JP3815578B2 - エキシマレーザー発振装置 - Google Patents
エキシマレーザー発振装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP3815578B2 JP3815578B2 JP20881596A JP20881596A JP3815578B2 JP 3815578 B2 JP3815578 B2 JP 3815578B2 JP 20881596 A JP20881596 A JP 20881596A JP 20881596 A JP20881596 A JP 20881596A JP 3815578 B2 JP3815578 B2 JP 3815578B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- circuit
- capacitor
- voltage
- laser
- laser oscillation
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 claims description 57
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 claims description 46
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 24
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 6
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 4
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 3
- 239000003574 free electron Substances 0.000 description 3
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 230000005281 excited state Effects 0.000 description 2
- 230000005283 ground state Effects 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 2
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 2
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 239000000284 extract Substances 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/038—Electrodes, e.g. special shape, configuration or composition
- H01S3/0388—Compositions, materials or coatings
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/0305—Selection of materials for the tube or the coatings thereon
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/14—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range characterised by the material used as the active medium
- H01S3/22—Gases
- H01S3/223—Gases the active gas being polyatomic, i.e. containing two or more atoms
- H01S3/225—Gases the active gas being polyatomic, i.e. containing two or more atoms comprising an excimer or exciplex
Description
【産業上の利用分野】
本発明は、各種物品の加工等に用いられるエキシマレーザー発振装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
エキシマレーザーは、紫外域で発振する唯一の高出力レーザーとして注目されており電子産業や化学産業やエネルギー産業において応用が期待されている。
【0003】
具体的には金属、樹脂、ガラス、セラミクス、半導体等の加工や化学反応等に利用されている。
【0004】
エキシマレーザー光を発生する装置はエキシマレーザー発振装置として知られている。例えば、その構成を図16に示す。
【0005】
51はレーザーガスを収容する為のレーザーチャンバであり、このチャンバ51内に一対の電極54,55が設けられている。この一対の電極54,55には電圧を印加してレーザーガスを励起する為の電圧印加回路が接続されている。
【0006】
マニホルド内に充墳されたAr,Kr,Xe,KrF,ArF等のレーザーガスを放電により励起状態にする。すると、励起された原子は基底状態の原子と結合して励起状態でのみ存在する分子を生成する。この分子がエキシマと呼ばれるものである。エキシマは不安定な為、直ちに紫外光を放出して基底状態に落ちる。これをボンドフリー遷移というが、この遷移よってえられた紫外光を一対のミラーで構成される光共振器内で増倍してレーザー光として取り出すものがエキシマレーザー発振装置である。
【0007】
エキシマレーザーの中でもKrFレーザーやArFレ−ザーは、レーザーガスとして反応性の高いフッ素のガスを用いる。レーザー発振を続けるとレーザーチャンバ内でのフッ素の濃度が減少する。そこで、レーザーチャンバへの供給電圧を上げて所定の出力を得るように制御するのであるが、そのような制御でも出力が得難くなった場合には、一度発振を停止して、フッ素の補充を行う。
【0008】
更に、発振を続けるとフッ素の補充を行っても、所定のレーザー出力が得られなくなり、こうなるとレーザーチャンバを交換しなければならない。
【0009】
図13は従来知られているレーザー発振回路の一例である。発振を開始させるスイッチにサイラトロンを用いると、図13に示すような容量Cpのアフターリンギングが生じる。そこで、図14に示すように、レーザー発振回路のサイラトロンを半導体素子であるサイリスタに置換することでアフターリンギングを抑制してレーザーの寿命を延ばすことが考えられる。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、それでも、図15に示されているように、所定の周期毎にフッ素を補充し、印加電圧を上げながら発振を行う必要がある。換言すれば、フッ素濃度が何らかの理由で時間と共に減少することに変わりはない。よって、レーザーチャンバーの寿命という点では、いまだ充分なものではなく特に物品の加工等で長期間レーザーを使用する場合には、チャンバーの寿命は加工物品の製造スループットを向上させる上で重要な要因である。
【0011】
本発明は、上述した技術的課題に鑑みなされたものであり従来よりより長期間レーザー発振を繰り返し行って、所望のレーザー出力が得られるレーザー発振装置を提供することを主たる目的とする。
【0012】
本発明の別の目的は、フォトリソグラフィーのような半導体装置の製造に好適なレーザー発振装置を提供することにある。
【0013】
【課題を解決するための手段】
本発明のエキシマレーザー発振装置は、レーザーガスを収容する為のレーザーチャンバと、該チャンバ内に設けられた一対の電極と、該一対の電極に電圧を印加して該レーザーガスを励起する為の電圧印加回路とを有するエキシマレーザー発振装置において、
前記電圧印加回路は前記一対の電極間に第1の向きの電流を流す為の第1の電荷蓄積手段と前記第1の向きとは逆の第2の向きの電流を流す為の第2の電荷蓄積手段とを有し、
該第1の電荷蓄積手段と該第2の電荷蓄積手段は前記一対の電極に接続されており、
前記第1の電荷蓄積手段は、複数の容量と、磁気スイッチとを備える回路であり、
前記第2の電荷蓄積手段は、直列に接続されたスパークギャップと容量に、直列に接続されているコイルと抵抗とが、前記コイルを前記スパークギャップ側とし、前記抵抗を前記容量側として接続され、さらに、前記コイルと前記抵抗との間と前記スパークギャップとを接続してなる回路であるとともに、前記容量に充電を行うための電源を有していることを特徴とする。
【0015】
【発明の実施の形態】
図1は、本発明の一実施の形態に係るエキシマレーザー発振装置のレーザーチャンバ内の放電用の一対の電極間に流れる電流を説明する為の模式図である。
【0016】
図1のAは、一方の向きの第1の電流i1が流れた直後に他方の向きで且つ電流値がほぼ等しい第2の電流i2が流れるようすを示している。又、図1のBは、一方の向きの第1の電流i1が流れた後所定の期間INTをおいてから他方の向きで且つ電流値がほぼ等しい第2の電流i2が流れることを示している。
【0017】
このように、一対の放電電極間に流れる電流の向きが所定の周期で変化するように電圧を印加する為の駆動回路の構成について説明する。
【0018】
図2は、本発明の好適な実施の形態によるレーザ発振装置の回路構成図である。1は1kVの高圧電源、2は充電用の抵抗、3は電荷蓄積のための容量、4はパルス幅を狭くするための磁気スイッチ、5はレーザ発振を開始するためのサイリスタである。これら、電源1、抵抗2、容量3、磁気スイッチ4、サイリスタ5で変圧器6の一次コイル側が構成されている。変圧器6の巻数比は例えば1:20で、巻線の方向は逆である。容量3および磁気スイッチ4と同じ回路をパルス幅をより狭くするために多段に接続してもよい。
【0019】
変圧器6の二次コイル側には、容量8,9、Cpと、磁気スイッチ7とが接続されている。容量8,9、Cpと、磁気スイッチ7とからなる回路16はレーザチャンバ10の放電電極10a,10bに接続されている。11は放電を安定に起こすために用いられるプレイオナイザーである。
【0020】
そして、本発明の特徴はスパークギャップ12、容量Ci、コイル13、抵抗14、高圧電源15で構成される回路17を設けた点である。
【0021】
図3は、回路17のないレーザ発振回路における容量Cpの両端子の電圧波形(A)と、本発明による回路17を有するレーザ発振回路における容量Cpの両端子の電圧波形(B)とを示す。
【0022】
以下、図2、図3を参照して本発明の実施の形態に係るレーザ発振装置の動作について説明する。
【0023】
まず初めに、電荷蓄積用容量3に高圧電源1を用いて1kVまで充電する。また、電荷蓄積用容量Ciに高圧電源15を用いて15kVまで充電する。その後、サイリスタ5にトリガを入れ、サイリスタを導通させると、容量3に充電されていた電荷が放電される。このときコンデンサ8の両端には、−15kV程度のパルス電圧が印加されることになる。
【0024】
また、容量Cpの両端には、磁気スイッチ7でパルス幅が150ns程に短縮された電圧が図3に示すように現れる。容量Cpの両端にかかる電圧が−15kVから0Vに変化する際、まず、プレイオナイザー11が放電を開始し、レーザチャンバ内に106−107cm-3程度の密度を有した自由電子を生成する。
【0025】
その後、放電電極10a,b間に均一な放電が起こりレーザーが発振する。回路17がない場合には、図3(A)に示すように−15kVから0Vまで電圧が上昇するだけであるが、回路17がある場合図3(B)に示すように+15kVまで電圧が上昇する。
【0026】
このときの動作について以下説明する。
【0027】
容量Cpの両端にかかる電圧が急激に変化した際、その高周波電圧は、コイル13にほとんどかかる。これは、コイル13のインピーダンスを抵抗14に比べ大きく設定しているためである。そして、コイル13の両端に大きな電圧がかかることによりスパークギャップ12がスパークし導通する。これにより、容量Ciに充電されていた電荷が放電され、放電電極10a,b間にかかる電圧は15kV程度まで上昇する。このとき、放電電極10a,b間に放電が再び、今度は電流の向きが逆方向で起こる。
【0028】
以上のとおり、本発明では回路17を有するが故に、回路17のない装置に比べて、以下に述べる効果がある。
【0029】
まず、電流が正負交互に流れることにより、放電電極の劣化が上下対象となり、電極の劣化を従来の装置に比べ抑えられる。その結果、レーザの出力量に対する寿命が2倍以上となる。また、単位時間当りのレーザ出力量も約2倍得られる。
【0030】
図4は、参考例として説明するレーザー発振装置の回路構成図である。図2に示した回路と異なる点は回路17に替えて回路18が設けられている点である。回路18はコイル19、容量Cjおよび抵抗20により構成されている。図5は、回路18を有するレーザー発振回路における容量Cpの両端子の電圧波形を示す。
【0031】
以下、図4、図5のレーザー発振装置の動作について説明する。
【0032】
図2の回路構成を用いたときと同様に、まず初めに、電荷蓄積用容量3に高圧電源1を用いて1kVまで充電する。その後、サイリスタ5にトリガを入れ、サイリスタを導通させると、容量3に充電されていた電荷が放電される。このときコンデンサ8の両端には、−15kV程度のパルス電圧が印加されることになる。
【0033】
また、容量Cpの両端には、磁気スイッチ7でパルス幅が150ns程に短縮された電圧が図3に示すように現れる。容量Cpの両端にかかる電圧が−15kVから0Vに変化する際、まず、プレイオナイザー11が放電を開始し、レーザチャンバ内に106−107cm-3程度の密度を有した自由電子を生成する。
【0034】
その後、放電電極10a,b間に均一な放電が起こりレーザーが発振する。回路18がない場合には、図3(A)に示すように−15kVから0Vまで電圧が上昇するだけであるが、回路18がある場合図5に示すように正負交互に電圧が変化しながら減衰していく。これは、容量Cpの両端にかかる電圧が急激に変化した際、回路18により発振がおこるためである。その発振周波数は、コイル19、容量Cj、抵抗20により決めることが可能である。
【0035】
以上のとおり、この参考例では回路18を有するが故に、回路18のない装置に比べて、以下に述べる効果がある。図2に示した回路と同様に、電流が正負交互に流れることにより、放電電極の劣化を上下対象とすることができ、電極の劣化を従来の装置に比べ抑えられる。その結果、レーザーの出力量に対する寿命が2倍以上となる。また、単位時間当りのレーザー出力量も約2倍得られる。
【0036】
図6は、参考例として説明するレーザー発振装置の回路構成図である。図4に示した回路と異なる点は回路18が設けられていないかわりに、変圧器6の一次側に回路21が設けられている点である。回路21は、容量3’と磁気スイッチ4’とサイリスタ5’と変圧器の一次側コイル25’と同じ構成である。唯一異なる点は一次側コイルの巻き方向がコイル25とコイル25’とで互いに異なる点である。
【0037】
図7は、図6の回路21を有するレーザー発振回路における容量Cpの両端子の電圧波形を示す。
【0038】
以下、図6、図7の形態に係るレーザー発振装置の動作について説明する。
【0039】
図2の回路構成を用いたときと同様に、まず初めに、電荷蓄積用容量3、3’に高圧電源1を用いて1kVまで充電する。その後、サイリスタ5’にトリガを入れ、サイリスタ5’を導通させると、容量3’に充電されていた電荷が放電される。このときコンデンサ8の両端には、−15kV程度のパルス電圧が印加されることになる。
【0040】
また、容量Cpの両端には、磁気スイッチ7でパルス幅が150ns程に短縮された電圧が図7に示すように現れる。容量Cpの両端にかかる電圧が−15kVから0Vに変化する際、まず、プレイオナイザー11が放電を開始し、レーザチャンバ内に106−107cm-3程度の密度を有した自由電子を生成する。
【0041】
その後、放電電極10a,b間に均一な放電が起こりレーザーが発振する。次に、高圧電源H.V.を用いて、放電により電荷のなくなった電荷蓄積用容量3’を1ms以内に1kVまで充電する。今度はサイリスタ5にトリガを入れ、サイリスタ5を導通させると、容量3に充電されていた電荷が放電される。このときコンデンサ8の両瑞には、+15kV程度のパルス電圧が印加されることになる。
【0042】
また、容量Cpの両端には、磁気スイッチ7でパルス幅が15ns程に短縮された電圧が図7に示すように現れ、これによりレーザが発振される。以下同様に、1ms間隔でサイリスタ5,5’に、交互にトリガを入れることにより、容量Cpの両瑞に図7に示すようなパルス電圧を発生させることができる。
【0043】
ただし、回路21を加えることによりサイリスタ5,5’の耐圧は、回路21がない場合の2倍、すなわち、この揚合最低2kV必要である。
【0044】
以上のとおり、本発明では回路21を有するが故に、回路21のない装置に比べて、以下に述べる効果がある。電流を正負交互に流させることにより、放電電極の劣化を上下対象とすることができ、電極の劣化を従来の装置に比べ抑えられる。その結果、レーザーの出力量に対する寿命が2倍以上となる。
【0045】
図8は、参考例として説明するレーザー発振装置の回路構成図である。図6に示した回路と異なる点は並列に2つトランジスタ23と抵抗2とが設けられている点である。
【0046】
図8のレーザー発振回路における容量Cpの両端子の電圧波形は図7と同じである。
【0047】
高圧の電源電圧を2つのトランジスタ23の一方をオン、他方をオフとして容量3に選択的に供給することで、放電電極への印加電圧の向きを選択する。
【0048】
図9は、参考例として説明するレーザー発振装置の回路構成図である。図4に示した回路と異なる点は、回路18が無く且つ2つのスイッチ26と互いに逆の極性の端子に接続されたサイリスタ27とをが設けられている点である。
【0049】
図9のレーザー発振回路における容量Cpの両端子の電圧波形は図7と同じである。
【0050】
一次コイルを共通にして、スイッチ26の選択により容量3への充電電圧の向きを変えることができる。
【0051】
図10は、参考例として説明するレーザー発振装置の回路溝成図である。図4に示した回路と異なる点は回路18が無く且つ2つのスイッチ28が設けられている点である。
【0052】
図10のレーザー発振回路における容量Cpの両端子の電圧波形は図7と同じである。
【0053】
図9の例が充電電圧の向きを変えたのに対し、図10の例は容量3から一次コイルに流れる電流の向きをスイッチ28で変えるものである。
【0054】
図11は、参考例として説明するレーザー発振装置の回路構成図である。図11のレーザー発振回路における容量Cpの両端子の電圧波形は図7と同じである。以下、図11を参照して本発明のレーザー発振装置の動作について説明する。
【0055】
高圧電源1より容量31a,31bを充電する。サイラトロン30bがオンすると、容量31bは放電して容量Cpを充電する。この電圧がしきい値に達すると、レーザーの放電電極にて放電が生じてレーザーパルスが発生する。次に、他方のサイラトロン30aがオンすると容量31aが放電して容量Cpを反対極性に充電するので、レーザーの放電電極に印加される電圧も逆向きになる。
【0056】
図12は、参考例として説明するレーザー発振装置の回路構成図であるこの構成は図11のサイラトロン30a,30bを直列接続されたサイリスタ34a,34bで置換したものである。
【0057】
図12のレーザー発振回路における容量Cpの両端子の電圧波形は図7と同じである。
【0058】
この例は図11のサイラトロン30a,30bに変えて、半導体素子であるサイリスタ34a,34bを直列に接続して耐圧を向上させたスイッチを用いた例である。
【0059】
【発明の効果】
本発明によれば、レーザーチャンバの寿命を延ばすことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のエキシマレーザー発振装置の放電電極に流れる電流の様子を説明する為の図である。
【図2】本発明の好適な実施の形態によるエキシマレーザー発振装置の駆動回路を示す図である。
【図3】本発明の好適な実施の形態によるエキシマレーザー発振装置の特性を説明する為の図である。
【図4】参考例に係るエキシマレーザー発振装置の駆動回路を示す図である。
【図5】図4に示すエキシマレーザー発振装置の特性を説明する為の図である。
【図6】他の参考例に係るエキシマレーザー発振装置の駆動回路を示す図である。
【図7】図6に示したエキシマレーザー発振装置の特性を説明する為の図である。
【図8】エキシマレーザー発振装置の駆動回路の別の回路図である。
【図9】エキシマレーザー発振装置の駆動回路の別の回路図である。
【図10】エキシマレーザー発振装置の駆動回路の別の回路図である。
【図11】エキシマレーザー発振装置の駆動回路の別の回路図である。
【図12】エキシマレーザー発振装置の駆動回路の別の回路図である。
【図13】従来のエキシマレーザー発振装置の駆動回路とその特性とを示す図である。
【図14】従来のエキシマレーザー発振装置の別の駆動回路とその特性とを示す図である。
【図15】従来のエキシマレーザー発振装置の寿命を説明する為の図である。
