JP3729277B2 - 半導体メモリ装置のワード線駆動回路 - Google Patents
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Description
本発明は半導体メモリ装置に関し、特に、行アドレス信号をデコーディングしてワード線を駆動するワード線駆動回路に関するものである。
【従来の技術】
【0001】
半導体メモリ装置では、高集積、大容量化に伴い、チップの高速動作も求められている。しかし、チップの高集積化は動作電源電圧の低電圧化を必要とし、それによって、データアクセス時の動作速度が低下することとなった。そこで、チップ内に所定の電圧昇圧回路(bootstrap circuit) を備える技術が提示され、動作速度の高速化に対処している。特に、メモリセルからデータを読み出したり、あるいはメモリセルにデータを書き込む場合に、メモリセルを構成するアクセストランジスタのスイッチ動作を制御するワード線の電圧レベル及びこの駆動に関する問題は非常に重要である。
【0002】
通常、ダイナミックRAMの場合には、一つのアクセストランジスタと所定のデータを貯蔵する一つのストレージキャパシタとからなり、ストレージキャパシタに貯蔵されたデータはアクセストランジスタのチャネルを通じてビット線に伝達されるようになっている。このとき、データがビット線に伝達される速度及びデータの電圧レベルは、アクセストランジスタのゲートに印加されるワード線の電圧レベルによって決定される。しかし、高集積半導体メモリ装置のように、アクセストランジスタのゲートに印加されるワード線の電圧レベルが低電圧の場合、ストレージキャパシタに貯蔵されているデータを十分にビット線に伝達しにくいため、動作速度の低下等の問題が生ずる。これと関連して、上述の電圧昇圧回路を採用した半導体メモリ装置におけるワード線駆動回路の従来例とその動作タイミング図を図6及び図7に各々示す。図6の回路は、この分野でよく知られている構成であって、これは、“行デコーダ”とも言われる(以下、“ワード線駆動回路”という)。
【0003】
ワード線ブースト信号φXは、NMOSトランジスタ9を通じてワード線WLに伝送される。ワード線ブースト信号φXは、メモリアレイブロックの外部に存在する周辺回路から、チップのアクティブサイクルの期間中において、Vcc+2Vt(Vtはトランジスタのしきい電圧である)以上の電圧レベルで発生される。ワード線ブースト信号φXがワード線WLに伝達されると、ストレージキャパシタに貯蔵されたデータはメモリセルのアクセストランジスタのチャネルを通じてビット線に伝達される。なお、プリデコードされた行アドレス信号DRAij、DRAkl、DRAmnはブロック選択に関連する信号である。
【0004】
図6に示す回路の動作特性をタイミング図である図7を参照して簡単に説明する。信号φRDは行アドレスストローブ信号バーRASを遅延させて発生される信号であって、これは、図6に示す各動作信号をエネーブルさせる役割を担っている。行アドレスストローブ信号バーRASがアクティブ状態となると、信号PDPXが論理“ハイ”となり、プリチャージ用トランジスタ1はOFFとなる。そして、所定のプリデコーダ(図示を省略)からプリデコーディング過程を経た行アドレス信号が入力され、プリデコードされた行アドレス信号DRAij、DRAkl、DRAmnが全て論理“ハイ”のとき、ノードn1は論理“ロウ”となる。これにより、ワード線WLを制御するノードn2はVcc−Vt8(Vt8はNMOSトランジスタ8のしきい電圧である)レベルにプリチャージされる。その後、図7に示すように、ワード線ブースト信号φXが入力されると、ノードn2にはNMOSトランジスタ9を通じて自己昇圧が発生し、ワード線ブースト信号φXはNMOSトランジスタ9を通じてワード線WLに伝達される。なお、上記のプリデコーダは、当該分野でよく知られている回路であって、行デコーダや列デコーダの各々の入力部に位置するものである。
【0005】
図6に示された回路において、ノードn2は、ワード線ブースト信号φXが入力される前にVcc−Vt8レベルにプリチャージされなければならない。しかし、低電源電圧の条件下においては、ノードn2のプリチャージレベルが不十分となるので、回路の動作特性が低下し、ワード線WLの電圧上昇レベルが減少してしまう。また、ノードn2が十分にプリチャージされた後に、ワード線ブースト信号φXが入力されなければならないので、これにより回路の動作速度が低下する。更に、この場合、ノードn2は一定の電圧レベルを維持せず、Vcc−Vt8+φXの電圧レベルへと変化するので、ワード線駆動回路の信頼度が低下するようになる。加えて、ワード線WLの電圧レベルが上昇すると、NMOSトランジスタ9のゲート−ソース間の電圧Vgsが減少するので、ワード線ブースト信号φXの電圧レベルが降下する部分(φXB)では、NMOSトランジスタ9のチャネルを通じたワード線WLとワード線ブースト信号φXとの間の電荷配分動作が不十分になるという問題が発生する。
【0006】
このような問題点を解決するために提示されたワード線駆動回路の例を図8に示す。同図に示めす回路は、Komatsuzaki.K 等によって提案されたもので、これは、“Circuit Techniques For a Wide Word I/O Path 64 Mega DRAM”という題名の論文で、“1991 SYMPOSIUM ON VLSICIRCUITS ”に詳細に開示されている。この回路は、図6に示す回路の問題点を解決するため、ワード線ブースト信号φXがワード線駆動器であるPMOSトランジスタ30を通じてワード線WLに伝達されるように構成されている。すなわち、PMOSトランジスタのデバイス特性を利用した構成とされている。
【0007】
ラッチ回路40はプリデコードされた行アドレス信号RA0、RA1、RA2、RA3によって駆動され、ワード線駆動器であるPMOSトランジスタ30はラッチ回路40によって駆動される。ラッチ回路40の出力信号が昇圧電圧Vpp(例えばチップ内の昇圧回路から出力される電圧であって、電源電圧Vccより高い電圧レベルである)の電圧レベルで出力されるとき、ワード線WLの電位は、NMOSトランジスタ31がONとなって論理“ロウ”となる。また、ラッチ回路40の出力信号が論理“ロウ”のときには、ワード線駆動器であるPMOSトランジスタ30がONとなり、ワード線ブースト信号φXが直接的にワード線WLに伝達される。この場合、ワード線駆動器がPMOSトランジスタ30であるので、ラッチ回路40の出力信号が昇圧されることはない。すなわち、ワード線ブースト信号φXは、ワード線駆動器のゲート電圧をブーストしないで、直接ワード線WLに伝達されることになる。図8に示す回路によれば、上述の問題点、すなわち低電源電圧の条件下で、ワード線駆動器のゲート電圧のプリチャージレベルが不十分なため生じる動作特性の低下及びワード線WLの電圧上昇レベルの低下、そして、ワード線駆動器のゲート電圧が十分にプリチャージされた後にワード線ブースト信号φXが入力されるため生じる動作速度の低下などの問題を改善することができる。
【0008】
しかしながら、図8に示す回路には次のような他の問題がある。すなわち、プリデコードされた行アドレス信号RA0、RA1、RA2、RA3及びプリチャージ制御信号バーPCが、接地電圧Vssレベルから電源電圧Vccレベルまでスイング動作し、入力回路(トランジスタ19〜24)及びインバータ25の動作電圧が電源電圧Vccであるので、ラッチ回路40が必ず必要となる。このため集積度の向上を達成しにくいという問題が生ずる。なぜならば、図8に示す回路構成は、メモリセルアレイ(“メモリコア”と称される)内の集積度に比例して非常に多く要求されるからである。従って、最近の高集積メモリ素子のように、サブミクロン級の設計が用いられるメモリセルアレイに、同図のようなワード線駆動回路を適用するのは問題が多い。
【0009】
また、入力回路(トランジスタ19〜24)及びインバータ25にはプリチャージ制御信号バーPCとプリデコードされた行アドレス信号RA0、RA1、RA2、RA3が各々入力される。図示された構成からわかるように、論理“ロウ”の行アドレス信号RA0、RA1、RA2、RA3は、プリチャージ制御信号バーPCが完全に論理“ハイ”となってから入力されなければならないので、各信号のエネーブル順序による遅延現象が発生する。さらに、プリチャージ制御信号バーPCを、チップ内に多数存在する図8に示す回路のようなワード線駆動回路に印加させるため、信号線の負荷が増すので、プリチャージ制御信号バーPCを発生させるプリチャージ発生回路の出力端のチャネルのサイズを大きくしなければならない。したがって、プリチャージ制御信号バーPCの出力動作の遅延現象が発生してしまう。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】
したがって本発明の目的は、第一に、設計及びレイアウトが簡単で集積度を向上させ得る半導体メモリ装置のワード線駆動回路を提供することにある。
第二に、入力信号のエネーブル時間を高速化することにより高速出力動作が可能なワード線駆動回路を提供することにある。
第三に、低電源電圧の条件下でも、高速出力動作が可能なワード線駆動回路を提供することにある。
第四に、チップ内部に備えられる昇圧回路の出力電圧を直接ワード線に供給することができるワード線駆動回路を提供することにある。
第五に、ワード線ブースト信号により出力動作のエネーブルが行われるワード線駆動回路を提供することにある。
第六に、昇圧電圧端から接地電圧端への直流電流の漏れを防止できるワード線駆動回路を提供することにある。
第七に、電力消費が低く、また、昇圧電圧Vpp端から接地電圧Vss端への直流電流の漏れを防止できるワード線駆動回路を提供することにある。
第八に、行アドレス信号とワード線リセット信号との信号供給タイミングを適宜に制御することができるワード線駆動回路を提供する。
【0011】
【課題を解決するための手段】
このような目的を達成するために本発明は、半導体メモリ装置において、アドレスの組合入力によって駆動され、ワード線に電源電圧以上の昇圧電圧を出力するワード線駆動回路を提供する。
【0012】
すなわち、本発明によるワード線駆動回路は、チップ外部から供給される電源電圧より高い電圧が印加される第1供給電圧端と接地電圧が印加される第2供給電圧端とを有する半導体メモリ装置に備えられるワード線駆動回路であって、第1供給電圧端と第2供給電圧端との間に形成され、プリデコードされた行アドレス信号を入力とするデコーディング部と、該デコーディング部の出力端に接続され、前記プリデコードされた行アドレス信号に応答して電圧レベルをプリチャージ状態とするリセット部と、前記デコーディング部の出力端に連結され、ワード線ブースト信号により制御されるプルダウントランジスタを有する伝送部と、第1供給電圧端と第2供給電圧端との間に形成され、ワード線に第1供給電圧を供給するプルアップトランジスタを有するワード線出力部と、を備え、前記伝送部は、デコーディング部の出力ノードに入力端が連結されるCMOSインバータと、該CMOSインバータを構成するNMOSトランジスタと第2供給電圧端との間にチャネルが接続され、ワード線ブースト信号により制御されるプルダウントランジスタとを有することを特徴とする。
【0013】
このようなワード線駆動回路では、第1供給電圧は、チップ内部に備えられ、電源電圧より高い昇圧電圧を出力する回路(昇圧回路)による電圧であり、第2供給電圧は接地電圧とするとよい。
【0014】
さらに、本発明によるワード線駆動回路は、ワード線ブースト信号が直接ワード線に供給されず、第1供給電圧端から供給される電圧が直接ワード線にかかるようになっている。更に、本発明によるワード線駆動回路は、ワード線のプリチャージ動作がアドレスの組合入力のみによって遂行されるようになっている。
【0015】
【実施例】
以下、本発明の望ましい実施例を添付の図面を参照して詳細に説明する。なお同じ構成要素には同じ符合を付し、重複する説明は省略する。
【0016】
ここで使用される“ワード線駆動回路”とは、プリデコードされた行アドレス信号を入力とし、ワード線に所定の電圧を供給する回路であり、“ワード線リセット信号”とは、ワード線の非選択時における、ワード線を所定の電圧レベルにリセットするための制御信号であることを意味する。また、“ワード線駆動器”とは、ワード線駆動回路の出力端を構成し、ワード線に直接所定の電圧を供給する回路を意味する。
【0017】
図1は、本発明によるワード線駆動回路の第1実施例を示す回路図で、図2はこの回路の動作タイミングを示す。デコーディング部100Aは、チップ外部から供給される電源電圧を昇圧した電圧が印加される第1供給電圧Vpp端と接地電圧が印加される第2供給電圧Vss端との間に設けられ、プリデコードされた行アドレス信号DRAij、DRAkl、DRAmnを入力とする。リセット部100Bは、デコーディング部100Aの出力端に接続されており、伝送部100Cは、デコーディング部100Aの出力信号とワード線ブースト信号φXiとを入力とする。このワード線ブースト信号φXiは、ワード線活性化時点に立ち上がる必要がある。また、ワード線出力部100Dは、第1供給電圧Vpp端と第2供給電圧Vss端との間に形成されワード線WLを駆動するものである。なお、第1供給電圧Vpp端に印加される、外部電源電圧より昇圧された電圧は、チップ内部に備えられた昇圧回路によって出力されるようになっている。
【0018】
ワード線駆動回路の入力端であるデコーディング部100Aは、第1供給電圧Vpp端にチャネルの一方が接続される第1プルアップトランジスタ51と、第1供給電圧Vpp端にチャネルの一方が接続され、第1プルアップトランジスタ51と互いにラッチ構成で接続される第2プルアップトランジスタ55と、第1プルアップトランジスタ51と第2供給電圧Vss端との間に直列に接続され、プリデコードされた行アドレス信号DRAij、DRAkl、DRAmnにより制御される駆動手段52、53、54と、第2プルアップトランジスタ55にチャネルが直列に接続され、ゲートが第1プルアップトランジスタ51のラッチ接続端に接続される第1プルダウントランジスタ56とから構成されている。
【0019】
リセット部100Bは、デコーディング部100Aの出力ノードN11と第2供給電圧Vss端との間にチャネルが接続され、所定のワード線リセット信号φWRにより制御される第2プルダウントランジスタ57からなる。なお、リセット部100Bは、NMOSトランジスタではなく、他のトランジスタ又は他の手段で実施することもできる。なお、リセット部100Bはワード線WLに直接接続することもできる。
【0020】
伝送部100Cは、デコーディング部100Aの出力ノードN11に入力端が接続されるCMOSインバータ(58、59)と、このCMOSインバータを形成するNMOSトランジスタ59と第2供給電圧Vss端との間にチャネルが接続され、ワード線ブースト信号φXiにより制御される第3プルダウントランジスタ60とから構成される。なお、第3プルダウントランジスタ60は、NMOSトランジスタではなく、他の手段を利用することもできる。
【0021】
ワード線出力部100Dは、第1供給電圧Vpp端にチャネルの一端が接続される第3プルアップトランジスタ61と、第1供給電圧Vppにチャネルの一端が接続され、第3プルアップトランジスタ61と互いにラッチ構成で接続される第4プルアップトランジスタ62と、第4プルアップトランジスタ62にチャネルが直列接続され、ゲートが伝送手段100Cの出力ノードN12に接続される第4プルダウントランジスタ63とから構成される。そして、第4プルアップトランジスタ62と第4プルダウントランジスタ63の共通の接続ノードはワード線WLに接続される。
【0022】
なお、デコーディング部100Aの制御信号であるプリデコードされた行アドレス信号DRAij、DRAkl、DRAmnは、メモリセルアレイの周辺回路から発生されるようになっている。
【0023】
図2を参照して、図1に示すワード線駆動回路の動作特性を詳細に説明する。この第1実施例のワード線駆動回路は、従来技術と同様に、ワード線ブースト信号φXiが直接ワード線WLには供給されず、第1供給電圧VppがPMOSトランジスタ62を通じて直接ワード線WLに供給されるようになっている。また、ワード線WLがプリチャージされている時は、ワード線WLを常にディスエーブルに保持するため、ワード線出力部100Dをラッチ回路で構成しており、また、そのリセット動作は、ワード線リセット信号φWR及び第2プルダウントランジスタ(リセットトランジスタ)57によって行われる。
【0024】
前述のように、プリデコードされた行アドレス信号DRAij、DRAkl、DRAmnは各メモリセルアレイの周辺回路から発生されるが、これは、図8に示すラッチ回路40のような回路から出力される。すなわち、チップ外部から所定の行アドレス信号が電源電圧Vccレベルの論理“ハイ”にエネーブルされて供給されると、この行アドレス信号は、メモリセルアレイの周辺回路に位置するラッチ回路(図示せず)に入力される。そして、電源電圧Vccレベル、又は昇圧電圧Vppレベルの論理“ハイ”のプリデコードされた行アドレス信号DRAij、DRAkl、DRAmnが、メモリセルアレイの内部に存在するワード線駆動回路に入力される。
【0025】
行アドレスストローブ信号バーRASが論理“ハイ”、すなわちプリチャージ時には、行アドレス信号が論理“ロウ”であるので、プリデコードされた行アドレス信号DRAij、DRAkl、DRAmnは論理“ロウ”となる。したがって、ワード線リセット信号φWRが論理“ハイ”となり、ノードN11が論理“ロウ”となって、ノードN12は第1供給電圧Vppレベルの論理“ハイ”にプリチャージされる。これにより、ワード線出力部100Dの第4プルアップトランジスタ62はOFFし、第4プルダウントランジスタ63はONとなるので、ワード線WLはディスエーブルとなる。このときワード線ブースト信号φXiは論理“ロウ”に維持される。なお、このワード線ブースト信号φXiは、従来の技術による図8に示すプリデコーダのような回路から出力される。
【0026】
