が(A/B)≦0.85の範囲で蒸着することを特徴とする請求項1記載の酸化アルミニウム蒸着フィルムの製造方法。
- 真空中で酸素とアルミニウム蒸気とを反応させてフィルム基材上に酸化アルミニウムを形成する際に、得られる酸化アルミニウム蒸着フィルム(1)の蛍光X線強度(A)kcps(アルミニウムKα線)と酸素を導入しないで得られるアルミニウム蒸着フィルム(2)の蛍光X線強度(B)kcps(アルミニウムKα線)との比(A/B)が0.35≦(A/B)≦0.85の範囲で蒸着することを特徴とする請求項1記載の酸化アルミニウム蒸着フィルムの製造方法。
- 酸素とアルミニウム蒸気との反応を、酸素を、フィルム基材の巻き出し側で且つ防着板内に設置した導入口から冷却ロールの回転方向に導入して行う請求項6または7記載の酸化アルミニウム蒸着フィルムの製造方法。
- 酸素の導入をフィルム基材からの距離が1〜150mmの位置から行う請求項8記載の酸化アルミニウム蒸着フィルムの製造方法。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002123191A JP4116321B2 (ja) | 2002-04-24 | 2002-04-24 | 酸化アルミニウム蒸着フィルム及びその製造方法 |
TW091121757A TWI293091B (en) | 2001-09-26 | 2002-09-23 | Deposited film and process for producing the same |
KR1020020057874A KR100969416B1 (ko) | 2001-09-26 | 2002-09-24 | 알루미늄 산화물 증착 필름 및 그 제조 방법 |
EP02021725A EP1298229A1 (en) | 2001-09-26 | 2002-09-25 | Method for making an Al2O3 film |
CNB021439354A CN100478489C (zh) | 2001-09-26 | 2002-09-26 | 沉积薄膜及其制造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002123191A JP4116321B2 (ja) | 2002-04-24 | 2002-04-24 | 酸化アルミニウム蒸着フィルム及びその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2003311873A JP2003311873A (ja) | 2003-11-06 |
JP4116321B2 true JP4116321B2 (ja) | 2008-07-09 |
Family
ID=29538602
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002123191A Expired - Lifetime JP4116321B2 (ja) | 2001-09-26 | 2002-04-24 | 酸化アルミニウム蒸着フィルム及びその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4116321B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4270318B2 (ja) * | 2005-09-22 | 2009-05-27 | 東レ株式会社 | 磁気記録媒体用支持体および磁気記録媒体 |
WO2010061795A1 (ja) | 2008-11-27 | 2010-06-03 | 日立電線株式会社 | 太陽電池用リード線及びその製造方法、保管方法、並びに太陽電池 |
-
2002
- 2002-04-24 JP JP2002123191A patent/JP4116321B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2003311873A (ja) | 2003-11-06 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US6720097B2 (en) | Barrier film and method for production thereof | |
KR101159566B1 (ko) | 가스 배리어성 필름 및 가스 배리어성 적층체 | |
KR100864612B1 (ko) | 증착 필름 | |
KR100969416B1 (ko) | 알루미늄 산화물 증착 필름 및 그 제조 방법 | |
JP4116321B2 (ja) | 酸化アルミニウム蒸着フィルム及びその製造方法 | |
JP4090551B2 (ja) | 透明バリア性フィルム | |
JP4110884B2 (ja) | 高ガスバリア性フィルムの製造方法 | |
JP4213451B2 (ja) | 積層蒸着フィルム及びその用途 | |
JP3076774B2 (ja) | 透明なバリアフィルムとその製造方法 | |
JP4717297B2 (ja) | 酸化アルミニウム蒸着フィルム及びその製造方法 | |
JP4717298B2 (ja) | 酸化アルミニウム蒸着フィルム及びその製造方法 | |
JP4867906B2 (ja) | 透明バリア性フィルム | |
JP4452979B2 (ja) | 積層透明ガスバリア性フィルム | |
JP2007023366A (ja) | 積層体及びその製造方法 | |
JP4468035B2 (ja) | 積層フィルムまたは積層シートの製造方法およびその方法により製造される積層フィルムまたは積層シート | |
JPH11322979A (ja) | 透明バリア性フィルムおよびその製造法 | |
JP4406828B2 (ja) | 積層透明ガスバリア性フィルム | |
JP2004009615A (ja) | 蒸着フィルム及びその製造方法 | |
JP2001287752A (ja) | 袋 体 | |
JP2004114645A (ja) | ガスバリア膜付き積層体及びその形成方法 | |
JP4164738B2 (ja) | ガスバリア性フィルム | |
JP4110805B2 (ja) | ガスバリア性積層体の製造方法 | |
JP2901274B2 (ja) | 積層物 | |
JP4340962B2 (ja) | 積層透明ガスバリア性フィルム | |
JP4219837B2 (ja) | バリア性包装袋またはバリア性包装容器およびその製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050408 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20070618 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070710 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070910 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20080415 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20080417 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110425 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Ref document number: 4116321 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110425 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120425 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130425 Year of fee payment: 5 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130425 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140425 Year of fee payment: 6 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |