JP3998830B2 - 化学気相蒸着法による金属窒化膜形成方法及びこれを用いた半導体装置の金属コンタクト形成方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は半導体装置の製造方法に係り、詳細には金属ソースと窒素ソースを前駆体として使用する化学気相蒸着法(Chemical Vapor Deposition、以下CVDとする)による金属窒化膜形成方法及びこれを用いた半導体装置の金属コンタクト形成方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
半導体素子のコンタクト界面の安定化のためには、他の物質間の相互拡散や化学反応を抑制する役割をする障壁金属層が必須である。このような半導体素子の障壁金属層としては一般的にTiN、TaN、WNのような金属窒化物が広く利用されるが、この中でもTiNが代表的な物質である。
【0003】
しかし、TiNのような金属窒化膜をスパッタリング方法で製造する場合、段差塗布性が低くて順に高集積化する半導体素子に適用するには問題がある。一例として、金属配線間の連結のためのビアコンタクト(via contact)を形成した場合の断面を図9A及び図9Bに示す。図9A及び図9Bは各々単純なビアコンタクト及びアンカービアコンタクトを示すものであって、その形成過程は次の通りである。半導体基板20上にアルミニウムよりなる第1金属層30を形成し、その上にキャッピング膜としてTiN膜40をスパッタリング方法で形成した後、層間絶縁膜50、51を積層する。次いで、第1金属層30上の層間絶縁膜を蝕刻してコンタクトホールを形成し(図9Bの場合は湿式蝕刻でアンカーAを形成する過程が追加される)、接着層のTi及び障壁金属層のTiN膜60、61を蒸着した後、CVD法でコンタクトホールを満たすタングステン(W)プラグ70、71を形成する。以後、化学機械的研磨やエッチバックで上部分のタングステンを除去し、その上に第2金属層を積層することによって金属配線間連結を完成させる(この過程は示さなかった)。
【0004】
ここで、従来の方法は障壁金属層のTiN膜60、61を段差塗布性がよくないスパッタリング方法で蒸着するが、ビアの縦横比が大きくなるにつれてコンタクトホールの底面や隈、アンカーを形成する部位AではTiN膜の厚さが薄くなる。従って、その厚さが薄い部位でTiまたはAlが後続工程のタングステン蒸着時、タングステンソースガスであるWF6 の残留フッ素と結合して絶縁膜であるTiFX またはAlFX を形成し、コンタクト不良Xを招く。
【0005】
このようなコンタクト不良を除去する方法として、蒸着時間を増やしてTiN膜60、61の厚さを増加させる場合には、コンタクトホールの上方のみTiN膜の厚さが増加して、コンタクトホールの上方が狭くなったりふさがって以後タングステン蒸着時にボイドが発生する可能性が高い。従って、TiNを縦横比が大きいコンタクトに適用するためには、段差塗布特性が改善された工程を必要とする。従って、CVD法による金属窒化膜(以下、CVD−金属窒化膜という)の製造工程が次世代工程として研究されてきた。
【0006】
一般的に、CVD−金属窒化膜工程では塩素(Cl)を含む金属ソース(金属源)、例えばTiCl4 のような前駆体を使用する。TiCl4 を前駆体として利用するCVD−金属窒化膜は95%以上の高い段差塗布性を有し蒸着速度が速い長所があるが、Clが金属窒化膜内で不純物として残る問題がある。このように、金属窒化膜に不純物として残るClは、Alのような金属配線の腐食問題を起こしながら比抵抗を高くする。従って、金属窒化膜内に残るCl含量を減らし比抵抗を低くすることが要求されるが、このためには高い温度で蒸着を行なうべきである。即ち、TiCl4 のような金属ソースを用いたCVD−金属窒化膜工程で200μΩ−cm以下の比抵抗を得るためには最小限675℃の蒸着温度を必要とする。しかし、600℃以上の高い蒸着温度は下地膜が耐えられる熱的負担限界と熱応力限界を越える問題があり、特にSiコンタクトやAlが下地膜としてあるビアコンタクトに金属窒化膜を蒸着する時は、480℃以下の蒸着温度が要求されるため、高温のCVD−金属窒化膜工程が採用できない。
【0007】
低温蒸着CVD−金属窒化膜工程としてTiCl4 のような金属ソースにMH(methylhydrazine、(CH3 )HNNH2 )を添加する方法があるが、この場合段差塗布特性が70%以下に落ちる短所がある。
【0008】
低温蒸着が可能な他の方法としては、TDEAT(tetrakis diethylamino Ti、Ti(N(CH2 CH3 )2 )4 )、TDMAT(tetrakis dimethylamino Ti、Ti(N(CH3 )2 )4 )の有機金属前駆体を使用するMOCVD−金属窒化膜形成方法がある。MOCVD−金属窒化膜は、Clによる問題点が発生しなく低温蒸着が可能という長所がある。しかし、MOCVD−金属窒化膜はその膜内に不純物として炭素が多量存在して高い比抵抗を示し、段差塗布性が70%程度でよくない短所がある。
【0009】
一方、Clによる問題点を克服するために蒸着でない他の方法としては、原子層成長法(atomic layer epitaxy、以下ALEという)による金属窒化膜の形成方法が試みられている。しかし、ALEは化学的吸着だけを利用して原子層単位で成長させるため、大量生産が要求される半導体素子の製造工程に適用するには蒸着速度(0.25Å/cycle 以下)があまりにも遅いという短所がある。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は前記のような短所を勘案して案出されたものであって、低温で蒸着速度が速いながら優れた段差塗布特性と低い不純物濃度及び低い比抵抗値を満足する金属窒化膜を形成する方法を提供することにその目的がある。
【0011】
本発明の他の目的は、上記の金属窒化膜形成方法を半導体装置の金属コンタクトへ適用して、低温で蒸着速度が速いながら優れた段差塗布特性と低い不純物濃度及び低い比抵抗値を満足する障壁金属層を有する金属コンタクト形成方法を提供することにある。
【0012】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するための本発明の金属窒化膜形成方法は、金属ソース(金属源)と窒素ソース(窒素源)を前駆体として使用する化学気相蒸着法による金属窒化膜形成方法であって、次のようになされることを特徴とする。まず、半導体基板を蒸着室内に装入し、金属ソース、ここで、前記金属ソースはTaBr 5 、TaCl 5 、TaF 5 、TaI 5 及び(C 5 (CH 3 ) 5 )TaCl 4 よりなる群から選ばれた少なくとも一つである、を蒸着室内に流して前記基板に金属ソースの第1部分を化学的に吸着させ、前記基板に金属ソースの第2部分を物理的に吸着させる。所定時間後、金属ソースの流入を遮断し、パージガスを蒸着室内に流入して蒸着室内に残留する金属ソースを除去する。所定時間後、パージガスの流入を遮断し、窒素ソースを蒸着室内に流して前記半導体基板上に化学的および物理的に吸着された金属ソースと反応させる、ここで、前記窒素ソースはNH 3 としてタンタル窒化膜を形成する。再び、所定時間後、窒素ソースの流入を遮断しパージガスを蒸着室内に流して、蒸着室内に残留する窒素ソースを除去して半導体基板上に金属窒化膜を形成する。
【0013】
本発明の金属窒化膜形成方法は、望みの厚さの金属窒化膜を得るまで上記の金属ソース→パージガス→窒素ソース→パージガスの順に流すガス流入サイクルを反復できる。
【0014】
ここで、金属ソースをTaBr5 (tantalum bromide)、TaCl5 (tantalum chloride)、TaF5 (tantalum fluoride)、TaI5 (tantalum iodide)または(C5 (CH3 )5 )TaCl4 (pentamethylcyclopentadienyltantalum tetrachloride)とし、窒素ソースをNH3 としてタンタル窒化膜を形成させうる。
【0015】
また、パージガスはArまたはN2 の不活性気体を使うことが望ましい。
【0016】
蒸着室内に流入する金属ソース、窒素ソース、パージガスの流量は、各々1〜5sccm、5〜200sccm、10〜200sccm程にすることが望ましいし、各ガスの流入時間は1〜10秒程にすることが望ましい。
【0017】
また、蒸着室内の圧力を一定に維持するために、Ar、HeまたはN2 の雰囲気ガスを蒸着室内に続けて流すこともできる。
【0018】
蒸着室圧力を133〜2660Pa(1〜20torr)、蒸着温度を400〜500℃とする。
【0019】
上記の他の目的を達成するための本発明の金属コンタクト形成方法は、半導体基板上に第1金属層、層間絶縁膜、コンタクトホール、障壁金属層、金属プラグ、第2金属層を順に形成する金属コンタクト形成方法であって、特に障壁金属層を形成する過程が次のようなことを特徴とする。即ち、層間絶縁膜に第1金属層を露出するコンタクトホールが形成された半導体基板に対し、金属ソースを流して金属ソースを吸着させる、ここで、前記金属ソースはTaBr 5 、TaCl 5 、TaF 5 、TaI 5 及び(C 5 (CH 3 ) 5 )TaCl 4 よりなる群から選ばれた少なくとも一つである。所定時間後、金属ソースの流入を遮断しパージガスを流して蒸着室内に残留する金属ソースを除去する。所定時間後、パージガスの流入を遮断し、窒素ソースを蒸着室内に流して前記半導体基板上に吸着した金属ソースと反応させて露出した第1金属層及びコンタクトホール上に障壁金属層の金属窒化膜を形成する、ここで、前記窒素ソースはNH 3 として前記障壁金属層としてタンタル窒化膜を形成する。再び、所定時間後、窒素ソースの流入を遮断し、パージガスを蒸着室内に流して、蒸着室内に残留する窒素ソースを除去する。
【0020】
以上のように、障壁金属層形成過程は所望の厚さの障壁金属層を得るまで繰り返して遂行できる。
【0021】
ここで、金属ソースはTaBr5 、TaCl5 、TaF5 、TaI5 または(C5 (CH3 )5 )TaCl4 であり、窒素ソースをNH3 として障壁金属層でTaN膜を形成させる。
【0022】
また、パージガスはArまたはN2 の不活性気体を使うことが望ましい。
【0023】
蒸着室内に流す金属ソース、窒素ソース及びパージガスの流量及び流入時間は、前述した本発明の金属窒化膜形成方法と同じ範囲とする。
【0024】
また、蒸着室内の圧力を一定に維持するために、Ar、HeまたはN2 の雰囲気ガスを蒸着室内に連続して流すこともできる。
【0025】
一方、障壁金属層の形成時、蒸着温度は400〜500℃とすることが望ましい。
【0026】
このように構成された本発明によると、段差塗布特性が優秀ながら200μΩ−cm以下の低い比抵抗と低いCl含量とを有する金属窒化膜が得られる。また、500℃以下の低温でCVD−金属窒化膜を形成しながら蒸着速度が概略20Å/cycle で、成長速度が0.25Å/cycle のALEによる金属窒化膜形成方法に比べて蒸着速度が速い。
【0027】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面を参照して本発明の望ましい実施態様を詳細に説明する。
【0028】
図1は本発明の形成方法によって金属窒化膜を蒸着するためのCVD装置を示す概略図である。
【0029】
図示したように、蒸着室100には反応気体を蒸着室100内に流入させるために複数のガス管114a、114bが設けられるが、ガス管の数は蒸着室100内に流入させる金属ソースと窒素ソースの数、即ち反応気体の数に依存し、本発明の実施態様では2個のガス管114a、114bが設けられる。
【0030】
この2個のガス管114a、114bはその片側の端が各々金属ソースの供給源(図示せず)と窒素ソースの供給源(図示せず)に連結されるが、半導体基板104上にTiN膜を蒸着する場合には、金属ソースとしてはTiCl4 を使用し窒素ソースとしてはNH3 を使用する。一方、ガス管114a、114bの他側の端は蒸着室100内に載置した半導体基板104と所定距離(図1のD)程離れているシャワーヘッド110に連結される。従って、ガス供給源(図示せず)から供給される反応気体は、ガス管114aとガス管114bの端に連結されたシャワーヘッド110を通じて蒸着室100に流れ、お互い反応を起こすことによって半導体基板104上に膜を形成する。
【0031】
シャワーヘッド110は反応気体が混合されない状態で蒸着室100内に流れるようにする多端シャワーヘッドが望ましいし、本実施態様では2端シャワーヘッドを使用する。また、反応後の残留ガスを排気させるためのパージガスを蒸着室100内に供給するために、ガス管114a、114bにはパージガス供給ライン114c、114dを取り付けることが望ましい。
【0032】
各ガス供給ラインには弁112が設けられて、弁112のオン/オフによって蒸着室100内にパージガスや反応ガスを流入させたりあるいは遮断できる。弁112は、例えばニューマティック弁のように、あらかじめ一定の周期で弁のオン/オフを制御できるようにプログラムされた制御部により調整されることが望ましい。参照符号102は半導体基板104を加熱するためのヒーターである。
【0033】
以下、図1と図2を参照して、上記のように構成されたCVD装置の蒸着室内に載置した半導体基板に参考例によってTiNのような金属窒化物を蒸着する方法を詳細に説明する。
【0034】
まず、蒸着室100内に半導体基板104を装入する。この半導体基板104は、トランジスタのような個別素子がその表面に既に形成されている可能性もある。(図1参照)