一方、図2に示す波形図のように、行アドレスストローブ信号バーRASが論理“ロウ”のアクティブ信号として印加された後、行アドレス信号が入力され、論理“ハイ”のプリデコードされた行アドレス信号DRAij、DRAkl、DRAmnが発生する。そして、ワード線リセット信号φWRが論理“ロウ”となり、リセットトランジスタ57をOFFとする。したがって、デコーディング部100Aの出力信号となるノードN11電位は、第1供給電圧Vppレベルの論理“ハイ”となる。その後、論理“ハイ”のワード線ブースト信号φXiが入力されると、ノードN12は接地電圧Vssレベルに放電される。すると、第4プルアップトランジスタ62がONとなり、図2に示すように、ワード線WLに第1供給電圧Vppを供給するようになる。
【0027】
なお、ワード線出力部100Dの第4プルダウントランジスタ63が接続される第2供給電圧Vss端は、通常の接地電圧Vss端でもよいが、ノイズの特性を向上させるため、Quiet Vss端と接続するようにしている。Quiet Vss端は、通常の接地電圧Vss端とは異なるもので、ノイズ重畳の少ない接地線、例えば、外部接地端子またはリード、あるいはチップボンディングパッドから分岐することにより実現することができ、これはワード線駆動回路のみに連結される接地電圧Vss端である。
【0028】
この後、行アドレスストローブ信号バーRASが再び論理“ハイ”、すなわちプリチャージ状態となると、プリデコードされた行アドレス信号DRAij、DRAkl、DRAmnは論理“ロウ”となり、ワード線リセット信号φWRは論理“ハイ”に上昇する。これにより、デコーディング部100Aの出力ノードN11は論理“ロウ”にプリチャージされる。したがって、ノードN12は論理“ハイ”にプリチャージされ、ワード線WLの電圧は第4プルダウントランジスタ63のチャネルを通じて放電される。
【0029】
この例のワード線出力部100D内のワード線駆動器は、図8に示した従来の回路と同様に、PMOSトランジスタ62であるので、図6に示す回路にあった問題点を解決することができる。また、図8に示す回路の場合、プリデコードされた行アドレス信号が接地電圧Vssレベルから電源電圧Vccレベルまでスイングするために、ラッチ回路をワード線駆動回路内に備えなければならなかった。しかし、第1実施例において、プリデコードされた行アドレス信号は、メモリセルアレイの周辺回路から発生され、接地電圧Vssから電源電圧Vcc(又は昇圧電圧)へスイングしてからの信号であるので図8に示す回路の問題点を解決でき、チップの集積度の向上を図ることができる。
【0030】
更に、ワード線ブースト信号φXiが直接ワード線WLに印加されない構成となっているので、ワード線WLを高速にエネーブルさせることができ、そして、第1供給電圧Vppから高電圧を直接ワード線WLに供給することができる。また、デコーディング部100Aに入力される制御信号は、単にプリデコードされた行アドレス信号DRAij、DRAkl、DRAmnであり、これらの信号により回路の動作がエネーブルされるので、図8に示す回路のような入力信号のエネーブル順序による遅延及びタイミングマージンの低下が防止できる。加えて、プリチャージ制御信号バーPCの信号線の負荷に関する問題も解消できると共に、第1実施例においては、ワード線電圧の放電時に、ワード線出力部100Dに示されたように、Quiet Vss端を使用するのでノイズの問題をも解決することができる。このことは、ワード線直結のリセット回路でも同様である。
【0031】
この第1実施例の回路構成に基づいた、シミュレーションの結果を表1に示す。この表1は、第4プルアップトランジスタ(ワード線駆動器)62がNMOSトランジスタ又はPMOSトランジスタの各場合において、電源電圧Vccレベルに従い、ワード線ブースト信号φXiがエネーブルされた後ワード線WLがエネーブルされるまでの時間を示したものである。
【0032】
【表1】
【0033】
図3は、本発明によるワード線駆動回路の第2実施例を示す回路図である。この第2実施例は、リセット部100B′の構成のみが第1実施例と異なり、その他の回路構成は同一である。第1実施例では、リセットトランジスタ57はワード線リセット信号φWRにより制御されたが、第2実施例においては、リセットトランジスタ57Aは、インバーティングゲート64を通じて、プリデコードされた行アドレス信号DRAij、DRAkl、DRAmnのうちのいずれか一つの信号により制御される。このように構成すると、ワード線リセット信号φWRの信号線がワード線駆動回路に連結されないので、ワード線リセット信号φWRの信号線の負荷の問題を解消することができ、電力消耗をより抑制することができるという長所がある。この、第2実施例の動作タイミング特性は第1実施例とほぼ類似し、すなわち、図2の動作タイミング図のうちワード線リセット信号φWRを除いて同一である。
【0034】
図4は本発明によるワード線駆動回路の第3実施例を示す回路図である。第2実施例においては、ワード線リセット信号φWRの代わりに、プリデコードされた行アドレス信号DRAij、DRAkl、DRAmnのうちのいずれか一つの信号によってインバーティングゲート64を通じてリセットトランジスタ57Aを制御したが、第3実施例では、プリデコードされた行アドレス信号DRAkl、DRAmnによりリセットトランジスタ94を制御することによって電力消耗を減少させるようになっている。
【0035】
以下、図4に示す第3実施例の回路構成を説明する。第1供給電圧Vpp端と第1ノード76及び第2ノード90との間にそれぞれ接続され、レベル変換回路を構成するPMOSトランジスタ72、74と、プリデコードされた行アドレス信号DRAij、DRAkl、DRAmnにより各々制御され、第1ノード76と第2供給電圧Vss端との間にチャネルが直列接続されるNMOSトランジスタ78、80、82と、ゲートがプリデコードされた行アドレス信号DRAklに接続され、チャネルが電源電圧Vcc端と第3ノード84との間に接続されるPMOSトランジスタ86と、ゲートがプリデコードされた行アドレス信号DRAmnに接続され、チャネルが電源電圧Vcc端と第3ノード84との間に接続されるPMOSトランジスタ88と、ゲートが第3ノード84に接続され、チャネルが第2ノード90と第2供給電圧Vss端との間に接続されるリセットトランジスタ94と、ワード線駆動器回路部96とから第3実施例は構成される。
【0036】
ワード線駆動器回路部96は、例えば、図1又は図3の伝送部100Cとワード線出力部100Dとにより構成してもよく、又は他の回路構成によっても実施可能である。図4から分るように、第3ノード84に各々のチャネルが接続されるPMOSトランジスタ86、88は、ワード線WLの電圧レベルを決定する第2ノード90のプリチャージレベルを決定する。
【0037】
第3実施例の動作を図5の動作タイミング図を参照して説明する。同タイミング図において、t1以前のように、行アドレスストローブ信号バーRASがプリチャージレベルである場合、プリデコードされた行アドレス信号DRAij、DRAkl、DRAmnは全て論理“ロウ”で入力される。このとき、PMOSトランジスタ86、88がONで、第3ノード84は電源電圧Vccレベルである。この第3ノード84により、リセットトランジスタ94がONとなり、第2ノード90を第2供給電圧Vssレベルにプリチャージする。この動作は、PMOSトランジスタ72、74を通じてラッチされる。
【0038】
次に、t1とt2との間のように、行アドレスストローブ信号バーRASがアクティブ状態となる場合、プリデコードされた行アドレス信号DRAij、DRAkl、DRAmnが全て論理“ハイ”で入力される。このとき、NMOSトランジスタ78、80、82は全てONとなる。そして、PMOSトランジスタ86、88はOFFとなり、第3ノード84はNMOSトランジスタ80、82のチャネルを通じて第2供給電圧Vssレベルに放電する。よって、リセットトランジスタ94はOFFとなる。第1ノード76は第2供給電圧VssレベルとなってPMOSトランジスタ74をONとし、第2ノード90を第1供給電圧Vppとさせる。このとき、リセットトランジスタ94は、OFFの状態に保持される。第1供給電圧Vppレベルの第2ノード90によってワード線駆動回路96が駆動し、その結果、ワード線WLが選択される。
【0039】
一方、t2以降のように、行アドレスストローブ信号バーRASがプリチャージ状態に戻る時には次のようになる。PMOSトランジスタ86、88のゲートに印加されるプリデコードされた行アドレス信号DRAkl、信号DRAmnのうちいずれか一つがディスエーブルされ論理“ロウ”となると、PMOSトランジスタ86、又は88によって、第3ノード84が論理“ハイ”となり、リセットトランジスタ94はONする。そして、NMOSトランジスタ80又は82がOFFとなるので第1ノード76の放電が遮断される。同時に、リセットトランジスタ94によって、第2ノード90は第2供給電圧Vssレベルとなる。これにより、PMOSトランジスタ72がONして第1ノード76は第1供給電圧Vppレベルとなり、この状態がラッチされる。従って、図3に示す第2実施例と同様に、ワード線リセット信号φWRとプリデコードされた行アドレス信号DRAij、DRAkl、DRAmnとの間の信号供給時間の制御が不要となり、プリデコードされた行アドレス信号DRAkl、DRAmnにより、順次に第2ノード90のプリチャージ動作が行われる。
【0040】
なお、図4に示す第3実施例の構成においては、PMOSトランジスタ86、88をプリデコードされた行アドレス信号DRAkl、DRAmnにより制御する構成としたが、これに限らず、プリデコードされた行アドレス信号DRAij、DRAkl又は信号DRAij、DRAmnにより制御するようにしてもよい。
【0041】
図1、図3、図4に示されたワード線駆動回路は、本発明の思想に立脚した最適の実施例であって、もし、本発明の技術的範囲内において本発明の構成に従い同一の効果が得られるならば、他の構成要素でも実施することができる。
【0042】
【発明の効果】
以上説明してきたように、本発明によるワード線駆動回路は、プリデコードされた行アドレス信号のみを入力とし、ワード線ブースト信号を直接ワード線に供給せずに済み、設計及びレイアウトが容易で高集積化に好適である。また、入力信号のエネーブル順序による遅延がなく、低電源電圧の条件下でも高速出力動作を行うことができ、出力端に接続される接地電圧Vss端にQuiet Vssを使用してノイズの問題をも解決し得る。その結果、64Mb、256Mb等の超高集積半導体メモリ装置に非常に適しているという長所がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明によるワード線駆動回路の第1実施例の回路図である。
【図2】第1実施例のワード線のエネーブル過程を示す動作タイミング図である。
【図3】本発明によるワード線駆動回路の第2実施例の回路図である。
【図4】本発明によるワード線駆動回路の第3実施例の回路図である。
【図5】第3実施例の各ノードの電圧上昇を示すタイミング図である。
【図6】従来のワード線駆動回路を示す回路図である。
【図7】図6の従来のワード線駆動回路の動作タイミング図である。
【図8】従来のワード線駆動回路の他の例を示す回路図である。
【符号の説明】
57 リセットトランジスタ
57A リセットトランジスタ
94 リセットトランジスタ
100A デコーディング部
100B リセット部
100B′ リセット部
100C 伝送部
100D ワード線出力部
Vpp 第1供給電圧
Vcc 電源電圧
Vss 第2供給電圧
φWR ワード線リセット信号
φXi ワード線ブースト信号
Claims (13)
- チップ外部から供給される電源電圧より高い電圧が印加される第1供給電圧端と接地電圧が印加される第2供給電圧端とを有する半導体メモリ装置に備えられるワード線駆動回路であって、
第1供給電圧端と第2供給電圧端との間に形成され、プリデコードされた行アドレス信号を入力とするデコーディング部と、
該デコーディング部の出力信号とワード線ブースト信号とを入力とする伝送部と、
第1供給電圧端と第2供給電圧端との間に形成され、ワード線を駆動するワード線出力部と、を備え、
前記伝送部は、デコーディング部の出力ノードに入力端が連結されるCMOSインバータと、該CMOSインバータを構成するNMOSトランジスタと第2供給電圧端との間にチャネルが接続され、ワード線ブースト信号により制御されるプルダウントランジスタとを有することを特徴とするワード線駆動回路。 - 第1供給電圧端は、チップの内部に備えられた、電源電圧より高い昇圧電圧を出力する昇圧回路に接続されることを特徴とする請求項1記載のワード線駆動回路。
- ワード線出力部に接続される第2供給電圧端は、チップに備えられた接地電圧ピンに接続されたチップ内部のパッドから分枝され、ワード線駆動回路のみに接続される接地電圧端子であることを特徴とする請求項1又は2記載のワード線駆動回路。
- デコーディング部は、
第1供給電圧端にチャネルの一端が接続される第1プルアップトランジスタと、
第1供給電圧端にチャネルが接続され、第1プルアップトランジスタの出力に応答するように連結されてラッチを構成する第2プルアップトランジスタと、
チャネルが第1プルアップトランジスタと第2供給電圧端との間に直列に設けられ、プリデコードされた行アドレス信号により制御される駆動トランジスタと、
第2プルアップトランジスタにチャネルが直列接続され、ゲートが第1プルアップトランジスタのラッチ接続端に接続される第1プルダウントランジスタとを有することを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載のワード線駆動回路。 - ワード線出力部は、
第1供給電圧端にチャネルの一端が接続される第3プルアップトランジスタと、
第1供給電圧端にチャネルが接続されると共に、第3プルアップトランジスタと互いにラッチ構成で連結され、ワード線に第1供給電圧を供給する第4プルアップトランジスタと、
第4プルアップトランジスタにチャネルが直列接続され、ゲートが伝送部の出力ノードに接続される第4プルダウントランジスタとを有することを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載のワード線駆動回路。 - デコーディング部の出力端に接続され、該デコーディング部の出力端の電圧レベルをプリチャージ状態とするリセット部を更に備えていることを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載のワード線駆動回路。
- リセット部は、デコーディング部の出力ノードにチャネルが接続され、ワード線リセット信号により制御される第2プルダウントランジスタを有することを特徴とする請求項6記載のワード線駆動回路。
- チップ外部から供給される電源電圧より高い電圧が印加される第1供給電圧端と接地電圧が印加される第2供給電圧端とを有する半導体メモリ装置に備えられるワード線駆動回路であって、
第1供給電圧端と第2供給電圧端との間に形成され、プリデコードされた行アドレス信号を入力とするデコーディング部と、
該デコーディング部の出力端に接続され、前記プリデコードされた行アドレス信号に応答して電圧レベルをプリチャージ状態とするリセット部と、
前記デコーディング部の出力端に連結され、ワード線ブースト信号により制御されるプルダウントランジスタを有する伝送部と、
第1供給電圧端と第2供給電圧端との間に形成され、ワード線に第1供給電圧を供給するプルアップトランジスタを有するワード線出力部と、を備え、
前記伝送部は、デコーディング部の出力ノードに入力端が連結されるCMOSインバータと、該CMOSインバータを構成するNMOSトランジスタと第2供給電圧端との間にチャネルが接続され、ワード線ブースト信号により制御されるプルダウントランジスタとを有することを特徴とするワード線駆動回路。 - 第1供給電源端は、チップ内部に備えられた、電源電圧より高い昇圧電圧を出力する昇圧回路に接続されることを特徴とする請求項8記載のワード線駆動回路。
- ワード線出力部に接続された第2供給電圧端は、チップに備えられた接地電圧ピンに接続されたチップ内部のリードから分枝され、ワード線駆動回路のみに接続される接地電圧端であることを特徴とする請求項8又は9記載のワード線駆動回路。
- デコーディング部は、
第1供給電圧端にチャネルの一端が接続される第1プルアップトランジスタと、
第1供給電圧端にチャネルが接続され、第1プルアップトランジスタの出力に応答するように連結されてラッチを構成する第2プルアップトランジスタと、
チャネルが第1プルアップトランジスタと第2供給電圧端との間に直列に形成され、プリデコードされた行アドレス信号に応答するトランジスタと、
第2プルアップトランジスタにチャネルが直列接続され、ゲートが第1プルアップトランジスタのラッチ接続端に接続される第1プルダウントランジスタとを有することを特徴とする請求項8〜10のいずれか1項に記載のワード線駆動回路。 - チップ外部から供給される電源電圧より高い電圧が印加される第1供給電圧端と接地電圧が印加される第2供給電圧端とを有する半導体メモリ装置に備えられるワード線駆動回路であって、
第1供給電圧端と第2供給電圧端との間に形成され、プリデコードされた行アドレス信号を多数の直列接続されたデコーディングトランジスタを介して入力とするデコーディング部と、
前記デコーディングトランジスタの接続ノードにチャネルが接続され、前記デコーディングトランジスタのスイッチング動作と相補的に動作する制御トランジスタと、
前記接続ノードの電圧レベルに応答してスイッチング動作し、チャネルが前記デコーディング部の出力端に接続され、この出力端の電圧レベルをプリチャージ状態とするリセット部と、
デコーディング部の出力ノードに入力端が連結されるCMOSインバータと、該CMOSインバータを構成するNMOSトランジスタと第2供給電圧端との間にチャネルが接続され、ワード線ブースト信号により制御されるプルダウントランジスタとを有する伝送部と、
を備えていることを特徴とするワード線駆動回路。 - デコーディングトランジスタはNMOSトランジスタからなり、制御トランジスタはPMOSトランジスタからなることを特徴とする請求項12記載のワード線駆動回路。
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