JPH10223953A - 放電励起ガスレーザー装置 - Google Patents
放電励起ガスレーザー装置Info
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- JPH10223953A JPH10223953A JP5822997A JP5822997A JPH10223953A JP H10223953 A JPH10223953 A JP H10223953A JP 5822997 A JP5822997 A JP 5822997A JP 5822997 A JP5822997 A JP 5822997A JP H10223953 A JPH10223953 A JP H10223953A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 高電圧・高繰り返し・短パルス放電によりガ
スを励起してレーザ光を発生する放電励起ガスレーザー
装置において、レーザ励起のためのインパルス電流の大
きさにかかわらず、補助電圧発生器を主放電電極に接続
することのできる放電励起ガスレーザー装置を提供する
こと。 【解決手段】 １次コンデンサ１２に充電用インダクタ
ンスＬ１を介して充電された電荷をスイッチ素子１４の
オン駆動の繰り返し毎に、２次コンデンサ１３へ移行
し、この移行により放電してレーザガスの励起を行う一
対の主放電電極２，３に、主放電インターバル中に一対
の主放電電極２，３間の残留電荷を除去する電圧を印加
する補助電圧発生器Ｅを接続するともに、補助電圧発生
器Ｅから前記充電用インダクタンスＬ２へ流れる電流を
阻止するダイオードＤを前記移行回路中に挿入接続し、
ダイオードＤに流れる電流を低減する。
スを励起してレーザ光を発生する放電励起ガスレーザー
装置において、レーザ励起のためのインパルス電流の大
きさにかかわらず、補助電圧発生器を主放電電極に接続
することのできる放電励起ガスレーザー装置を提供する
こと。 【解決手段】 １次コンデンサ１２に充電用インダクタ
ンスＬ１を介して充電された電荷をスイッチ素子１４の
オン駆動の繰り返し毎に、２次コンデンサ１３へ移行
し、この移行により放電してレーザガスの励起を行う一
対の主放電電極２，３に、主放電インターバル中に一対
の主放電電極２，３間の残留電荷を除去する電圧を印加
する補助電圧発生器Ｅを接続するともに、補助電圧発生
器Ｅから前記充電用インダクタンスＬ２へ流れる電流を
阻止するダイオードＤを前記移行回路中に挿入接続し、
ダイオードＤに流れる電流を低減する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、放電励起エキシマ
レーザー等の高電圧・高繰り返し・短パルス放電により
ガスを励起してレーザ光を発生する放電励起ガスレーザ
ー装置に関するものである。
レーザー等の高電圧・高繰り返し・短パルス放電により
ガスを励起してレーザ光を発生する放電励起ガスレーザ
ー装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】放電励起エキシマレーザー等の高電圧・
短パルス放電ガスレーザー装置では、高出力を得るため
に数Ｈｚ〜数１００Ｈｚの高繰り返し運転が行われる。
図３はこのような高電圧・高繰り返し・短パルス放電に
よりレーザガスを励起してレーザ光を発生する放電励起
ガスレーザー装置の構造の概略を示す図で、図におい
て、１は放電チャンバで、放電チャンバ１の内部に一対
の主放電電極２及び３、対からなる予備電離電極４及び
５、ブロワ６、熱交換器７を収納して構成されている。
短パルス放電ガスレーザー装置では、高出力を得るため
に数Ｈｚ〜数１００Ｈｚの高繰り返し運転が行われる。
図３はこのような高電圧・高繰り返し・短パルス放電に
よりレーザガスを励起してレーザ光を発生する放電励起
ガスレーザー装置の構造の概略を示す図で、図におい
て、１は放電チャンバで、放電チャンバ１の内部に一対
の主放電電極２及び３、対からなる予備電離電極４及び
５、ブロワ６、熱交換器７を収納して構成されている。
【０００３】一対の主放電電極２及び３は、主放電パル
ス発生器１０に接続され、対の予備電離電極４及び５は
予備電離電源９に接続されている。レーザ発振時には、
対の予備電離電極４及び５間に予備電離電源９から放電
電圧を印加して予備放電を発生し、この放電により発生
する例えば紫外光を一対の主放電電極２及び３間のレー
ザガス８に照射して予備電離し、つづいて一対の主放電
電極２及び３間に主放電パルス発生器１０から高電圧・
短パルスの電圧が印加されて主放電を発生し、この放電
によって一対の主放電電極２及び３間のレーザガス８を
励起し、この励起により例えば紫外域のパルスレーザを
発振する。
ス発生器１０に接続され、対の予備電離電極４及び５は
予備電離電源９に接続されている。レーザ発振時には、
対の予備電離電極４及び５間に予備電離電源９から放電
電圧を印加して予備放電を発生し、この放電により発生
する例えば紫外光を一対の主放電電極２及び３間のレー
ザガス８に照射して予備電離し、つづいて一対の主放電
電極２及び３間に主放電パルス発生器１０から高電圧・
短パルスの電圧が印加されて主放電を発生し、この放電
によって一対の主放電電極２及び３間のレーザガス８を
励起し、この励起により例えば紫外域のパルスレーザを
発振する。
【０００４】ところで、この１つの主放電パルスによっ
て主放電電極２及び３間には残留電荷が発生する。高繰
り返し運転時には、この主放電電極２及び３間の残留電
荷が連続する主放電パルスに影響を与え、数Ｈｚ以上で
は空間的に均一なグロー状のパルス放電が得られなくな
り、レーザー出力が低下することが知られている。高繰
り返し運転により高出力を得るためには主放電電極２及
び３間の残留電荷を除去する必要がある。この残留電荷
を除去するために主放電電極２及び３間のレーザーガス
８をブロワ６によって残留電荷を吹き流すようにされて
いる。
て主放電電極２及び３間には残留電荷が発生する。高繰
り返し運転時には、この主放電電極２及び３間の残留電
荷が連続する主放電パルスに影響を与え、数Ｈｚ以上で
は空間的に均一なグロー状のパルス放電が得られなくな
り、レーザー出力が低下することが知られている。高繰
り返し運転により高出力を得るためには主放電電極２及
び３間の残留電荷を除去する必要がある。この残留電荷
を除去するために主放電電極２及び３間のレーザーガス
８をブロワ６によって残留電荷を吹き流すようにされて
いる。
【０００５】一般的には主放電空間は、主放電電極２及
び３間距離が数ｃｍ電極長方向が１０ｃｍ以上となって
いる。ガスフローの方向としては電極幅方向が選ばれ
る。数１０Ｈｚの繰り返し運転とすると数１０ｍｓのイ
ンターバル（パルス放電の空き時間）中に、数１００Ｈ
ｚの繰り返し運転とすると数ｍｓというインターバル中
に主放電空間体積のレーザーガスを吹き流す必要があ
る。
び３間距離が数ｃｍ電極長方向が１０ｃｍ以上となって
いる。ガスフローの方向としては電極幅方向が選ばれ
る。数１０Ｈｚの繰り返し運転とすると数１０ｍｓのイ
ンターバル（パルス放電の空き時間）中に、数１００Ｈ
ｚの繰り返し運転とすると数ｍｓというインターバル中
に主放電空間体積のレーザーガスを吹き流す必要があ
る。
【０００６】実際にはこのインターバル中に主放電空間
体積の３倍程度以上のガスフローが必要とされており、
必要なガス流量は１００ｍ３／ｈ以上にも及ぶ。このた
めに消費される電力は、この種のレーザー装置の全消費
電力に占める割合の数１０％にも及び、総合エネルギー
効率を低下させる要因となっている。
体積の３倍程度以上のガスフローが必要とされており、
必要なガス流量は１００ｍ３／ｈ以上にも及ぶ。このた
めに消費される電力は、この種のレーザー装置の全消費
電力に占める割合の数１０％にも及び、総合エネルギー
効率を低下させる要因となっている。
【０００７】また、レーザーガス８は主放電によっても
発熱して高温になるが、ブロワ６による高速フローでも
加熱されてさらに高温になる。一般にレーザーガス８は
高温になるとレーザー出力が低下する傾向がある。この
ため、高速フロー時にはより冷却能力の高い熱交換器７
が必要となる。その結果、高速ガスフローで主放電空間
から残留電荷を取り除く手法では、装置サイズは大型化
し、高価で、しかも総合エネルギー効率が悪いという問
題がある。
発熱して高温になるが、ブロワ６による高速フローでも
加熱されてさらに高温になる。一般にレーザーガス８は
高温になるとレーザー出力が低下する傾向がある。この
ため、高速フロー時にはより冷却能力の高い熱交換器７
が必要となる。その結果、高速ガスフローで主放電空間
から残留電荷を取り除く手法では、装置サイズは大型化
し、高価で、しかも総合エネルギー効率が悪いという問
題がある。
【０００８】この問題を解消するために、補助電圧発生
器を設け、この補助電圧発生器と主放電電極２及び３を
接続して、主放電電極２及び３の短パルス放電のインタ
ーバル中に主放電電極２及び３間に補助電圧発生器から
絶縁破壊以下の電圧を印加し、この電圧によって主放電
電極２及び３間の残留電荷を電気的に除去することが提
案されている。この提案によれば、残留電荷を電気的に
除去するため、ガスフローは全く行わなくてよいか、も
しくは小容量で済み、エネルギー効率が高く、コンパク
トな高電圧・高繰り返し・短パルス放電ガスレーザ装置
を得ることが可能になる。
器を設け、この補助電圧発生器と主放電電極２及び３を
接続して、主放電電極２及び３の短パルス放電のインタ
ーバル中に主放電電極２及び３間に補助電圧発生器から
絶縁破壊以下の電圧を印加し、この電圧によって主放電
電極２及び３間の残留電荷を電気的に除去することが提
案されている。この提案によれば、残留電荷を電気的に
除去するため、ガスフローは全く行わなくてよいか、も
しくは小容量で済み、エネルギー効率が高く、コンパク
トな高電圧・高繰り返し・短パルス放電ガスレーザ装置
を得ることが可能になる。
【０００９】図４は、この提案による補助電圧発生器を
設けた高電圧・高繰り返し・短パルス放電ガスレーザ装
置の一例の回路構成を示す図で、１１は高圧電源入力端
子、１２は１次コンデンサ、１３は２次コンデンサ、１
４はサイラトロン等のスイッチ素子、２，３は一対の主
放電電極、Ｌ１は回路インダクタンス、Ｌ２は充電用イ
ンダクタンス、Ｌ３はブロッキングインダクタンス、Ｄ
はダイオード、Ｅは直流電源（補助電圧発生器）であ
る。なお、予備電離電極及び予備電離電極の電源回路は
省略されている。
設けた高電圧・高繰り返し・短パルス放電ガスレーザ装
置の一例の回路構成を示す図で、１１は高圧電源入力端
子、１２は１次コンデンサ、１３は２次コンデンサ、１
４はサイラトロン等のスイッチ素子、２，３は一対の主
放電電極、Ｌ１は回路インダクタンス、Ｌ２は充電用イ
ンダクタンス、Ｌ３はブロッキングインダクタンス、Ｄ
はダイオード、Ｅは直流電源（補助電圧発生器）であ
る。なお、予備電離電極及び予備電離電極の電源回路は
省略されている。
【００１０】高圧電源入力端子１１、１次コンデンサ１
２、２次コンデンサ１３、スイッチ素子１４、回路イン
ダクタンスＬ１、充電用インダクタンスＬ２からなる回
路は図３における主放電パルス発生器１０に相応する回
路で、スイッチ素子１４がオフしている時に高圧電源入
力端子１１に接続された図示しない高圧電源から１次コ
ンデンサ１２にインダクタンスＬ１，Ｌ２を介して充電
される。
２、２次コンデンサ１３、スイッチ素子１４、回路イン
ダクタンスＬ１、充電用インダクタンスＬ２からなる回
路は図３における主放電パルス発生器１０に相応する回
路で、スイッチ素子１４がオフしている時に高圧電源入
力端子１１に接続された図示しない高圧電源から１次コ
ンデンサ１２にインダクタンスＬ１，Ｌ２を介して充電
される。
【００１１】ついで、スイッチ素子１４がオン駆動され
ると１次コンデンサ１２に充電された電荷は２次コンデ
ンサ１３へと移行する。この移行により２次コンデンサ
１３の電圧が所定の高電圧に達すると、主放電電極２，
３間にグロー放電が発生し、この放電によりレーザガス
が励起されてレーザ光を出力する。
ると１次コンデンサ１２に充電された電荷は２次コンデ
ンサ１３へと移行する。この移行により２次コンデンサ
１３の電圧が所定の高電圧に達すると、主放電電極２，
３間にグロー放電が発生し、この放電によりレーザガス
が励起されてレーザ光を出力する。
【００１２】主放電電極２，３には補助電圧発生器Ｅが
ブロッキングインダクタンスＬ３を介して接続され、主
放電電極２及び３の放電のインターバル中に主放電電極
２及び３間に絶縁破壊以下の電圧を印加するようにされ
ている。この場合、主放電パルス発生器と補助電圧発生
器Ｅの絶縁を保ち、補助電圧印加中に主放電電極２及び
３間が充電用インダクタンスＬ２を通じて短絡されない
ようにダイオードＤが主放電電極２及び３と２次コンデ
ンサ１３の間に挿入接続されている。
ブロッキングインダクタンスＬ３を介して接続され、主
放電電極２及び３の放電のインターバル中に主放電電極
２及び３間に絶縁破壊以下の電圧を印加するようにされ
ている。この場合、主放電パルス発生器と補助電圧発生
器Ｅの絶縁を保ち、補助電圧印加中に主放電電極２及び
３間が充電用インダクタンスＬ２を通じて短絡されない
ようにダイオードＤが主放電電極２及び３と２次コンデ
ンサ１３の間に挿入接続されている。
【００１３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、このように主
放電電極２及び３と２次コンデンサ１３の間にダイオー
ドＤを挿入接続して補助電圧発生器Ｅを主放電電極２，
３に接続する構成では、レーザ励起のためのインパルス
電流がダイオードＤに流れるため、大容量かつ高速のダ
イオードとする必要があり、特に数１０ｎＳの間に数１
０ＫＡもの大電流が流れるエキシマレーザ等に対応する
ことが困難であるという問題がある。
放電電極２及び３と２次コンデンサ１３の間にダイオー
ドＤを挿入接続して補助電圧発生器Ｅを主放電電極２，
３に接続する構成では、レーザ励起のためのインパルス
電流がダイオードＤに流れるため、大容量かつ高速のダ
イオードとする必要があり、特に数１０ｎＳの間に数１
０ＫＡもの大電流が流れるエキシマレーザ等に対応する
ことが困難であるという問題がある。
【００１４】本発明は、この問題に鑑みなされたもの
で、高電圧・高繰り返し・短パルス放電によりガスを励
起してレーザ光を発生する放電励起ガスレーザー装置に
おいて、レーザ励起のためのインパルス電流の大きさに
かかわらず、補助電圧発生器を主放電電極に接続するこ
とのできる放電励起ガスレーザー装置を提供することを
目的とする。
で、高電圧・高繰り返し・短パルス放電によりガスを励
起してレーザ光を発生する放電励起ガスレーザー装置に
おいて、レーザ励起のためのインパルス電流の大きさに
かかわらず、補助電圧発生器を主放電電極に接続するこ
とのできる放電励起ガスレーザー装置を提供することを
目的とする。
【００１５】
【課題が解決しようとする手段】本発明では、高圧電源
により充電用インダクタンスを介して充電される１次コ
ンデンサと、所定のタイミングでオン駆動されるスイッ
チ素子と、前記充電用インダクタンスに並列に接続され
前記スイッチ素子のオン駆動時前記１次コンデンサによ
り充電される２次コンデンサと、前記２次コンデンサに
並列に接続され前記２次コンデンサの充電により放電し
てレーザガスの励起を行う一対の主放電電極とを備え、
前記一対の主放電電極間に高電圧・高繰り返し・短パル
ス放電を発生させ、前記放電により前記一対の主放電電
極間のガスを励起してレーザ光を発生する放電励起ガス
レーザー装置において、前記短パルス放電のインターバ
ル中に前記一対の主放電電極に、絶縁破壊以下で前記一
対の主放電電極間の残留電荷の除去可能の電圧を印加す
る補助電圧発生器を前記一対の主放電電極に並列に接続
するとともに、前記補助電圧発生器から前記充電用イン
ダクタンスへ流れる電流を阻止するダイオードを前記充
電用インダクタンスと前記２次コンデンサの並列回路中
に挿入接続してなることを特徴とする。
により充電用インダクタンスを介して充電される１次コ
ンデンサと、所定のタイミングでオン駆動されるスイッ
チ素子と、前記充電用インダクタンスに並列に接続され
前記スイッチ素子のオン駆動時前記１次コンデンサによ
り充電される２次コンデンサと、前記２次コンデンサに
並列に接続され前記２次コンデンサの充電により放電し
てレーザガスの励起を行う一対の主放電電極とを備え、
前記一対の主放電電極間に高電圧・高繰り返し・短パル
ス放電を発生させ、前記放電により前記一対の主放電電
極間のガスを励起してレーザ光を発生する放電励起ガス