【図16】エキシマレーザー発振装置の概念図である。
Claims (1)
- レーザーガスを収容する為のレーザーチャンバと、該チャンバ内に設けられた一対の電極と、該一対の電極に電圧を印加して該レーザーガスを励起する為の電圧印加回路とを有するエキシマレーザー発振装置において、
前記電圧印加回路は前記一対の電極間に第1の向きの電流を流す為の第1の電荷蓄積手段と前記第1の向きとは逆の第2の向きの電流を流す為の第2の電荷蓄積手段とを有し、
該第1の電荷蓄積手段と該第2の電荷蓄積手段は前記一対の電極に接続されており、
前記第1の電荷蓄積手段は、複数の容量と、磁気スイッチとを備える回路であり、
前記第2の電荷蓄積手段は、直列に接続されたスパークギャップと容量に、直列に接続されているコイルと抵抗とが、前記コイルを前記スパークギャップ側とし、前記抵抗を前記容量側として接続され、さらに、前記コイルと前記抵抗との間と前記スパークギャップとを接続してなる回路であるとともに、前記容量に充電を行うための電源を有していることを特徴とするエキシマレーザー発振装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP20881596A JP3815578B2 (ja) | 1996-07-19 | 1996-07-19 | エキシマレーザー発振装置 |
US08/891,972 US6282221B1 (en) | 1996-07-19 | 1997-07-11 | Excimer laser oscillation apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP20881596A JP3815578B2 (ja) | 1996-07-19 | 1996-07-19 | エキシマレーザー発振装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH1041591A JPH1041591A (ja) | 1998-02-13 |
JP3815578B2 true JP3815578B2 (ja) | 2006-08-30 |
Family
ID=16562591
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP20881596A Expired - Lifetime JP3815578B2 (ja) | 1996-07-19 | 1996-07-19 | エキシマレーザー発振装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6282221B1 (ja) |
JP (1) | JP3815578B2 (ja) |
Families Citing this family (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4256520B2 (ja) * | 1999-02-26 | 2009-04-22 | 忠弘 大見 | レーザ発振装置、露光装置及びデバイスの製造方法 |
US6785316B1 (en) * | 1999-08-17 | 2004-08-31 | Lambda Physik Ag | Excimer or molecular laser with optimized spectral purity |
JP3552979B2 (ja) * | 1999-09-16 | 2004-08-11 | ウシオ電機株式会社 | ArFエキシマレーザ装置 |
JP3427889B2 (ja) * | 1999-12-21 | 2003-07-22 | ウシオ電機株式会社 | ArFエキシマレーザ装置及びフッ素レーザ装置 |
JP3775469B2 (ja) * | 2000-03-15 | 2006-05-17 | ウシオ電機株式会社 | ArFエキシマレーザ装置、KrFエキシマレーザ装置及びフッ素レーザ装置 |
WO2001084678A2 (en) * | 2000-04-18 | 2001-11-08 | Lambda Physik Ag | Stabilization technique for high repetition rate gas discharge lasers |
US6862307B2 (en) * | 2000-05-15 | 2005-03-01 | Lambda Physik Ag | Electrical excitation circuit for a pulsed gas laser |
JP4740559B2 (ja) * | 2004-07-08 | 2011-08-03 | 日本碍子株式会社 | パルス電源 |
JP4684765B2 (ja) * | 2005-06-29 | 2011-05-18 | 日本碍子株式会社 | 電気回路及びパルス電源 |
CN101599613B (zh) * | 2009-01-13 | 2011-02-02 | 上海微电子装备有限公司 | 预电离与主放电时序控制装置及方法 |
CN107069421B (zh) * | 2017-02-28 | 2019-03-01 | 中国科学院合肥物质科学研究院 | 用于高重复率准分子激光的无二次放电高效激励电路 |
KR102408834B1 (ko) * | 2017-10-24 | 2022-06-13 | 사이머 엘엘씨 | 레이저 챔버에서 전극 수명을 연장시키기 위한 장치 및 방법 |
Family Cites Families (21)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3884790T2 (de) * | 1987-07-17 | 1994-01-27 | Fanuc Ltd | Durch hf-entladung angeregter laser. |
IT1229210B (it) * | 1988-03-31 | 1991-07-25 | Central Glass Co Ltd | Metodo e dispositivo per analizzare gas contenenti fluoro. |
JPH021998A (ja) * | 1988-06-10 | 1990-01-08 | Toshiba Corp | ガスレーザー装置 |
US5009963A (en) * | 1988-07-20 | 1991-04-23 | Tadahiro Ohmi | Metal material with film passivated by fluorination and apparatus composed of the metal material |
US4975921A (en) * | 1989-03-29 | 1990-12-04 | Lasertechnics, Inc. | Integrated prepulse circuits for efficient excitation of gas lasers |
JPH0316189A (ja) * | 1989-03-30 | 1991-01-24 | Hitachi Metals Ltd | 高電圧パルス発生回路およびこれを用いた放電励起レーザならびに加速器 |
US5383217A (en) * | 1989-05-09 | 1995-01-17 | Nikon Corporation | Exposure apparatus with laser source requiring new gas introduction |
JPH077857B2 (ja) * | 1989-05-17 | 1995-01-30 | 三菱電機株式会社 | 放電励起パルスレーザ装置 |
JP3017301B2 (ja) * | 1991-02-18 | 2000-03-06 | 大阪酸素工業株式会社 | 不動態膜の形成方法 |
US5181217A (en) * | 1991-02-27 | 1993-01-19 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Laser oscillator circuit |
JPH04326584A (ja) * | 1991-04-25 | 1992-11-16 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 放電励起ガスレーザ装置 |
US5280536A (en) * | 1991-10-11 | 1994-01-18 | Coherent, Inc. | Method and apparatus for supplying pulsed power to an ophthalmic laser system |
US5373523A (en) * | 1992-10-15 | 1994-12-13 | Kabushiki Kaisha Komatsu Seisakusho | Excimer laser apparatus |
US5450436A (en) * | 1992-11-20 | 1995-09-12 | Kabushiki Kaisha Komatsu Seisakusho | Laser gas replenishing apparatus and method in excimer laser system |
US5309462A (en) * | 1993-02-17 | 1994-05-03 | National Research Council Of Canada | Magnetic spiker gas laser excitation circuit |
US5307364A (en) * | 1993-05-24 | 1994-04-26 | Spectra Gases, Inc. | Addition of oxygen to a gas mix for use in an excimer laser |
JP2816813B2 (ja) * | 1994-04-12 | 1998-10-27 | 株式会社小松製作所 | エキシマレーザ装置 |
JPH0866781A (ja) * | 1994-08-30 | 1996-03-12 | Mitsubishi Electric Corp | エキシマレーザビーム照射装置 |
WO1996025778A1 (en) * | 1995-02-17 | 1996-08-22 | Cymer Laser Technologies | Pulse power generating circuit with energy recovery |
