JP3894604B2 - Sm−Fe系磁歪材料およびその製造方法 - Google Patents

Sm−Fe系磁歪材料およびその製造方法 Download PDF

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    • H10N35/00Magnetostrictive devices
    • H10N35/80Constructional details
    • H10N35/85Magnetostrictive active materials

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、Sm−Fe系磁歪材料およびその製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、この種の磁歪材料は、例えば特開平1−246342号公報に開示されたように公知である。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら従来の磁歪材料は、機械的強度を高くするために密度を理論密度に対して略100%に設定されていることに起因して、磁場をかけられたときに磁歪材料がその体積を略一定として磁場方向に変形するため、磁歪量が比較的小さいという問題があった。
【0004】
磁歪材料は、例えば実開平3−35260号公報および特開平6−58445号公報に開示されるように自動車用エンジンの燃料噴射弁等に用いられている。燃料噴射弁等に必要とされる機械的強度は比較的低くて足り、したがって燃料噴射弁等に用いられる磁歪材料には、実用的な機械的強度を持った上で、より大きな磁歪量を持つことが要求される。
【0005】
【課題を解決するための手段】
本発明は、実用的な機械的強度を持ち、且つ磁歪量を大幅に向上させたSm−Fe系磁歪材料を提供することを目的とする。
【0006】
前記目的を達成するため本発明によれば、熱処理過程の雰囲気を1×10 -2 Torr以下の減圧状態に保持する熱処理が施されていて、その熱処理過程での過剰のSmの蒸発及び/または溶出により、複数の球状空孔が材料全体に分散して形成されているSm−Fe 系磁歪材料であって、空孔率Vcが10%≦Vc≦40%であるSm−Fe系磁歪材料が提供される。その球状空孔には、複数の空孔が連なって細長くなったものも含まれる。
【0007】
Sm−Fe系磁歪材料を前記のような空孔率Vcを持つようにポーラスに構成すると、高密度なSm−Fe系磁歪材料に比べてその変形能が増し、これによりSm−Fe系磁歪材料の磁歪量を増大させることができる。
【0008】
また空孔率Vcを前記のように設定することにより、例えば自動車用エンジンの燃料噴射弁用構成材料としてSm−Fe系磁歪材料を用いる場合、そのSm−Fe系磁歪材料に要求される実用的な機械的強度を満足することができる。
【0009】
ただし、空孔率VcがVc<5%では強度は高くなるものの磁歪量が低下し、一方、Vc>40%では強度および磁歪量が共に低下する。前記空孔率Vcの範囲において、空孔が球状をなす方が、片状をなす場合よりもSm−Fe系磁歪材料の強度は高く、また磁歪量も大きい。
【0010】
本発明は前記のようなポーラスなSm−Fe系磁歪材料を容易に得ることが可能な前記製造方法を提供することを目的する。
【0011】
前記目的を達成するため本発明によれば、Feと、最終Sm量よりも過剰のSmを含有する素材を鋳造し、次いでその素材に熱処理過程の雰囲気を1×10 -2 Torr以下の減圧状態に保持する熱処理を施し、その熱処理過程で過剰のSmを蒸発及び/または溶出して複数の球状空孔を形成する磁歪材料の製造方法が提供される。
【0012】
この方法によれば、前記のようなポーラスなSm−Fe系磁歪材料を容易に製造することができる。
【0013】
【発明の実施の形態】
Sm−Fe系磁歪材料は、希土類元素としてのSmおよび遷移金属元素としてのFeを含み、材料全体に分散する複数の球状空孔を有し、空孔率Vcを10%≦Vc≦40%に設定される
【0014】
前記のように構成されたSm−Fe系磁歪材料は、例えば700ppm 以上の大きな磁歪量と、例えば10kgf/mm2 以上の圧縮強さを有し、これは前記燃料噴射弁用構成材料として有効である。
【0015】
またSm−Fe系磁歪材料全体に複数のm単相を分散させ、各Sm単相を構成するSmの含有量の和Tを0.1原子%≦T≦1.3原子%に設定すると、Sm−Fe系磁歪材料の曲げ強さを、1〜5kgf/mm2 に高めることが可能であり、これもまた前記燃料噴射弁用構成材料として有効である。ただし、T<0.1原子%では曲げ強さが低下し、一方、T>1.3原子%では磁歪量が低下する。
【0016】
前記のようなポーラスなSm−Fe系磁歪材料は、次のような方法で製造される。
【0017】
即ち、遷移金属元素および最終Sm量よりも過剰のSmを含有する素材を鋳造し、次いでその素材に熱処理を施し、その熱処理過程で過剰のSmを、蒸発および/または溶出させることにより除去して複数の球状空孔を形成する。
【0018】
例えば、SmFe2 (金属間化合物、以下、IMCと称す)相よりなるSm−Fe系磁歪材料を製造するに当っては、素材としては、基本的には複数のSm単相と少なくとも1つのSmFe2 相とよりなるものが用いられる。この場合、素材は少なくとも1つのSmFe3 (IMC)相および少なくとも1つのSm2 Fe17(IMC)相の少なくとも一方を含んでいてもよい。
【0019】
SmFe2 相よりなるSm−Fe系磁歪材料において、Sm含有量は図1のSm−Fe系二元平衡状態図から明らかなようにSm≦33.3原子%であるから、素材におけるSm含有量はSm>33.3原子%に設定される。
【0020】
鋳型としては、熱収縮による割れを防ぐために、溶湯の凝固時に、700℃までの冷却速度を100〜1000℃/min に制御することが可能な熱容量を持つものが望ましい。また溶解・鋳造過程の雰囲気は減圧(真空を含む)下および/または不活性ガス中が望ましい。
【0021】
前記熱処理における処理温度は磁歪材料の包晶温度(図1において、900℃)未満であることが必要である。その理由は、包晶温度以上では磁歪相であるSmFe2 相が分解するからである。昇温速度は100℃/h以上、好ましくは100〜6000℃/h、処理時間は1時間以上、好ましくは3〜6時間、冷却速度は400℃/min 以下である。熱処理は、通常、所定温度まで直線的な昇温を行い、その温度を所定時間保持することによって行なわれるが、場合によっては、熱処理に当り、複数回の昇温・降温過程を繰返す、段階的な昇温を行う、処理時間を複数回に分割する、といった手段も採用される。
【0022】
熱処理過程においては、先ず部分的にSmの液相が生じ、次いでSmの蒸発および/または溶出が生じるので、熱処理過程の雰囲気を1×10-2Torr以下の減圧状態に保持してSmの蒸発量等、したがって空孔率Vcの制御を行う。この場合、雰囲気中に不活性ガスを含ませてもよい。液相の素材外への溶出を助勢すべく、素材に金属やセラミックスのメッシュを巻く、或は素材に金属やセラミックス粉末、好ましくはAl2 3 粉末を接触させて毛細管現象を生じさせる、といった手段を採用することも可能である。
【0023】
次に、素材の組織変化過程を示す図2およびSm−Fe系二元非平衡状態図(破線は平衡状態を示す)である図3を用いて、熱処理による素材の組織変化について説明する。
【0024】
図2(a)は、複数のSmFe3 相の周囲にSmFe2 相が存在し、また相隣る両SmFe2 相間をSm単相が埋める、といったSm単相、SmFe2 相およびSmFe3 相の三相からなる非平衡凝固組織を示す。この組織は、図3のSm−Fe系二元非平衡状態図において、例えば点aで示される。このような非平衡凝固組織に800℃の熱処理を施すと、その処理時間の経過に伴い、先ず、Smが蒸発してFe濃度の高い組成へと変化し、次いで組織が平衡状態へ変化していくものであり、その過程は次のように進行する。
【0025】
先ず、非平衡凝固組織の温度が、図3の点aから共晶温度(720℃)を超えた点bまで上昇すると、共晶温度付近で非平衡相が次のような反応を生じる。
【0026】
Sm+SmFe2 →L(液相)
つまり、SmFe2 相がその表面側から順次反応することにより、図2(b)で示すように、SmFe2 相が減少すると共にその周囲に液相Lが生じる。ただし、液相Lの組成はx原子%のSmと、(100−x)原子%のFeとからなり、xは、33.3原子%≦x<100原子%であって、図3の非平衡状態図において800℃の液相線に対応する値である。
