JP4083016B2 - 無電解メッキ処理方法および無電解メッキ処理装置 - Google Patents
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Description
本発明は、半導体ウエハやLCD基板などの処理体に対してメッキ処理を施すメッキ処理方法およびメッキ処理装置、特に無電解メッキ処理方法および無電解メッキ処理装置に関する。
背景技術
近年、半導体装置には、金属配線として銅が用いられている。この銅配線を形成するため、微細な溝や孔を有した半導体ウエハ上に銅を埋めこみ、成膜する方法の一つにメッキ処理がある。
メッキ処理には、電解メッキと無電解メッキがある。ウエハの大口径化や、微細な溝や孔のさらなる微細化にともない、無電解メッキ処理が注目されている。
従来の無電解メッキ処理は、還元剤、pH調整剤、キレート剤等の添加剤と、金属塩と、を含んだメッキ液を用いて行っていた。
しかしながら、従来の無電解メッキ処理では、処理に用いるメッキ液には、添加剤と金属塩が混在していた。このようなメッキ液を用いる場合、成膜速度や埋めこみ形状は、メッキ液中の添加剤に大きく依存され、埋めこみ形状の不均一は、半導体装置の動作信頼性を低下させる。このため、メッキ液中の添加剤の組成調整、メッキ液のpH調整、温度調整を厳密に行う必要があった。また、従来の無電解メッキ処理では、成膜速度が遅く、メッキ液を大量に消費していた。さらには、メッキ処理後のウエハの表面および裏面にはメッキ液が付着し、このメッキ液が汚染の原因となっていた。
発明の開示
本発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであり、メッキ処理後にウエハの表裏面を洗浄可能とした実用性の高い無電解メッキ処理方法および無電解メッキ処理装置を提供することを目的とする。
上記問題点を解決するため、本発明の実施形態に係る無電解メッキ処理方法は、処理体を保持し、処理体を回転させ、処理体の表面に金属イオンを含む溶液を供給し、処理体の中央から周縁部に向けて伸びるように配列させた洗浄液を処理体の裏面に供給することを特徴とする。本発明の無電解メッキ処理方法によれば、処理体にメッキ処理を終えた後、直ちに処理体の表裏面の洗浄を行うことができるため、スループットを向上させることができる。
上記無電解メッキ処理方法において、金属イオン溶液供給工程は、処理体を回転させながら行われてもよい。処理体を回転させながら金属イオンを含む溶液を供給することにより、処理体に対し、金属イオンを含む溶液を均一に供給することができる。また、金属イオンを含む溶液の供給量を低減させることができ、メッキ液の消費量を低減させることができる。
上記無電解メッキ処理方法において、金属イオン溶液供給工程は、処理体を振動させながら行われてもよい。処理体を振動させながら金属イオンを含む溶液を供給することにより、金属イオンを含む溶液を処理体の微細な孔や溝にすばやく注入することができる。
上記無電解メッキ処理方法において、金属イオン溶液供給工程は、処理体の裏面に液体または気体を供給しながら行われてもよい。処理体の裏面から液体または気体を供給しながら金属イオンを含む溶液を供給することにより、処理体の裏面での成膜を防止することができる。
上記無電解メッキ処理方法において、金属イオンを含む溶液は、硫酸銅溶液または塩酸銅溶液であってもよい。硫酸銅溶液または塩酸銅溶液を使用することにより、処理体の表面に銅のメッキ膜を形成することができる。
上記無電解メッキ処理方法において、処理体の表面に対して添加剤を供給する添加剤供給工程をさらに具備することが好ましい。添加剤と金属イオンとを含む溶液を分けることにより、メッキ液の組成の調整が容易となる。
上記無電解メッキ処理方法において、添加剤は、還元剤を含んでいることが好ましい。添加剤に還元剤を含ませることにより、金属イオンの還元反応を容易に行わせることができる。
上記無電解メッキ処理方法において、添加剤供給工程は、処理体を回転させながら行われてもよい。処理体を回転させながら添加剤を供給することにより、処理体に対し、添加剤を均一に供給することができる。また、添加剤の供給量を低減させることができ、メッキ液の消費量を低減させることができる。
上記無電解メッキ処理方法において、添加剤供給工程は、処理体を振動させながら行われてもよい。処理体を振動させながら添加剤を供給することにより、添加剤を処理体の微細な孔や溝にすばやく注入することができる。
上記無電解メッキ処理方法において、添加剤供給工程は、処理体の裏面に液体または気体を供給しながら行われてもよい。処理体の裏面から液体または気体を供給しながら添加剤を供給することにより、処理体の裏面での成膜が防止できる。
本発明の実施形態に係る無電解メッキ処理装置は、処理体を保持し回転させる保持機構と、金属イオンを含む溶液を噴射する溶液ノズルと、溶液を噴射するため保持機構に保持された処理体の中央に移動するように溶液ノズルを制御する溶液ノズル制御部とを有し、溶液を前記処理体の表面に供給する金属イオン溶液供給系と、第1の洗浄液を噴射する表面洗浄ノズルと、保持機構に保持された処理体の中央であって溶液を噴射するために溶液ノズルが移動する位置に移動するように表面洗浄ノズルを制御する第1洗浄ノズル制御部とを有し、第1の洗浄液を処理体の表面に供給する第1洗浄液供給系と、第2の洗浄液を処理体の周縁部に供給する第2洗浄液供給系と、処理体の中央から周縁部へ延伸するとともに複数の開口部を持った構造をもち第3の洗浄液を噴射する裏面洗浄ノズルを有し、処 理体の裏面に第3の洗浄液を供給する第3洗浄液供給系とを具備することを特徴としている。本発明の無電解メッキ処理装置によれば、処理体にメッキ処理終えた後、直ちに処理体の表裏面の洗浄を行うことができるため、スループットを向上させることができる。
上記無電解メッキ装置において、処理体の表面に添加剤を供給する添加剤供給系をさらに具備することが好ましい。添加剤供給系を備えることにより、添加剤と金属イオンを含む溶液を分けることができ、メッキ液の組成の調整が容易となる。
上記無電解メッキ装置において、処理体の裏面への液体の回り込みを防止する回り込み防止機構をさらに備えることも可能である。回り込み防止機構を備えることにより、処理体の裏面での成膜を防止することができる。
上記無電解メッキ装置において、処理体を回転させる回転機構をさらに備えることも可能である。回転機構を備えることにより、処理体に対し、添加剤或いは金属を含む溶液を均一に供給することができる。また、添加剤或いは金属を含む溶液の供給量を低減させることができ、メッキ液の消費量を低減させることができる。
上記無電解メッキ装置おいて、処理体を振動させる振動機構をさらに備えることも可能である。振動機構を備えることにより、添加剤或いは金属を含む溶液を処理体の微細な孔や溝にすばやく注入することができる。
発明を実施するための最良の形態
本発明の一実施の形態に係る無電解メッキ処理装置を以下、図示を参照して説明する。
図1および図2は、本実施の形態に係る無電解メッキ処理システムの全体構成を示す図であり、図1はその側面図、図2はその平面図である。
図1に示すように、メッキ処理システム10は、カセットステーション20と、搬送部30と、プロセスステーション40と、から構成されている。
カセットステーション20には、カセット載置台21が設けられており、カセット載置台21には、処理体としてのウエハWを収納したカセット22が載置されている。なお、メッキ処理されたウエハWは、搬出用のカセット22に収納されて搬出される。
搬送部30は、第1搬送機構31を備えており、カセット22に収納されたウエハWをプロセスステーション40に搬送する。また、第1搬送機構31はメッキ処理後のウエハWをプロセスステーション40からカセット22に搬送する。
なお、カセットステーション20および搬送部30は、外部から供給される清浄空気のダウンフローによって清浄雰囲気に保たれている。
プロセスステーション40には、搬送部30側に複数のウエハWを一時的にする載置部41が配設されている。また、プロセスステーション40の中心部には第2搬送機構42が配設されており、第2搬送機構42の周囲には無電解メッキ処理装置43が配設されている。
載置部41は複数のウエハWを多段に載置するように構成されており、メッキ処理前のウエハWと、メッキ処理後のウエハWとが同じ位置に載置されないようにしている。
プロセスステーション40は、上下2段に構成されている。上段および下段には、それぞれ無電解メッキ処理装置43が複数、例えば上段に4個、下段に4個、計8個が配設されている。
プロセスステーション40内でのウエハWの搬送は、第2搬送機構42によって行われる。第2搬送機構42は、第1搬送機構31により載置部41に載置されたウエハWを受け取り、無電解メッキ処理装置43のいずれかにウエハWを搬送する。また、第2搬送機構42は、メッキ処理後のウエハWを無電解メッキ処理装置43から取り出し、載置部41に載置する。
第2搬送機構42は、上述した2段構成であるプロセスステーション40内の各無電解メッキ処理装置43にアクセス可能なように、図1に示すZ軸を中心として回転可能に構成され、かつZ軸方向に昇降可能に構成されている。
また、第2搬送機構42は、2本の搬送アームを備えている。1本は載置部41から無電解メッキ処理装置43への搬送に、他の1本は無電解メッキ処理装置43から載置部41への搬送に用いられる。これにより、メッキ処理後のウエハWの汚染を最小限にできる。
本実施の形態では、無電解メッキ処理装置43が8個配設されているが、必要に応じて、個数を増やすことも可能である。また、無電解メッキ処理装置43と異なる処理装置、例えばアニール処理を行うアニール処理装置などを配設することも可能である。
以下、無電解メッキ処理装置43について説明する。
図3は、本実施の形態に係る無電解メッキ処理装置の断面図であり、図4は、本実施の形態に係る裏面洗浄ノズルの上面図である。図5は、図4におけるV−V矢視の拡大縦断面図であり、図6は、本実施の形態に係る保持部材の主要部を一部破断して示した側面図および正面図である。
図3〜図6に示すように、無電解メッキ処理装置43は、正方形のハウジング431を備えている。ハウジング431には第2搬送機構42の出入口432が形成されており、出入口432にはゲートバルブ433が配設されている。
ハウジング431内には、上面が開口した略円筒形状のカップ434が配設されている。カップ434は、制御部435により制御されるカップ駆動部436によって上下方向に昇降する。
制御部435は、演算処理と処理プログラム等を記憶しているROM等から構成されており、カップ434、中空モータ437、すべてのノズル等に接続されて、無電解メッキ処理装置43全体の動きを制御する。制御部435の働きについては、全体の説明を理解しやすいものとするため、説明を省く。
ハウジング431の中心位置には、回転駆動体438が配置されている。回転駆動体438は、ハウジング431外に設けられている中空モータ437の駆動によって所定の回転数で回転される。回転駆動体438の上には、所定の間隔を隔てて回転テーブル439が固定されている。回転駆動体438の第1シャフト440の内部には、第2シャフト441が形成されている。また、第1シャフト440には、振動機構442が配設されている。
第2シャフト441には、適宜の支持手段により支持された回り込み制御ノズル443が配設されている。回り込み制御ノズル443は、ウエハW裏面の周縁に鋭角的に向けられており、先端からは窒素ガス等の不活性ガス、または、純水が噴射される。これにより、処理中に無電解メッキ液が裏面に回り込むことが防止される。
また、第2シャフト441の上には、ウエハWの裏面に洗浄液を供給する裏面洗浄ノズル444が固定されている。裏面洗浄ノズル444は、ウエハWが保持部材に保持された場合に、ウエハWと回転テーブル439の間に存在するように配設されている。
裏面洗浄ノズル444は、第2シャフト441に固定された部分を中心として4本の棒状体444aが十字状に回転テーブル439の周縁まで伸びた構造を有する。棒状体444aの内部は中空であり、第2シャフト441の内部を通る管445と連通している。洗浄液は、管445を通って、裏面洗浄ノズル444の棒状体444aの上方に開いた穴446からウエハWに向けて上方に供給される。
第1シャフト440と第2シャフト441の間の空間にはガス流路447が形成されており、不活性ガス、例えば窒素ガスがここから吹き出すようになっている。
カップ434の下方には、排気口448が形成されている。ガス流路447から吹き出された不活性ガスは、回転テーブル439の表面に沿って回転テーブル439の周縁部に向けて流れる。その後、回転テーブル439の周縁部、すなわちウエハWの周縁部から排気口448に向けて排気される。これにより、ウエハW裏面の汚染を防止することができる。
回転テーブル439の周縁部には、3つの保持部材449が120度の角度で等間隔に取り付けられている。
保持部材449は、上側の保持部450と下側の付勢部451とが一体となった構成を有している。保持部450には、上端にウエハWを保持するための段差450aが形成されている。保持部450は、保持部材449を支持するための支持部材452に回動可能に取り付けられている。具体的には、保持部材449は、支持部材452の上端部に形成された回動軸453に取り付けられており、回転軸453を中心に回動する。付勢部451の重量は保持部450よりも大きく設定されており、これにより、付勢部451は保持部材449の重りとして働く。
ウエハWは、回転駆動体438により高速で回転するので、ウエハWを安定して保持する必要がある。このため、保持部材449は、ウエハWを保持部450の段差450aだけでなく、付勢部451による付勢によってウエハWの周縁部を保持する構造となっている。
すなわち、ウエハWは、回転していない状態で保持部材449に載置され、保持される。そして、回転テーブル439が回転すると、付勢部451は遠心力により図6の矢印に示すように、外側方向へと移動する。その結果、保持部材449の保持部450は回転テーブル439の中心側に押され、ウエハWはW´の位置で強固に保持される。また、保持部材449の保持部450は、図6に示すように、前面から見たとき凸状(曲面状)に形成されており、ウエハWを保持部450の段差450aを利用して、3点支持等の点接触により保持する。
回転テーブル439の上方には、無電解メッキ処理を行うための添加剤を供給する添加剤供給ノズル454と、金属イオンを含む溶液を供給する金属イオン溶液供給ノズル455が配設されている。
添加剤供給ノズル454は、添加剤供給源456に接続されており、添加剤供給源456に貯蔵された添加剤を添加剤供給ノズル454の先端から供給する。添加剤供給ノズル454は、回転テーブル439にウエハWが載置されたときに、その先端がウエハWの中心に移動するように構成されている。
添加剤供給源456は、添加剤を貯蔵している。添加剤は、還元剤、pH調整剤、界面活性剤、キレート剤、その他還元反応に必要な物質から構成されている。ここで、還元剤とは、ホルムアルデヒドのような金属イオンを還元させる、例えばCu2+をCuに還元させる反応に寄与する物質である。なお、添加剤の貯蔵は、別々に分けて貯蔵してもよい。
金属イオン溶液供給ノズル455は、金属イオン溶液供給源457に接続されており、金属イオン溶液供給源457に貯蔵された金属イオンを含む溶液を金属イオン溶液供給ノズル455の先端から供給する。金属イオン溶液供給ノズル455は、回転テーブル439にウエハWが載置されたときに、その先端がウエハWの中心に移動するように構成されている。
金属イオン溶液供給源457には、例えば硫酸銅溶液が貯蔵されている。硫酸銅溶液は、必要であれば塩素を含有させても良い。また、金属イオン溶液には、硫酸銅溶液のほか、塩酸銅溶液でもよい。このように硫酸銅溶液には、添加剤が混在していない状態で貯蔵されているため、硫酸銅溶液の組成を安定して管理することができる。
さらに、回転テーブル439の上方には、メッキ処理後の洗浄を行う主洗浄ノズル458とエッジ洗浄ノズル459が配設されている。主洗浄ノズル458は、第1洗浄液槽460に接続されており、主洗浄ノズル458により第1洗浄液槽460に貯蔵された処理液を所定の供給速度で主洗浄ノズル458の先端から供給する。また、主洗浄ノズル458は、回転テーブル439にウエハWが載置されたときに、その先端がウエハWの中心に移動するように構成されている。
エッジ洗浄ノズル459は、第2洗浄液槽461に接続されており、第2洗浄液槽461に貯蔵された洗浄液を所定の供給速度でエッジ洗浄ノズル459の先端から供給する。ここで、第2洗浄液槽461に貯蔵された洗浄液は、フッ酸、塩酸、硫酸等の無機酸または有機酸等の酸系薬液と過酸化水素水の混合溶液、例えば、フッ酸と過酸化水素水の混合液である。この実施例形態では、フッ酸:過酸化水素水:水=1:1:23の混合液を用いる。
カップ434の上方には、ウエハW上に形成されたメッキ膜の膜厚を測定する膜厚測定センサ462が配設されている。
図7は、本実施の形態に係るウエハW周縁の洗浄方法を示す図である。図7に示すように、ウエハWの表面上には無電解メッキ処理により銅層L1が形成されている。エッジ洗浄ノズル459は、主洗浄ノズル458からウエハW表面に純水が供給されている状態で、ウエハW周縁に洗浄液を供給してウエハW周縁の洗浄(エッチング)を行う。
本実施の形態に係る無電解メッキ処理装置43の主要部は、以上のように構成されている。以下、図1、図2および図3を参照して、その処理動作について説明する。
図1〜図3に示すように、ウエハWは、まずカセット22から取り出され、第1搬送機構31によって、載置部41に載置される。載置部41に載置されたウエハWは、第2搬送機構42によって、ハウジング431の出入口432から無電解メッキ処理装置43内に搬送され、回転テーブル439の周縁部に配設されている保持部材449(図6参照)上に載置される。その後、第2搬送機構42は、出入口432からハウジング431外に退避する。この時、カップ434は、最下降位置にある。第2搬送機構42が退避した後、処理が開始される。
以下、図8に示す処理フローについて本実施の形態の無電解メッキ処理方法を説明する。まず、ウエハW表面に付着している有機物やパーティクルを除去するため、およびウエハWの濡れ性を向上させるための前洗浄を行う(ステップ1)。
次に、添加剤をウエハW表面に供給する(ステップ2)。続いて、硫酸銅溶液をウエハW表面に供給する(ステップ3)。無電解メッキされた銅層L1の膜厚を測定する(ステップ4)。所定の膜厚になるまでステップ2からステップ4を繰り返し、ウエハW上に成膜する。所定の膜厚になったとき、無電解メッキ処理を終了し、後洗浄を行う(ステップ5)。以上の処理フローにより無電解メッキ処理がウエハWに施される。
以下本発明の無電解メッキ処理方法および無電解メッキ処理装置の処理シーケンスについて説明する。
中空モータ437によって、回転駆動体438が回転し、それに伴って回転テーブル439が回転し、保持部材449によって保持されているウエハWも回転する。このとき、カップ434は、カップ駆動部436により最も高い位置434´まで上昇し、処理液等がハウジング341内に飛散しないようにしている。
次いで、回転テーブル439の回転数が所定の回転数に達した後、回り込み制御ノズル443からウエハW裏面の周縁に窒素ガスまたは純水が噴射される。その後、以下に示す所定の処理液がウエハWに順次供給され、処理が開始される。
以下、実施の形態の無電解メッキ処理方法を用いた銅の成膜処理を、絶縁膜501およびSiN膜502に微細な孔および溝を形成させたデュアルダマシン構造の模式図である図9により説明する。
前洗浄では、まず、主洗浄ノズル458からウエハWの表面に所定の前処理液が供給される。これにより、ウエハW表面に付着している有機物やパーティクルが除去され、さらに、濡れ性が向上される(図9A)。
次に、添加剤供給ノズル454からウエハWの表面に添加剤503が供給される。これにより、ウエハW表面に添加剤503が均一に塗布される(図9B)。なお、このとき、必要であれば振動機構442を駆動させ、ウエハWに振動を与える。ウエハWに振動を与えることにより、添加剤を微細な孔および溝の奥深くに注入することができる。
続いて、金属イオン溶液供給ノズル455からウエハWの表面に金属イオンを含む溶液、ここでは硫酸銅溶液504が供給される(図9C)。なお、このとき、必要であれば振動機構442を駆動させ、ウエハWに振動を与える。ウエハWに振動を与えることにより、硫酸銅溶液を微細な孔および溝の奥深く注入することができる。
硫酸銅溶液504を供給することにより、ウエハW表面で硫酸銅溶液504中に含まれる銅イオン505と、添加剤503に含まれる還元剤との間で還元反応が起こり、銅層L1が成膜される(図9D)。
成膜された銅層L1の膜厚は、膜厚測定センサ462により測定される。測定された銅層L1が所定の値になるまで、添加剤503の供給および硫酸銅溶液504の供給が繰り返され、銅層L1の成膜が行われる(図9E)。そして、添加剤503中の還元剤と、銅イオンが次々と供給され、ウエハWの表面上で銅の還元反応が起こる。
銅層L1が所定の膜厚になると、後洗浄が開始される。この後洗浄では、まず、主洗浄ノズル458からウエハW表面に純水が供給される。次に、主洗浄ノズル458から純水を供給した状態で、エッジ洗浄ノズル459からウエハW周縁に洗浄液が供給される。続いて、裏面洗浄ノズル444からウエハW裏面に洗浄液が供給される。
ウエハWの表面、周縁および裏面の洗浄の後、ウエハWの純水による洗浄が行われる。ウエハWの表面上方の主洗浄ノズル458およびウエハW裏面下方の裏面洗浄ノズル444からウエハW両面に純水が供給される。
純水洗浄の後、ウエハWのスピン乾燥が行われる。このスピン乾燥では、回転テーブル439の回転数は所定の回転数(2000〜3000rpm)まで上げられ、同時に、ウエハW上方の主洗浄ノズル458およびウエハWの裏面下方の裏面洗浄ノズル444から窒素ガスが供給され、所定時間乾燥が行われる。このとき、カップ434は下降位置(図3の実線部分)にあり、第2搬送機構42によるウエハWの搬送を妨げないようにしている。
上述の処理後、ウエハWは第2搬送機構42によって、ハウジング431の出入口432から無電解メッキ処理装置43の外に搬送される。
産業上の利用可能性
本発明に係る無電解メッキ処理方法および無電解メッキ処理装置は、半導体製造産業において使用することが可能である。
【図面の簡単な説明】
図1は、実施の形態に係る無電解メッキ処理装置を備えた無電解メッキ処理システムの全体構造を示す概略側面図である。
図2は、実施の形態に係る無電解メッキ処理装置を備えた無電解メッキ処理システムの全体構造を示す概略平面図である。
図3は、実施の形態に係る無電解メッキ処理装置の断面図である。
図4は、実施の形態に係る裏面洗浄ノズルの上面図である。
図5は、図4におけるV−V矢視の拡大縦断面図である。
図6は、実施の形態に係る保持部材の主要部を一部破断して示した側面図および正面図である。
図7は、実施の形態に係るウエハ周縁の洗浄方法を示す図である。
図8は、実施の形態に係るメッキ処理のフローチャートである。
図9は、実施の形態に係るメッキ処理の模式図である。
Claims (16)
- 処理体を保持し回転させる保持機構と、
金属イオンを含む溶液を噴射する溶液ノズルと、前記溶液を噴射するため前記保持機構に保持された前記処理体の中央に移動するように前記溶液ノズルを制御する溶液ノズル制御部とを有し、前記溶液を前記処理体の表面に供給する金属イオン溶液供給系と、
第1の洗浄液を噴射する表面洗浄ノズルと、前記保持機構に保持された前記処理体の中央であって前記溶液を噴射するために前記溶液ノズルが移動する位置に移動するように前記表面洗浄ノズルを制御する第1洗浄ノズル制御部とを有し、前記第1の洗浄液を前記処理体の表面に供給する第1洗浄液供給系と、
第2の洗浄液を前記処理体の周縁部に供給する第2洗浄液供給系と、
前記処理体の前記中央から周縁部へ延伸するとともに複数の開口部を持った構造をもち第3の洗浄液を噴射する裏面洗浄ノズルを有し、前記処理体の裏面に前記第3の洗浄液を供給する第3洗浄液供給系と
を具備する処理体の表面にメッキ膜を形成する無電解メッキ装置。 - 前記裏面洗浄ノズルは、十字状に構成されたことを特徴とする請求項1記載の無電解メッキ装置。
- 添加剤を前記処理体の前記表面に供給する添加剤供給系を更に備えたことを特徴とする請求項1または2記載の無電解メッキ装置。
- 流体を処理体裏面の前記中央から周縁部に向けて噴射して前記処理体の裏面への液体の回り込みを防止する回り込み防止機構を更に備えたことを特徴とする請求項1ないし3のいずれか1項に記載の無電解メッキ装置。
- 前記回り込み防止機構は、前記処理体の裏面の周縁部に向かって鋭角に向けられた回り込み制御ノズルを有することを特徴とする請求項4記載の無電解メッキ装置。
- 前記メッキ膜の厚さを測定するセンサを更に備え、
前記金属イオン供給系は、前記センサにより測定された前記メッキ膜の厚さに基づいて、前記金属イオンを含む溶液を繰り返し供給すること
を特徴とする請求項1ないし5のいずれか1項に記載の無電解メッキ装置。 - 前記溶液ノズルは、前記保持機構の領域と異なる領域に位置するように構成することを特徴とする請求項1ないし6のいずれか1項に記載の無電解メッキ装置。
- 前記表面洗浄ノズルは、前記保持機構の領域と異なる領域に位置するように構成することを特徴とする請求項1ないし7のいずれか1項に記載の無電解メッキ装置。
- 前記裏面洗浄ノズルは、前記保持機構の領域と異なる領域に位置するように構成することを特徴とする請求項1ないし8のいずれか1項に記載の無電解メッキ装置。
- 前記第3洗浄液供給系は、前記保持機構が前記処理体を回転する間に、前記第3の洗浄液を前記処理体の裏面に供給することを特徴とする請求項1ないし9のいずれか1項に記載の無電解メッキ装置。
- 処理体を保持し回転させる保持機構と、
金属イオンを含む溶液を噴射する溶液ノズルと、前記溶液を噴射するため前記保持機構に保持された前記処理体の中央に移動するように前記溶液ノズルを制御する溶液ノズル制御部とを有し、前記溶液を前記処理体の表面に供給する金属イオン溶液供給系と、
第1の洗浄液を噴射する表面洗浄ノズルと、前記保持機構に保持された前記処理体の中央であって前記溶液を噴射するために前記溶液ノズルが移動する位置に移動するように前記表面洗浄ノズルを制御する第1洗浄ノズル制御部とを有し、前記第1の洗浄液を前記処理体の表面に供給する第1洗浄液供給系と、
第2の洗浄液を前記処理体の周縁部に供給する第2洗浄液供給系と、
流体を前記処理体の裏面の中央から周縁部に向けて噴射する流体ノズルを有し、前記処理体の裏面に前記流体を供給する流体供給系と
を具備する処理体の表面にメッキ膜を形成する無電解メッキ装置。 - 前記流体ノズルは、前記処理体の裏面の周縁部に向かって鋭角に向けられていることを特徴とする請求項11に記載の無電解メッキ装置。
- 処理体を保持し、
前記処理体を回転させ、
前記処理体の表面に金属イオンを含む溶液を供給し、
前記処理体の中央から周縁部に向けて伸びるように配列させた洗浄液を前記処理体の裏面に供給すること
を特徴とする処理体の表面にメッキ膜を形成する無電解メッキ方法。 - 前記洗浄液は、十字状に配列されて噴射されることを特徴とする請求項13記載の無電解メッキ方法。
- 前記溶液供給は、前記処理体を回転させている間に行われることを特徴とする請求項13または14記載の無電解メッキ方法。
- 前記洗浄液供給は、前記処理体を回転させている間に行われることを特徴とする請求項13ないし15のいずれか1項に記載の無電解メッキ方法。
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