レーザー装置において、前記短パルス放電のインターバ
ル中に前記一対の主放電電極に、絶縁破壊以下で前記一
対の主放電電極間の残留電荷の除去可能の電圧を印加す
る補助電圧発生器を前記一対の主放電電極に並列に接続
するとともに、前記補助電圧発生器から前記充電用イン
ダクタンスへ流れる電流を阻止するダイオードを前記充
電用インダクタンスと前記２次コンデンサの並列回路中
に挿入接続してなることを特徴とする。
【００１６】本発明の上記特徴によれば、補助電圧発生
器から充電用インダクタンスへ流れる電流を阻止するダ
イオードには、１次コンデンサから２次コンデンサへの
容量移行時の数ＫＡ〜１０ＫＡの電流、あるいは１次コ
ンデンサ充電時の電流及びパルス印加時の漏れ電流の数
１０Ａが流れるだけでダイオードに流れる電流は大幅に
低減されるので、レーザ励起のためのインパルス電流が
大きくても一対の主放電電極に補助電圧発生器を簡単に
接続することが可能になる。
器から充電用インダクタンスへ流れる電流を阻止するダ
イオードには、１次コンデンサから２次コンデンサへの
容量移行時の数ＫＡ〜１０ＫＡの電流、あるいは１次コ
ンデンサ充電時の電流及びパルス印加時の漏れ電流の数
１０Ａが流れるだけでダイオードに流れる電流は大幅に
低減されるので、レーザ励起のためのインパルス電流が
大きくても一対の主放電電極に補助電圧発生器を簡単に
接続することが可能になる。
【００１７】
【発明の実施の形態】以下、本発明に係る放電励起ガス
レーザー装置の実施の形態について図を参照して説明す
る。図１は本発明に係る実施の形態の放電励起ガスレー
ザー装置の回路図、図２は本発明に係る他の実施の形態
の放電励起ガスレーザー装置の回路図である。なお、図
４に示す従来の放電励起ガスレーザー装置の回路と同一
部分および対応する部分には同一の符号が付してある。
また、予備電離電極及び予備電離電極の電源回路は省略
されている。
レーザー装置の実施の形態について図を参照して説明す
る。図１は本発明に係る実施の形態の放電励起ガスレー
ザー装置の回路図、図２は本発明に係る他の実施の形態
の放電励起ガスレーザー装置の回路図である。なお、図
４に示す従来の放電励起ガスレーザー装置の回路と同一
部分および対応する部分には同一の符号が付してある。
また、予備電離電極及び予備電離電極の電源回路は省略
されている。
【００１８】本発明にしたがい、図１に示す実施の形態
の放電励起ガスレーザー装置では、主放電電極２，３
に、主放電パルス電圧の最大値の１／１０よりも低い例
えば１ＫＶの直流電圧を発生する補助電圧発生器Ｅをブ
ロッキングインダクタンスＬ３を介して接続し、補助電
圧発生器Ｅから充電用インダクタンスＬ２へ流れる電流
を阻止するダイオードＤを充電用インダクタンスＬ２と
２次コンデンサ１３の並列回路の１次コンデンサ１２か
ら２次コンデンサ１３への容量移行時の電流が流れる回
路中に挿入接続して構成されている。
の放電励起ガスレーザー装置では、主放電電極２，３
に、主放電パルス電圧の最大値の１／１０よりも低い例
えば１ＫＶの直流電圧を発生する補助電圧発生器Ｅをブ
ロッキングインダクタンスＬ３を介して接続し、補助電
圧発生器Ｅから充電用インダクタンスＬ２へ流れる電流
を阻止するダイオードＤを充電用インダクタンスＬ２と
２次コンデンサ１３の並列回路の１次コンデンサ１２か
ら２次コンデンサ１３への容量移行時の電流が流れる回
路中に挿入接続して構成されている。
【００１９】このように構成された放電励起ガスレーザ
ー装置は、スイッチ素子１４がオフしている時に高圧電
源入力端子１１に接続された図示しない高圧電源から１
次コンデンサ１２にインダクタンスＬ１，Ｌ２を介して
充電される。このとき、主放電電極２，３は補助電圧発
生器Ｅの電圧が印加され、また２次コンデンサ１３は補
助電圧発生器Ｅにより充電される。
ー装置は、スイッチ素子１４がオフしている時に高圧電
源入力端子１１に接続された図示しない高圧電源から１
次コンデンサ１２にインダクタンスＬ１，Ｌ２を介して
充電される。このとき、主放電電極２，３は補助電圧発
生器Ｅの電圧が印加され、また２次コンデンサ１３は補
助電圧発生器Ｅにより充電される。
【００２０】ついで、スイッチ素子１４がオン駆動され
ると１次コンデンサ１２に充電された電荷は２次コンデ
ンサ１３へと移行する。この移行により２次コンデンサ
１３の電圧が所定の高電圧に達すると、主放電電極２，
３間にグロー放電が発生し、この放電によりレーザガス
が励起されてレーザ光を出力する。この主放電は、数Ｈ
ｚ〜数１００Ｈｚで繰り返し行われる。スイッチ素子１
４がオン駆動されたとき、ダイオードＤに流れる電流は
１次コンデンサ１２から２次コンデンサ１３への容量移
行電流であり、数ＫＡ〜１０ＫＡである。
ると１次コンデンサ１２に充電された電荷は２次コンデ
ンサ１３へと移行する。この移行により２次コンデンサ
１３の電圧が所定の高電圧に達すると、主放電電極２，
３間にグロー放電が発生し、この放電によりレーザガス
が励起されてレーザ光を出力する。この主放電は、数Ｈ
ｚ〜数１００Ｈｚで繰り返し行われる。スイッチ素子１
４がオン駆動されたとき、ダイオードＤに流れる電流は
１次コンデンサ１２から２次コンデンサ１３への容量移
行電流であり、数ＫＡ〜１０ＫＡである。
【００２１】そして、一対の主放電電極２及び３間への
高電圧・短パルスの電圧の印加のインターバル毎に一対
の主放電電極２及び３間に補助電圧発生器Ｅからの電圧
が印加されることにより一対の主放電電極２及び３間に
残留する電子あるいはイオン等の荷電粒子は一対の主放
電電極２及び３に吸収されてスイープされ、次の高電圧
・短パルスの電圧の印加時には、一対の主放電電極２及
び３間に残留する電荷はなくなり、これにより空間的に
均一なグロー状のパルス放電が得られる。
高電圧・短パルスの電圧の印加のインターバル毎に一対
の主放電電極２及び３間に補助電圧発生器Ｅからの電圧
が印加されることにより一対の主放電電極２及び３間に
残留する電子あるいはイオン等の荷電粒子は一対の主放
電電極２及び３に吸収されてスイープされ、次の高電圧
・短パルスの電圧の印加時には、一対の主放電電極２及
び３間に残留する電荷はなくなり、これにより空間的に
均一なグロー状のパルス放電が得られる。
【００２２】補助電圧発生器Ｅから充電用インダクタン
スＬ２へ流れる電流を阻止するダイオードＤは、図２に
示すように、充電用インダクタンスＬ２と直列に１次コ
ンデンサ１２の充電電流が流れる回路中に挿入接続して
構成しても良い。この場合、ダイオードＤに流れる電流
は、１次コンデンサ１２の充電時の電流及び一対の主放
電電極２及び３間への高電圧・短パルスの電圧の印加時
の漏れ電流の数１０Ａ以下となりダイオードＤに流れる
電流は大幅に低減される。
スＬ２へ流れる電流を阻止するダイオードＤは、図２に
示すように、充電用インダクタンスＬ２と直列に１次コ
ンデンサ１２の充電電流が流れる回路中に挿入接続して
構成しても良い。この場合、ダイオードＤに流れる電流
は、１次コンデンサ１２の充電時の電流及び一対の主放
電電極２及び３間への高電圧・短パルスの電圧の印加時
の漏れ電流の数１０Ａ以下となりダイオードＤに流れる
電流は大幅に低減される。
【００２３】なお、図２に示す放電励起ガスレーザー装
置は、図１の放電励起ガスレーザー装置と同様に動作す
るので、その説明は省略する。また、図２に示す放電励
起ガスレーザー装置では、スイッチ素子１４と並列に抵
抗Ｒが接続されているが、この抵抗Ｒはスイッチ素子１
４のオフ時、すなわち一対の主放電電極２及び３間への
高電圧・短パルスの電圧の印加前に、補助電圧発生器Ｅ
の電圧を１次コンデンサ１２に充電してこの電圧がスイ
ッチ素子１４に加わらないようにするためのものであ
り、スイッチ素子１４の動作特性（オフ特性）に差しつ
かえがない場合には省略しても良い。
置は、図１の放電励起ガスレーザー装置と同様に動作す
るので、その説明は省略する。また、図２に示す放電励
起ガスレーザー装置では、スイッチ素子１４と並列に抵
抗Ｒが接続されているが、この抵抗Ｒはスイッチ素子１
４のオフ時、すなわち一対の主放電電極２及び３間への
高電圧・短パルスの電圧の印加前に、補助電圧発生器Ｅ
の電圧を１次コンデンサ１２に充電してこの電圧がスイ
ッチ素子１４に加わらないようにするためのものであ
り、スイッチ素子１４の動作特性（オフ特性）に差しつ
かえがない場合には省略しても良い。
【００２４】