【0027】
温度がさらに上昇して800℃に近づくとSmの蒸発が活発となるが、その蒸発は熱力学的にSm濃度が高く、しかも拡散係数が大きい液相Lから優先的に生じる。
【0028】
温度が図3の点cで示すように800℃に達すると、液相LからSmが引き続き蒸発すると共に、SmFe3 相に、SmFe2 相の粒界を伝って液相L中のSmが粒界拡散するため次のような反応が生じる。
【0029】
SmFe3 +1/2Sm(液)→3/2SmFe2
また液相LからのSmの蒸発により液相Lの組成が、Smx Fe100-x からFe濃度の高い組成へと変化するが、相平衡を保つために、固−液境界面を中心にした不均一核生成によりSmFe2 相が成長する。即ち、図2(c)に示すように、SmFe2 相は、内部側(SmFe3 側)に成長すると共に外部側(液相側)にも成長する。
【0030】
処理温度を800℃に保持している状態において、SmFe3 が消失した後は、次のような反応が生じると共に過剰のSmが蒸発する。
【0031】
【外1】
Figure 0003894604
【0032】
図3の点dで示す位置では液相L中の過剰のSmが無くなり、この組成を冷却することによって図2(d)で示すように、SmFe2 相に複数の球状空孔を分散させた磁歪材料が得られる。これらの空孔は過剰Smの蒸発により形成されたものである。
〔実施例I〕
A.磁歪材料の製造
原料を高周波溶解炉に投入して、減圧下(−60cmHg)、Ar雰囲気中にて溶解し、その溶湯を均質化のために1400℃にて5分間保持する工程、溶湯を、減圧下(−60cmHg)、Ar雰囲気中にて銅製鋳型に注入する工程、および溶湯を700℃まで400℃/min で冷却する工程を経て5個の素材を鋳造した。各素材をAl2 3 粉末により包み、その素材に、所定の雰囲気下において、昇温速度400℃/h、処理温度800℃、処理時間6時間および冷却速度100℃/hの条件で熱処理を施して5個の磁歪材料を得た。
【0033】
また100μm以下の素材粉末に、金型を用い、且つ成形圧力を5.05〜7.64ton /cm2 に設定した一軸圧縮成形を施して3個の圧粉体を成形し、次いで各圧粉体に、真空雰囲気下において、昇温速度400℃/h、処理温度900℃、処理時間6時間、および冷却速度100℃/hの条件で焼結処理を施して3個の磁歪材料を得た。
【0034】
表1は、鋳造による素材を用いて得られた磁歪材料の例1〜5における、素材の組成、熱処理雰囲気および磁歪材料の組成、ならびに焼結法による磁歪材料の例7〜9における焼結雰囲気および組成(磁歪材料)を示す。
【0035】
【表1】
Figure 0003894604
【0036】
B.空孔率Vc、磁歪量および機械的特性の測定
例1〜5,7〜9について、空孔率Vc、磁歪量、圧縮強さおよびヤング率を測定したところ、表2の結果を得た。空孔率Vcは電子顕微鏡観察と密度から求めた。また磁歪量は、歪みゲージを用い、磁場を1kOeかけて測定した。さらに圧縮強さおよびヤング率の測定は常法によった。
【0037】
【表2】
Figure 0003894604
【0038】
図4(a)は例3の金属組織を示す顕微鏡写真であり、また図4(b)は同図(a)の要部写図である。図4から明らかなようにSmFe2 相中に複数の球状空孔vが分散していることが判る。
【0039】
例1,2,4,5においても同様の球状空孔が観察されたが、焼結法による例7〜9においては片状空孔が観察された。
【0040】
図5は、表2に基づいて空孔率Vcと磁歪量との関係をグラフ化したものである。図5から明らかなように、例2〜5の如く、空孔の形状を球状とし、且つ空孔率Vcを10%≦Vc≦40%に設定すると、例1に比べて磁歪量を大幅に増大させることができる。これは、例2〜5においては、磁場をかけられたとき、例2等が磁場方向に空孔を潰しながら体積の減少を伴って変形することに起因する。
【0041】
例1の如く、空孔率VcがVc<10%といったように、密度が理論密度に対して略100%に設定されていると、磁場をかけられたとき、例1は磁場方向に体積を略一定として変形する、つまり磁場方向と直交する方向に膨らみながら磁場方向に縮むため、磁歪量が小となる。
【0042】
一方、空孔率VcがVc>40%といったように高くなると、SmFe2 相の量が極端に少なくなるため磁歪量が小となる。
【0043】
例4,5と例7,8とをそれぞれ比較すると、空孔率Vcが略同じである場合には球状空孔を持つものの方が片状空孔を持つものよりも磁歪量が大きいことが判る。
【0044】
図6は、表2に基づいて空孔率Vcと圧縮強さとの関係をグラフ化したものである。図6から明らかなように、例2〜5の如く、空孔の形状を球状とし、且つ空孔率Vcを10%≦Vc≦40%に設定すると、比較的高い圧縮強さを有し、これは前記燃料噴射弁用構成材料として有効である。
〔実施例II〕
実施例Iと同様の鋳造法を行って、組成がSm40Fe60(数値の単位は原子%)である4個の素材を鋳造した。各素材に、所定の雰囲気下において、昇温速度400℃/h、処理温度800℃、処理時間6時間および冷却速度100℃/hの条件で熱処理を施して組成がSm33Fe67(数値の単位は原子%)である磁歪材料の例1〜4を得た。
【0045】
例1〜4について、実施例Iと同様の方法で、空孔率Vcおよび磁歪量を測定した。
【0046】
表3は、例1〜4における熱処理雰囲気、空孔率Vcおよび磁歪量を示す。例4は、素材をAl2 3 粉末により包んで熱処理を施されたものである。
【0047】
【表3】
Figure 0003894604
【0048】
表3から明らかなように、例1は、1気圧、Ar雰囲気下で熱処理を施されたものであるから、空孔量が極めて少なく、且つ過剰のSmが多く残存しているため磁歪量が小さい。例2,3は、減圧、Ar雰囲気下または真空雰囲気下で熱処理を施されたものであるから、例1に比べて空孔率Vcが高く、したがって磁歪量も大きい。例4は、Al2 3 粉末の存在下で、且つ真空雰囲気下で熱処理を施されたものであるから、Al2 3 粉末の液相溶出効果により、例2,3に比べて空孔率Vcが高く、したがって磁歪量も大きい。
〔実施例III 〕
実施例Iと同様の鋳造法を行って、組成が同一である6個の素材を鋳造した。各素材に、所定の雰囲気下において、昇温速度400℃/h、処理温度800℃、処理時間1〜6時間および冷却速度100℃/hの条件で熱処理を施して各種組成の磁歪材料の例1〜6を得た。顕微鏡観察の結果、例1〜6は、材料全体に分散する複数のSm単相を有することが判明した。
【0049】
表4は、1〜6における、素材の組成、熱処理の雰囲気および処理時間、ならびに磁歪材料の組成を示す。例4〜6は、素材をAl2 3 粉末により包んで熱処理を施されたものである。
【0050】
【表4】
Figure 0003894604
【0051】
例1〜6について、実施例Iと同様の方法で、空孔率Vcおよび磁歪量を測定し、また各Sm単相を構成するSmの含有量の和Tを求め、さらに曲げ強さを測定したところ、表5の結果を得た。
【0052】
【表5】
Figure 0003894604
【0053】
例1,2について、それらは表5に示すようにSm単相を含み、且つSm含有量の和Tを異にすることから厳密には異なる組成を有するが、表4においては便宜的に同一組成を持つものとして表わされている。これは例3〜6についても同じである。
【0054】
表5に基づいて、図7はSm含有量の和Tと磁歪量との関係を、また図8はSm含有量の和Tと曲げ強さとの関係をそれぞれグラフ化したものである。
【0055】
図7,8から明らかなように、Sm単相の増加に伴い磁歪量は低下するが、曲げ強さは向上する。磁歪材料において、曲げ強さを優先させる場合、Sm含有量の和Tの上限値はT=5原子%が適当である。一方、高い磁歪量と実用的な曲げ強さとを要求される場合、Sm含有量の和Tは、0.1原子%≦T≦1.3原子%が適当である。
〔磁歪材料の使用例〕
図9は自動車用エンジンの燃料噴射弁を示す。円筒状をなす主ハウジング1の上部に上部ホルダ2がねじ込まれており、主ハウジング1の上端および上部ホルダ2間に上部ハウジング3が保持されている。また主ハウジング1の下部に、半径方向内方に張出すフランジ1aが設けられ、主ハウジング1の下端にねじ込まれた下部ホルダ4とフランジ1aとの間にリング状シール部材5および弁座部材6が保持される。
【0056】
弁座部材6は弁室7を有し、その弁室7は主ハウジング1と同軸であってその主ハウジング1に向って開口する。弁室7を形成する外端壁に、それを貫通する噴射孔8と、噴射孔8の内端を囲繞する弁座9とが設けられている。弁室7に、球状弁体10が主ハウジング1の軸線方向に摺動し得るように嵌合される。弁体10は、主ハウジング1の軸線方向に延びる複数の流通溝10aを有し、開弁時にはそれらの流通溝10aを経て燃料が噴射孔8に流通する。
【0057】
主ハウジング1内に磁性材料製スリーブ11が嵌合され、その端壁11aはフランジ1aに当接する。スリーブ11内に、コイル13を巻かれたセラミックス製ボビン12が挿入される。
【0058】
作動軸18は、ボビン12の中心孔12aおよびスリーブ11の端壁11aを貫通し、その下端部は弁体10に圧入され、上部はリング状軸受部材15に摺動自在に支持される。その軸受部材15は、スリーブ11の上端およびボビン12の上部フランジと、上部ハウジング3との間に保持される。軸受部材15と上部ハウジング3との間に、内周部を作動軸18の環状溝22に嵌めたリング状規制部材16と複数のリング状スペーサ17とが保持される。その規制部材16は作動軸18の軸方向移動を規制する。上部ハウジング3の上端にねじ込まれた円筒状ばね受部材23と作動軸18の上端との間に圧縮ばね24が設けられる。
【0059】
上部ハウジング3に、ばね受部材23内を介して図示しない燃料供給源に通じる通路25が設けられ、この通路25は、軸受部材15の切欠き26、ボビン12の上部フランジに在る切欠き27、コイル13外周面およびスリーブ11内周面間の筒状路14、スリーブ11の端壁11aに在る通路28、フランジ1aの通路29を経て弁室7に通じている。
【0060】
作動軸18は、ボビン12の中心孔12a内に存する磁歪材料製中央軸部18aと、上端を中央軸部18a下端に同軸に接合されると共に下端を弁体10に圧入された磁性材料製下部軸部18bと、下端を中央軸部18a上端に同軸に接合されると共に環状溝22を持つ磁性材料製上部軸部18cとからなる。
【0061】
このような燃料噴射弁において、コイル13の消磁状態では圧縮ばね24のばね力により作動軸18が弁体10を弁座9に着座させた位置に在って、噴射孔8が閉じられている。一方、コイル13が励磁されると、作動軸18において磁歪材料製中央軸部18aが軸方向に収縮するので、弁体10が弁座9から離間して噴射孔8が開放され、燃料が噴射孔8から噴射される。
【0062】
前記燃料噴射弁においては、開弁時にばね24のばね力により環状溝22と規制部材16とが衝合し、閉弁時には弁体10の弁座9への着座時の衝撃が作動軸18の弁体10側の端部に作用する。この点を考慮して作動軸18全体を磁歪材料より構成せずに両端側を磁性材料より構成して、磁歪材料よりなる中央軸部18aに割れや欠けが生じるのを防止し、これにより作動軸18の衝撃力に対する耐久性の向上が図られている。
【0063】
下部軸部18bおよび上部軸部18cを構成する磁性材料には、靱性が高いこと、中央軸部18a、したがって磁歪材料の製造段階で行われる前記熱処理過程において、半溶融状態の磁歪材料と液相拡散接合が可能であること、耐食性および加工性が優れていること等が要求され、このような要求を満たす磁性材料としては、例えば電磁ステンレスを挙げることができる。
【0064】
中央軸部18aを構成する磁歪材料としては、例えば図5,6に示した例2〜5が用いられる。例2〜5は燃料噴射弁における作動軸18の中央軸部18aに要求される圧縮強さ、例えば7kgf/mm2 を上回る圧縮強さを有する。
【0065】
例2〜5は、前記のように磁場をかけられると体積変化を伴って変形するので、中央軸部18aの周囲に余分な空きスペースを確保することが不要であり、燃料噴射弁の小型化を図る上で有効である。これに対し、体積変化を伴わない磁歪材料より中央軸部18aを構成すると、中央軸部18aが軸方向に収縮したときには半径方向外方にその分だけ膨らむ。したがって、その膨らみ分だけ余分な空きスペースを中央軸部18aの周囲に設ける必要があり、それに応じて燃料噴射弁が大型化する。
【0066】
次に、作動軸18として、実施例Iの磁歪材料の例1〜9より中央軸部18aを構成され、また電磁ステンレスより上、下部軸部18c,18bを構成されたものを前記燃料噴射弁に組込んで、作動軸18の耐久性および消費電力を調べたところ、表6の結果を得た。耐久性は、燃料噴射弁を1億回作動させ、その後のリフト量変化が±2.5%以内のものを「可」とし、また消費電力は、例3を用いた作動軸18における消費電力を「1」としたときの値である。なお、例6および9を用いた作動軸18は機械的強度不足のためテスト中に破壊したので消費電力の測定は不可能であった。
【0067】
【表6】
Figure 0003894604
【0068】
表6から明らかなように、磁歪材料の例2〜5を用いた作動軸の例2〜5は、優れた耐久性を有すると共に消費電力も少ない。作動軸の例1は磁歪量が600ppm といったように小さく、また消費電力も多い。作動軸の例7,8は耐久性および消費電力については問題ないが、磁歪量がそれぞれ670,610ppm といったように小さい。
【0069】
作動軸の例3の磁歪量は870ppm であって、作動軸の例1の磁歪量600ppm よりも磁歪量が45%向上している。作動軸のストローク量は磁場をかけられたときの磁歪量で定まるので、前記磁歪量の向上は、作動軸のストローク量を45%向上することができる、ということを意味する。
【0070】
【発明の効果】
本発明によれば、前記のように構成することによって、実用的な機械的強度を持ち、且つ磁歪量を大幅に向上させたSm−Fe系磁歪材料を提供することができる。
【0071】
また本発明によれば、前記のように特定された手段を採用することにより、前記Sm−Fe系磁歪材料を容易に製造することが可能な製造方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 Sm−Fe系二元平衡状態図である。
【図2】 素材の組織変化過程を示す模式図である。
【図3】 Sm−Fe系二元非平衡状態図である。
【図4】 (a)は磁歪材料の金属組織を示す顕微鏡写真、(b)はその要部写図である。
【図5】 空孔率Vcと磁歪量との関係を示すグラフである。
【図6】 空孔率Vcと圧縮強さの関係を示すグラフである。
【図7】 Sm含有量の和Tと磁歪量との関係を示すグラフである。
【図8】 Sm含有量の和Tと曲げ強さとの関係を示すグラフである。
【図9】 自動車用エンジンにおける燃料噴射弁の縦断面図である。
【符号の説明】
v 球状空孔
18 作動軸
18a 磁歪材料よりなる中央軸部

Claims (7)

  1. 熱処理過程の雰囲気を1×10 -2 Torr以下の減圧状態に保持する熱処理が施されていて、その熱処理過程での過剰のSmの蒸発及び/または溶出により、複数の球状空孔(v)が材料全体に分散して形成されているSm−Fe系磁歪材料であって、
    空孔率Vcが10%≦Vc≦40%であることを特徴とするSm−Fe系磁歪材料。
  2. 材料全体に分散する複数のSm単相を有し、各Sm単相を構成するSmの含有量の和TがT≦5原子%である、請求項記載のSm−Fe系磁歪材料。
  3. 材料全体に分散する複数のSm単相を有し、各Sm単相を構成するSmの含有量の和Tが0.1原子%≦T≦1.3原子%である、請求項記載のSm−Fe系磁歪材料。
  4. Feと、最終Sm量よりも過剰のSmを含有する素材を鋳造し、次いでその素材に熱処理過程の雰囲気を1×10 -2 Torr以下の減圧状態に保持する熱処理を施し、その熱処理過程で過剰のSmを蒸発及び/または溶出して複数の球状空孔(v)を形成することを特徴とするSm−Fe系磁歪材料の製造方法。
  5. 記素材は複数のSm単相と、少なくとも1つのSmFe2 相とよりなる、請求項記載のSm−Fe系磁歪材料の製造方法。
  6. 前記素材は、少なくとも1つのSmFe3 相および少なくとも1つのSm2 Fe17相の少なくとも一方を含む、請求項記載のSm−Fe系磁歪材料の製造方法。
  7. 前記熱処理において、前記素材に、Smの溶出を助勢するAl2 3 粉末を接触させる、請求項4,5または6記載のSm−Fe系磁歪材料の製造方法。
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