そして、金属ソース供給ライン114aを通じてTiCl4 のような金属ソースを蒸着室100内にts時間流す。一方、円滑なガスの流れのためにArやN2 のような運搬ガスを金属ソースと共に混合して蒸着室100内に流すことができる。この時、金属ソースを流入させるためのガス供給ライン114aの弁外の他の弁はオフ状態である。従って、蒸着室100内にはTiCl4 のような金属ソースだけを流す。この際、流入した金属ソースの一部分は基板104表面に化学的及び物理的に吸着し、残りは蒸着室100内に残存する。このように、反応ガスを同時に蒸着室100内に流入させることなく一種類のガスだけを一定時間蒸着室100内に流入させる方法を、以下ガスパルスと称する(図2のタイミング図参照)。
【0035】
蒸着室100内に金属ソースの流入が完了すると、金属ソースを流入させるためのガス供給ライン114aの弁を閉じた後、パージガス供給ライン114cの弁を開いてArやN2 のようなパージガスをtp時間蒸着室100内に流して、シャワーヘッド110及び蒸着室100内に残留するガス、例えばTiCl4 を排気させる(図2のパージガスパルス段階)。この時、パージガスの流量及び蒸着室の圧力は半導体基板に化学的物理的に吸着した金属ソースが分離されて排気されないように適切に調節して、蒸着室内に残留したソースガスだけを排気させる。
【0036】
そして、パージガス供給ライン114cの弁を閉じた後、窒素ソース供給ライン114bの弁を開いてNH3 のような窒素ソースをtr時間蒸着室100内に流して、基板104上に化学的物理的に吸着されているTiCl4 のような金属ソースと反応させることによって半導体基板104上にTiNのような金属窒化物を形成させる。即ち、NH3 のような窒素ソースが蒸着室100内に流入する前にパージガスパルス段階を経ながら、蒸着室100内に残存するTiCl4 のような金属ソースはポンプ(図1参照)により予め排気される。従って、NH3 のような窒素ソースは、半導体基板104を除いた蒸着室100内ではTiCl4 のような金属ソースと反応しない。従って、TiCl4 とNH3 が吸着している半導体基板104でだけTiNのような金属窒化物が形成する(図2のNH3 パルス段階)。
【0037】
この際、円滑なガスの流れのためにArやN2 のような運搬ガスをNH3 のような窒素ソースと共に混合して蒸着室100内に流すことができる。
【0038】
一方、従来のALEによる金属窒化膜形成方法は、基板上に物理的に吸着したソースをパージさせて化学的に吸着されたソースだけを残す反面、本発明の金属窒化膜形成方法は、基板上に化学的に吸着されたソースだけでなく物理的に吸着されたソースまで残して反応させる点から根本的に違う。
【0039】
次に、既に説明したパージガスパルス段階と同じ二番目のパージガスパルス段階を経ながら、金属ソースと反応が完了して蒸着室100内に残留する剰余分の窒素ソースを排気する(図2のパージガスパルス段階)。
【0040】
一方、蒸着室100内の圧力を調節するために前記各段階を施す間、ArやN2 のような雰囲気ガスを蒸着室100内に連続的に供給することが望ましい。
【0041】
このように、参考例によるガスパルスを用いた金属窒化膜形成方法は、TiCl パルス段階→パージガスパルス段階→NH3パルス段階→パージガスパルス段階よりなる一つのサイクルを経ながら一定の厚さのTiNのような金属窒化膜を蒸着できる。蒸着速度は概略20Å/cycleであって、このサイクルを反復すると薄膜の厚さが比例的に増加するため、サイクルの反復を通じて所望の厚さの薄膜を半導体基板104に蒸着できる。この際、一サイクル当りに蒸着する金属窒化膜の厚さは、蒸着室100内に流入する金属ソースの流量と窒素ソースの流量及びガスパルス時間、パージガスの流量及びパージ時間によって決定できる。
【0042】
以下、参考例によってTiN膜を形成する例を記述する。
【0043】
<参考例1>
ヒーター(図1の102)を作動させて半導体基板104の温度を500℃以下の低い温度に維持しながら、半導体基板104上に次のような反応条件下で上記のガスパルス段階により構成されたサイクルによってTiN膜を蒸着する。
【0044】
蒸着条件
目標物質: TiN
雰囲気ガス: Ar
蒸着室内の圧力:133〜2660Pa(1〜20Torr)
金属ソース、窒素ソース:TiCl4 、NH3
TiCl4 流量、TiCl4 パルス時間(ts):1〜5sccm、5sec
NH3 流量、NH3 パルス時間(tr):5〜30sccm、5sec
パージガス、パージガス流量、パージ時間(tp):Ar、10〜100sccm、10sec
