JP4072523B2 - 半導体装置 - Google Patents
半導体装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4072523B2 JP4072523B2 JP2004208375A JP2004208375A JP4072523B2 JP 4072523 B2 JP4072523 B2 JP 4072523B2 JP 2004208375 A JP2004208375 A JP 2004208375A JP 2004208375 A JP2004208375 A JP 2004208375A JP 4072523 B2 JP4072523 B2 JP 4072523B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wiring
- wiring layer
- layer
- wirings
- semiconductor device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/52—Arrangements for conducting electric current within the device in operation from one component to another, i.e. interconnections, e.g. wires, lead frames
- H01L23/522—Arrangements for conducting electric current within the device in operation from one component to another, i.e. interconnections, e.g. wires, lead frames including external interconnections consisting of a multilayer structure of conductive and insulating layers inseparably formed on the semiconductor body
- H01L23/528—Geometry or layout of the interconnection structure
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/52—Arrangements for conducting electric current within the device in operation from one component to another, i.e. interconnections, e.g. wires, lead frames
- H01L23/522—Arrangements for conducting electric current within the device in operation from one component to another, i.e. interconnections, e.g. wires, lead frames including external interconnections consisting of a multilayer structure of conductive and insulating layers inseparably formed on the semiconductor body
- H01L23/528—Geometry or layout of the interconnection structure
- H01L23/5286—Arrangements of power or ground buses
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/28—Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection
- H01L23/31—Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection characterised by the arrangement or shape
- H01L23/3107—Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection characterised by the arrangement or shape the device being completely enclosed
- H01L23/3114—Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection characterised by the arrangement or shape the device being completely enclosed the device being a chip scale package, e.g. CSP
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/0001—Technical content checked by a classifier
- H01L2924/0002—Not covered by any one of groups H01L24/00, H01L24/00 and H01L2224/00
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/30—Technical effects
- H01L2924/301—Electrical effects
- H01L2924/3011—Impedance
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Geometry (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Internal Circuitry In Semiconductor Integrated Circuit Devices (AREA)
- Semiconductor Integrated Circuits (AREA)
Description
前記第1乃至第3配線層は、夫々絶縁膜と配線を有し、
前記第2絶縁層及び前記第3絶縁層は前記第1絶縁層より厚く、
前記第3絶縁層の25℃における弾性率は、0.15乃至3GPaであり、前記第2絶縁層の25℃における弾性率よりも小さく、前記第2絶縁層の25℃における弾性率は、前記第1絶縁層の25℃における弾性率より小さく、
前記第3配線層及び前記第2配線層の厚さは前記第1配線層の厚さの2倍以上であることを特徴とする。
更にまた、前記第2配線層の複数の電源系配線のうちの1の配線は、前記第1配線層の複数の電源系配線のうちの2以上の電源系配線に電気的に接続されており、前記第3配線層の複数の電源系配線のうちの1の配線は、前記第2配線層の複数の電源系配線のうちの2以上の電源系配線に電気的に接続されていることが好ましい。
12;微細配線構造部
13;巨大配線構造部
13a;第1巨大配線構造部
13b;第2巨大配線構造部
14、16、29、34;絶縁層
15、17、28、105、205、306;配線層
18、33;ビア
19、402;外部端子
20、22、32、35;絶縁膜
21、23、31;配線
24;ゲート電極
25;ソース電極
26;ドレイン電極
27;プラグ
30;MOSトランジスタ
36;空きエリア
101、201、301;半導体チップ
102、203、304、305;樹脂層
103、204;低弾性率層
104;パッド
106;外部電極端子
107、206、307;半田ボール
108;保護膜
202;接続端子
302;電極
303;パッシベーション膜
401;表面層
Claims (11)
- 半導体基板と、前記半導体基板上に第1配線層及び第1絶縁層が交互に1又は複数積層された微細配線構造部と、前記微細配線構造部上に第2配線層及び第2絶縁層が交互に1又は複数積層された第1巨大配線構造部と、前記第1巨大配線構造部上に第3配線層及び第3絶縁層が交互に1又は複数積層された第2巨大配線構造部と、を有し、
前記第1乃至第3配線層は、夫々絶縁膜と配線を有し、
前記第2絶縁層及び前記第3絶縁層は前記第1絶縁層より厚く、
前記第3絶縁層の25℃における弾性率は、0.15乃至3GPaであり、前記第2絶縁層の25℃における弾性率よりも小さく、前記第2絶縁層の25℃における弾性率は、前記第1絶縁層の25℃における弾性率より小さく、
前記第3配線層及び前記第2配線層の厚さは前記第1配線層の厚さの2倍以上であることを特徴とする半導体装置。 - 前記第3絶縁層の破断伸び率は15%以上であることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。
- 前記第3配線層及び前記第2配線層の配線は、銅、アルミニウム、ニッケル、金及び銀からなる群から選択された少なくとも1種の金属又は合金により形成されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の半導体装置。
- 前記第2巨大配線構造部上に前記第3配線層の配線と電気的に接続された1又は複数の外部端子が設けられていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の半導体装置。
- 前記外部端子の表面は、銅、アルミニウム、金、銀及び半田材料からなる群から選択された少なくとも1種の金属又は合金により形成されていることを特徴とする請求項4に記載の半導体装置。
- 前記第1配線層、前記第2配線層及び前記第3配線層は夫々複数の電源系配線を有し、前記第3配線層又は前記第2配線層の複数の電源系配線のうちの1の配線は、前記第1配線層の複数の電源系配線のうちの2以上の電源系配線に電気的に接続されていることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の半導体装置。
- 前記第1配線層、前記第2配線層及び前記第3配線層は夫々複数の電源系配線を有し、前記第3配線層の複数の電源系配線のうちの1の配線は、前記第2配線層の複数の電源系配線のうちの2以上の電源系配線に電気的に接続されていることを特徴とする請求項6に記載の半導体装置。
- 前記第1配線層、前記第2配線層及び前記第3配線層は夫々複数のグランド系配線を有し、前記第3配線層又は前記第2配線層の複数のグランド系配線のうちの1の配線は、前記第1配線層の複数のグランド系配線のうちの2以上のグランド系配線に電気的に接続されていることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の半導体装置。
- 前記第1配線層、前記第2配線層及び前記第3配線層は夫々複数のグランド系配線を有し、前記第3配線層の複数のグランド系配線のうちの1の配線は、前記第2配線層の複数のグランド系配線のうちの2以上のグランド系配線に電気的に接続されていることを特徴とする請求項8に記載の半導体装置。
- 前記第1配線層、前記第2配線層及び前記第3配線層は夫々複数の電源系配線と複数のグランド系配線を有し、前記第3配線層又は前記第2配線層の複数の電源系配線のうちの1の配線は、前記第1配線層の複数の電源系配線のうちの2以上の電源系配線に電気的に接続されており、前記第3配線層又は前記第2配線層の複数のグランド系配線のうちの1の配線は、前記第1配線層の複数のグランド系配線のうちの2以上のグランド系配線に電気的に接続されていることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の半導体装置。
- 前記第1配線層、前記第2配線層及び前記第3配線層は夫々複数の電源系配線と複数のグランド系配線を有し、前記第3配線層の複数の電源系配線のうちの1の配線は、前記第2配線層の複数の電源系配線のうちの2以上の電源系配線に電気的に接続されており、前記第3配線層の複数のグランド系配線のうちの1の配線は、前記第2配線層の複数のグランド系配線のうちの2以上のグランド系配線に電気的に接続されていることを特徴とする請求項10に記載の半導体装置。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004208375A JP4072523B2 (ja) | 2004-07-15 | 2004-07-15 | 半導体装置 |
TW094123524A TWI266396B (en) | 2004-07-15 | 2005-07-12 | Semiconductor device |
US11/180,729 US7348673B2 (en) | 2004-07-15 | 2005-07-14 | Semiconductor device |
CNB2005100844203A CN100394593C (zh) | 2004-07-15 | 2005-07-15 | 半导体器件 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004208375A JP4072523B2 (ja) | 2004-07-15 | 2004-07-15 | 半導体装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006032600A JP2006032600A (ja) | 2006-02-02 |
JP4072523B2 true JP4072523B2 (ja) | 2008-04-09 |
Family
ID=35598601
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004208375A Expired - Fee Related JP4072523B2 (ja) | 2004-07-15 | 2004-07-15 | 半導体装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7348673B2 (ja) |