JPH08306995A (ja) * | 1995-04-28 | 1996-11-22 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | ガスレーザ発振装置 |
JP3874123B2 (ja) * | 1996-03-07 | 2007-01-31 | キヤノン株式会社 | 放電電極並びにエキシマレーザー発振装置及びステッパー |
-
1996
- 1996-07-19 JP JP20881596A patent/JP3815578B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1997
- 1997-07-11 US US08/891,972 patent/US6282221B1/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH1041591A (ja) | 1998-02-13 |
US6282221B1 (en) | 2001-08-28 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3815578B2 (ja) | エキシマレーザー発振装置 | |
JPS58155643A (ja) | グロー放電発生装置 | |
JP3552979B2 (ja) | ArFエキシマレーザ装置 | |
Baksht et al. | Long-pulse-discharge XeF and KrF lasers pumped by a generator with inductive energy storage | |
JP2002118311A (ja) | 露光用ArF、KrFエキシマレーザ装置及びフッ素レーザ装置 | |
JPH04326584A (ja) | 放電励起ガスレーザ装置 | |
JP3771690B2 (ja) | パルスレーザの放電回路 | |
JP2996706B2 (ja) | パルスレーザ発振装置 | |
JP2721887B2 (ja) | レーザ加工装置 | |
JPH10223952A (ja) | 放電励起ガスレーザー装置 | |
RU2175158C2 (ru) | Импульсный лазер на парах химических элементов | |
JPH0529690A (ja) | ガスレーザ発振装置 | |
JPH10303487A (ja) | 同軸ガスレーザ励起方法および同軸ガスレーザ装置 | |
JPH05121808A (ja) | パルスレーザ発振装置 | |
JPH0832158A (ja) | パルスレーザ発振装置 | |
JP2002151768A (ja) | 露光用フッ素レーザ装置 | |
JP3432854B2 (ja) | パルスガスレーザ発振装置 | |
JP2712774B2 (ja) | レーザ発振装置 | |
JPH10223953A (ja) | 放電励起ガスレーザー装置 | |
JPS59215783A (ja) | 誘電体電極横方向励起co↓2レ−ザ装置 | |
JPH02130978A (ja) | パルスレーザ発振装置 | |
JPH04237178A (ja) | ガスレーザ発振装置 | |
JPH04236475A (ja) | パルスレーザ用電源装置 | |
JPH04287990A (ja) | レーザ発振装置 | |
JPH02130977A (ja) | パルスレーザ発振装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20051115 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20051130 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060130 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060419 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060515 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20060531 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20060531 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090616 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100616 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110616 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120616 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120616 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130616 Year of fee payment: 7 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |