JP4107275B2 - 検査用プローブ及び検査装置、検査用プローブの製造方法 - Google Patents
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Description
前記突起部上に設けられ、前記端子に応じて前記第1の方向に複数並んで設けられた前記端子と接触する第1配線パターンを含む第1導電部と、
前記シリコン基板上のうち、前記突起部が設けられた領域以外の領域に設けられ、前記第1配線パターンに応じて複数設けられた第2配線パターンを含む前記第1導電部と電気的に接続する第2導電部とを備えたことを特徴とする。
また、本発明によれば、第1導電部は、第1の方向に複数並んで配置された検査対象機器の端子に対応するように、第1の方向に複数並んで配置された第1配線パターンを含むので、第1配線パターンと端子とを接触することで、検査用プローブは検査対象機器を良好に検査することができる。また、第2導電部は、第1配線パターンに応じてシリコン基板上に形成された第2配線パターンを含む構成であり、検査用プローブは、微細な第2配線パターンを有することができる。
また本発明によれば、突起部は、第1配線パターンの配列方向に沿った第1の方向に延びるように形成されているので、複数の第1配線パターンを同一の突起部上に設けることができる。したがって、第1配線パターンの高さ方向に関する位置のばらつきを抑えることができる。
また本発明によれば、第1導電部は、断面視円弧状の突起部の表面に設けられているので、端子に対して良好に接触することができる。また、突起部の表面が断面視円弧状に形成されているので、第1導電部を突起部の表面に設けるとき、第1導電部を突起部の表面に良好に密着させることができる。
また本発明によれば、突起部は、第1配線パターンの配列方向に沿った第1の方向に延びるように形成されているので、複数の第1配線パターンを同一の突起部上に設けることができる。したがって、第1配線パターンの高さ方向に関する位置のばらつきを抑えることができる。
また本発明によれば、第1導電部は、断面視円弧状の突起部の表面に設けられているので、端子に対して良好に接触することができる。また、突起部の表面が断面視円弧状に形成されているので、第1導電部を突起部の表面に設けるとき、第1導電部を突起部の表面に良好に密着させることができる。
(第1の実施形態)
検査用プローブの第1の実施形態について図面を参照しながら説明する。図1は本実施形態に係る検査用プローブ1とその検査対象機器である液晶パネルディスプレイの一部を示す斜視図、図2は検査用プローブ1(1A)の側断面図、図3は検査用プローブ1Aを+X側から見た図である。
次に、第2の実施形態について説明する。以下の説明において、上述した第1の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略もしくは省略する。
次に、検査用プローブ1を製造する方法について図5〜図7を参照しながら説明する。ここで、本実施形態においては、検査用プローブ1は同一のシリコン基板2上に複数(図では2つ)同時に一括して形成されるものとする。
図8は上述した検査用プローブ1を有する検査装置70の一例を示す概略図である。図8において、検査装置70は、検査対象機器である基板200を保持するホルダ72と、基板200を保持したホルダ72の位置及び姿勢を調整可能な調整機構71とを備えている。ホルダ72は、基板200のうち所定領域204以外の領域を保持している。ホルダ72に保持された基板200の所定領域204と対向する位置には、検査用プローブ1のうち突起部3上に設けられた第1導電部4が配置されている。また、第1導電部4と基板200を挟んで上方側には弾性体からなる押圧部材73が設けられている。検査装置70においては、基板200の走査線端子206と検査用プローブ1の第1導電部4とが位置合わせされた状態で、弾性体からなる押圧部材73によって、検査用プローブ1に対して基板200が押圧される。これにより、走査線端子206と第1導電部4とが密着され、電気的な接続が得られる。基板200における複数の走査線202には、ベアチップ10によって基板200の走査線端子206部分にCOG実装された場合と同じ駆動信号が供給される状態となる。したがって、この状態における液晶表示をCCD等による画像解析や目視等により判別すれば、画素欠陥等の表示検査を行うことが可能となる。また、検査装置70においては、図4を参照して説明したような第2基板20を有した構成であってもよい。