JP (1) | JP4072523B2 (ja) |
CN (1) | CN100394593C (ja) |
TW (1) | TWI266396B (ja) |
Families Citing this family (23)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7271489B2 (en) * | 2003-10-15 | 2007-09-18 | Megica Corporation | Post passivation interconnection schemes on top of the IC chips |
WO2008114609A1 (ja) * | 2007-03-19 | 2008-09-25 | Nec Corporation | 半導体装置及びその製造方法 |
JPWO2008126468A1 (ja) * | 2007-03-30 | 2010-07-22 | 日本電気株式会社 | 半導体装置及び半導体装置の製造方法 |
JP4953132B2 (ja) * | 2007-09-13 | 2012-06-13 | 日本電気株式会社 | 半導体装置 |
JP2009111333A (ja) * | 2007-10-12 | 2009-05-21 | Panasonic Corp | 半導体装置 |
KR100910231B1 (ko) * | 2007-11-30 | 2009-07-31 | 주식회사 하이닉스반도체 | 웨이퍼 레벨 반도체 패키지 및 이의 제조 방법 |
WO2010026956A1 (ja) * | 2008-09-02 | 2010-03-11 | 日本電気株式会社 | 半導体装置及びその製造方法 |
WO2010047227A1 (ja) * | 2008-10-21 | 2010-04-29 | 日本電気株式会社 | 半導体装置及びその製造方法 |
US8643149B2 (en) * | 2009-03-03 | 2014-02-04 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Stress barrier structures for semiconductor chips |
US20120032323A1 (en) * | 2009-04-30 | 2012-02-09 | Masahiro Matsumoto | Semiconductor device and method of manufacturing the same |
JP5552261B2 (ja) * | 2009-05-12 | 2014-07-16 | パナソニック株式会社 | 半導体装置 |
US9024431B2 (en) | 2009-10-29 | 2015-05-05 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Semiconductor die contact structure and method |
JPWO2011089936A1 (ja) * | 2010-01-22 | 2013-05-23 | 日本電気株式会社 | 機能素子内蔵基板及び配線基板 |
JP2011187473A (ja) * | 2010-03-04 | 2011-09-22 | Nec Corp | 半導体素子内蔵配線基板 |
US8766440B2 (en) | 2010-03-04 | 2014-07-01 | Nec Corporation | Wiring board with built-in semiconductor element |
JP5605429B2 (ja) | 2010-04-08 | 2014-10-15 | 日本電気株式会社 | 半導体素子内蔵配線基板 |
JP5590985B2 (ja) * | 2010-06-21 | 2014-09-17 | 新光電気工業株式会社 | 半導体装置及びその製造方法 |
US9190348B2 (en) | 2012-05-30 | 2015-11-17 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Scheme for connector site spacing and resulting structures |
US9472521B2 (en) | 2012-05-30 | 2016-10-18 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Scheme for connector site spacing and resulting structures |
US9112148B2 (en) | 2013-09-30 | 2015-08-18 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | RRAM cell structure with laterally offset BEVA/TEVA |
US9178144B1 (en) | 2014-04-14 | 2015-11-03 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | RRAM cell with bottom electrode |
CN106463530A (zh) * | 2014-06-16 | 2017-02-22 | 英特尔公司 | 下方具有时钟门控电源和信号布线的两侧上金属 |
US9209392B1 (en) | 2014-10-14 | 2015-12-08 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | RRAM cell with bottom electrode |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4190602B2 (ja) | 1997-08-28 | 2008-12-03 | 株式会社ルネサステクノロジ | 半導体装置 |
JP3152180B2 (ja) * | 1997-10-03 | 2001-04-03 | 日本電気株式会社 | 半導体装置及びその製造方法 |
JPH11204560A (ja) | 1998-01-09 | 1999-07-30 | Matsushita Electron Corp | 半導体装置及びその製造方法 |
JP3801341B2 (ja) | 1998-02-02 | 2006-07-26 | 日立化成工業株式会社 | 電子部品装置 |
JP3116926B2 (ja) | 1998-11-16 | 2000-12-11 | 日本電気株式会社 | パッケージ構造並びに半導体装置、パッケージ製造方法及び半導体装置製造方法 |
JP2000323628A (ja) | 1999-05-10 | 2000-11-24 | Hitachi Ltd | 半導体装置とその製造方法、およびこれを用いた電子機器 |