【発明の効果】以上詳述したように、本発明によれば、
補助電圧発生器から充電用インダクタンスへ流れる電流
を阻止するダイオードには、１次コンデンサから２次コ
ンデンサへの容量移行時の電流、あるいは１次コンデン
サ充電時の電流及びパルス印加時の漏れ電流が流れるだ
けでダイオードに流れる電流は大幅に低減されるので、
ダイオードの選定範囲が拡大され安価なダイオードの使
用が可能になるとともに、ダイオードの寿命を延ばすこ
とができる。
補助電圧発生器から充電用インダクタンスへ流れる電流
を阻止するダイオードには、１次コンデンサから２次コ
ンデンサへの容量移行時の電流、あるいは１次コンデン
サ充電時の電流及びパルス印加時の漏れ電流が流れるだ
けでダイオードに流れる電流は大幅に低減されるので、
ダイオードの選定範囲が拡大され安価なダイオードの使
用が可能になるとともに、ダイオードの寿命を延ばすこ
とができる。
【図１】本発明に係る放電励起ガスレーザー装置の回路
図である。
図である。
【図２】本発明に係る放電励起ガスレーザー装置の他の
例の回路図である。
例の回路図である。
【図３】放電励起ガスレーザー装置の構造の概略を示す
構成図である。
構成図である。
【図４】従来の放電励起ガスレーザー装置の回路図であ
る。
る。
３、４ 主放電電極 １１ 高圧電源入力端子 １２ １次コンデンサ １３ ２次コンデンサ １４ スイッチ素子 Ｄ ダイオード Ｌ１ 回路インダクタンス Ｌ２ 充電インダクタンス Ｌ３ ブロッキングインダクタンス
Claims (1)
- 【請求項１】 高圧電源により充電用インダクタンスを
介して充電される１次コンデンサと、所定のタイミング
でオン駆動されるスイッチ素子と、前記充電用インダク
タンスに並列に接続され前記スイッチ素子のオン駆動時
前記１次コンデンサにより充電される２次コンデンサ
と、前記２次コンデンサに並列に接続され前記２次コン
デンサの充電により放電してレーザガスの励起を行う一
対の主放電電極とを備え、前記一対の主放電電極間に高
電圧・高繰り返し・短パルス放電を発生させ、前記放電
により前記一対の主放電電極間のガスを励起してレーザ
光を発生する放電励起ガスレーザー装置において、前記
短パルス放電のインターバル中に前記一対の主放電電極
に、絶縁破壊以下で前記一対の主放電電極間の残留電荷
の除去可能の電圧を印加する補助電圧発生器を前記一対
の主放電電極に並列に接続するとともに、前記補助電圧
発生器から前記充電用インダクタンスへ流れる電流を阻
止するダイオードを前記充電用インダクタンスと前記２
次コンデンサの並列回路中に挿入接続してなることを特
徴とする放電励起ガスレーザー装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5822997A JPH10223953A (ja) | 1997-02-04 | 1997-02-04 | 放電励起ガスレーザー装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5822997A JPH10223953A (ja) | 1997-02-04 | 1997-02-04 | 放電励起ガスレーザー装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10223953A true JPH10223953A (ja) | 1998-08-21 |
Family
ID=13078265
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5822997A Pending JPH10223953A (ja) | 1997-02-04 | 1997-02-04 | 放電励起ガスレーザー装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10223953A (ja) |
-
1997
- 1997-02-04 JP JP5822997A patent/JPH10223953A/ja active Pending
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