JP5073696B2 - 処理装置 - Google Patents
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Description
一方、比較的低い温度において基板上で原料ガスの反応を促進するために、原料ガスを励起して励起種を用いる技術がある。励起種を生成するには様々な方法があるが、原料ガスをプラズマ化する方法が一般的である。
TiCl4供給量: 30sccm
NH3供給量: 200sccm
RFパワー: 200W
N2キャリアガス供給量: 200sccm
原料ガス排気方法: 真空排気
また、成長時間シーケンスを以下に示す。
真空引き時間: 5秒
NH3供給時間: 5秒
真空時間: 5秒
成長サイクル数: 200サイクル
以上のような生成条件と成長時間シーケンスによりTiN膜を形成した結果、膜厚が9nmで比抵抗が180μΩcmのTiN膜が得られた。このTiN膜は膜厚が均一で、良好なステップカバレージを有し、不純物(F,Cl等)の含有量が非常に少なかった。
4 載置台
6 シャワーヘッド
8 ターボモレキュラポンプ
10 ドライポンプ
12 励起装置
13 電磁コイル
14 励起容器
16 第1の原料ガス供給装置
18 第2の原料ガス供給装置
20 供給ライン
22 イオンフィルタ
30 回転式三方弁
32 シリンダ
34 回転弁
34A 環状通路
34B 中央通路
36 モータ機構
38 プラズマ供給通路
40 処理ガス供給通路
42 プラズマ排気通路
Claims (2)
- 被処理基体を処理する処理容器と、
第1の原料ガスを前記処理容器に供給する第1の原料ガス供給装置と、
第2の原料ガスを前記処理容器に供給する第2の原料ガス供給装置と、
前記第1の原料ガス供給装置と前記第2の原料ガス供給装置に繋がり、前記第1の原料ガスと前記第2の原料ガスを前記処理容器に独立して供給する切り替え機構と
を備え、
前記切り替え機構は、シリンダと、前記シリンダの中で回転可能に設けられた回転弁と、前記回転弁を回転駆動するモータ機構とを有し、
前記モータ機構は、前記回転弁を連続して回転することにより、前記第1の原料ガスと前記第2の原料ガスを前記処理容器に間欠的に供給し、
前記第1の原料ガス供給装置と前記切り替え機構の間に、前記第1の原料ガスを励起して励起種を生成する励起装置を備え、
該励起装置の励起容器は窒化物による材料で形成されていることを特徴とする処理装置。 - 請求項1記載の処理装置であって、
前記励起装置は高周波プラズマ発生装置であることを特徴とする処理装置。
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