JP4064436B2 - パワー素子 - Google Patents

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Description

本発明は、ワイドバンドギャップ半導体を用いたパワー素子に関する。
高耐圧かつ大電流特性を有するパワー素子は、様々な分野で使用されている。パワー素子には、電力損失によってパワー素子の温度が上昇し、素子特性が変化するという問題がある。このような素子特性の変化を抑えるため、従来から、パワー素子を冷却することによって安全動作温度以下に保持する構造が採用されている。具体的には、パワー素子をパッケージ基材に接触させ、パワー素子で発生した熱をパッケージ基材に逃すことにより、素子温度の上昇を抑えている。
室温で約1.11eV程度のバンドギャップを有するシリコン半導体を用いたパワー素子(Siパワー素子)は、150℃を越える温度になると、熱暴走してショート状態となり電流制御素子として機能しなくなる。従って、Siパワー素子における最も電流密度が高い部分の温度が150℃を超えないように熱設計される。特に、Siパワー素子の内部における電流密度が50A/cm2以上となる場合には、Siパワー素子の内部で発生する熱が顕著になるので、効率的に熱を放出する必要がある。
しかしながら、パワー素子の温度が安全動作温度(150℃)以下に保たれている場合でも、温度変化によってパワー素子における導通時の電気抵抗(以下、「オン抵抗」と称する。)が変化し、信頼性を低下させるという問題がある。
従来のSiパワー素子として、Si−MOSFET(金属―酸化物―半導体電界効果ランジスタ)を例に説明する。Si−MOSFETは、フルパワーで用いられる場合でも安全動作温度(150℃)以下の範囲に保持されるように、パッケージ基材自体およびSi−MOSFETのパッケージ基材への実装方法が最適化されている。Si−MOSFETの素子温度が150℃以下に保たれていれば、素子の破壊は起こらない。
しかしながら、素子温度が100℃程度まで上昇すると、通常、オン抵抗が大きく変化する。図4は、従来のSi−MOSFETにおけるオン抵抗RDS(on)の温度特性を示すグラフの一例であり、非特許文献1に開示されている。図4において、Idはドレイン電流、VGSはソース−ドレイン間電位をそれぞれ意味している。図4に示すように、従来のSi−MOSFETのオン抵抗は、素子の温度Tjが高くなるにつれて増加する。100℃におけるオン抵抗の値は、室温下におけるオン抵抗の値の2倍以上となる。
Si−MOSFETのオン抵抗が温度上昇に伴って増大する理由は、オン抵抗が主にSi−MOSFETのドリフト領域における電気抵抗によって決まり、ドリフト領域の電気抵抗が大きな温度依存性を示すからである。ドリフト領域は、比較的低い濃度の不純物を含む領域である。ドリフト領域では、温度が上昇すると、フォノン散乱が増大してキャリアの伝導を阻害するため、電気抵抗が増大すると考えられる。
Si−MOSFETにおける電気特性の温度変化は、以下のような問題を引き起こす。
インバータ等の機器を制御する回路は、一般的に、Si−MOSFETなどのスイッチング素子を備えたパワーエレクトロニクス回路である。Si−MOSFETの電気特性が温度により変化すると、それに伴って、インバータ等の回路の負荷に流れる電流も変化してしまう。このように、回路の負荷に流れる電流が温度依存性を示すと、その回路によって制御されるシステムの動作が不安定になるという問題を生じる。システムを安定して動作させるためには、Si−MOSFETの温度上昇によってSi−MOSFETのオン抵抗が増大しても回路の付加に対して同じ電流が供給されるように、例えば電圧を上げるようなフィードバック制御をかける必要がある。しかし、このようなフィードバック制御を設けると、回路構成が複雑になり、製造コストも増大してしまう。
Si−MOSFET以外の他のSiパワー素子も、温度によって電気特性が変化するため、上記と同様の問題を有している。他のSiパワー素子として、Si−IGBT(絶縁ゲート型バイポーラトランジスタ)を例に説明する。Si−IGBTのオン抵抗は、温度の上昇に伴って減少する。従って、Si−IGBTを含む回路を構成した場合、Si−IGBTの温度が上昇してSi−IGBTにおける電気抵抗が減少すると、電圧を下げるようなフィードバック制御をかける必要がある。また、IGBTにおけるオン抵抗は、Si−MOSFETにおけるオン抵抗より大きい温度依存性を示す。そのため、動作時にSi−IGBTを流れる電流によって発生する熱をより高効率に放熱できるように、Si−IGBTの熱設計を行い、Si−IGBTの温度を低温に保つ必要がある。
なお、SiCに関しては、MOSFETのオン抵抗の特性評価が特許文献1、2および非特許文献2に開示されている。
特開2002−261275公報 特開平7−131016号公報 Infineon社 Cool MOS Power Transistor dataシート SPP04N60C3,SPB04N60C3, SPA04N60C3 「高反転層チャネル移動度を有するプレーナ型4H−SiC MOSFETs」、FEDジャーナル Vol.11 No.2(2000) p82の図3
上述したように、従来のSiパワー素子における電気特性は、素子温度に依存して変化する。従って、Siパワー素子を含む回路を用いてシステムを安定して動作させようとすると、回路の付加に対して一定の電流が流れるようにフィードバック制御を行う必要があり、回路構成が複雑になる。
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、オン抵抗の温度変化を抑えたパワー素子を提供することにある。
本発明のパワー素子は、ソース電極と、ドレイン電極と、前記ソース領域と前記ドレイン電極との間で直列電流径路を形成するチャネル領域およびドリフト領域を含むワイドギャップ半導体とを備えたパワー素子であって、前記直列電流径路のうち前記チャネル領域以外の領域は正の温度依存性を示すオン抵抗を有し、かつ、前記チャネル領域は負の温度依存性を示すオン抵抗を有しており、前記パワー素子の温度を−30℃から100℃へ変化させた場合のパワー素子全体におけるオン抵抗の変化の、−30℃におけるパワー素子全体のオン抵抗に対する割合が50%以下である。
好ましい実施形態において、前記パワー素子全体におけるオン抵抗の温度変化は、前記電流経路のうちの前記チャネル領域以外の領域におけるオン抵抗の温度変化ΔRpと、前記チャネル領域におけるオン抵抗の温度変化ΔRnとを相殺させることによって得られる。
好ましい実施形態において、前記パワー素子の温度を−30℃から100℃へ変化させた場合において、前記温度変化ΔRpの絶対値は、前記温度変化ΔRnの1/2以上2倍以下である。
好ましい実施形態において、電子の300Kにおけるチャネル移動度が10cm2/Vs以上であり、前記パワー素子の温度が−30℃以上100℃以下のとき、前記チャネル領域のオン抵抗が、前記電流径路のうちの前記チャネル領域以外の領域におけるオン抵抗の2倍以上20倍以下である。
好ましい実施形態において、前記パワー素子の温度が−30℃以上100℃以下のとき、前記チャネル領域のオン抵抗は200mΩcm2以下である。
好ましい実施形態において、前記直列電流経路には、50A/cm2 以上の電流密度の電流が流れる。
好ましい実施形態において、前記ワイドバンドギャップ半導体は炭化珪素である。
好ましい実施形態において、前記パワー素子は、炭化珪素基板と、前記炭化珪素基板の主面上に形成された炭化珪素層とを備え、前記ソース電極は前記炭化珪素層上に設けられ、前記ドレイン電極は前記炭化珪素基板の裏面に形成されている。
好ましい実施形態において、前記炭化珪素基板の主面は(0001)面である。
本発明によると、素子温度によるオン抵抗の変化を抑えた、温度に対する安定度の高いパワー素子を提供できる。このようなパワー素子を用いてインバータ回路などのパワーエレクトロニクス回路を構成すると、フィードバック制御のための冗長な回路を設けなくてよいので有利である。従って、フィードバック回路が簡略化または省略された単純な構成を有し、かつシステムを安定に動作させることができる信頼性の高いパワーエレクトロニクス回路を提供できる。さらに、そのようなパワーエレクトロニクス回路を備えた信頼性の高いパワーエレクトロニクスシステムを実現できる。
本発明のパワー素子は、温度上昇に伴って導通状態の電気抵抗が所望の割合で減少する部分(チャネル領域)と、温度上昇に伴って導通状態の電気抵抗が所望の割合で増加する部分(チャネル領域に対して直列的に接続された領域)とを有しており、これらの部分における電気抵抗の変化を互いに相殺させることにより、−30℃でのパワー素子全体の導通状態の電気抵抗に対して、100℃での導通状態の電気抵抗の変化幅が50%以下となる。このようなパワー素子は、炭化珪素(SiC)などのワイドギャップ半導体を用いて形成されている。なお、本明細書では、「パワー素子」とは、耐圧が100V以上であり、かつ1A以上の電流を制御する半導体素子を指す。
Siを用いた従来のパワー素子によると、例えばMOSFETの場合、全体のオン抵抗は主にドリフト領域のオン抵抗によって決まる。そのため、MOSFET全体のオン抵抗は、ドリフト領域のオン抵抗と同様の温度依存性を示すことになる。
本発明者らは、パワー素子におけるオン抵抗の温度依存性を抑えるため、パワー素子の構成について種々の検討を行った。このとき、SiCなどのワイドギャップ半導体を用いてMOSFETを形成すると、チャネル領域のオン抵抗が、Si−MOSFETにおけるチャネル領域のオン抵抗よりも極めて高くなる点に注目した。なお、本明細書では、「ワイドバンドギャップ半導体」とは、伝導帯の下端と価電子帯の上端とのエネルギー差(バンドギャップ)が2.0eV以上である半導体を意味する。そのようなワイドバンドギャップ半導体としては、SiCの他、GAN、AlN等のIII族窒化物、ダイヤモンド等が挙げられる。
SiCは、Siよりも1桁以上高い界面準位密度を有するため、SiC−MOSFETのチャネル移動度(チャネル領域における電界効果移動度)は低い。そのため、チャネル領域のオン抵抗は極めて高くなる。従来のSiC−MOSFETにおけるチャネル領域のオン抵抗は、素子内の他の領域(ドリフト領域など)におけるオン抵抗の100倍以上となる場合もある。これは、SiC−MOSFETのオン抵抗を増加させる一つの要因となっており、チャネル領域のオン抵抗を低下させることにより、低オン抵抗・低損失のパワーデバイスを実現するための開発が進められている。本発明は、SiC−MOSFETでは、チャネル領域のオン抵抗が、素子全体のオン抵抗に影響を与えるほど高いという点を逆手に利用し、MOSFETなどのパワー素子の温度に対する安定性を改善するものである。
本発明者らが調べた結果、SiC−MOSFETでは、チャネル領域の構造や形成方法などによって、チャネル領域におけるオン抵抗の温度依存性を制御できることを見出した。図1は、チャネル領域におけるオン抵抗の温度依存性を示すグラフの一例である。図1の横軸は、1/T(T:素子の温度)、縦軸はチャネル領域における導通状態の電気抵抗(オン抵抗)R1である。図1からわかるように、チャネル領域におけるオン抵抗R1のグラフの勾配を、オン抵抗R1が最小となる温度T1よりも温度の高い領域と、温度T1よりも温度の低い領域とで変化させることができる。
この知見に基づけば、チャネル領域のオン抵抗の温度依存性を、素子内の他の領域における電気抵抗の温度依存性と反対になるように設計できる。
なお、チャネル領域のオン抵抗R1の温度依存性が「負」になる場合があること自体は公知である(非特許文献2)。しかしながら、このような「負」の温度依存性は、電子の300Kにおけるチャネル移動度が10cm2/Vsよりも充分に低いレベルにあるときに観察されている。チャネル移動度が10cm2/Vs以上になると、オン抵抗の温度依存性は「正」となる傾向がある。この点については、後に詳細に説明する。
本発明では、チャネル移動度が10cm2/Vs以上になるような場合であっても、各種の設計パラメータを調節することにより、チャネル領域におけるオン抵抗R1の温度依存性を「負」にすることができ、また、その値が他の領域におけるオン抵抗の温度依存性(正)を相殺するレベルに調節できることを見出して、本発明を完成した。
本発明では、パワー素子の使用環境やパワー素子に対する放熱構造を考慮して、素子温度範囲を−30℃から100℃とし、この範囲内でオン抵抗が高い安定性を有するように設計を行う。より具体的には、素子温度を−30℃から100℃へ変化させた場合のオン抵抗の変化ΔRonの、−30℃におけるオン抵抗Ron(-30)に対する割合(ΔRon/Ron(-30))が50%以下となるように、パワー素子の設計を行う。これにより、パワー素子を含むパワーエレクトロニクス回路を形成する際に、フィードバック回路を簡略化することが可能になる。なお、上記割合(ΔRon/Ron(-30))が50%を超えると、高温でパワー素子のオン抵抗が増大し、パワーエレクトロニクス回路に十分な電流が流れなくなる。そのため、フィードバック制御を行わなければ、このパワーエレクトロニクス回路によって制御される機器のパワーが低下してしまう。
以下、図面を参照しながら、本発明による実施形態のパワー素子の構成を説明する。本実施形態は、炭化珪素(SiC)を用いた縦型MOSFETである。
本実施形態のMOSFETは複数のユニットセルを備えており、図2(a)は、そのうちの4個のユニットセルの構成を示す平面図である。また、図2(b)は、図2(a)におけるA−A'断面図である。
図2に示すように、MOSFETは、n型のSiC基板4の主面上に形成された炭化珪素層10炭化珪素層10は、ドリフト領域3、p型のウェル領域8、ウェル領域8の内部に設けられたコンタクト領域(n+領域)9、およびチャネル層5を有している。チャネル層5は、例えば、n型のSiC層を含む蓄積チャネル構造を有している。チャネル層5のうちウェル領域8の上面と接する部分はチャネル領域1となる。ドリフト領域3は、n型の高抵抗領域であり、チャネル領域1を介してコンタクト領域9と接続されている。コンタクト領域9は、炭化珪素層10の上に形成されたソース電極13と接続されている。また、チャネル領域1の上には、ゲート酸化膜15を介してゲート電極17が設けられている。一方、SiC基板4の裏面にはドレイン電極11が形成されている。
図2のMOSFETは、例えばノーマリーオフ型に設定されており、ゲート電極17に電圧を印加すると、ドレイン電極11からチャネル領域1を介してソース電極13へ電流が流れる(オン状態)。ゲート電極17に電圧を印加しない状態(オフ状態)では、チャネル領域1は空乏化される。さらに、p型のウェル領域8およびn型のドリフト領域(nー領域)3の間のpn接合が逆バイアスされて、主としてウェル領域8からドリフト領域3に空乏層が拡がり、隣接するウェル領域間のJFET領域(ジャンクション領域)2が空乏化される。その結果、ドレイン電極11からソース電極13へ電流を流すことはできない。
オン状態において、ドリフト電極11からの電流は、SiC基板4、ドリフト領域3、JFET領域2およびチャネル領域1を経て、ソース電極13へ流れる。このような電流の模式的な経路を、図2に矢印20を用いて示す。MOSFETのオン抵抗Ronは、電流経路20に沿った各領域における電気抵抗の和となる。すなわち、SiC基板4の抵抗R4、ドリフト領域3の抵抗R3、JFET領域2の抵抗R2およびチャネル領域1の抵抗R1の和となる(Ron=R1+R2+R3+R4)。
電流経路20に沿った各領域のうち、JFET領域2、ドリフト領域3および基板4の電気抵抗R2、R3、R4の温度依存性は正であり、温度上昇に伴って増大する。これらの領域の電気抵抗の和(R2+R3+R4)は、例えば図3の曲線25で示される。この電気抵抗の和が(R2+R3+R4)で示される部分が、前述した「温度上昇に伴って導通状態の電気抵抗が所望の割合で増加する部分(チャネル領域に対して直列的に接続された領域)」に相当する。
一方、チャネル領域1の電気抵抗R1の温度依存性は、前述したように、チャネル領域1の構造や形成方法などによって、また温度範囲によって変化し得る。そこで、チャネル領域1の電気抵抗R1が、−30℃〜100℃の温度で負の温度依存性を有するように、チャネル層5の構造および形成方法を制御する。チャネル領域1の電気抵抗R1は、例えば図3の曲線26で示される。なお、具体的なチャネル層5の構造や形成方法は後述する。
これにより、素子温度をT1からT2(T1、T2:−30℃〜100℃の範囲内)まで変化させた場合の、JFET領域2、ドリフト領域3および基板4の電気抵抗の温度による変化分Δ(R2+R3+R4)=ΔRpと、チャネル領域1の電気抵抗の温度による変化分ΔR1=ΔRnとを互いにうち消し合わせることができる。その結果、MOSFET全体のオン抵抗RONは、図3の曲線27に示すように、従来よりも小さい温度依存性を有する。具体的には、素子温度を−30℃から100℃へ変化させた場合のオン抵抗の変化ΔRonの、−30℃におけるオン抵抗Ron(-30)に対する割合(ΔRon/Ron(-30))は50%以下である。
素子温度を−30℃から100℃へ変化させた場合において、JFET領域2、ドリフト領域3および基板4のオン抵抗の温度による変化分Δ(R2+R3+R4)と、チャネル領域1のオン抵抗の温度による変化分ΔR1とを互いにうち消し合わせる(すなわち、相殺する)ためには、Δ(R2+R3+R4)の絶対値がΔR1の絶対値の1/2以上2倍以下であることが好ましい。
なお、チャネル層5の構造や形成方法によって、オン抵抗R1の温度依存性だけでなく電気抵抗R1の値も制御することができる。オン抵抗Ronの温度依存性をより効果的に低減するためには、オン抵抗R1が、JFET領域2、ドリフト領域3および基板4の抵抗の和(R2+R3+R4)の約2倍以上20倍以下であることが好ましい。2倍未満であれば、JFET領域2、ドリフト領域3、基板4のオン抵抗の温度変化分Δ(R2+R3+R4)がチャネル領域1のオン抵抗の温度変化分ΔR1よりも大きくなりすぎて、オン抵抗の温度依存性(正)を十分に低減できない。反対に、20倍より大きい場合には、チャネル領域1の電気抵抗の温度依存性が支配的になり、オン抵抗の温度依存性(負)を十分に低減することは困難である。より好ましくは、チャネル領域1のオン抵抗R1が、JFET領域2、ドリフト領域3および基板4のオン抵抗の和(R2+R3+R4)の2倍以上10倍以下、さらに好ましくは約5倍である。約5倍であれば、温度依存性の変化分Δ(R2+R3+R4)、ΔR1がそれぞれうち消し合う結果、MOSFET全体のオン抵抗Ronの温度依存性をほぼゼロにできる。
本発明のパワー素子における電流経路に流れるオン電流の電流密度は特に限定しないが、オン電流の電流密度が大きいと(例えば50A/cm2 以上)、より効果的にオン抵抗Ronの温度依存性を低減できる。
以下、本実施形態のMOSFETの実施例を説明する。
本実施例のMOSFETは、基本的には図2に示す構成を有し、その耐圧は600Vである。本実施例のMOSFETは、MOSFET全体のオン抵抗の温度依存性をほぼゼロにできるように設計されている。具体的には、次に説明するように設計されている。
MOSFET(面積:0.01mm2)は、9個のユニットセルから構成されている。各ユニットセルにおいて、p型ウェル領域8(サイズ:15μm×15μm)の不純物濃度(Al濃度)を1×1018cm-3とする。また、チャネル層5を、厚さが150nmで、n型不純物(N)を1×1017cm-3の濃度で含むSiC層とする。チャネル層5のうちp型ウェル領域8の上に位置する部分(すなわちチャネル領域1)の長さ(チャネル長)1Lを2μmとする。隣接するウェル領域8の間隔2Wを3μmとする。
さらに、SiC基板4のn型不純物濃度や、ドリフト領域3のn型不純物濃度などを適宜調整することにより、JFET領域2、ドリフト領域3および基板4のオン抵抗の和(R2+R3+R4)が調整されており、素子温度が室温のとき、オン状態における電気抵抗の和(R2+R3+R4)は30Ωである。これに対し、チャネル領域1の電気抵抗R1は150Ωである。従って、チャネル領域1のオン抵抗R1が、その他の領域におけるオン抵抗の和の約5倍となる。その結果、チャネル領域とその他の領域との温度依存性の変化分が互いにうち消し合うので、MOSFET全体の電気抵抗の温度依存性をほぼゼロに抑えることができる。
本実施例のMOSFETの場合、−30℃におけるオン抵抗Ron(-30)と100℃におけるオン抵抗Ron(100)の差ΔRon(=Ron(100)−Ron(-30))の、−30℃におけるオン抵抗Ron(-30)に対する割合(ΔRon/Ron(30))を10%以下に抑えることができる。従って、本実施例のMOSFETを用いると、極めて安定な回路を構成できることが確認できる。この回路には冗長なフィードバック回路を設ける必要がないので有利である。
本実施例では、ドリフト領域3、ウェル領域8、コンタクト領域9や電極11、13、17などは、公知の方法で形成される。チャネル層5は、例えばCVD法を用いて形成できる。このとき、CVD成長条件などを最適化することにより、チャネル層5の表面平坦性を確保する。好ましくは、チャネル層5の表面凹凸が、チャネル層5の厚さに比べて十分小さくなるように、例えばチャネル層5の厚さの10%である15nm以下となるように制御する。これにより、低抵抗(150Ω)で、かつ負の温度依存性を有するチャネル層5が得られる。なお、チャネル層5の表面凸凹が大きい(例えば100nm程度)と、チャネル層5のオン抵抗R1は600Ω以上と高くなり、その他の領域の電気抵抗の和(R2+R3+R4)の20倍以上となるおそれがある。
また、本発明者らは、チャネル層5の抵抗R1や温度依存性を制御するためには、チャネル層5の上に形成されるゲート酸化膜15の厚さやチャネル層5の熱処理条件(活性化アニールなど)を制御することが有効であることを確認した。
本実施例では、ゲート酸化膜15の厚さを80nmとし、上述したようにチャネル層5のオン抵抗R1を150Ωまで低減できたが、ゲート酸化膜15の厚さを増加させるとチャネル層5のオン抵抗R1は増加し、厚さが100nm以上のときチャネル層5のオン抵抗R1は600Ω以上となる。一方、ゲート酸化膜15の厚さを80nmよりも減少させると、チャネル層5のオン抵抗R1は150Ωよりも減少する。
また、チャネル層5の温度依存性も、ゲート酸化膜15の厚さに伴って変化する。具体的には、ゲート酸化膜15の厚さを小さくすると、チャネル層5のオン抵抗R1が負の温度依存性を有する温度領域がより低温側に移動する。すなわち、チャネル層5オン抵抗R1が最小となる温度T1(図1)がより低くなることを確認した。この場合、チャネル層5のオン抵抗R1の負の温度依存の係数は減少する。
このように、チャネル層5の抵抗R1や温度依存性を制御してパワー素子全体のオン抵抗の温度依存性を抑えるためには、ゲート酸化膜15の厚さやチャネル層5の形成条件などを最適化する必要がある。
なお、上記実施例は、耐圧が600VのMOSFET素子におけるチャネル層5やゲート酸化膜15の形成条件の一例であり、例えばMOSFET素子の耐圧が変わると、チャネル層5以外の領域における電気抵抗の和(R2+R3+R4)が変化するため、チャネル層5のオン抵抗R1の最適値や温度依存係数の最適値も変化する。
また、チャネル層5のオン抵抗R1の温度依存性によって、他の領域の電気抵抗の温度依存性を相殺する場合、他の領域の電気抵抗の和(R2+R3+R4)は10mΩcm2以下であることが好ましい。この電気抵抗の和が10mΩcm2を超えると、それに伴って、パワー素子の温度を−30℃から100℃まで変化させたときの電気抵抗の和の温度変化Δ(R2+R3+R4)が大きくなり、チャネル層5のオン抵抗R1の温度変化ΔR1で相殺することが困難となるからである。
本発明の好ましい実施形態では、チャネル層5における電子のチャネル移動度が室温(300K)で10cm2/Vs以上である。チャネル移動度が10cm2/Vsよりも低い場合、チャネル層5のオン抵抗R1が大きくなりすぎるため、電流損失が大きく、パワー素子として適さない。
前述のように、300Kにおける電子のチャネル移動度が10cm2/Vsよりも低い状態では、チャネル層のオン抵抗が負の温度依存性を有する場合のあることが知られているが、このようなチャネル層を用いてトランジスタを形成したとしても、損失が大きいため、パワー素子としては実用に供することはできない。
なお、前述した非特許文献2は、(03−38)面や(11−20)面にチャネル領域を形成することにより、10cm2/Vs以上の高いチャネル移動度を達成できることも教示している。しかしながら、それらのチャネル移動度は、温度の上昇とともに低下しており、チャネル層のオン抵抗は「正」の温度依存性を有している。
一方、本実施形態では、チャネル移動度が10cm2/Vs以上の高い値を示し、かつ温度上昇とともに増大する(オン抵抗が減少する)チャネル層を形成し、それによってパワー素子全体のオン抵抗の温度依存性を抑制している。
本実施形態では、4H−SiCの(0001)面にチャネル領域を形成し、しかも、MOS界面(SiO2/SiC界面)における窒素濃度を1×1020cm-2以上1×1022cm-2以下の範囲に調節している。4H−SiCの(0001)面におけるSiO2/SiC界面には、炭素などの不純物やダングリングボンドが存在するため、チャネル移動度は低くなる。しかしながら、界面における窒素濃度を上記範囲内に調節することにより、不純物やダングリングボンドを不活性化(パッシベート)できるため、界面準位密度を低減し、高いチャネル移動度を実現することができる。
本発明では、チャネル領域における電子のチャネル移動度(300K)を10cm2/Vs以上に調節しつつ、その温度特性を利用している。なお、本発明に適したチャネル移動度および温度依存性を実現するには、界面準位密度が、伝導帯および荷電子帯のうちの少なくとも一方のバンド端付近におけるポテンシャル範囲で1×1012cm-2/eV以下であることが好ましい。
なお、チャネル領域の導電型を規定する不純物の濃度が1×1016cm-3以上の高濃度部分と、1×1016cm-3未満の低濃度部分(不純物を含まない真性半導体)部分を少なくとも一層ずつ積層することによってチャネル領域を形成することが好ましい。このような層状構造としては、δドープ積層構造(δドープ層+アンドープ層の交互積層)が挙げられる。例えば、δドープ層は10nm程度、アンドープ層は40nm程度に設定される。このような層厚にて、例えば、δドープ層が3層、アンドープ層が4層となるように交互に積層すると、30nm+160nm=190nmとなり、チャネル領域の層状構造の総厚は約0.2μmとなる。
このような層状構造を有するチャネル領域によれば、10cm2/Vs以上の高いチャネル移動度と、温度上昇とともにチャネル移動度が増大する特性を再現性良く実現できる。このような層状チャネル構造は、MOS界面から離れた領域のチャンネル電流密度を高めるため、高いチャネル移動度と所望の温度特性を同時に満たすことができると考えられる。実験によると、層状チャネル領域の総厚は1μm以下に設定することが好ましく、0.5μm以下に設定することが更に好ましい。
パワー素子の温度が−30℃以上100℃以下の範囲において、他の領域の電気抵抗の和(R2+R3+R4)が上記上限値(10mΩcm2)以下のとき、電気抵抗の和の温度変化Δ(R2+R3+R4)をより効果的に相殺するためには、チャネル層5のオン抵抗R1は200mΩcm2以下であることが好ましい。より好ましくは、上記温度範囲におけるチャネル層5のオン抵抗R1は、他の領域の電気抵抗の和(R2+R3+R4)の5倍の50mΩcm2以下である。50mΩcm2以下であれば、パワー素子全体におけるオン抵抗の温度変化を抑制しつつ、パワー素子の低損失化を実現できる。
チャネル層5におけるチャネル長1Lや厚さおよび不純物濃度は上記に限定されず、MOSFETにおける他の部分のサイズや抵抗値等によって変化し得る。また、チャネル層5の構造や形成方法は上記構造や形成方法に限定されず、チャネル領域1が所望の範囲の電気抵抗R1を有するように、かつ、チャネル領域1の電気抵抗R1が所望の温度依存性を有するように適宜選択される。チャネル層5は、界面準位の影響を低減してチャネル移動度を向上させるために、蓄積チャネル構造を有することが好ましい。蓄積チャネル構造は、出願人が特許出願2002−544789で開示しているように、アンドープSiC層とn型ドープ層(δドープ層)とを交互に積層させた構造(δドープ構造)であってもよい。その場合、例えばδドープ層の不純物濃度、およびδドープ層およびアンドープ層の厚さ、特にδドープ構造の最上面におけるアンドープSiC層の厚さを変えることにより、チャネル領域1のオン抵抗R1を調整できる。
なお、本実施例のMOSFETの面積は0.01mm2と小さいため、上述したような電気抵抗の値(R1:150Ω、R2+R3+R4:50Ω)が得られるが、MOSFETの素子面積を増大させたり、ユニットセルの集積度を上げると、上記電気抵抗の値は減少する。具体的には、本実施例と同様の構成を有し、面積が1mm2のMOSFETの場合には、各領域の電気抵抗の値は本実施例における電気抵抗の値の1/100となる。また、面積が1cm2のMOSFETの場合は、電気抵抗の値は本実施例における電気抵抗の値の1/10000となる。
上記実施例では、チャネル領域1における電気抵抗R1の値や温度依存性を制御することによって、オン抵抗の温度変化の割合(ΔRon/Ron(-30))を50%以下、好ましくは10%以下に抑えているが、逆にドリフト領域3などの温度依存性が正の領域における電気抵抗の値を故意に増加させることによって、素子全体のオン抵抗の温度変化を抑えることもできる。あるいは、チャネル領域1などの温度依存性が負の領域における抵抗値およびドリフト領域3などの温度依存性が正の領域における抵抗値の両方を制御することによって、MOSFET全体のオン抵抗Ronの温度変化を抑えてもよい。なお、ドリフト領域3における電気抵抗R3は、例えばドリフト領域3の不純物濃度などを変えることによって調整できる。
本発明のパワー素子は、図2に示すようなMOSFETに限定されない。トランジスタ構造を有し、電流経路に温度依存性が正の部分および温度依存性が負の部分が含まれたパワー半導体素子であれば良い。例えば、JFET、MISFET、MESFETなどのFET(電界効果トランジスタ)、IGBT等のバイポーラ・伝導度変調型スイッチング素子であっても良い。
本発明によると、オン抵抗の温度変化を抑えた信頼性の高いパワー素子を提供できる。本発明は、ワイドバンドギャップ半導体を用いたMOSFET、MISFET、MESFET、JFET、IGBTなどのパワーFETに適用され得る。
本発明のパワー素子を用いると、冗長なフィードバック回路を設けることなく、安定度の高い制御回路を構成できる。また、そのような制御回路を備えた信頼性の高いシステムを構築できる。
SiC−MOSFETにおけるチャネル領域の電気抵抗と素子温度との関係を示すグラフである。 (a)および(b)は、それぞれ、本発明による実施形態のパワー素子の平面図および断面図である。 本発明による実施形態のMOSFETにおけるオン抵抗の温度変化を示すグラフである。 従来のSiパワー素子におけるオン抵抗の温度変化を示すグラフである。
符号の説明
1 チャネル領域
2 JFET(ジャンクション)領域
3 ドリフト領域
4 基板
5 チャネル層
8 ウェル領域
9 コンタクト領域
10 炭化珪素層
11 ドレイン電極
13 ソース電極
15 ゲート絶縁膜
17 ゲート電極

Claims (8)

  1. ソース電極と、
    ドレイン電極と、
    前記ソース領域と前記ドレイン電極との間で直列電流径路を形成するチャネル領域およびドリフト領域を含むワイドギャップ半導体と、
    を備えたパワー素子であって、
    前記直列電流径路のうち前記チャネル領域以外の領域は正の温度依存性を示すオン抵抗を有し、かつ、前記チャネル領域は負の温度依存性を示すオン抵抗を有しており、
    前記パワー素子の温度を−30℃から100℃へ変化させた場合のパワー素子全体におけるオン抵抗の変化の、−30℃におけるパワー素子全体のオン抵抗に対する割合が50%以下であるパワー素子。
  2. 前記パワー素子全体におけるオン抵抗の温度変化は、前記電流経路のうちの前記チャネル領域以外の領域におけるオン抵抗の温度変化ΔRpと、前記チャネル領域におけるオン抵抗の温度変化ΔRnとを相殺させることによって得られる請求項1に記載パワー素子。
  3. 前記パワー素子の温度を−30℃から100℃へ変化させた場合において、前記温度変化ΔRpの絶対値は、前記温度変化ΔRnの1/2以上2倍以下である請求項2に記載のパワー素子。
  4. 電子の300Kにおけるチャネル移動度が10cm2/Vs以上であり、前記パワー素子の温度が−30℃以上100℃以下のとき、前記チャネル領域のオン抵抗が、前記電流径路のうちの前記チャネル領域以外の領域におけるオン抵抗の2倍以上20倍以下である請求項1に記載のパワー素子。
  5. 前記直列電流経路には、50A/cm2 以上の電流密度の電流が流れる請求項1に記載のパワー素子。
  6. 前記ワイドバンドギャップ半導体は炭化珪素である請求項1に記載のパワー素子。
  7. 前記パワー素子は、炭化珪素基板と、前記炭化珪素基板の主面上に形成された炭化珪素層とを備え、
    前記ソース電極は前記炭化珪素層上に設けられ、前記ドレイン電極は前記炭化珪素基板の裏面に形成されている請求項1に記載のパワー素子。
  8. 前記炭化珪素基板の主面は(0001)面である、請求項7に記載のパワー素子。
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