Claims (21)
- 第1の方向に所定のピッチで複数並んで設けられた検査対象機器の端子に電気的に接続する導電部を有する検査用プローブにおいて、
シリコン基板と、
前記シリコン基板上に前記第1の方向に延びるように、且つ表面が前記シリコン基板と反対側に向かって膨らむ断面視円弧状に形成されている、樹脂からなる突起部と、
前記突起部上に設けられ、前記端子のピッチに応じたピッチで前記第1の方向に複数並んで設けられた前記端子と接触する第1配線パターンを含む第1導電部と、
前記シリコン基板上のうち、前記突起部が設けられた領域以外の領域に設けられ、前記第1配線パターンのピッチに応じたピッチで複数設けられた第2配線パターンを含む前記第1導電部と電気的に接続する第2導電部と、
前記シリコン基板と前記第2導電部との間に設けられた第1絶縁層と、を備えた検査用プローブ。 - 前記突起部の表面のうち、前記第1配線パターンが設けられた領域以外の領域は凹んでいる請求項1記載の検査用プローブ。
- 前記第1絶縁層は有機物を含む請求項1又は2記載の検査用プローブ。
- 前記第2導電部を覆う第2絶縁層が設けられている請求項1〜3のいずれか一項記載の検査用プローブ。
- 前記シリコン基板のうち前記突起部及び導電部が設けられた第1面と反対側の第2面には樹脂からなる第3絶縁層が設けられている請求項1〜4のいずれか一項記載の検査用プローブ。
- 前記第3絶縁層はシート状部材を含む請求項5記載の検査用プローブ。
- 前記シリコン基板上に、前記端子に対して電気信号を供給する電子部品が実装されている請求項1〜6のいずれか一項記載の検査用プローブ。
- 請求項1〜請求項7のいずれか一項記載の検査用プローブを備えた検査装置。
- 前記第2導電部の一部に、前記端子に対して電気信号を供給する電子部品を実装した第2基板が電気的に接続される請求項8記載の検査装置。
- 前記第2基板はシリコン製の基板を含む請求項9記載の検査装置。
- 前記第2基板はガラス製の基板を含む請求項9記載の検査装置。
- 第1の方向に所定のピッチで複数並んで設けられた検査対象機器の端子に電気的に接続する導電部を有する検査用プローブの製造方法において、
シリコン基板に第1絶縁層を形成する工程と、
前記シリコン基板の前記第1絶縁層上に樹脂からなる突起部を、前記第1の方向に延びるように、且つ表面が前記シリコン基板と反対側に向かって膨らむ断面視円弧状になるように設ける工程と、
前記突起部上に、前記端子のピッチに応じたピッチで前記第1の方向に並ぶ前記端子と接触する複数の第1配線パターンを含む第1導電部を設ける工程と、
前記シリコン基板の前記第1絶縁層上のうち、前記突起部が設けられた領域以外の領域に、前記第1導電部と電気的に接続する、前記第1配線パターンのピッチに応じたピッチで複数設けられた第2配線パターンを含む第2導電部を設ける工程とを含む検査用プローブの製造方法。 - 前記突起部の表面のうち、前記第1配線パターンが設けられた領域以外の領域をハーフエッチングして凹ませる請求項12記載の製造方法。
- 前記突起部を形成するための樹脂を含む機能液を液滴吐出ヘッドより前記シリコン基板上に吐出して前記突起部を形成する請求項12又は13記載の製造方法。
- 前記第2導電部を覆う第2絶縁層を設ける請求項12〜14のいずれか一項記載の製造方法。
- 前記シリコン基板を薄くする工程を有する請求項12〜15のいずれか一項記載の製造方法。
- 前記シリコン基板のうち前記突起部及び導電部が設けられた第1面と反対側の第2面に樹脂からなる第3絶縁層を設ける請求項12〜16のいずれか一項記載の製造方法。
- 前記第3絶縁層として前記シリコン基板の前記第2面にシート状部材を貼付する請求項17記載の製造方法。
- 前記第3絶縁層を設ける前に、前記第2面を処理して前記シリコン基板を薄くする請求項17又は18記載の製造方法。
- 前記検査用プローブを同一のシリコン基板に複数略同時に形成した後、前記シリコン基板を前記検査用プローブ毎に切断する請求項12〜19のいずれか一項記載の製造方法。
- 前記切断する前に、前記シリコン基板のうち前記突起部及び導電部が設けられた第1面と反対側の第2面にシート状部材を貼付し、前記シート状部材と一緒に前記シリコン基板を切断する請求項20記載の製造方法。
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