運搬ガス、運搬ガス流量:Ar、10〜100sccm
1サイクル当りの時間(tt):30sec
このような条件で半導体基板104に蒸着したTiN薄膜の状態について、RBS(Rutherford Back Scattering)法で確認した結果を図3に示す。図3で横軸のチャンネルはMCA(Mutilple Channel Analyzer)の各々のチャンネルを示し、エネルギーのEとはE[eV]=4.05×チャンネル+59.4の関係にある。また、図3の縦軸はMCAにより検出された元素の規格化された収率を示す。
【0045】
上のような条件で半導体基板104に蒸着して形成されたTiN膜はTiN特有の金色を帯びているし、図3に示すようにTi:N=1:1の完壁な組成を有する。TiN薄膜内に含まれているClは、図3に示されるように、RBS法による検出限界以下であって、TiN薄膜内に含まれる元素全体の0.3%以下である。また、上のような条件で半導体基板104に蒸着して形成されたTiN膜の比抵抗は、その測定値が130μΩ−cm程度の低い値を有していた。一方、数回の実験によると、このような優れた薄膜特性を備えるためには1サイクル当り蒸着したTiN薄膜の厚さが20Å以下にすべきであることを確認した。
【0046】
一方、図4及び図5は各々窒素ソースNH3の流量と蒸着室圧力を変化させながら、参考例の方法によって蒸着するTiN膜の比抵抗及び蒸着速度を測定した結果を示す。図4及び図5に示すように、蒸着速度はNH3の流量及び蒸着室圧力の増加によって増加するが、それにより比抵抗も増加する。従って、金属窒化膜の応用によって要求される厚さ、蒸着速度及び比抵抗を全て考えて蒸着条件を設定することが望ましい。
【0047】
<参考例2>
次の表1のような4つの蒸着条件下でサイクル当り蒸着速度、サイクル数の増加に従って蒸着されるTiN膜の厚さと蒸着速度、蒸着温度の変化による比抵抗を測定した。ここで、金属ソースはTiCl4であり、窒素ソースはNH3、パージガスはArを使用した。
【0048】
【表1】
【0049】
上の各蒸着条件別にサイクル当り蒸着速度は概略次と同じであった。
【0050】
TiN 00:20Å/cycle (一サイクルが20秒であるので60Å/min)
TiN 01:2Å/cycle (一サイクルが12秒であるので10Å/min)
TiN 02:3.5Å/cycle (一サイクルが8秒であるので26.3Å/min)
TiN 03:6Å/cycle (一サイクルが8秒であるので45Å/min)
また、図6及び図7は各々サイクル数の増加に伴って蒸着される厚さ及び蒸着速度を示すことである。単に、ここで蒸着温度は500℃とした。図面からわかるように、サイクル数が増加するほど蒸着速度は緩慢に増加し(図7)、蒸着される厚さはそれに比例して増加する(図6)。従って、一定の蒸着条件でサイクル数を調節して蒸着するTiN膜の厚さが調節できる。
【0051】
そして、図8は上の4つの蒸着条件別に蒸着温度に従うTiN膜の比抵抗を測定した結果を示すグラフである。これより、蒸着温度が増加するにつれて比抵抗は減少し、特に蒸着速度が高い蒸着条件TiN 00で比抵抗が急激に減少することが分かる。また、概略500℃で4つの全ての蒸着条件から200μΩ−cm以下の比抵抗が得られることが分かる。
【0052】
次に、参考例の金属窒化膜形成方法をビアコンタクトに適用した例を、添付した図10乃至図21を参照して詳細に説明する。ここで、各図において同一符号は同一部材を示す。
【0053】
まず、図10のように半導体基板200上にAlよりなる第1金属層210を形成し、その上にキャッピング膜としてTiN膜220を蒸着する。このTiN膜220はスパッタリング方法で蒸着できる。次いで、層間絶縁膜230を積層しビアを形成する部位を蝕刻すると図11のようになる。ここに障壁金属層のTiN膜を蒸着する前に、TiN膜の接着特性を良くするためにTi膜を薄く形成する。このTi膜もスパッタリング方法で形成できる。
【0054】
次いで、前述した参考例の金属窒化膜形成方法によって障壁金属層のTiN膜を蒸着すると図12のようになる。即ち、金属ソースとしてはTiCl4を使用し、窒素ソースはNH3を使用して、前述した図1のような蒸着装置内で、金属ソース→パージガス→窒素ソース→パージガスの順で流して所望の厚さを得るまで反復する。金属ソース、窒素ソース及びパージガスの流量は各々1〜5sccm、5〜200sccm及び10〜200sccmとし、各々の流入時間は1〜10秒程度とする。蒸着温度は480℃以下とし、蒸着室圧力は133〜2660Pa(1〜20torr)とし、必要であればAr、HeまたはN2の雰囲気ガス、Ar、N2の運搬ガスを使用できる。このような蒸着条件は、蒸着装置、蒸着速度、蒸着されるTiN膜の厚さ及び比抵抗を考えて適切に調節する。
【0055】
次いで、通常の方法でタングステン(W)よりなる金属プラグ250を形成し(図13)、化学機械的研磨やエッチバックで層間絶縁膜235の上面に蒸着した金属を除去した(図14)後、その上に第2金属層260を形成すると(図15)金属層間連結がなされる。
【0056】
一方、図16乃至図21はアンカービアコンタクトを形成する過程を示す断面図であって、前記の図10乃至図15の過程と基本的に同じ過程を経るが、図17からわかるように、接触面積を広めて抵抗を低下させるためにコンタクトホールの下部にアンカーAを形成する点が違う。ここで、各図において同一符号は同一部材を示す。アンカーAは、図16のように、コンタクトホールを形成した後、層間絶縁膜335を湿式蝕刻することによって形成される。その外の過程は、前記の図10乃至図15の過程と同一なので詳細な説明は省略する。
【0057】
このように、参考例による金属窒化膜形成方法をビアコンタクトに適用すると、低温で段差塗布性の良い障壁金属層が得られ、図9A及び図9Bに示すTiFXやAlFXのようなコンタクト不良Xを防止できる。
【0058】
<参考例3>
次のように、幅が違うコンタクトホールにスパッタリングによるTi膜を100Åの厚さで蒸着した後、障壁金属層として参考例の方法によるTiN膜及び従来の方法であるスパッタリングによるコリメーション(COL)されたTiN膜を相異なる厚さで蒸着し、CVD−Wでプラグを形成した場合のビア抵抗を測定した。単に、参考例によるTiN膜の蒸着条件は、450℃の蒸着温度とその他に前述した参考例2のTiN 00の蒸着条件とした。
【0059】
ビア幅:0.24、0.32、0.39μm(ビアの深さ:0.9μm)
TiN膜の厚さ:100、200、400、600Å(以上参考例の方法により蒸着)、700Å(コリメーションTiN)
測定結果、図22に示すように全体的にビア幅が増加するほど抵抗が減少し、参考例によるTiN膜の厚さが小さいほど抵抗が小さいことがわかる。比較対象のコリメーションTiN膜と比較すると、100Å厚さの参考例によるTiN膜の抵抗が類似に現れた。特に、ビア幅が0.39μmの時は上の5つのTiN膜のビア抵抗が全て類似に現れた。一方、TiN膜は参考例2の結果と図8からわかるように、サイクル当り蒸着速度が速くて(20Å/cycle)比抵抗が大きい(450℃で300μΩ−cm)蒸着条件での形成を考える時、これより蒸着速度がさらに遅くて比抵抗が小さな条件で形成するならば、ビア抵抗は大きく改善できることが分かる。
【0060】
また、図23はビア幅が0.39μmの時の各TiN膜のビア抵抗の分布を示すグラフであって、コリメーションTiN膜と参考例によるTiN膜全てが1.0Ωを前後して大きな差なしに等しく分布することが分かる。
【0061】
以上、TiCl4及びNH3を前駆体として金属窒化膜であるTiN膜を形成することについて説明したが、参考例は前記のTiCl4だけでなくTiCl3、TiI4、TiBr2、TiF4、(C5H5)2TiCl2、((CH3)5C5)2TiCl2、C5H5TiCl3、C9H10BCl3N6Ti、C9H7TiCl3、(C5(CH3)5)TiCl3、TiCl4(NH3)2、(CH3)5C5Ti(CH3)3、TDEATまたはTDMATを前駆体として使用したTiN膜、そしてTaBr5、TaCl5、TaF5、TaI5または(C5(CH3)5)TaCl4を前駆体として用いたTaN膜の金属窒化膜及びさらにCVD方法を使用して蒸着される大部分の物質層に適用しうる。
【0062】
単に、TDEATやTDMATを前駆体として用いてTiN膜を形成する時は、他の前駆体を用いた場合とは違い、蒸着温度と圧力を250〜400℃、13.3〜1330Pa(0.1〜10torr)程度とすることが望ましいし、上に列挙したTaN膜を形成するための前駆体は全て固体であるため、ソースガスを形成する時、固体用バブラー(solid bubbler)を使用すべき点が違う。
【0063】
【発明の効果】
以上で調べたように、本発明による金属窒化膜形成方法によると、段差塗布性に優れながら200μΩ−cm以下の低い比抵抗と低いCl含量を有する金属窒化膜が得られる。そして、500℃以下の低温で金属窒化膜を形成することが可能であって、蒸着速度が概略20Å/cycle で成長速度が0.25Å/cycle のALEによる金属窒化膜形成方法に比べて蒸着速度がはるかに速い。
【0064】
従って、従来の650℃以上の高温で蒸着した金属窒化膜の問題点である、金属窒化膜に不純物として残っているClによる金属配線の腐食問題と高い比抵抗の問題を解決できるので、縦横比が大きくて低温が要求されるビアコンタクトに適用でき、ALEによる金属窒化膜形成方法に比べて蒸着速度が速いため、大量生産が要求される半導体素子の製造工程に適している。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明によって半導体基板上に金属窒化膜を蒸着するための化学気相蒸着装置の一例を示す概略図である。
【図2】 参考例によって半導体基板上に金属窒化膜を蒸着するためのガス流入タイミングの一例を示すタイミング図である。
【図3】 参考例によって蒸着された金属窒化膜のRBS結果の一例を示すグラフである。
【図4】 参考例によって金属窒化膜を蒸着する時、NH3の流量に対する金属窒化膜の比抵抗及び蒸着速度の関係の一例を示すグラフである。
【図5】 参考例によって金属窒化膜を蒸着する時、蒸着室圧力に対する金属窒化膜の比抵抗及び蒸着速度の関係の一例を示すグラフである。
【図6】 参考例によって金属窒化膜を蒸着する時、反復するサイクル数に対する金属窒化膜の蒸着厚さの関係の一例を示すグラフである。
【図7】 参考例によって金属窒化膜を蒸着する時、反復するサイクル数に対する金属窒化膜の蒸着速度の関係の一例を示すグラフである。
【図8】 参考例によって金属窒化膜を蒸着する時、蒸着温度に対する金属窒化膜の比抵抗の関係の一例を示すグラフである。
【図9】 図9Aおよび図9Bは、従来の方法によって形成されたビアコンタクトを示す断面図である。
【図10】 参考例の金属窒化膜形成方法を用いたビアコンタクト形成過程の一例を示す断面図である。
【図11】 参考例の金属窒化膜形成方法を用いたビアコンタクト形成過程の一例を示す断面図である。
【図12】 参考例の金属窒化膜形成方法を用いたビアコンタクト形成過程の一例を示す断面図である。
【図13】 参考例の金属窒化膜形成方法を用いたビアコンタクト形成過程の一例を示す断面図である。
【図14】 参考例の金属窒化膜形成方法を用いたビアコンタクト形成過程の一例を示す断面図である。
【図15】 参考例の金属窒化膜形成方法を用いたビアコンタクト形成過程の一例を示す断面図である。
【図16】 参考例の金属窒化膜形成方法を用いたビアコンタクト形成過程の他の例の一例を示す断面図である。
【図17】 参考例の金属窒化膜形成方法を用いたビアコンタクト形成過程の他の例の一例を示す断面図である。
【図18】 参考例の金属窒化膜形成方法を用いたビアコンタクト形成過程の他の例の一例を示す断面図である。
【図19】 参考例の金属窒化膜形成方法を用いたビアコンタクト形成過程の他の例の一例を示す断面図である。
【図20】 参考例の金属窒化膜形成方法を用いたビアコンタクト形成過程の他の例の一例を示す断面図である。
【図21】 参考例の金属窒化膜形成方法を用いたビアコンタクト形成過程の他の例の一例を示す断面図である。
【図22】 参考例及び従来の方法によって障壁金属層を形成した場合のビア幅に対するビア抵抗の関係の一例を示すグラフである。
【図23】 参考例及び従来の方法によって障壁金属層を形成した場合のビア抵抗の分布の一例を示すグラフである。
【符号の説明】
100…蒸着室
102…ヒーター
104…半導体基板
110…シャワーヘッド
112…弁
114…ガス管
200…半導体基板
210…第1金属層
220…TiN膜
230…層間絶縁膜
235…層間絶縁膜
240…TiN膜
250…金属プラグ
260…第2金属層
Claims (17)
- 金属ソースと窒素ソースを前駆体として使用する化学気相蒸着法による金属窒化膜形成方法において、
(a)半導体基板を蒸着室内に装入する段階と、
(b)前記金属ソースを蒸着室内に流す、ここで、前記金属ソースはTaBr 5 、TaCl 5 、TaF 5 、TaI 5 及び(C 5 (CH 3 ) 5 )TaCl 4 よりなる群から選ばれた少なくとも一つである、段階と、
(c)前記基板に前記金属ソースの第1部分を化学的に吸着させ、前記基板に前記金属ソースの第2部分を物理的に吸着させる段階と、
(d)前記金属ソースの流入を遮断し、パージガスを蒸着室内に流して蒸着室内に残留する前記金属ソースを除去する段階と、
(e)前記パージガスの流入を遮断し、窒素ソースを蒸着室内に流して前記半導体基板上に化学的および物理的に吸着した前記金属ソースと反応させて前記基板上に金属窒化膜を形成する、ここで、前記窒素ソースはNH 3 としてタンタル窒化膜を形成する、段階と、
(f)前記窒素ソースの流入を遮断しパージガスを蒸着室内に流して蒸着室内に残留する前記窒素ソースを除去する段階とを具備して、前記半導体基板上に金属窒化膜を形成することを特徴とする金属窒化膜形成方法。 - 前記(b)〜(f)段階の蒸着温度は400〜500℃であることを特徴とする請求項1に記載の金属窒化膜形成方法。
- 前記(b)〜(f)段階の蒸着室内の圧力は133〜2660Paであることを特徴とする請求項1に記載の金属窒化膜形成方法。
- 前記パージガスはArまたはN2 であることを特徴とする請求項1に記載の金属窒化膜形成方法。
- 前記蒸着室内に流入する前記金属ソースは1〜5sccmの流量で1〜10秒間流し、前記窒素ソースは5〜200sccmの流量で1〜10秒間流し、前記パージガスは10〜200sccmの流量で1〜10秒間流すことを特徴とする請求項1に記載の金属窒化膜形成方法。
- 前記蒸着室内の圧力を一定に維持するために、前記(a)〜(f)段階の間雰囲気ガスを前記蒸着室内に続けて流すことを特徴とする請求項1に記載の金属窒化膜形成方法。
- 前記雰囲気ガスはAr、He及びN2 よりなる群から選ばれた少なくとも一つであることを特徴とする請求項6に記載の金属窒化膜形成方法。
- 前記金属ソースまたは窒素ソースが前記蒸着室内に円滑に流れるようにするため、前記金属ソースまたは窒素ソースに運搬ガスを混合して前記蒸着室内に流すことを特徴とする請求項1に記載の金属窒化膜形成方法。
- 前記運搬ガスはArまたはN2であることを特徴とする請求項8に記載の金属窒化膜形成方法。
- 前記(b)〜(f)段階を反復して、前記半導体基板上に蒸着される金属窒化膜の厚さを調節することを特徴とする請求項1に記載の金属窒化膜形成方法。
- (a)半導体基板上に第1金属層を形成する段階と、
(b)前記第1金属層上に層間絶縁膜を積層する段階と、
(c)前記第1金属層を露出するように層間絶縁膜を蝕刻してコンタクトホールを形成する段階と、
(d)蒸着室内に金属ソースを流して前記(c)段階の結果物に金属ソースを吸着させる、ここで、前記金属ソースはTaBr 5 、TaCl 5 、TaF 5 、TaI 5 及び(C 5 (CH 3 ) 5 )TaCl 4 よりなる群から選ばれた少なくとも一つである、段階と、
(e)前記基板に前記金属ソースの第1部分を化学的に吸着させ、前記基板に前記金属ソースの第2部分を物理的に吸着させる段階と、
(f)前記金属ソースの流入を遮断しパージガスを流して蒸着室内に残留する前記金属ソースを除去する段階と、
(g)前記パージガスの流入を遮断し窒素ソースを蒸着室内に流して前記(d)段階の結果物上に化学的および物理的に吸着された前記金属ソースと反応させて、前記露出した第1金属層及びコンタクトホール上に障壁金属層の金属窒化膜を形成する、ここで、前記窒素ソースはNH 3 として前記障壁金属層としてタンタル窒化膜を形成する、段階と、
(h)前記窒素ソースの流入を遮断しパージガスを蒸着室内に流して蒸着室内に残留する前記窒素ソースを除去する段階と、
(i)前記(h)段階の結果物上に金属プラグを形成する段階と、
(j)前記(i)段階の結果物上に第2金属層を形成する段階とを含むことを特徴とする半導体装置の金属コンタクト形成方法。 - 前記(d)〜(h)段階の蒸着温度は400〜500℃であり、蒸着室内の圧力は133〜2660Paであることを特徴とする請求項11に記載の半導体装置の金属コンタクト形成方法。
- 前記パージガスはArまたはN2 であることを特徴とする請求項11に記載の半導体装置の金属コンタクト形成方法。
- 前記蒸着室内に流入する前記金属ソースは1〜5sccmの流量で1〜10秒間流し、前記窒素ソースは5〜200sccmの流量で1〜10秒間流し、前記パージガスは10〜200sccmの流量で1〜10秒間流すことを特徴とする請求項11に記載の半導体装置の金属コンタクト形成方法。
- 前記(d)〜(h)段階の間前記蒸着室内の圧力を一定に維持するために、Ar、He及びN2 よりなる群から選ばれた少なくとも一つの雰囲気ガスを前記蒸着室内に続けて流すことを特徴とする請求項11に記載の半導体装置の金属コンタクト形成方法。
- 前記(d)〜(h)段階を反復して、前記第1金属層及びコンタクトホール上に蒸着する障壁金属層の厚さを調節することを特徴とする請求項11に記載の半導体装置の金属コンタクト形成方法。
- 前記第1金属層はAlであることを特徴とする請求項11に記載の半導体装置の金属コンタクト形成方法。
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