JP3953677B2 - ガスセンサ - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、水素含有成分ガスの濃度測定に用いられるガスセンサに関し、特に燃料電池において燃料ガス中のガス成分、特に水素ガス濃度の測定用に好適な水素ガスセンサに関する。
【0002】
【従来の技術】
地球規模の環境悪化が問題視される中、高効率で、クリーンな動力源として燃料電池の研究が近年盛んに行われている。その中で、低温作動、高出力密度等の利点により、自動車用として固体高分子型燃料電池(PEFC)が期待されている。この場合、燃料ガスとして、メタノール等の改質ガスを使用することが有望であるが、より効率等を向上させるために、改質ガス中の水素ガス濃度などを直接検知できるガスセンサが必要になってくる。このようなガスセンサは、水素リッチな雰囲気での測定に用いられるため、作動温度が低いこと(約100℃以下)が必要である。
【0003】
このような低温作動型水素ガスセンサとして、特公平7−31153号公報には、絶縁基材上に作用電極、対向電極及び参照電極を設置し、これら三つの電極をガス透過性プロトン伝導膜により一体的に覆った構造のセンサが提案されている。
【0004】
また別に、高温で動作する水素ガスセンサとして、特開平8−327592号公報には、多孔質セラミック基板上に、多孔質陽極層、セラミックス質のプロトン伝導性薄膜、多孔質陰極層が順次積層され、ヒータによって高温に加熱された状態で正常に動作するガスセンサが提案されている。この水素ガスセンサにおいては、多孔質セラミック基板がガス拡散律速層を兼用している。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記特公平7−31153号公報に提案されている水素ガスセンサにおいては、被測定ガスの作用電極への拡散が、作用電極,対向電極及び参照電極の3つの電極を一体的に覆ったガス透過性プロトン伝導膜を介して行われているため、参照電極へのガス拡散を防止することは不可能である。仮に、被測定ガスとの反応性が低い金属材料から参照電極を形成したとしても、上記拡散の影響を打ち消すことは困難である。
【0006】
この水素ガスセンサにおいて、逆に、参照電極へのガス拡散量を低減させる目的で、プロトン伝導膜のガス透過量を抑制した場合、今度は作用電極へのガス拡散量も減少してしまい、感度が低下するという新たな問題が生じてしまう。更に、この水素ガスセンサにおいて、プロトン伝導膜のガス透過能をある程度確保するためには、プロトン伝導膜をポーラスにする必要があり、この場合、プロトン伝導膜の機械的強度が低下してしまう。
【0007】
また別に、上記特開平8−327592号公報に提案されているような水素ガスセンサは、プロトン伝導層がセラミックス質であるため高温でしか正常に作動しない。したがって、安全上、この水素ガスセンサを水素リッチな雰囲気で用いることが困難である。加えて、この水素ガスセンサにおいては、基板がガス拡散律速層を兼用しているために、基板の強度が低いという問題がある。なお、基板上に、電極、プロトン伝導性薄膜などを積層形成するには、基板をある程度以上に大きく形成する必要がある。この水素ガスセンサのように、基板がガス拡散律速層を兼用している場合には、ガス拡散律速層も肥大化しており、ガス拡散律速層が小さい場合に比べて、それが破損した場合に測定に与える影響が大きくなる。
【0008】
本発明の目的は、水素リッチな雰囲気において低温で作動するガスセンサ、特に、燃料電池の燃料ガス中の水素ガス濃度を精度良く測定することが可能である水素ガスセンサを提供することである。
【0009】
【課題を解決するための手段】
本発明による第1のガスセンサは、高分子電解質のプロトン伝導層と、前記プロトン伝導層に接して設けられ、水素ガス解離能を備えた第1,第2の電極と、被測定ガス雰囲気と前記第1の電極間に設けられ、被測定ガスを該第1の電極に向かって拡散律速状態で拡散させるガス拡散律速層と、前記プロトン伝導層、前記第1,第2の電極及び前記ガス拡散律速層を支持する支持体と、を有するガスセンサであって、前記ガス拡散律速層は、自身の一部が被測定ガス雰囲気に曝される形態で、前記支持体中、前記第1の電極の下の位置に埋入されていることを特徴としている。
【0010】
このガスセンサを用いてガス濃度を測定する場合、このガスセンサは例えば次のように制御される。第1,第2の電極間に所定の電圧を印加し、第1の電極上で所定のガス成分例えば水素ガスを解離させ、それによって生じるプロトンをプロトン伝導層を介して第1の電極から第2の電極へ汲み出し、この汲み出しによって第1の電極から第2の電極間に流れる限界電流を検知し、この限界電流値に応じて上記所定のガス成分の濃度を求める。
【0011】
このガスセンサにおいては、ガス拡散律速層が設けられていることにより、第1の電極への被測定ガスの拡散をプロトン伝導層の形状を変えることなく、任意にかつ容易に制御することができる。このため、センサ感度となる限界電流値の大きさを任意に変えることができ、いろいろな測定レンジの選択が可能となる。
【0012】
このガスセンサにおいては、被測定ガスの拡散がガス拡散律速層により律速されるため、被測定ガス中に含まれる測定対象である所定ガス成分の濃度が一定の場合、第1,第2の電極間にある一定以上の電圧を印加しても、流れる電流の大きさはほぼ一定となる。このように、印加電圧によらず一定の大きさの電流が流れる場合、その電流を限界電流、その電流値を限界電流値と称する。
【0013】
また好ましくは、このガスセンサにおいては、電気絶縁性のセラミックスからなる支持体上にガスセンサの検知部が構成されているため、この検知部の小型化がガスセンサ全体の機械的強度を損なうことなく容易に可能となる。
【0014】
次に、本発明による第2のガスセンサは、上記第1のガスセンサが有する構造に加えて、参照電極を有している。この参照電極は、基準となる水素ガス濃度に応じた電位を生じるようプロトン伝導層に接して設けられる。すなわち、本発明による第2のガスセンサは、高分子電解質のプロトン伝導層と、前記プロトン伝導層に接して設けられ、水素ガス解離能を備えた第1,第2の電極と、前記プロトン伝導層に接して設けられ、基準となる水素ガス濃度に応じた電位を生じる参照電極と、被測定ガス雰囲気と前記第1の電極間に設けられ、被測定ガスを該第1の電極に向かって拡散律速状態で拡散させるガス拡散律速層と、前記プロトン伝導層、前記第1,第2の電極、前記参照電極及び前記ガス拡散律速層を支持する支持体と、を有するガスセンサであって、前記ガス拡散律速層は、自身の一部が被測定ガス雰囲気に曝される形態で、前記支持体中、前記第1の電極の下の位置に埋入されていることを特徴としている。
【0015】
このガスセンサを用いてガス濃度を測定する場合、このガスセンサは例えば次のように制御される。第1の電極と参照電極間の電位がプロトン伝導層を介して所定の電位となるように、第1,第2の電極間に電圧を印加し、ガス拡散律速層により拡散が律速された被測定ガス中に含まれる測定対象ガス成分、例えば水素ガスを解離させ、発生したプロトンをプロトン伝導層を介して第1の電極から第2の電極へ汲み出すことにより生じる電流に基づいて測定対象ガス成分の濃度を求める。
【0016】
このガスセンサにおいては、第1,第2の電極間に印加する電圧を、第1の電極と参照電極間の電位がある一定の電位になるように可変制御することができるため、測定対象ガス成分の任意の濃度において最適な電圧をガスセンサに印加することができ、広い濃度範囲の測定を精度良く行うことができる。
【0017】
また、この第2のガスセンサにおいては、上記第1のガスセンサと同様に、ガス拡散律速層により被測定ガスの拡散が制限されているため、プロトン伝導層の形状によらず被測定ガスの第1の電極に対する拡散量を制御でき、かつ参照電極への被測定ガスの拡散も容易に防止することができる。また、この第2のガスセンサにおいては、プロトン伝導層の材質及び支持体の使用についても、上記第1のガスセンサと同様な選択が可能である。
【0018】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の好ましい実施の形態を説明する。
【0019】
本発明によるガスセンサはその好ましい実施の形態において、プロトン伝導層の材質として、フッ素系樹脂の一種又は二種以上が用いられ、中でも「Nafion」(登録商標、デュポン社製)が用いられる。
【0020】
本発明によるガスセンサはその好ましい実施の形態において、高分子電解質のプロトン伝導層として、比較的低温、例えば150℃以下、好ましくは130℃以下、さらに好ましくは80℃付近で十分に作動するもの、例えばフッ素系樹脂系の固体高分子電解質から形成されたものが用いられる。
【0021】
本発明によるガスセンサはその好ましい実施の形態において、ガス拡散律速層の原料となるセラミック質粉末の平均粒径が2〜80μmとされる。好ましくは、ガス拡散律速層が多孔質アルミナから形成される。
【0022】
本発明によるガスセンサはその好ましい実施の形態において、第1,第2の電極及び参照電極が触媒機能を併せもった材料から形成される。好ましくは、これらの電極が主としてPtないしPt合金を主成分とするPt電極から構成される。
【0023】
本発明によるガスセンサはその好ましい実施の形態において、支持体が緻密質とされ、特にその相対密度が95%以上とされる。
【0024】
本発明によるガスセンサはその好ましい実施の形態において、第1の電極がガス拡散律速機能を有する。これによって、ガス拡散律速層を別個に設ける必要がなくされ、ガスセンサの構造をより簡素化することができる。この場合、第1の電極の原料として、材質Pt、平均粒径2〜50μmの粉末を用いることが好ましい。
【0025】
本発明の好ましい実施の形態に係るガスセンサは、次のように作製することができる。支持体となるアルミナ成形シート上に、ガス拡散律速層となるアルミナペースト、第1,第2の電極ないし参照電極の主成分となるPtをペースト状にしたものを、所定位置にそれぞれスクリーン印刷し、一体焼成後、焼成体の所定位置にプロトン伝導層となるプロトン伝導性高分子電解質膜をホットプレスによって接着する、或いは、プロトン伝導性高分子電解質の溶液を焼成体の所定位置に塗布し乾燥させる。第1,第2の電極ないし参照電極はスパッタリング法によって形成することができる。なお、本発明によるガスセンサの作製方法は、上記方法に限定されるものではない。
【0026】
本発明によるガスセンサはその好ましい実施の形態において、第1,第2の電極がプロトン伝導層を挟んで対向するよう形成されている、或いは、同一平面上に形成されている。複数の電極を同一平面上に形成する場合には、電極形成に係る工数が削減される。
【0027】
本発明によるガスセンサはその好ましい実施の形態において、ガス拡散律速層が支持体表面ないし上或いは支持体中に形成されている。特に、ガス拡散律速層を支持体中に形成(埋設)することにより、ガスセンサの構造が一層簡素化される。
【0028】
本発明によるガスセンサはその好ましい実施の形態において、参照電極が、プロトン伝導層に接し、さらに好ましくは覆われて被測定ガスに曝されないよう形成されている。
【0029】
【実施例】
以上説明した本発明の好ましい実施の形態をさらに明確化するために、以下図面を参照して、本発明の一実施例を説明する。
【0030】
[参考例1]
図1は、本発明の参考例1に係るガスセンサの断面図である。図1を参照すると、このガスセンサは、緻密なセラミック質の支持体1上に、ガス拡散律速層2及び第2の電極4が層平面方向に離間して積層されている。ガス拡散律速層2の一端部は被測定雰囲気に曝されている。ガス拡散律速層2上には第1の電極3が積層されている。さらに、支持体1上には、第1の電極3の全体及び第2の電極4の一部を覆うようにプロトン伝導層5が積層されている。プロトン伝導層5の一部は、ガス拡散律速層2と第2の電極4の間に侵入して、支持体1と当接している。
【0031】
第1,第2の電極3,4は十分にガスが拡散できる多孔質なPt電極から構成され、水素ガス解離能を備えている。ガス拡散律速層2は、多孔質のアルミナから構成され、ガス拡散律速機能を備えている。プロトン伝導層5は、フッ素系樹脂の一種である「Nafion」(登録商標、デュポン社製、動作温度:室温から130℃)から構成され、プロトン伝導機能を備えている。
【0032】
このガスセンサは、支持体1となるアルミナ成形シート上に、ガス拡散律速層2となるアルミナペースト、第1,第2の電極3,4となるPtをペースト状にしたものを、所定位置にそれぞれスクリーン印刷し、一体焼成後、焼成体の所定位置にプロトン伝導層5となるNafion膜をホットプレスによって接着する、或いは、Nafionの溶液を焼成体の所定位置に塗布し乾燥させることによって作製される。また、第1,第2の電極3,4はスパッタリング法によっても形成することができる。
【0033】
さらに、このガスセンサにおいて、第1,第2の電極3,4間には、リード部を介して電源6及び電流計7が互いに直列に接続され、第1,第2の電極3,4間に電圧を印加し、第1,第2の電極3,4間に流れる電流を取り出すことが可能とされている。
【0034】
次に、引き続き図1を参照して、このガスセンサの測定原理を説明する。なお、測定対象ガス成分は水素とする。
【0035】
(1)ガス拡散律速層2を通って第1の電極3に到達した水素ガスは、第1の電極3が含有するPtの触媒作用と、第1の電極3への印加電圧によりプロトンに解離される。
【0036】
(2)発生したプロトンは、プロトン伝導層5を通って第2の電極4へ汲み出され、再び水素ガスとなり被測定ガス雰囲気に拡散していく。
【0037】
(3) 上記(1)の印加電圧が十分に大きい場合、第1,第2の電極3,4間には限界電流が流れる。この限界電流の大きさは、被測定ガス中の水素ガス濃度に基本的に比例するため、限界電流値から水素ガス濃度を求めることができる。
【0038】
このガスセンサの感度は、限界電流値の大きさに依存している。つまり、このガスセンサの感度はガス拡散律速層2の律速程度に依存している。したがって、このガスセンサにおいては、ガス拡散律速層2を構成している多孔質アルミナの粒径や気孔率などを変化させるだけで、プロトン伝導層5の形状にかかわらず、最適な感度を実現することができる。
【0039】
[参考例2]
本参考例に係るガスセンサにおいては、第1の電極13(図2参照)が拡散律速機能を兼用している。一方、前記参考例1に係るガスセンサにおいては、第1の電極3とガス拡散律速層2が別個に形成されている(図1参照)。本参考例に係るガスセンサにおいては、電極材であるPtなどの粒径を最適化することにより、第1の電極13それ自身に拡散律速機能を併せもたせることにより第1の電極13とガス拡散律速層が一体化されている。これによって、センサ構造が簡素化されている。
【0040】
以下、本参考例においては、前記参考例1との記載の重複を避けるため、本参考例に係るセンサと前記参考例1に係るセンサとの相違点について主として説明することとし、共通点については前記参考例1の記載を適宜参照できるものとする。
【0041】
図2は、本発明の参考例2に係るガスセンサの断面図である。図2を参照すると、このガスセンサは、緻密なセラミック質の支持体11上に、第1の電極13及び第2の電極14が層平面方向に離間して積層されている。第1の電極13の一端部は被測定雰囲気に曝されている。さらに、支持体11上には、第1の電極13の一部及び第2の電極14の一部を覆うようにプロトン伝導層15が積層されている。プロトン伝導層15の一部は、第1の電極13と第2の電極14の間に侵入して、支持体11と当接している。
【0042】
このガスセンサは、前記参考例1に係るガスセンサと基本的に同様に作製される。
【0043】
さらに、このガスセンサにおいて、第1,第2の電極13,14間には、リード部を介して電源16及び電流計17が互いに直列に接続され、第1,第2の電極13,14間に電圧を印加し、第1,第2の電極13,14間に流れる電流を取り出すことが可能とされている。
【0044】
次に、この参考例2に係るガスセンサの、水素ガス濃度に対する感度を測定した。詳細には、被測定ガス中の水素ガス濃度を変化させて、第1,第2の電極間に流れる限界電流値を測定した。その測定条件を下記に示し、測定結果を図3に示す。
【0045】
[測定条件]
−第1の電極−:Pt電極、厚さ20μm;
−第2の電極−:Pt電極、厚さ20μm;
−支持体−:アルミナ、厚さ0.4mm、相対密度98%;
−被測定ガス組成−:H2=0〜40%、H2O=10%、N2=bal.;
−被測定ガス温度−:80℃;
−被測定ガス流量−:4L/min;
−第1,第2の電極間に印加する印加電圧−:1V。
【0046】
図3を参照すると、水素ガス濃度に対して直線的に電流値が変化しており、このガスセンサを用いて精度良く、広い濃度範囲に亘って水素ガス濃度の測定が可能であることが分かる。また、このガスセンサは、100℃以下、詳細には80℃以下の低温で正常に作動することが分かった。
【0047】
[実施例3]
図4は、本発明の実施例3に係るガスセンサの断面図である。図4を参照すると、このガスセンサは、緻密なセラミック質の支持体21上に、第1の電極23、第2の電極24及び参照電極28がそれぞれ層平面方向に離間して積層されている。支持体21中、第1の電極23の下には、ガス拡散律速層22が形成(埋入)されている。さらに、支持体21上には、第1の電極23及び参照電極28の全体を、また、第2の電極24の一部を覆うようにプロトン伝導層25が積層されている。プロトン伝導層25の一部は、第1の電極23と第2の電極24及び参照電極28の間に侵入して、支持体21と当接している。参照電極28の周囲の水素ガス濃度は安定しており、参照電極28は、第1の電極23の電位に対して基準となる電位、すなわち基準水素ガス濃度電位を発生する。
【0048】
第1,第2の電極23,24、及び参照電極28は十分にガスが拡散できる多孔質なPt電極から構成され、水素ガス解離能を備えている。ガス拡散律速層22は多孔質のアルミナから構成され、ガス拡散律速機能を備えている。プロトン伝導層25はNafionから構成され、プロトン伝導機能を備えている。
【0049】
このガスセンサは、前記参考例1に係るガスセンサと基本的に同様に作製される。
【0050】
さらに、このガスセンサにおいて、第1,第2の電極23,24間には、リード部を介して可変電源26及び電流計27が互いに直列に接続され、第1,第2の電極23,24間に電圧を印加し、第1,第2の電極23,24間に流れる電流を取り出すことが可能とされている。第1の電極23と参照電極28の間には、リード部を介して電位計29が接続されている。可変電源26による印加電圧は、電位計29が検知する電位に応じて制御される。詳細には、第1の電極23と参照電極28間の電位がある一定の値になるように、第1,第2の電極23,24間に電圧が可変電源26によって印加され、その際に第1,第2の電極23,24間に流れる電流を電流計27によって測定できるように、ガスセンサに接続する電気回路が構成されている。
【0051】
次に、引き続き図4を参照して、このガスセンサの測定原理を説明する。なお、測定対象ガス成分は水素ガスとする。
【0052】
(1)ガス拡散律速層22を通って第1の電極23に到達した水素ガスは、プロトン伝導層25を介して第1の電極23と参照電極28間に、その水素ガス濃度に応じた起電力を生じさせる。
【0053】
(2)第1の電極23上の水素ガス濃度が一定となるように、つまり第1の電極23と参照電極28間の電位が一定となるように、第1,第2の電極23,24間に電圧が印加される。
【0054】
(3)その結果、第1の電極23上で水素ガスはプロトンに解離され、生じたプロトンがプロトン伝導層25を介して第2の電極24へ汲み出され、第2の電極24上で再び水素ガスとなって被測定ガス雰囲気に拡散する。
【0055】
(4) 第1,第2の電極23,24間に流れる限界電流の大きさは、被測定ガス中の水素ガス濃度に基本的に比例するから、限界電流値から水素ガス濃度を求めることができる。
【0056】
ここで、第1,第2の電極23,24間に印加される電圧は、第1の電極23上の水素ガス濃度が一定になるように印加されるため、例えば、被測定ガス中の水素ガス濃度が高い場合は高電圧を、濃度が低い場合には低電圧を印加することができる。つまり、第1,第2の電極23,24間に、水素ガス濃度に応じて最適な電圧が印加できる。
【0057】
また、何らかの原因により、第1,第2の電極23,24間の抵抗が上昇した場合も、参照電極28を有するこのガスセンサによれば、印加電圧が適宜変わることになるため、広い濃度範囲で精度の良い測定が長期間に亘って可能とされる。
【0058】
次に、このガスセンサの限界電流特性を測定した。詳細には、第1,第2の電極23,24間に印加する電圧を変化させて、第1,第2の電極23,24間に流れる電流値を測定した。その測定条件を下記に示し、測定結果を図5に示す。
【0059】
[測定条件]
−第1の電極−:Pt電極、厚さ20μm;
−第2の電極−:Pt電極、厚さ20μm;
−参照電極−:Pt電極、厚さ20μm;
−支持体−:アルミナ、厚さ0.4mm、相対密度98%;
−ガス拡散律速層−:アルミナ、厚さ0.4mm;
−被測定ガス組成−:H2=0,10,20,30,40%、H2O=20%、CO2=15%、N2=bal.;
−被測定ガス温度−:80℃;
−被測定ガス流量−:4L/min;
−第1,第2の電極間に印加する印加電圧−:0〜800mV。
【0060】
図5を参照すると、それぞれの水素ガス濃度において、印加電圧が約400mV以上の場合に限界電流が流れている。
【0061】
次に、このガスセンサの、水素ガス濃度に対する感度を測定した。詳細には、参照電極と第1の電極間の電位が600mV一定となるように、第1,第2の電極間への印加電圧を制御すると共に、被測定ガス中の水素ガス濃度を変化させて、第1,第2の電極間に流れる限界電流値を測定した。加えて、本測定においては、参照電極近傍の水素ガス濃度をより安定させるために、第1の電極から参照電極へ一定な微小電流を流し、これによって参照電極を自己生成基準極とした。その測定条件を下記に示し、水素ガス濃度と電流値の関係を図6に示し、水素ガス濃度と第1,第2の電極間への印加電圧の関係を図7に示す。
【0062】
[測定条件]
−被測定ガス組成−:H2=0,10,20,30,40%、H2O=20%、CO2=15%、N2=bal.;
−被測定ガス温度−:80℃;
−被測定ガス流量−:4L/min;
−参照電極と第1の電極間の電位の制御目標値−:600mV;
−第1の電極から参照電極に流す自己基準極生成電流−:1μA。
【0063】
図6を参照すると、水素ガス濃度に対して直線的に電流値が変化しており、このガスセンサを用いて精度良く、広い濃度範囲に亘って水素ガス濃度の測定が可能であることが分かる。また、図7を参照すると、それぞれの水素ガス濃度において、最適な電圧が第1,第2の電極間に印加されていることが分かる。つまり、参照電極を設置することによって、水素ガス濃度の変化に対して最適な電圧をガスセンサに印加することができ、これによって、電極などの劣化を伴うことなく、長期間に亘って精度良く水素ガス濃度の測定が可能とされる。また、このガスセンサは、100℃以下、詳細には80℃以下の低温で正常に作動することが分かった。
【0064】
【発明の効果】
本発明によれば、水素リッチな雰囲気において低温で作動するガスセンサ、特に、燃料電池の燃料ガス中の水素ガス濃度を精度良く安全に測定することが可能である水素ガスセンサが提供される。また、第1の電極がガス拡散律速機能を有することにより、ガス拡散律速層を別個に設ける必要がなくされ、ガスセンサの構造をより簡素化することができる。特に、ガス拡散律速層を支持体中に形成(埋設)することにより、ガスセンサの構造が一層簡素化される。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の参考例1に係るガスセンサの断面図である。
【図2】 本発明の参考例2に係るガスセンサの断面図である。
【図3】 本発明の参考例2に係るガスセンサを用いた測定結果を示すグラフである。
【図4】 本発明の実施例3に係るガスセンサの断面図である。
【図5】 本発明の実施例3に係るガスセンサを用いた測定結果を示すグラフである。
【図6】 本発明の実施例3に係るガスセンサを用いた測定結果を示すグラフである。
【図7】 本発明の実施例3に係るガスセンサを用いた測定結果を示すグラフである。
【符号の説明】
1 支持体
2 ガス拡散律速層
3 第1の電極
4 第2の電極
5 プロトン伝導層
6 電源
7 電流計
11 支持体
13 第1の電極(ガス拡散律速機能を有する)
14 第2の電極
15 プロトン伝導層
16 電源
17 電流計
21 支持体
22 ガス拡散律速層
23 第1の電極
24 第2の電極
25 プロトン伝導層
26 可変電源
27 電流計
28 参照電極
29 電位計
Claims (9)
- 高分子電解質のプロトン伝導層と、
前記プロトン伝導層に接して設けられ、水素ガス解離能を備えた第1,第2の電極と、
被測定ガス雰囲気と前記第1の電極間に設けられ、被測定ガスを該第1の電極に向かって拡散律速状態で拡散させるガス拡散律速層と、
前記プロトン伝導層、前記第1,第2の電極及び前記ガス拡散律速層を支持する支持体と、を有するガスセンサであって、
前記ガス拡散律速層は、自身の一部が被測定ガス雰囲気に曝される形態で、前記支持体中、前記第1の電極の下の位置に埋入されていることを特徴とするガスセンサ。 - 前記第1の電極と前記ガス拡散律速層とが一体化されていることを特徴とする請求項1記載のガスセンサ。
- 前記ガス拡散律速層を介して導入された被測定ガス中の水素ガスを、前記第1,第2電極間に電圧を印加することにより解離または分解もしくは反応させ、発生したプロトンを前記プロトン伝導層を介して該第1電極から該第2電極へ汲み出すことにより生じる電流に基づいて、水素ガス濃度が求められることを特徴とする請求項1又は2記載のガスセンサ。
- 発生したプロトンを前記プロトン伝導層を介して該第1電極から該第2電極へ汲み出すことにより生じる前記電流が、限界電流であることを特徴とする請求項3記載のガスセンサ。
- 前記プロトン伝導層がフッ素系樹脂から構成されていることを特徴とする請求項1〜4のいずれか一記載のガスセンサ。
- 前記支持体が緻密なセラミック質であることを特徴とする請求項1〜5のいずれか一記載のガスセンサ。
- 高分子電解質のプロトン伝導層と、
前記プロトン伝導層に接して設けられ、水素ガス解離能を備えた第1,第2の電極と、
前記プロトン伝導層に接して設けられ、基準となる水素ガス濃度に応じた電位を生じる参照電極と、
被測定ガス雰囲気と前記第1の電極間に設けられ、被測定ガスを該第1の電極に向かって拡散律速状態で拡散させるガス拡散律速層と、
前記プロトン伝導層、前記第1,第2の電極、前記参照電極及び前記ガス拡散律速層を支持する支持体と、を有するガスセンサであって、
前記ガス拡散律速層は、自身の一部が被測定ガス雰囲気に曝される形態で、前記支持体中、前記第1の電極の下の位置に埋入されていることを特徴とするガスセンサ。 - 前記第1の電極と前記参照電極間の電位が一定の電位となるように、前記第1,第2の電極間に電圧が印加されることを特徴とする請求項7に記載のガスセンサ。
- 前記第1の電極と前記ガス拡散律速層とが一体化されていることを特徴とする請求項7又は8記載のガスセンサ。
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