JP3822031B2 - 交換スプリング磁石粉末の製造方法 - Google Patents

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Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、異方性交換スプリング磁石粉末の製造方法に係り、更に詳細には、モータ、磁界センサ、回転センサ、加速度センサ及びトルクセンサ等に好適に用いることのできる異方性交換スプリング磁石粉末の製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来の永久磁石材料としては、化学的に安定で低コストなフェライト磁石や高性能な希土類系磁石が実用化されている。これらの磁石は磁石化合物としてほぼ単一の化合物で構成されているが、近年、高保磁力の永久磁石材料と高磁束密度の軟磁性材料を複合化した交換スプリング磁石が注目されている。
かかる交換スプリング磁石には高い最大エネルギー積が期待されており、理論的には7900MA/m(100MGOe)以上の極めて高い磁石特性が実現可能である。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、現在開発されている交換スプリング磁石は等方性磁石であり、得られる最大エネルギー積も1580MA/m(20MGOe)程度の低い値にとどまっている。これは、交換スプリング磁石を構成する結晶粒の方向性が一定方向に揃っていないために特性向上がなされていないことが最大の原因であり、交換結合を示すような微細で且つ結晶方向が揃った異方性交換スプリング磁石を実現するために多くの研究がなされている。
【0004】
本発明は、このような従来技術の有する課題に鑑みてなされたものであり、有意な異方性を有し、良好な最大エネルギー積を有する交換スプリング磁石を実現できる、異方性交換スプリング磁石粉末の製造方法を提供することを目的としている。
【0005】
【課題を解決するための手段】
本発明者らは、上記目的を達成すべく鋭意検討を重ねた結果、所定の結晶質母材を特定のアモルファス化工程及び結晶化工程で処理することなどにより、上記目的が達成できることを見出し、本発明を完成するに至った。
【0006】
即ち、本発明の異方性交換スプリング磁石粉末の製造方法は、永久磁石材料と軟磁性材料を複合化して成る異方性交換スプリング磁石粉末であって、
元素成分として、希土類元素と、63〜87原子%の鉄(Fe)と5〜8原子%のコバルト(Co)が少なくとも包含される遷移金属元素と、ホウ素(B)、炭素(C)、窒素(N)及び酸素(O)から成る群より選ばれた少なくとも1種の元素を1〜25原子%含み、
上記永久磁石材料及び軟磁性材料の結晶粒径が150nm以下である、異方性交換スプリング磁石粉末を製造するに当たり、
上記永久磁石材料と軟磁性材料を含有する結晶質母材及び/又はアモルファス部を有する該結晶質母材を、ボールミル法又はプラズマ照射法によりこの母材中に微細な結晶粒が残留している状態にするアモルファス化工程と、これに続く熱処理であって、該結晶粒が交換結合を行うような微細な結晶粒に結晶化される結晶化工程から成る連続工程で1回以上処理することを特徴とする。
【0007】
また、本発明の異方性交換スプリング磁石材料粉末の製造方法の好適形態は、上記希土類元素の含有量が2〜15原子%であることを特徴とする。
【0008】
また、本発明の異方性交換スプリング磁石粉末の製造方法の好適形態は、上記希土類元素が、ネオジウム(Nd)、プラセオジウム(Pr)及びサマリウム(Sm)から成る群より選ばれた少なくとも1種の元素であることを特徴とする。
【0009】
更に、本発明の異方性交換スプリング磁石粉末の製造方法の好適形態は、上記アモルファス部を有する結晶質母材は、磁化の温度特性から得られるアモルファス部含有量が95%以下であることを特徴とする。
【0010】
更にまた、本発明の異方性交換スプリング磁石粉末の製造方法の他の好適形態は、上記結晶化工程の際、上記アモルファス化工程でアモルファス化された結晶質母材に異方性を付与して固化成形することを特徴とする。
【0011】
更に、本発明の異方性交換スプリング磁石粉末の製造方法の他の好適形態は、上記アモルファス化工程を、真空中、不活性ガス中、窒素中及び有機溶媒中のいずれかで酸素を遮断した状態で行うことを特徴とする。
また、本発明の異方性交換スプリング磁石粉末の製造方法の更に他の好適形態は、上記結晶化工程を、真空中、不活性ガス中、窒素中及び有機溶媒中のいずれかで酸素を遮断した状態で行うことを特徴とする。
更にまた、本発明の異方性交換スプリング磁石粉末の製造方法のその他の好適形態は、上記結晶化工程の結晶化加熱処理温度が950℃以下であることを特徴とする。
また、本発明の異方性交換スプリング磁石粉末の製造方法の他の好適形態は、上記結晶化工程の結晶化加熱処理時間が1時間以内であることを特徴とする。
【0012】
【作用】
本発明によれば、結晶粒径が微細で且つ結晶方向が揃った異方性交換スプリング磁石粉末及び異方性交換スプリング磁石が得られる。
なお、本発明の製造方法を行う際、アモルファス化工程と結晶化工程の連続工程を繰り返し実施すれば、より微細で磁石特性に優れた異方性交換スプリング磁石粉末を得ることが可能である。
【0013】
【発明の実施の形態】
以下、本発明で得られる交換スプリング磁石粉末について詳細に説明する。なお、本明細書において、「%」は特記しない限り質量百分率を表すものとする。
この交換性スプリング磁石粉末は、永久磁石材料と軟磁性材料を複合化して成る異方性に優れた交換スプリング磁石粉末である。
元素成分としては、希土類元素と、遷移金属元素と、ホウ素(B)、炭素(C)、窒素(N)又は酸素(O)及びこれらの任意の混合元素を含み、永久磁石材料及び軟磁性材料の結晶粒径が150nm以下である。
【0014】
ここで、永久磁石材料としては、Nd−Fe−B系、Sm−Fe−N系、Sm−Fe−N−B系、Sm−Co系、Sm−Co−B系、Ba(バリウム)−Fe系及びSr(ストロンチウム)−Fe系などの材料を挙げることができ、軟磁性材料としては、Fe、Co、Fe−B系、Fe−C系、Fe−Co系、Fe−N系材料や、Mn(マンガン)−Zn(亜鉛)系フェライト、Ni(ニッケル)−Zn系フェライト及びFe系フェライトなどを挙げることができる。
【0015】
本発明で得られる交換性スプリング磁石粉末では、上述の如き永久磁石材料と軟磁性材料が複合化されており、これを換言すると、この磁石粉末では、隣接する永久磁石材料相の磁化と軟磁性材料相の磁化が交換結合している状態で両者が混在していることになる。
そして、本発明で得られる交換スプリング磁石粉末は、大きな異方性を示し、代表的には、次式
Br///Br=10〜30
(式中のBr//は磁場中成形時の磁場印加方向の残留磁束密度、Brはこの磁場印加方向に垂直方向の残留磁束密度を示す)で表される異方性強度を有する。
【0016】
一方、本発明で得られる交換性スプリング磁石粉末は、元素成分の観点からは、希土類元素と、遷移金属元素と、B、C、N又O及びこれらの任意の組合せに係る元素を含有し、希土類元素と、少なくともFeとCoをそれぞれ63〜87原子%、5〜原子%の割合で含む遷移金属元素と、BやC等の元素を必須成分とする。
この場合、希土類元素としては、特に限定されるものではないが、Nd、Pr又はSm及びこれらの任意の組合せに係る元素が好適であり、遷移金属元素としても特に限定されるものではないが、Fe及び/又はCoを主成分として用いることが好ましい。なお、遷移金属元素としては、その他にバナジウム(V)、ニオブ(Nb)、クロム(Cr)、ニッケル(Ni)、アルミニウム(Al)、チタン(Ti)、ガリウム(Ga)及びジルコニウム(Zr)等の元素を用いることも可能である。
【0017】
また、本発明で得られる交換スプリング磁石粉末において、上記希土類元素やB、C等の元素の含有量は、上述した特性を発揮する限り特に限定されるものではないが、代表的には、希土類元素含有量が2〜15原子%であることが好ましく、B、C等の元素含有量が1〜25原子%以下であることを要する。
希土類元素含有量が2原子%未満では、その後に製造される磁石中の永久磁石材料の含有量が低下し、15原子%を超えると、軟磁性材料の含有量が低下して、いずれの場合でも磁石性能が低下してしまうことがある。
一方、B、C等の元素含有量が上述の範囲を逸脱すると、本発明の狙いとする磁石材料にとって好ましくない化合物が生成したり、磁石材料中の化合物組成比が好ましい範囲を外れるなどの不都合が生じて磁石材料の性能が低下してしまうことがある。なお、遷移金属元素については、70〜85原子%とすることが好ましい。
【0018】
更に、本発明で得られる交換スプリング磁石粉末においては、上述した永久磁石材料及び軟磁性材料の結晶粒径が150nm以下に制御されており、これにより、この磁石粉末は良好な交換結合性を示す。
粒径が150nmを超えると、良好な磁気特性が得られないことがあり、本発明の意図する磁石材料が得られない。
【0019】
次に、本発明の交換スプリング磁石粉末の製造方法について詳細に説明する。
本発明の交換スプリング磁石粉末の製造方法は、上述のような交換スプリング磁石粉末を得る方法であり、上記永久磁石材料と軟磁性材料を含有する結晶質母材若しくはかかる結晶質母材の一部にアモルファス部を形成した材料、又は両者の混合物につき、アモルファス化処理と結晶化処理を少なくとも1回ずつ連続的に施すことにより行われる。
【0020】
ここで、上記結晶質母材は、上述したような永久磁石材料と軟磁性材料を含有する結晶質の磁性材料であり、その元素成分も上述の通りであり、本発明で得られる交換スプリング磁石粉末との大きな差異は、隣接する永久磁石相と軟磁性相の磁化が交換しているか否かである。
本発明の製造方法において、かかる結晶質母材へのアモルファス部の導入は、公知の技術、例えば高周波溶解法や液体急冷法やアトマイズ法などによって行うことができる。
【0021】
このように、結晶質母材の一部に予めアモルファス部を導入することの利点は、その後のアモルファス化工程を簡素化・短時間化できるため、母材の酸化を十分に抑制できることにあり、これにより、得られる交換スプリング磁石粉末の磁石特性を更に向上できる。
このとき、母材中のアモルファス部の含有量は、磁化の温度特性から評価できるが、95%以下の範囲とすることが望ましい。これを超えてアモルファス部を多くすると、母材結晶の配向度が低下して磁石特性が低下してしまうことがある。
【0022】
また、上記アモルファス化工程は、ボールミル法やプラズマ照射法等を適用することによって行うことができ、この工程により、結晶質母材及び/又はこれにアモルファス部を導入した材料を、アモルファスマトリックスの中に微細な結晶粒が残留している状態へとアモルファス化させる。
そして、本製造方法では、このアモルファス化工程に引き続き熱処理による結晶化工程を実施するが、この工程により、上記アモルファスマトリックス中の結晶粒が交換結合を行うような微細な結晶粒に結晶化され、この際、在留していた微細結晶粒の方向に連続的に結晶が成長するために、一つの結晶粒内では微細で且つ結晶方向が揃った異方性交換スプリング磁石粉末が形成されることになる。
【0023】
なお、本製造方法おいて、上記アモルファス化工程及び/又は結晶化工程は、酸素を遮断した状態、例えば真空中、不活性ガス中、窒素中又は有機溶媒中で行うことが望ましい。かかる条件下で行うことにより、希土類系磁石化合物の劣化を防止することができ、得られる交換スプリング磁石粉末の磁石特性の低下を防止することが可能となる。
また、本製造方法では、上記アモルファス化工程と結晶化工程(アモルファス化−結晶化の連続工程)を1回以上繰り返すことが望ましく、これにより、結晶配向度がいっそう向上して異方性付与効果が大きくなり、磁石特性の向上に有効となる。
【0024】
なお、上記結晶化工程では、上述のような交換結合を実現できる結晶化が行えれば十分であるが、代表的には、結晶化加熱処理温度を950℃以下とすることが好ましい。950℃を超えると、微細な結晶粒の異方性交換スプリング磁石粉末が得られないことがあり、磁気特性の劣化が発生するため、950℃以下で行うことが望ましく、同様の理由で、結晶化加熱処理時間は1時間以内にすることが望ましい。