JP2003204169A (ja) | 2002-01-10 | 2003-07-18 | Toppan Printing Co Ltd | 可撓性を有する多層配線板 |
JP4040363B2 (ja) | 2002-05-20 | 2008-01-30 | 富士通株式会社 | 半導体装置 |
JP3811473B2 (ja) * | 2003-02-25 | 2006-08-23 | 富士通株式会社 | 半導体装置 |
-
2004
- 2004-07-15 JP JP2004208375A patent/JP4072523B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2005
- 2005-07-12 TW TW094123524A patent/TWI266396B/zh not_active IP Right Cessation
- 2005-07-14 US US11/180,729 patent/US7348673B2/en active Active
- 2005-07-15 CN CNB2005100844203A patent/CN100394593C/zh active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2006032600A (ja) | 2006-02-02 |
TW200605289A (en) | 2006-02-01 |
CN1722429A (zh) | 2006-01-18 |
US7348673B2 (en) | 2008-03-25 |
TWI266396B (en) | 2006-11-11 |
CN100394593C (zh) | 2008-06-11 |
US20060012029A1 (en) | 2006-01-19 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4072523B2 (ja) | 半導体装置 | |
JP4953132B2 (ja) | 半導体装置 | |
JP5605429B2 (ja) | 半導体素子内蔵配線基板 | |
US8766440B2 (en) | Wiring board with built-in semiconductor element | |
US8004074B2 (en) | Semiconductor device and fabrication method | |
JP5423874B2 (ja) | 半導体素子内蔵基板およびその製造方法 | |
JP5387407B2 (ja) | 半導体装置 | |
US20120248605A1 (en) | Semiconductor device and manufacturing method thereof | |
JP2011187473A (ja) | 半導体素子内蔵配線基板 | |
WO2000044043A1 (fr) | Dispositif a semi-conducteurs et son procede de fabrication | |
WO2009016531A2 (en) | Reduced bottom roughness of stress buffering element of a semiconductor component | |
US8269347B2 (en) | Semiconductor chip, electrode structure therefor and method for forming same | |
US20220384292A1 (en) | Warpage control of semiconductor die | |
JP5413371B2 (ja) | 半導体装置及びその製造方法 | |
KR100879191B1 (ko) | 반도체 패키지 및 그 제조 방법 | |
WO2010047228A1 (ja) | 配線基板およびその製造方法 | |
US11217548B2 (en) | Semiconductor device structure and manufacturing method | |
JP2017034155A (ja) | 表示装置 | |
US20060231942A1 (en) | Semiconductor device | |
JP2019212934A (ja) | 表示装置 | |
CN110660676A (zh) | 半导体晶粒的制造方法 | |
JP2010050266A (ja) | 半導体装置及び電子装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20070112 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20070927 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20071002 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20071203 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20080108 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20080121 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Ref document number: 4072523 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110125 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110125 Year of fee payment: 3 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110125 Year of fee payment: 3 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110125 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120125 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130125 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130125 Year of fee payment: 5 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313117 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |