JP4017338B2 - 半導体モジュールにヒートシンクを組み付ける設備及びその組み付け方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体モジュールにヒートシンクを組み付ける設備及びその組み付け方法に関し、より詳しくは、リベットが設けられた第1ヒートシンクを循環移動する複数個の組み付けパッドに順次安着させ、第1ヒートシンクが安着した組み付けパッドを指定の位置に移送後、第1ヒートシンクのリベットに半導体モジュールが整列結合されようにし、さらに組み付けパッドを指定の位置に循環移送して半導体モジュールが結合された第1ヒートシンクのリベットに第2ヒートシンクが貫通結合されるようにした後、さらに組み付けパッドを指定の位置に循環移送してリベッティングを行って半導体製品を組み付け後、第1ヒートシンクにラベル付いてから検査を行う半導体モジュールにヒートシンクを組み付ける設備及びその組み付け方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
最近、各種産業例えば電気、電子、情報通信及び宇宙航空の産業に達するまで技術開発が急進することで、産業的に利用可能な製品の性能向上だけでなく、製品の大きさのコンパクト化が可能になっている。
【0003】
こうした傾向は、特にコンパクト化しながらも強力な情報処理能力を持つ半導体モジュールの技術開発が大きい役割を果している。
【0004】
半導体モジュール中で広く使用されている情報処理系列の半導体モジュールである中央処理処置(CPU)を例にすれば、初期の中央処理処置の処理速度は1MHzに過ぎなかったが、最近は500MHz〜1GHzの処理速度を持つ半導体モジュールが開発販売されつつある。
【0005】
また、広く使用されているメモリ系列の半導体モジュールの場合、初期48Kbyteの保存容量を持つ半導体モジュールが、最近1Gbyteの保存容量を持つ半導体モジュールとして販売されている。
【0006】
前述したように、メモリ系列の半導体モジュールの保存容量は飛躍的に増したが、処理速度は数百nsecから最近8〜10nsecの処理速度を持つところ、情報処理系列の半導体モジュールに比べて処理速度が増加されなくて、情報処理システムの性能を極大化するのに大きい支障を招いている。これを解決するために、最近は情報処理システムにキャッシュメモリなどを主に用いて情報処理システムの性能を極大化しようとするが、相変らず多くの問題点がある。
【0007】
最近は、95%の高効率の1.6nsecの処理速度を備えた、最も速い半導体モジュールとして知らされた“シンクリンクDRAM(SyncLinkDRAM(SLDRAM) 400Mbyte/sec)”の処理速度より約4倍の処理速度を持ついわゆる“RDRAM(商品名、ラムバスコーポレーション)”が開発され、これらが搭載された情報処理システムの全体性能が極に向上していた。
【0008】
こうした高速動作を行う半導体モジュールらは、モジュールの大きさを低減させるためにウェーハレベルの半導体チップを直ぐフリップチップ方式で基板に実装するため、外部の衝撃に非常に弱いという短所がある。
【0009】
また、これらRDRAMなどのメモリ系列の半導体モジュールでは、高集積度及び高速処理のため、半導体チップ内の信号線の配線幅及び配線間隔が狭くなって内部固有抵抗が大きく増加し、これにより作動時に過多の熱が発生することで作動性能が低下する。よって、高速作動する半導体製品らは共通的に製品の性能低下を防止するために過多の熱を速く放熱しねばならないという問題に当面している。
【0010】
このように高速作動する半導体モジュールの放熱及び半導体チップを保護するための目的を具現するために、最近は所定強度を持ちながら熱伝導率の高いヒートシンク(heatsink)を設けるが、ヒートシンクは熱伝導率が優れているアルミニウム合金などの材質を用いて半導体モジュール中の半導体チップの設置場所に必須的に設けられる。
【0011】
一方、半導体モジュールとヒートシンクとの結合は、ヒートシンクより突出されたリベットに印刷回路基板の貫通孔を結合後、リベットの頭部をパンチなどを用いて丸め加工することで印刷回路基板とヒートシンクとが堅く結合されるが、このような半導体モジュールは、半導体モジュールの搭載されたシステムの性能向上に多くの寄与をすると期待される。
【0012】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の目的は、前述のように、高温で発熱される半導体モジュールに、自動化した設備によってヒートシンクを堅く結合できるようにすることにある。
【0013】
本発明の他の目的は、複数個の組み付けパッドを循環させながら各組み付けパッドにヒートシンク及び半導体モジュールを収納し、かつヒートシンクと半導体モジュールがリベッティングして半導体モジュールにヒートシンクを連続的に組み付け及びテストされるようにすることにある。
【0014】
本発明の更に他の目的は、後述する本発明の詳細な説明により明らかになろう。
【0015】
【課題を解決するための手段】
前記目的を達成するために、本発明は、ベース本体と、ベース本体の上面中央に設けられ、半導体モジュールにヒートシンクを組立て組み付けるための組み付けパッドが複数個設けられた組み付けパッド移送装置と、組み付けパッドにリベットの突出された第1ヒートシンクを安着させる第1ヒートシンク供給装置;第1ヒートシンクが安着した組み付けパッドの1ステップ移送後、リベットに半導体モジュールの結合孔を挿入させる半導体モジュールアンローディング装置;第1ヒートシンクと半導体モジュールとが結合された状態で安着した組み付けパッドの1ステップ移送後、半導体モジュールの挿入されたリベットに第2ヒートシンクが挿入されるようにする第2ヒートシンク供給装置と、組立て組み付けパッドが1ステップ移送された所に、第1ヒートシンクに設けられたリベットの端部を加工してリベッティングするリベット装置と、リベット装置でリベッティングが終了され、第1及び第2ヒートシンクと結合された半導体製品をトレイにローディングする半導体製品ローディング装置と、半導体モジュールアンローディング装置から半導体製品ローディング装置にトレイを移送するトレイ移送装置とを備える。
【0016】
また、本発明は、リベットの設けられた第1ヒートシンクを組み付けパッド移送装置の組み付けパッドに安着させ、組み付けパッドを1ステップ移送させる段階と、移送された組み付けパッドの第1ヒートシンクに設けられたリベットに、半導体モジュール収納用トレイから移送された半導体モジュールの貫通孔をアラインメントさせてから挿入し、組み付けパッドを1ステップ移送させる段階と、移送された組み付けパッドの第1ヒートシンクに設けられたリベットに、第2ヒートシンクの貫通孔をアラインメントさせてから挿入し、組み付けパッドを1ステップ移送させる段階と、移送された組み付けパッドの第1ヒートシンクに設けられたリベットを加圧して、リベットの端部を第2ヒートシンクと結合させることで、ヒートシンクが組み付けられた半導体モジュールを製作後、組み付けパッドを1ステップ移送させる段階と、及び半導体モジュール収納用トレイから半導体モジュールが共にアンローディングされた後、移送された中空のトレイに組み付けパッドに位置した半導体モジュールをアンローディングする段階とを含む。
【0017】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面に基き、本発明の実施例を詳細に説明する。
図1は本発明の実施例による組み付け設備によって組み付けられる半導体モジュール及びヒートシンクの分解斜視図である。
【0018】
同図を参照すれば、半導体モジュール1は、回路パターンの形成された印刷回路基板1aの一側面または両側面にウェーハレベル(waferlevel)の半導体チップ1bがフリップチップ方式(flipchiptype)にて実装され、詳述するヒートシンク2a、2bとの結合のために所定位置に複数個の貫通孔1cが具備される。
【0019】
一方、このように構成された印刷回路基板1a中、半導体チップ1bが実装された面の対向側面に、半導体チップ1bを保護し半導体チップ1bで発生する熱を短時間内に放熱するためのヒートシンク(2a,2b;2)が設けられる。
【0020】
本発明では、印刷回路基板1aの両側面に半導体チップ1bが実装されることで、ヒートシンク(2a,2b;2)も印刷回路基板1aの両側面に各々設けられる。
【0021】
これら2つのヒートシンク2a、2bの一方を第1ヒートシンク2a、他方を第2ヒートシンク2bと定義する。
【0022】
第1及び第2ヒートシンク2a、2bは熱伝導性の良いアルミニウム合金材質の矩形板をプレスマシン(図示せず)等で、半導体チップ1bの収納される凹の収納空間2cが形成されるように加工される形状であって、第1ヒートシンク2aにはプレスマシンによって加工される時に半導体モジュール1の仕様書きのラベルが付着される領域2dも共に加工される。
【0023】
また、第1及び第2ヒートシンク2a、2bには前述の印刷回路基板1aに形成された貫通孔1cと同じ位置に同じ大きさを持つ貫通孔2eが形成され、第1ヒートシンク2aの貫通孔には第2ヒートシンク2b及び印刷回路基板1aに形成された貫通孔と結合されるリベット3が押込ばめ方式などにて堅く設けられる。
【0024】
このとき、第1ヒートシンク2aに結合されるリベット3は軟性及び加工性が優れる、一定強度を持つ金属を主に用いるが、リベット3の内部にはリベット3の加工性を一層向上させるために内部を貫通する貫通孔3aが形成される。
【0025】
図2は第1ヒートシンク2a-半導体チップ1bの実装された印刷回路基板1a-第2ヒートシンク2bをリベット3で堅く固定させ、第1ヒートシンク2aにラベル付いてから品質検査を行う組み付け設備のブロック図で、図3は図2を具体的に具現した斜視図である。
【0026】
図2及び図3を通じて本発明の全体構成を説明した後、図4乃至図12を通じて構成要素のより具体的な構成を説明する。
【0027】
本発明による半導体モジュール1にヒートシンクを組み付ける組み付け設備1000を、図3を参照して説明する。
【0028】
組み付け設備1000は全体から見て、ベース本体100、組み付けパッド移送装置200、第1ヒートシンク供給装置300、半導体モジュールアンローディング装置400、第2ヒートシンク供給装置500、リベットマシン600、ラベル付着器700、ビジュアル検査ユニット800及び半導体製品ローディング装置900から構成される。
【0029】
より具体的には、ベース本体100の上面中央には四角枠状を持つ組み付けパッド移送装置200が設けられ、組み付けパッド移送装置200の前方に該当するベース本体100すなわち組み付けパッド移送装置200の中心を基準で図3に示した座標系のX軸方向には第1ヒートシンク供給装置300が設けられる。
【0030】
第1ヒートシンク供給装置300から−Y軸方向に該当するベース本体100には半導体モジュールアンローディング装置400が設けられ、半導体モジュールアンローディング装置400から組み付けパッド移送装置200の側壁に沿って−X軸方向に離隔された所には第2ヒートシンク供給装置500が設けられる。
【0031】
一方、第2ヒートシンク供給装置500を基準で第2ヒートシンク供給装置500からY軸方向に所定距離をおいて離隔された組み付けパッド移送装置200の上部にはリベットマシン600が設けられ、リベットマシン600から組み付けパッド移送装置200に沿って所定距離をおいて離隔されたX軸方向に折った組み付けパッド移送装置200の内部にはラベル付着器700が設けられる。
【0032】
ラベル付着器700からX軸方向に所定距離をおいて離隔された所には組み付けパッド移送装置200の内外部を入出力するビジュアル検査ユニット800が設けられ、ビジュアル検査ユニット800と所定距離をおいて離隔されたベース本体100には半導体製品ローディング装置900が設けられる。
【0033】
図2及び図3を参照して、本発明の実施例による組み付け設備1000を構成する各構成要素のより具体的な構成及び作用を説明する。
【0034】
ベース本体100は所定高さを持つ六面体箱状であり、後述する構成要素を支持及び固定する役割を果す。
【0035】
この様な形状を持つベース本体100の上面中央部分には組み付けパッド移送装置200が支持設置される。
【0036】
図3乃至図6に示した組み付けパッド移送装置200は、複数個の組み付けパッド210を1ステップずつ移送するが、組み付けパッド210が循環されながら移送されるようにすることで、ヒートシンク組み付け工程が連続的に進行されるようにする役割を果す。
【0037】
これを具現するための組み付けパッド移送装置200は、図4に詳しく示すように、ヒートシンク及び半導体モジュール1が安着する組み付けパッド210、組み付けパッド210の両端部に挟んでスライド移送されるようにガイド溝222aが形成された四角枠状の移送本体220及び組み付けパッド210を移送する複数個の移送シリンダ230から構成される。
【0038】
より詳しくは、図1、図4及び図5を参照すれば、組み付けパッド210は所定厚さを持つ平たい直六面体板状であって、組み付けパッド210の一側面にはヒートシンクが少なくても2個以上並列に収納される所定深さを持つヒートシンク収納溝212が形成され、ヒートシンク収納溝212の内部底面には第1ヒートシンク2aにラベルが付着できるように、図5に示すうように(図5は組み付けパッドの背面斜視図である)、組み付けパッド210を貫通するラベル付着用開口214が形成される。
【0039】
かかる構成を持つ組み付けパッド210は、組み付けパッド210が指定の経路に沿って移送されるように移送本体220に挟まれる。
【0040】
このとき、ヒートシンク収納溝212のうち、第1ヒートシンク2aに挟まれたリベット3の頭部と結合される部分はリベット3を支持するリベット支持突起(図示せず)が設けられる。
【0041】
図4を参照すれば、移送本体220は、一定距離をおいて離隔されて平行に配置された2つのガイド側壁222、224と、ガイド側壁222、224を支持する四角形板状を持つ底面226とから構成される。
【0042】
なお、2つのガイド側壁222、224の一方を第1ガイド側壁222、他方を第2ガイド側壁224と定義する。
【0043】
第1ガイド側壁222は底面226のエッジに沿って設けられ、一実施例として同じ高さを持つ4つの側壁から構成され、それぞれの側壁はさらに直角に連結されて第1ガイド側壁222は上から見て平面が四角形枠状を持つ。
【0044】
この様な形状を持つ第1ガイド側壁222の内側面には、第1ガイド側壁222と同じ高さを持って第1ガイド側壁222の表面から所定深さを持つようにガイド溝222aが形成される。
【0045】
このとき、ガイド溝222aの幅は前述の組み付けパッド210の厚さよりも多少大きいため、組み付けパッド210がスムーズに挟まれてスライド移送できる程度の幅を持つようにすることが望ましい。
【0046】
この様に形成された第1ガイド側壁222の内部には、第1ガイド側壁222と同じ高さを持ち、第1ガイド側壁222からオフセット(offset)された第2ガイド側壁224が設けられる。
【0047】
このとき、第2ガイド側壁224の外側面には第1ガイド側壁222に形成されたガイド溝222aと同じ高さを持つガイド溝224aが形成される。
【0048】
このとき、第1ガイド側壁222の内部に位置した第2ガイド側壁224は、第2ガイド側壁224に形成されたガイド溝224aと第1ガイド側壁222に形成されたガイド溝222aとの間に、前述の組み付けパッド210が挟まれてガイド溝222a、224aに沿ってスムーズに移送させる位置及び大きさを持つようにする。
【0049】
特に、組み付けパッド210が第1及び第2ガイド側壁222、224に形成されたガイド溝222a、224aに挟まれた状態で、組み付けパッド210の一方の隣接した2つの側面により形成される第1縁部が第1ガイド側壁222の縁部に該当するガイド溝222aに密着された時、組み付けパッド210の他方の隣接した2つの側面によって形成された第2縁部は第2ガイド側壁224に形成されたガイド溝224aの縁部に安着して、組み付けパッド210が第1及び第2ガイド側壁222、224のガイド溝222a、224aから離脱されることを防止することが望ましい。
【0050】
この様な構成を持つ移送本体220には複数個の組み付けパッド210が挿入されるが、移送本体220には移送本体220に最大で挟むことができる組み付けパッド210よりも1つ以下の組み付けパッド210が挟まれるようにする。これは詳述するが、組み付けパッド210をステップバイステップ方式にて循環移送するためである。
【0051】
この様に、組み付けパッド210をステップバイステップ方式にて循環移送するために、図4及び図6に示した第1及び第2ガイド側壁222、224間に該当する底面226に移送シリンダ230が設けられる。
【0052】
図4を参照して、移送シリンダ230をより具体的に説明する。
移送シリンダ230は組み付けパッド210を直線に移送させる。この様に組み付けパッド210を直線に移送させざるをえないため、組み付けパッド210を循環移送させるには、図示するように、少なくとも4つの移送シリンダ232、234、236、238を必要とする。
【0053】
尚、図において、232は第1移送シリンダ、234は第2移送シリンダ、236は第3移送シリンダ、238は第4移送シリンダと定義する。
【0054】
第1乃至第3移送シリンダ232、234、236は互いに直覚方向に組み付けパッド210を移送する。
【0055】
共通的に第1乃至第3移送シリンダ232、234、236は、移送本体220の底面226に固定されたシリンダ支持台237、シリンダ支持台237に設けられて第1及び第2ガイド側壁222、224と平行な方向に上下運動するアップ-ダウンシリンダ238、アップ-ダウンシリンダ238に固定されて垂直方向に動いて水平方向変位を持つシリンダロッド239aを持つシリンダ239、シリンダロッド239aに結合されてシリンダロッド239aの変位方向に動く移送ロッド239c、及び移送ロッド239cの上面に所定間隔で突出された係止突起239dから構成される。
【0056】
このとき、移送ロッド239cの上面に突出された係止突起239dは組み付けパッド210と結合されて組み付けパッド210を引っ張る役割を果す。
【0057】
移送ロッド239cが組み付けパッド210を引っ張るには、組み付けパッド210に形成されたラベル付着用開口214、214間に図5に示すように、係止突起239dと結合されるように凹の結合溝216が形成される。
【0058】
前述したアップ−ダウンシリンダ238は、この様に組み付けパッド210の下面に形成された結合溝216に係止突起239dを挿入したり挿入解除するために設けられる。
【0059】
前述した移送ロッド239cは、アップ−ダウンシリンダ238によって移送ロッド239cの係止突起239dが結合溝216に結合された状態で、シリンダ239の駆動により組み付けパッド210をシリンダロッド239aの変位方向に押し出して組み付けパッド210を動く役割を果す。
【0060】
図4を参照すれば、第4移送シリンダ238のみは第1乃至第3移送シリンダ232、234、236と他の構成要素及び設置位置を持つ。
【0061】
これは、第4移送シリンダ238が移送する組み付けパッド210には、半導体モジュール1と第1及び第2ヒートシンク2a、2bが結合されている状態で、組み付けパッド210の下部には半導体モジュール1の仕様を表すために第1ヒートシンク2aに付着されたラベルを検査し組み付け状態を検査するためのビジュアル検査ユニット800が外部から出入りするため、第4移送シリンダ238が残りの第1乃至第3移送シリンダ232、234、236と同様に設置され難しいためである。
【0062】
この様な理由から、シリンダ本体238aは第1ガイド側壁222の外側面に設けられ、シリンダロッド238bは第1ガイド側壁222に形成された貫通孔(図示せず)を通して第1ガイド側壁222の内側に変位が発生しながら組み付けパッド210をステップバイステップ方式にて押し出して移送する。
【0063】
この様に構成された組み付けパッド移送装置200の周辺には、半導体モジュール1に第1及び第2ヒートシンク2a、2bを供給後、半導体モジュール1と第1及び第2ヒートシンク2a、2bを結合させ、第1ヒートシンク2aにラベルを付着後に組み付け品質を検査する各種設備が設けられる。
【0064】
この様な機能を働く本発明の実施例による半導体モジュールにヒートシンクを組み付ける設備の残りの構成要素らをより詳しく説明する。
【0065】
図3を参照すれば、一実施例としてベース本体100の全面中央には低部板305と側壁(図示せず)とからなる収納空間が形成され、この収納空間に第1ヒートシンク供給装置300が設けられる。
【0066】
このとき、低部板305はベース本体100の高さの約1/2の位置でベース本体100の全面に固定される。
【0067】
収納空間が設けられる第1ヒートシンク供給装置300は、第1ヒートシンクマガジン310及び第1ヒートシンク移送装置390から構成される。
【0068】
より具体的に、第1ヒートシンクマガジン310は第1ヒートシンク2aの大きさに対応する開口330が形成され、側面に長手方向の全体に渡って開口340が形成され、第1ヒートシンク2aが複数枚積層される第1ヒートシンク収納フレーム320と、第1ヒートシンク収納フレーム320内に積層された第1ヒートシンク2aを順次上昇させる第1ヒートシンクエレベータ350とから構成される。
【0069】
一方、第1ヒートシンクエレベータ350は、第1ヒートシンク収納フレーム320の最下段で積層された第1ヒートシンク2aを支持する第1ヒートシンクリフト板352から延長され、内部に雌ネジ部が形成されたブッシング354と、ブッシング354に螺合され、第1ヒートシンク収納フレーム320と並んで延長された移送スクリュー356と、移送スクリュー356の端部に結合されて移送スクリュー356を回転させることで、第1ヒートシンクリフト板352の高さを精密に制御する駆動用モータ358とから構成される。
【0070】
本発明では、この様に構成された第1ヒートシンクマガジン310が一実施例として3つが並んで設けられ、それぞれの第1ヒートシンクマガジン310には前述した様に、リベット3の挟まれた複数個の第1ヒートシンク2aが積層収納される。
【0071】
一方、ベース本体100の上部には第1ヒートシンク供給装置300と組み付けパッド移送装置200との間を往復する第1ヒートシンク移送装置390が設置される。
【0072】
第1ヒートシンク移送装置390は、ベース本体100の上面一側端部が固定され、他側端部がベース本体100から組み付けパッド移送装置200上側まで垂直に延長された支持軸392と、支持軸392の他側端部に設置されて前述した第1ヒートシンク供給装置300方向に延長されるX軸移送アーム394と、X軸移送アーム394に垂直にスライド可能に結合されてX軸移送アーム394に沿って第1ヒートシンク供給装置300から組み付けパッド移送装置200まで移動するY軸移送アーム396と、Y軸移送アーム396にスライド可能に結合されてY軸移送アーム396に沿って動くピックアップモジュール398とから構成されることが望ましい。
【0073】
より具体的には、ピックアップモジュール398は、Y軸移送アーム396から-Z方向、Z軸方向に上下運動するアップ-ダウンシリンダ(図示せず)と、アップ-ダウンシリンダに設置されて第1ヒートシンク2aを把持するグリッパ(図示せず)と、グリッパをXY平面上で回転させる回動シリンダ(図示せず)とから構成される。
【0074】
かかる構成を持つ第1ヒートシンク移送装置390から、第1ヒートシンク2aが組み付けパッド210に収納されると、組み付けパッド210は組み付けパッド移送装置200の第1移送シリンダ232によって時計方向に1ステップ進む。
【0075】
1ステップ進んだ組み付けパッド210に収納された第1ヒートシンク2aには半導体モジュールが結合される。
【0076】
これを具現するために、第1ヒートシンク供給装置300から時計方向に所定距離をおいて離隔された所には半導体モジュールアンローディング装置400が設置される。
【0077】
図3を参照すれば、半導体モジュールアンローディング装置400は、全体的からみてトレイローダ410、半導体モジュール移送ユニット420及び中空のトレイアンローダ430から構成される。
【0078】
トレイローダ410は、ベース本体100の内部底面に一側端部が固定され、他側端部がZ軸方向に向かって相互所定間隔をおいて離隔された2つのガイドポール411と、2つのガイドポール411間に該当するベース本体100の内部底面に固定され、モータ軸がZ軸方向に向けるモータ415と、モータ軸の回転によって回転される移送スクリュー412と、2つのガイドポール411にはスライド可能に挟まれ、移送スクリュー412には螺合されるブッシングと、ブッシングに結合されるトレイ受け台414とから構成される。
【0079】
より具体的に、移送スクリュー412の一側端部には第1スパーギヤ(spur gear;416)が設けられ、第1スパーギヤ416が設けられた移送スクリューの端部はベース本体100の内部底面にピボット結合される。
【0080】
また、移送スクリュー412に結合された第1スパーギヤ416にはベース本体100の底面に固定されたモータ415のモータ軸と結合された第2スパーギヤ(一部図示;417)が歯合される。
【0081】
この様に構成されたトレイローダ410のトレイ受け台414には、図3に示した座標系のY軸方向を持ちながら、半導体モジュール1が垂直に挿入されるスロットが複数個形成されたトレイ419が少なくても1個以上積層され、積層されたトレイ419らは一つのトレイ高さだけずつ順次上部に移送される。
【0082】
一方、トレイ419に収納された半導体モジュール1を第1ヒートシンク2aに既に収納された組み付けパッド210にローディングするには半導体モジュール移送装置420を必要とする。
【0083】
半導体モジュール移送装置420は、ベース本体100の上面に一側端部が設けられ、Z軸方向に所定長さを持つ支持ロッド421と、支持ロッド421にX軸方向に設けられたX軸移送アーム422と、X軸移送アーム422に沿ってスライド運動するY軸移送アーム423と、Y軸移送アーム423に沿ってスライド運動する半導体モジュールピックアップモジュール424とから構成される。
【0084】
一方、前述した第1ヒートシンク供給装置300と半導体モジュールアンローディング装置400のトレイローダ410との間にはトレイアンローダ430が設けられる。
【0085】
トレイアンローダ430は、トレイローダ410及び半導体モジュール移送装置420により一つのトレイ419に収納された半導体モジュール1が共にアンローディングされた中空のトレイを移送する役割を果す。
【0086】
図7に詳しく示したトレイアンローダ430は、トレイ移送レール440、トレイ移送シリンダ450及びトレイアンローディングエレベータ460から構成される。
【0087】
図7を参照すれば、トレイ移送レール440は移送するトレイ419がトレイアンローディング領域に移送されるようにする。
【0088】
トレイ移送レール440は全体的からみて、トレイ移送レール本体441、レール幅調節用シリンダ442及びトレイ固定シリンダ443を含む。
【0089】
具体的に、トレイ移送レール本体441は、トレイローダ410で半導体モジュールが収納されたトレイ419が、ベース本体100の上部に移送される時にはトレイ419の移送の邪魔をしないが、中空のトレイがアンローディングされる時にはトレイ419がトレイ移送レール本体441に支持されて落さないようにする構成を持つ。
【0090】
これを具現するために、トレイ移送レール本体441は2つからなり、2つのトレイ移送レール本体441がなす間隔は変更可能で、トレイ移送レール本体441の端部にはトレイ419がこれ以上移送されないように係止突起445を形成すべきである。
【0091】
このとき、トレイ移送レール本体441の中間部分には所定深さ及び幅を持つ凹溝446が設けられるが、この凹溝446の機能は後述する。
【0092】
この様なトレイ移送レール本体441のうち、互いに対向する側面縁部にはトレイ419が安着してガイドされるようにトレイ419の下面が安着する段顎441aが形成される。
【0093】
このとき、トレイ移送レール本体441の幅調節は、シリンダ本体442aがベース本体100に固定され、シリンダロッドがトレイ移送レール本体441に固定されたレール幅調節用シリンダ442によって具現される。
【0094】
一方、トレイ移送レール本体441の中間部分には中空のトレイが移送された後、中空のトレイを安定して固定させるためにトレイ固定シリンダ443を付設する。
【0095】
トレイ固定シリンダ443は、トレイ移送レール本体441の外側面にヒンジ継手を行ったシリンダ本体443aと、シリンダ本体443aに設けられたシリンダロッド443bと、シリンダロッド443bの端部にさらにヒンジ継手を行い、中心部分がトレイ移送レール本体441にヒンジ継手を行った棒状の回動リンク443cと、回動リンク443cの端部に設けられたプッシャーロッド443dとから構成される。
【0096】
この様なプッシャーロッド443dは、前述のトレイ移送レール本体441の凹溝446内部に収納され、シリンダロッド443bの変位によってプッシャーロッド443dは回動されながら中空のトレイをトレイ移送レール本体441の端部に形成された係止突起445に強く密着させる役割を果す。
【0097】
一方、前述のトレイ移送レール本体441によって安定して支持された中空のトレイ419を、半導体モジュールの収納された中空のトレイの下部に積層されたトレイから強制移送するためには、一実施例としてトレイ移送シリンダ450を必要とする。
【0098】
トレイ移送シリンダ450は、一側端部がベース本体100に固定されたシリンダ本体451と、シリンダ本体451によって変位が発生するシリンダロッド452と、シリンダロッド452に設けられたトレイプッシャー453とから構成される。
【0099】
トレイプッシャー453は、シリンダロッド452に一側端部が固定され、他側端部はトレイ419がトレイ移送レール本体441に沿って移送されるようにトレイ419の裏側面と接触される。
【0100】
この様に構成されたトレイ移送シリンダ450によって半導体モジュールが共にアンローディングされた中空のトレイ419は、トレイ移送レール本体441に沿ってトレイ移送レール本体441の端部に移送される。
【0101】
この様に中空のトレイがトレイ移送レール本体441の端部に固定された状態で、中空のトレイを移送するために中空のトレイの下部にはトレイアンローディングエレベータ460が設けられる。
【0102】
トレイアンローディングエレベータ460は、ベース本体100の内部底面からZ軸方向に延長されて相互所定間隔をおいて離隔されたガイドロッド461と、ガイドロッド461に挟まれてスライド運動するブッシング462と、ガイドロッド461の間に該当するベース本体100の底面に置かれてモータ軸がY軸方向に向かうモータ467と、モータ467のモータ軸に設けられた駆動プーリ463と、ベース本体100の上面を介して駆動プーリ463とZ軸方向に所定間隔をおいて離隔設置された被動プーリ465と、駆動プーリ463及び被動プーリ465を連結するテンションベルトと、テンションベルト及びブッシング462に固定される中空のトレイレ受け台468と、中空のトレイ受け台468の下部に設けられて中空のトレイ受け台468がベース本体100の底面から所定間隔をおいて離隔されて位置するように中空のトレイ受け台468の下面に設けられた支持ロッド464とから構成される。
【0103】
このとき、中空のトレイ受け台468は中空のトレイの平面積よりもやや小さいため、中空のトレイ受け台468から中空のトレイの両端部がやや突出される。
【0104】
一方、この様に構成された半導体モジュールアンローディング装置400により組み付けパッド210に収納された第1ヒートシンク2aのリベット3に半導体モジュール1が収納されると、組み付けパッド移送装置200によって組み付けパッド210はさらに1ステップ進む。
【0105】
1ステップ進んだ組み付けパッド210には第2ヒートシンク2bが供給されるが、第2ヒートシンク供給装置500はさらに第2ヒートシンクマガジン510及び第2ヒートシンク移送装置520から構成される。
【0106】
ここで、第2ヒートシンクマガジン510及び第2ヒートシンク移送装置520は、第1ヒートシンクマガジン310及び第1ヒートシンク移送装置398と構成及び作用が同様であるので、詳細な説明は前述の第1ヒートシンク供給装置300に代替することにする。
【0107】
この様に構成された第2ヒートシンク供給装置300により、組み付けパッド210に半導体モジュール1を貫通した第1ヒートシンク2aのリベット3に第2ヒートシンク2bが安着して図8のような状態になれば、組み付けパッド移送装置200は組み付けパッド210をさらに1ステップ移送させて組み付けパッド210がリベットマシン600に移送されるようにする。
【0108】
リベットマシン600は図3または図8、9、10、11に概念的に示しているが、リベットマシン600は、リベットピン610と、リベットピン610が設けられたリベットピンブロック(図示せず)と、リベットピンブロック(図示せず)を上下往復運動させるリベットピンアップ-ダウン装置(図示せず)とから構成される。
【0109】
より詳しくは、リベットピン610は円筒形状を持ち、リベットピン610の端部にはリベット3のリベット貫通孔3aに挿入されてリベット3の端部面積を増加させるリベット拡大突起615が設けられる。
【0110】
このとき、リベットピンブロックにはリベットピン610がリベット3に到達する前に第2ヒートシンク2bを加圧して第2ヒートシンク2bの微細な動きすら制限するプッシャーピン(図示せず)がさらに設けられる。
【0111】
図9乃至図11を参照して、リベッティングを行う過程を簡略に説明すれば、まず、リベットピンアップ-ダウン装置によってリベットピン610が組み付けパッド210方向に移動するリベットピン610のリベット拡大突起615がリベット3の貫通孔3aに挿入されながらリベット3の貫通孔3aは拡大し始める。
【0112】
続いて、図10に示したように、リベット拡大突起615によってリベット3の貫通孔3aの直径が急速に拡大したリベット3は、リベットピン610の端部に沿って覆されて図11に示すように第2ヒートシンク2bの上面を加圧しながら固定される。
【0113】
この様にリベット3がリベットマシン600によって第2ヒートシンク2bを固定後、組み付けパッド移送装置200によって組み付けパッド210はさらに1ステップ進み、第1ヒートシンク2aには製品の仕様書きのラベルが付着される。
【0114】
望ましい一実施例として、ラベル付着器は組み付けパッド移送装置200の内部底面に設けられるが、ラベル付着器はラベルプリンタとラベル付着装置とから構成される。
【0115】
ラベルプリンタは未印刷のラベルに仕様を印刷する役割を果し、印刷済みのラベルはシュートから分離後、ラベルプリンタの外側にラベルを排出するようにする。
【0116】
このとき、排出されたラベルは接着面が第1ヒートシンク2aに向かう方向にラベルプリンタから排出され、排出されたラベルはさらにパッドを持つプッシャーにピックアップされた後、組み付けパッド210に形成されたラベル付着用開口214を通して第1ヒートシンク2aに付着される。
【0117】
このとき、組み付けパッド移送装置200の内部に位置したラベル付着器から組み付けパッド210が移送される方向に所定距離をおいて離隔された部分には、さらにラベル付着器からラベルが正確に付着されたか否かを検査するビジュアル検査ユニット800が設けられる。
【0118】
図12を参照してビジュアル検査ユニット800を詳しく説明すれば、ビジュアル検査ユニット800は、全体的からみて第1ビジュアル検査ユニット受け板810と、第2ビジュアル検査ユニット受け台820と、ビジュアルユニット830と、ビジュアルユニット固定ブロック840と、ビジュアルユニット固定ブロック840を駆動させる第1及び第2駆動装置850、860と、ビジュアル検査ユニット移送装置870とから構成される。
【0119】
より詳しくは、ビジュアル検査ユニット移送装置870は、組み付けパッド移送装置200の内部から外部に延びた移送板872と、移送板872の下面に設けられて移送板872を移送させるガイドレール874と、移送板872から突出されたブッシングに螺合された移送スクリュー876と、移送スクリュー876を駆動するモータ(図示せず)とから構成される。このとき、移送板872が第1ガイド側壁222を通して出し入れされるように第1ガイド側壁222には開口が形成される。
【0120】
この様に構成された移送板872の上面には組み付けパッド210の移送方向に延びたガイドレール811が互いに所定間隔をおいて離隔されるように設けられ、ガイドレール811は第2ビジュアル検査ユニット受け板820の下面にスライド可能に結合される。
【0121】
このようにガイドレール811に結合された第1ビジュアル検査ユニット受け板810の上面には第1駆動装置860が設けられ、第2ビジュアル検査ユニット受け板820の上面には第2駆動装置850が設けられる。
【0122】
第1駆動装置860は、第1及び第2ビジュアル検査ユニット受け板810、820の間に形成され、ブッシング862、移送スクリュー864及びモータ866から構成される。
【0123】
より詳しくは、第2ビジュアル検査ユニット受け板820の下面には雌ネジ部の形成されたブッシング862が設けられ、ブッシング862には移送スクリュー864が螺合される。
【0124】
移送スクリュー864の端部がモータ866の軸と結合され、モータ866の駆動により第2ビジュアル検査ユニット受け板820はガイドレール811に沿って直線往復運動される。
【0125】
第1駆動装置860は組み付けパッド210に並列に収納された2つの第1ヒートシンク2aに付着されたラベルを検査するために用いられる。
【0126】
一方、第2駆動装置850は第2ビジュアル検査ユニット受け板820の上面に設けられ、ビジュアルユニット830を第1ビジュアル検査ユニット受け板810の運動方向と直覚方向に動くようにする役割を果す。
【0127】
これを具現するための第2駆動装置850は、第2ビジュアル検査ユニット受け板820の上面に第1駆動ユニット860の移送スクリュー864と直覚方向を持つように設けられた移送スクリュー854と、移送スクリュー854の両端部を支持するブッシング852と、移送スクリュー854の一側端部に設けられた駆動モータ856と、移送スクリュー854の両側または一側に移送スクリュー854と平行に設けられたガイドレール858とから構成される。
【0128】
このとき、ガイドレール858にはビジュアル検査ユニットブロック840がスライド可能に結合され、移送スクリュー854にはビジュアル検査ユニットブロック840が螺合される。
【0129】
この様な第2駆動装置850は、ビジュアル検査ユニット800が組み付けパッド210に設けられた各々の第1ヒートシンク2aに付着されたラベルに沿って動きながらラベル検査を行うことができる。
【0130】
この様に構成されたビジュアル検査ユニット800によって検査されたヒートシンクが付着された半導体製品は、半導体製品移送装置850によってピックアップされた後、リワークトレイ860または半導体製品ローディング装置900に具備された中空のトレイに移送される。
【0131】
半導体製品ローディング装置900は、全体的からみて中空のトレイローダ910と、中空のトレイローダ910でヒートシンクの組み付けられた半導体製品が収納されたトレイを供給されて積載するトレイアンローダ920と、中空のトレイローダ910からトレイアンローダ920にトレイを移送するトレイ移送装置930とから構成される。
【0132】
この様な半導体製品ローディング装置900は、第1ヒートシンク供給装置300を基準で半導体モジュールアンローディング装置400と対称をなす位置に設けられ、半導体モジュールアンローディング装置400と同様な構成を持つが、半導体製品ローディング装置900の具体的な構成と関連した説明は、前述の半導体モジュールアンローディング装置400に代替することにする。
【0133】
このとき、半導体モジュールアンローディング装置400ではトレイから半導体モジュールが共にアンローディングされた中空のトレイが継続発生し、半導体製品ローディング装置900では半導体製品のローディングされる中空のトレイを必要とするが、本発明では半導体モジュールアンローディング装置400で発生した中空のトレイを直ぐ半導体製品ローディング装置900に移送させるようにする。
【0134】
これを具現するために、半導体モジュールアンローディング装置400のトレイアンローダ430の下部から半導体製品ローディング装置900のトレイローダ910の下部に達するまでトレイベルト移送装置950が設けられる。
【0135】
トレイベルト移送装置950は、全体的からみて中空のトレイが安着する程度で互いに所定間隔をおいて離隔され、中空のトレイが安着するループ型トレイ移送ベルト960と、トレイ移送ベルト960を駆動するためにトレイ移送ベルト960の両端部に設けられたプーリ970と、トレイ移送ベルト960の中間に設けられてトレイ移送ベルト960に適正テンションを加えると同時に、トレイ移送ベルト960を駆動させる駆動装置980とから構成される。
【0136】
この様な構成を持つ本発明による半導体モジュールにヒートシンクを組み付ける方法を、添付図面を参照して説明する。
【0137】
まず、第1ヒートシンク供給装置300の第1ヒートシンク収納フレーム320、半導体モジュール供給装置400及び第2ヒートシンクマガジン510には、各々第1ヒートシンク2a、半導体モジュール1が収納されたトレイ及び第2ヒートシンク2bが定量積層収納される。
【0138】
続いて、第1ヒートシンク供給装置300からリベット3が予め形成された第1ヒートシンク2aが、第1ヒートシンク移送装置390によって組み付けパッド移送装置200の組み付けパッド210の上面に形成された複数個のヒートシンク収納溝212に収納される。
【0139】
続いて、組み付けパッド210は組み付けパッド移送装置200によって1ステップ進んで半導体モジュール供給装置400と近接した所に移送された後、半導体モジュール供給装置400によってトレイに収納された半導体モジュールが組み付けパッド210に予め収納された第1ヒートシンク2aに形成されたリベット3に挿入される。
【0140】
第1ヒートシンク2aに半導体モジュール1が挿入された状態で、さらに組み付けパッド200は組み付けパッド移送装置200によって1ステップ進んだ後、第1ヒートシンク2aに形成されたリベット3にはさらに第2ヒートシンク2bの貫通孔2eが挿入固定される。
【0141】
以後、組み付けパッド210に第1ヒートシンク2a、半導体モジュール1及び第2ヒートシンク2bが組み付けられた状態で、組み付けパッド210は組み付けパッド移送装置200によりさらに1ステップ進んでリベットマシン600に移送された後、リベットマシン600によって第1ヒートシンク2aのリベット3はリベットマシン600のリベットピン610によって変形されながら第2ヒートシンク2b、半導体モジュール1及び第1ヒートシンク2aを堅く結合させる。
【0142】
以後、組み付けパッド210は組み付けパッド移送装置200によってさらに1ステップ進んでラベル付着器方向に移送された後、ラベルプリンタでプリントされたラベルは第1ヒートシンク2aに付着され、ラベルの付着された第1ヒートシンク2aはさらにビジュアル検査ユニット800に移送されて、リベット3が正確にリベッティングされたか否か及びラベルが指定の位置に付着されたか否かを検査後、不良が発生した半導体モジュール1は別途に具備された半導体製品収納用トレイに移送され、不良が発生しない半導体製品は半導体製品ローディング装置900に移送されて収納される。
【0143】
【発明の効果】
以上から説明した様に、半導体モジュールでの発生熱を放熱するヒートシンクの組み付け工程を自動化できると同時に、組み付け工程を連続的に進行することができる効果がある。
【0144】
また、半導体モジュールが収納されたトレイから半導体モジュールを共にアンローディングした後、中空のトレイをヒートシンクが組み付けられた半導体製品のローディング部分に移送することで、トレイのローディング/アンローディングを自動化できる等、多様な効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】半導体モジュールと半導体モジュールに結合されるヒートシンクの組み付け図である。
【図2】本発明による半導体モジュールにヒートシンクの組み付け設備のブロック図である。
【図3】図2をより具体的に示す斜視図である。
【図4】本発明による組み付けパッド移送装置の部分切開斜視図である。
【図5】本発明による組み付けパッドの背面図である。
【図6】本発明による組み付けパッド移送装置の作用を説明するための作用説明図である。
【図7】本発明によるトレイ移送ユニットの斜視図である。
【図8】本発明によるリベットマシンにより第1ヒートシンク、半導体モジュール及び第2ヒートシンクをリベットによって固定することを示す順序図である。
【図9】本発明によるリベットマシンにより第1ヒートシンク、半導体モジュール及び第2ヒートシンクをリベットによって固定することを示す順序図である。
【図10】本発明によるリベットマシンにより第1ヒートシンク、半導体モジュール及び第2ヒートシンクをリベットによって固定することを示す順序図である。
【図11】本発明によるリベットマシンにより第1ヒートシンク、半導体モジュール及び第2ヒートシンクをリベットによって固定することを示す順序図である。
【図12】本発明によるビジュアル検査ユニットの作用を説明するための斜視図である。
【符号の説明】
1 半導体モジュール
1a 印刷回路基板
1b 半導体チップ
2 ヒートシンク
3 リベット
100 ベース本体
200 組み付けパッド移送装置
300 第1ヒートシンク供給装置
400 半導体モジュールアンローディング装置
500 第2ヒートシンク供給装置
600 リベットマシン
700 ラベル付着器
800 ビジュアル検査ユニット
900 半導体製品ローディング装置
Claims (14)
- ベース本体と、
前記ベース本体の上面中央に設けられ、半導体モジュールにヒートシンクを組み付けるための組み付けパッドが複数個設けられた組み付けパッド移送装置と、
前記組み付けパッドにリベットの突出された第1ヒートシンクを安着させる第1ヒートシンク供給装置と、
前記第1ヒートシンクが安着した前記組み付けパッドの1ステップ移送後、前記リベットに半導体モジュールの結合孔を挿入させる半導体モジュールアンローディング装置と、
前記第1ヒートシンクと前記半導体モジュールとが互いに結合された状態で安着した前記組み付けパッドの1ステップ移送後、前記半導体モジュールの挿入された前記リベットに第2ヒートシンクが挿入されるようにする第2ヒートシンク供給装置と、
前記組み付けパッドが1ステップ移送された所に、前記第1ヒートシンクに設けられたリベットの端部を加工してリベッティングするリベット装置と、
前記リベット装置でリベッティングが終了され、前記第1及び第2ヒートシンクと結合された前記半導体製品をトレイにローディングする半導体製品ローディング装置と、
前記半導体モジュールアンローディング装置から前記半導体製品ローディング装置に前記トレイを移送するトレイ移送装置と、
を備えることを特徴とする、半導体モジュールにヒートシンクを組み付ける設備。 - 前記組み付けパッドの一側面には少なくとも1つ以上の第1ヒートシンクを収納するヒートシンク収納溝が形成され、その他側面には前記組み付けパッドを引っ張る引っ張り手段が形成されることを特徴とする請求項1に記載の半導体モジュールにヒートシンクを組み付ける設備。
- 前記組み付けパッド移送装置は、
前記組み付けパッドを循環移送するためのガイド溝であって、前記組み付けパッドの一側端部がスライド可能に挟持されるガイド溝が形成された第1ガイド側壁と、
前記組み付けパッドの一側端部と対向する他側端部がスライド可能に挟持される第2ガイド側壁と、
前記組み付けパッドと結合され、前記組み付けパッドを前記ガイド溝に沿って引っ張る移送シリンダとを有することを特徴とする、請求項2に記載の半導体モジュールにヒートシンクを組み付ける設備。 - 前記ベース本体の上面には前記第1ガイド側壁と前記第2ガイド側壁との間に前記移送シリンダが設けられ、
前記移送シリンダは、
水平変位を発生させるシリンダロッドと、前記シリンダロッドに変位を発生させるシリンダ本体とからなるシリンダと、
前記シリンダロッドに設けられ、前記引っ張り手段と嵌合する結合手段が設けられる移送ロッドと、
前記引っ張り手段と前記結合手段が結合及び結合解除されるように、一側端部は前記シリンダ本体に設けられ、他側端部は前記ベース本体の上面に設けられるアップダウンシリンダとを有することを特徴とする請求項3に記載の半導体モジュールにヒートシンクを組み付ける設備。 - 前記第1ヒートシンク供給装置及び前記第2ヒートシンク供給装置は、
前記ベース本体の内部に具備された収納空間にそれぞれの第1及び第2ヒートシンクが積層収納され、上面及び側面に開口が形成された状態で設けられるヒートシンクマガジン本体と、
前記ヒートシンクマガジン本体の内部に設けられ、前記第1及び第2ヒートシンクが積層されるヒートシンク持上げ板、前記ヒートシンク持上げ板と螺合されてヒートシンク持上げ板に変位を発生させる移送スクリュー、及び前記移送スクリューと結合されたモータを含むヒートシンクエレベータを含むヒートシンクマガジンと、
前記ベース本体の上面に設けられ、前記ヒートシンクマガジン本体に収納された前記第1及び第2ヒートシンクを前記組み付けパッドに移送するヒートシンク移送装置とを有することを特徴とする請求項1に記載の半導体モジュールにヒートシンクを組み付ける設備。 - 前記半導体モジュールアンローディング装置は、
前記ベース本体の内部に具備された収納空間に前記第1及び第2ヒートシンクと結合される半導体モジュールが収納されたトレイが積層されて上下運動するトレイローダと、
前記トレイローダに積層されたトレイから前記半導体モジュールの全てがアンローディングされた後、中空のトレイが積層されるように前記トレイローダと隣接して設けられる中空のトレイローダと、
前記トレイローダから前記中空のトレイローダに前記トレイを移送するトレイ移送ユニットとを有することを特徴とする請求項1に記載の半導体モジュールにヒートシンクを組み付ける設備。 - 前記トレイ移送ユニットは、
トレイの幅よりも大きな幅または小さな幅に離隔されるトレイ移送レール本体と、
前記ベース本体に一側端部が固定され、他側端部は前記トレイ移送レール本体に設けられ、前記トレイ移送レール本体の間隔を可変させる幅調節用シリンダとを有することを特徴とする請求項6に記載の半導体モジュールにヒートシンクを組み付ける設備。 - 前記リベット装置と隣接した所には、前記リベット装置でリベッティングされた前記第1及び第2ヒートシンクのいずれかにラベル付けを行うラベル付着装置が設けられることを特徴とする請求項1に記載の半導体モジュールにヒートシンクを組み付ける設備。
- 前記ラベル付着装置と隣接した所には、前記第1及び第2ヒートシンクのいずれかに付着されたラベルの付着品質と、加工されたリベットの品質を検査するビジュアル検査ユニットが設けられ、前記ビジュアル検査ユニットは前記組み付けパッド移送装置の内部及び外部に出入りし、前記組み付けパッド移送装置の内部では前記ラベルの付着品質を検査し、前記組み付けパッド移送装置の外部では前記リベットの品質を検査することを特徴とする請求項8に記載の半導体モジュールにヒートシンクを組み付ける設備。
- 前記ビジュアル検査ユニットと隣接した所に設けられた前記半導体製品ローディングユニットは、
前記ベース本体の内部に具備された収納空間に前記半導体モジュールアンローディングユニットで半導体モジュールの全てがアンローディングされた後、中空のトレイが積層されて上下運動するトレイローダと、
前記トレイローダに積層されたトレイのうち、半導体モジュールが収納されたトレイを移送されて積層されるように収納するトレイアンローダと、
前記トレイローダから前記トレイアンローダに前記トレイを移送するトレイ移送ユニットとを有することを特徴とする請求項9に記載の半導体モジュールにヒートシンクを組み付ける設備。 - 前記トレイ移送装置は、一方が前記半導体モジュールアンローディング装置のトレイアンローダに位置し、他方が前記半導体製品ローディング装置のトレイローダまで延びたベルトによって前記トレイを移送するベルト移送装置であることを特徴とする請求項1に記載の半導体モジュールにヒートシンクを組み付ける設備。
- リベットの設けられた第1ヒートシンクを組み付けパッド移送装置の組み付けパッドに安着させ、前記組み付けパッドを1ステップ移送させる段階と、
移送された前記組み付けパッドの前記第1ヒートシンクに設けられたリベットに、半導体モジュール収納用トレイから移送された半導体モジュールの貫通孔をアラインメントさせてから挿入し、前記組み付けパッドを1ステップ移送させる段階と、
移送された前記組み付けパッドの前記第1ヒートシンクに設けられたリベットに、第2ヒートシンクの貫通孔をアラインメントさせてから挿入し、前記組み付けパッドを1ステップ移送させる段階と、
移送された前記組み付けパッドの前記第1ヒートシンクに設けられたリベットを加圧し、リベットの端部を前記第2ヒートシンクと結合させ、ヒートシンクが組み付けられた半導体モジュールを製作した後、前記組み付けパッドを1ステップ移送させる段階と、
前記半導体モジュール収納用トレイから前記半導体モジュールの全てがアンローディングされた後、移送された中空のトレイに前記組み付けパッドに位置した前記半導体モジュールをアンローディングする段階と、
を含むことを特徴とする半導体モジュールにヒートシンクを組み付ける方法。 - 前記ヒートシンクが組み付けられた半導体製品を製作してから1ステップ移送させた後、前記半導体モジュールの収納された前記組み付けパッドの第1及び第2ヒートシンクのいずれかにはラベルが付着されてから前記ラベルの付着された組み付けパッドを1ステップ移送させる段階をさらに含むことを特徴とする請求項12に記載の半導体モジュールにヒートシンクを組み付ける方法。
- 前記ラベル付きの半導体製品は、ビジュアル検査ユニットによってビジュアル検査が行われた後、良品判定の前記半導体製品と不良品判定の前記半導体製品とに選別され、各々別に収納されることを特徴とする請求項13に記載の半導体製品にヒートシンクを組み付ける方法。
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