【0025】
また、本製造方法では、この結晶化工程を圧縮下に行うことも可能であり、これにより、結晶成長を促進することができる。
圧縮方法としては、例えばホットプレスや放電プラズマ焼結方法が適用でき、ホットプレスの場合は49〜98MPa(0.5〜1.0ton/cm)、放電プラズマ焼結方法の場合は490〜980MPa(5〜10ton/cm)程度の圧力で圧縮することが望ましい。
【0026】
更に、かかる熱処理による結晶化工程では、前工程でアモルファス化された磁性材料に異方性を付与した後に固化成形し、これを結晶化させてもよく、これにより、結晶配向度を更に向上して磁石特性を更に改善することができる。
かかる異方性を付与する方法としては、例えば磁場中において結晶方向を揃えた状態で圧縮成形を行うといった方法がある。また、このときの処理条件としては、磁場強度1580MA/m(20kOe)以上、圧縮圧力98〜294MPa(1〜3ton/cm)で、常温とすることが望ましい。
【0027】
次に、本発明で得られる異方性交換スプリング磁石について詳細に説明する。
この異方性交換スプリング磁石は、上述した本発明で得られる異方性交換スプリング磁石粉末を用いて得られるものであり、かかる磁石粉末を異方性付与成形工程及び固化工程で処理することによって得られる。
なお、この際の固化工程としては、結晶粒の粗大化を防止する必要があるため、低温でのフルデンス化が可能であるホットプレス法やプラズマ焼結法などが有効である。
【0028】
また、本発明で得られる異方性交換スプリング磁石は、代表的にはバルク型異方性交換スプリング磁石として得られるが、同じ形態の既存の樹脂や低融点金属ボンド磁石又はフルデンス磁石に比べて大きな最大エネルギー積を示すので、モータ、磁界センサ、回転センサ、加速度センサ及びトルクセンサ等に応用すると、製品の小型軽量化を促進し、例えば自動車用部品に適用した場合には、燃費の飛躍的向上が可能となる。
更に、かかるバルク磁石は極めて大きな最大エネルギー積を有するため、磁界センサ、回転センサ、加速度センサ及びトルクセンサの中でも、特に電気自動車やハイブリッド電気自動車の駆動用モータに適用することで、これまではスペースの確保が困難であった場所に駆動用モータを搭載することを可能とし、環境問題を一気に解決できるものである。
【0029】
【実施例】
以下、本発明を実施例及び比較例により更に詳細に説明するが、本発明はこれら実施例に限定されるものではない。
【0030】
(実施例1)
高周波誘導溶解させたNdFe88−xCoNb組成合金を用い、液体急冷法によりアモルファス部を含む結晶質の母材料を作製した。次いで、この結晶質母材を1mm以下に粉砕した粗粉末に、プラズマ照射法によるアモルファス化処理を施し、その後、結晶化処理を施し、これらの処理を所定のサイクル実施して本例の異方性交換スプリング磁石粉末を作製した。この磁石粉末において、永久磁石材料であるNdFe14Bの結晶粒径は約40nm、軟磁性材料であるFeBの結晶粒径は約40nmであった。
なお、ここでのプラズマ照射法は、上記粗粉末を高周波アルゴン(Ar)プラズマ中に曝すことによって行い、この粗粉末をその表面方向からプラズマエネルギーでアモルファス化させるものである。
得られた交換スプリング磁石粉末を100μm以下に粉末化した後、1975kA/m(25kOe)の磁場中でプレス成形して圧粉体を作製し、最大1975kA/m(25kOe)の直流BHトレーサにて、磁場印加方向とこれに垂直方向での磁化曲線を測定して、これらの曲線の相違から異方性の有無を確認した。
【0031】
図1は、上記合金でx=19の組成を有し、磁化の温度特性から評価したアモルファス含有量が80%である母材について、結晶化工程を650℃×10minの真空中熱処理とし、アモルファス化と結晶化のサイクル回数と、異方性の強度(磁場中成形時の磁場印加方向の残留磁束密度Br//とこれに垂直方向の残留磁束密度Br比)の相対値を示したものである。
図1より、本発明のプロセスの効果は極めて大きく、1回のアモルファス化と結晶化により異方性が付与できることが分かる。また、1回以上の繰り返しにより異方性の大きさが増大する傾向も示されている。
【0032】
図2は、図1と同様の材料の保磁力の相対値を示したものである。磁石特性として重要な保磁力は、母材状態では得られず、アモルファス化と結晶化を1回以上行うことによって向上することが明らかである。
また、このようなプロセスの繰り返し回数による異方性の増大は、表1に示したような各種の永久磁石材料と磁性材料を組み合わせた交換スプリング磁石粉末においても同様であり、図2にデータを併記した。
【0033】
【表1】
Figure 0003822031
【0034】
図3は、x=20の組成を有し、磁化の温度特性から評価したアモルファス含有量が90%である母材について、結晶化工程として、1975kA/m(25kOe)の磁場中で異方性付与して圧縮成形した後に真空中、ホットプレス圧縮圧力59MPa(0.6ton/cm)、650℃×10min.のホットプレスを行った場合のアモルファス化、結晶化のサイクル回数と異方性の強度(Br///Br比)の相対値を示したものである。
本プロセスの効果は極めて大きく1回の実施により異方性が付与できることがわかる。また、1回以上の繰り返しにより異方性の大きさが増大する傾向も示されている。
【0035】
図4は、図3と同様の材料の保磁力の相対値を示したものである。磁石特性として重要な保磁力は、母材状態では得られず、アモルファス化と結晶化を1回以上行うことによって向上することが明らかである。
【0036】
図5は、x=0.5〜30の組成を有し、磁化の温度特性から評価したアモルファス含有量が75%である母材に関して、結晶化工程を650℃×10min.の真空中熱処理とし、アモルファス化と結晶化のサイクル回数を3としてxと異方性強度の関係を評価した圧粉体の最大エネルギー積を示したものである。
このときの圧粉体の最大エネルギー積は、圧粉体作製時の磁場印加方向の磁化曲線から求めたものであり、粉末の磁気特性として示している。
組成範囲としては、Bが1〜25原子%において、現状の磁石材料を上回る高特性が得られることがわかる。
【0037】
図6は、x=19の組成を有する母材について、結晶化工程を650℃×1min.の真空中熱処理、結晶化のサイクル回数を3として、アモルファス部含有量と異方性強度を評価した圧粉体の最大エネルギー積の相対値を示したものである。アモルファス部含有量は母材の磁化−温度特性から評価した。
アモルファス部含有量が90%以上で急激に磁石特性が低下するのは、異方性が低下することが原因である。また、アモルファス部を含有させることにより酸素濃度の定量評価から素材の酸化が低減できていることが判明した。
【0038】
(実施例2)
高周波誘導溶解したNdFe84−xCo組成合金を用いて、液体急冷法でアモルファス部を含む結晶質の母材を作製し、この母材をステンレス製ボールとともにシクロヘキサンを溶媒としてステンレス製ボールミルポット内に投入し、ボールミル法によりアモルファス化処理を行った。
その後、結晶化工程を施し、これらの処理を所定のサイクル実施して、本例の異方性交換スプリング磁石粉末を作製した。なお、この磁石粉末において、永久磁石材料であるNdFe14Bの結晶粒径は約50nm、軟磁性材料であるFeの結晶粒径は約50nmであった。
得られた粉末を100μm以下に粉末化した後、1975kA/m(25kOe)の磁場中でプレス成形して圧粉体を作製し、最大1975kA/m(25kOe)の直流BHトレーサにて、磁場印加方向とこれに垂直方向での磁化曲線を測定し、これらの曲線の差異により異方性の有無を確認した。
【0039】
図7は、上記合金においてx=9の組成を有し、磁化の温度特性から評価したアモルファス含有量が50%である母材について、結晶化工程を600℃×10min.の真空中熱処理として、アモルファス化と結晶化のサイクル回数と異方性の強度(Br///Br比)の相対値を示したものである。
本プロセスの効果は極めて大きく、1回の実施により異方性が付与できることが分る。また、1回以上の繰り返しにより異方性の大きさが増大する傾向も示されている。
【0040】
図8は、図7と同様の材料の保磁力の相対値を示したものである。
磁石特性として重要な保磁力は母材状態では得られず、アモルファス化と結晶化を1回以上行うことによって向上することが明らかである。
【0041】
図9は、x=8の組成を有し、磁化の温度特性から評価したアモルファス含有量が60%である母材について、結晶化工程として、1975kA/m(25kOe)の磁場中で異方性付与して圧縮成形した後に真空中、圧縮圧力980MPa(10ton/cm)、600℃×10min.の放電プラズマ焼結を行った場合のアモルファス化と結晶化のサイクル回数と異方性の強度(Br///Br比)の相対値を示したものである。
本プロセスの効果は極めて大きく、1回の実施しにより異方性が付与できることが分る。また、1回以上の繰り返しにより異方性の大きさが増大する傾向が示されている。
【0042】
図10は、図9と同様の材料の保磁力の相対値を示したものである。
磁石特性として重要な保磁力は母材状態では得られず、アモルファス化と結晶化を1回以上行うことによって向上することが明らかである。
【0043】
図11は、x=0.5〜20の組成を有し、磁化の温度特性から評価したアモルファス部含有量が45%である母材につき、アモルファス化と結晶化のサイクル回数を2として、xと異方性強度の関係を評価した圧粉体の最大エネルギー積を示したものである。このときの圧粉体の最大エネルギー積は、圧粉体作製時の磁場印加方向の磁化曲線から求めたものであり、粉末の磁気特性として示している。
組成範囲としては、2〜15原子%において、現状の磁石材料を上回る高特性が得られることがわかる。また、希土類元素のNdに対して、Nd−Pr、Pr、Nd−Dy(ジスプロシウム)などを希土類元素として用いた場合においても同様の効果と高性能化が実現でき、これらのデータを合わせて図示した。
【0044】
図12は、x=7の組成を有し、磁化の温度特性から評価したアモルファス含有量が50%である母材について、結晶化工程として「650℃×5min.の真空中熱処理」又は「1975kA/m(25kOe)の磁場中で圧縮成形した後に真空中、784MPa(8ton/cm)、650℃×5min.の放電プラズマ焼結」を行い、アモルファス化と結晶化のサイクル回数と異方性の強度(Br///Br比)の相対値を示したものである。
結晶化工程を真空中熱処理とした場合に比べて、磁場中成形後の焼結とした場合の方が更に異方性度合いが増すことがわかる。
【0045】
(実施例3)
図13は、実施例2で得られた異方性交換スプリング磁石粉末を用いて、バルクの異方性交換スプリング磁石を作成し、これを電気自動車又はハイブリッド電気自動車の駆動用モータに応用した例を示している。
従来の磁石を用いたモータに比べて最大トルクが1.67倍に増加した。
【0046】
【発明の効果】
以上説明してきたように、本発明によれば、所定の結晶質母材を特定のアモルファス化工程及び結晶化工程で処理することなどとしたため、有意な異方性を有し、良好な最大エネルギー積を有する交換スプリング磁石を実現できる、異方性交換スプリング磁石粉末の製造方法が提供される。
即ち、本発明の製造方法は優れた磁石性能を有する異方性交換スプリング磁石を提供する製造方法であり、これにより得られた異方性交換スプリング磁石粉末は、従来の等方性磁石粉末では得られなかった高性能なボンド磁石やフルデンス磁石を実現できるため、磁石を用いたモータ、磁界センサ、回転センサ、加速度センサ、トルクセンサなどに本発明で得られる異方性交換スプリング磁石を応用すると、製品の小型軽量化を促進し、自動車用部品に適用した場合には、飛躍的な燃費の向上が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】実施例1における工程サイクル数と異方性強度相対値の関係を示すグラフである。
【図2】実施例1における表1中の材料の工程サイクル数と保磁力相対値の関係を示すグラフである。
【図3】実施例1における工程サイクル数と異方性強度相対値の関係を示すグラフである。
【図4】実施例1における工程サイクル数と保磁力相対値の関係を示すグラフである。
【図5】実施例1における含有量xと最大エネルギー積の関係を示すグラフである。
【図6】実施例1におけるアモルファス含有量と最大エネルギー積相対値の関係を示すグラフである。
【図7】実施例2における工程サイクル数と異方性強度相対値の関係を示すグラフである。
【図8】実施例2における工程サイクル数と保磁力相対値の関係を示すグラフである。
【図9】実施例2における工程サイクル数と異方性強度相対値の関係を示すグラフである。
【図10】実施例2における工程サイクル数と保磁力相対値の関係を示すグラフである。
【図11】実施例2における含有量xと最大エネルギー積の関係を示すグラフである。
【図12】実施例2における結晶化処理が異なる場合の工程サイクル数と異方性強度相対値の関係を示すグラフである。
【図13】実施例3における駆動モータの構造を示した概略図である。

Claims (9)

  1. 永久磁石材料と軟磁性材料を複合化して成る異方性交換スプリング磁石粉末であって、
    元素成分として、希土類元素と、63〜87原子%の鉄(Fe)と5〜8原子%のコバルト(Co)が少なくとも包含される遷移金属元素と、ホウ素(B)、炭素(C)、窒素(N)及び酸素(O)から成る群より選ばれた少なくとも1種の元素を1〜25原子%含み、
    上記永久磁石材料及び軟磁性材料の結晶粒径が150nm以下である、異方性交換スプリング磁石粉末を製造するに当たり、
    上記永久磁石材料と軟磁性材料を含有する結晶質母材及び/又はアモルファス部を有する該結晶質母材を、ボールミル法又はプラズマ照射法によりこの母材中に微細な結晶粒が残留している状態にするアモルファス化工程と、これに続く熱処理であって、該結晶粒が交換結合を行うような微細な結晶粒に結晶化される結晶化工程から成る連続工程で1回以上処理することを特徴とする異方性交換スプリング磁石粉末の製造方法。
  2. 上記希土類元素の含有量が2〜15原子%であることを特徴とする請求項1記載の異方性交換スプリング磁石粉末の製造方法。
  3. 上記希土類元素が、ネオジウム(Nd)、プラセオジウム(Pr)及びサマリウム(Sm)から成る群より選ばれた少なくとも1種の元素であることを特徴とする請求項1又は2記載の異方性交換スプリング磁石粉末の製造方法。
  4. 上記アモルファス部を有する結晶質母材は、磁化の温度特性から得られるアモルファス部含有量が95%以下であることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1つの項に記載の異方性交換スプリング磁石粉末の製造方法。
  5. 上記結晶化工程の際、上記アモルファス化工程でアモルファス化された結晶質母材に異方性を付与して固化成形することを特徴とする請求項1〜4のいずれか1の項に記載の異方性交換スプリング磁石粉末の製造方法。
  6. 上記アモルファス化工程を、真空中、不活性ガス中、窒素中及び有機溶媒中のいずれかで酸素を遮断した状態で行うことを特徴とする請求項1〜5のいずれか1つの項に記載の異方性交換スプリング磁石粉末の製造方法。
  7. 上記結晶化工程を、真空中、不活性ガス中、窒素中及び有機溶媒中のいずれかで酸素を遮断した状態で行うことを特徴とする請求項1〜6のいずれか1つの項に記載の異方性交換スプリング磁石粉末の製造方法。
  8. 上記結晶化工程の結晶化加熱処理温度が950℃以下であることを特徴とする請求項1〜7のいずれか1つの項に記載の異方性交換スプリング磁石粉末の製造方法。
  9. 上記結晶化工程の結晶化加熱処理時間が1時間以内であることを特徴とする請求項1〜8のいずれか1つの項に記載の異方性交換スプリング磁石粉末の製造方法。
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