JP3727250B2 - 流体軸受装置およびこれを用いた磁気ディスク装置 - Google Patents

流体軸受装置およびこれを用いた磁気ディスク装置 Download PDF

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Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、スピンドルモータなどに用いられる動圧流体軸受装置およびこれを搭載した磁気ディスク装置に関するものであり、特に、潤滑剤の漏洩を防止する手段に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
図5は、従来の流体軸受装置を示す。
外周面に動圧発生溝4a,4bが形成された固定軸2の一端がベース1に圧入され、他端にはスラストプレート3が固定されて軸部が形成されている。磁気ディスク等を取り付ける為のハブ6の内周面にはスリーブ5が圧入されており、このスリーブ5の一端にスラストフランジ11が取り付けられて回転体が形成されている。そして、スラストフランジ11とスラストプレート3とが対向するようにスリーブ5の軸受孔に固定軸2が挿入され、軸部と回転体との間には潤滑剤10が充填されて回転体が軸部によって回転自在に支持される。
【0003】
また、ベース1に形成された壁にステータコイル9が設けられ、ハブ6のステータコイル9との対向面にロータヨーク8を介してロータマグネット7が取り付けられ、モータ駆動部が構成される。
【0004】
このモータ駆動部によりスリーブ5及びハブ6が回転駆動すると、固定軸2に形成された動圧発生溝4a,4bのポンピング作用により潤滑剤10に動圧が発生し、軸部と回転体とが非接触で回転支持される。
【0005】
軸部と回転体との間に充填された潤滑剤10は、表面張力によって軸受内部に保持されているが、軸受装置の回転駆動により潤滑剤10が飛散したり滲み出したりすると軸受の回転不良や外部への汚染を生じることとなる。このような潤滑剤10の漏洩を防止するために、スリーブ5の下端面には、潤滑剤10をはじく性質を持つ撥油膜12が形成されている。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
この撥油膜12は、潤滑剤10を適度にはじくものであれば良いとの観点から形成されているものであり、潤滑剤10をはじく力(以下、「はじき力」と称す)は特に重要視されていなかった。例えば、光ディスク装置に使用される流体軸受装置では、耐熱性や化学的安定性に優れ、動粘度の温度変化の小さいフッ素系の潤滑剤10が使用されているため、撥油膜12としてはこのフッ素系の潤滑剤10をはじきやすいシリコーン系の撥油膜12が使用されている。
【0007】
しかしながら、近年の軸受装置の高速回転化に伴って、モータ部の発熱や軸受部の摩擦熱による温度上昇によって潤滑剤10の表面張力が低下したり、潤滑剤10にかかる遠心力の増大が顕著になっており、上記従来の撥油膜12を設けた軸受装置では、潤滑剤10の軸受からの漏れを十分に防げず、潤滑剤10の飛散や滲み出しを招いて軸受の回転不良や外部の汚染を引き起こしやすくなっている。
【0008】
また、上記のようにシリコーン系の撥油膜12を用いた流体軸受装置は、光ディスク装置には搭載できるが、磁気ディスク装置に搭載すると、シリコーン皮膜から生じるポリシロキサンなどが磁気ディスクやヘッドに吸着してその摺動に悪影響を与え、記録再生エラーやヘッドクラッシュを引き起こす恐れがあるため、磁気ディスク装置には適用できないという問題がある。
【0009】
本発明は前記問題点を解決し、撥油膜によって確実に潤滑剤をはじいて潤滑剤の漏洩を防止できる信頼性の高い流体軸受装置およびこれを搭載した磁気ディスクを提供することを目的とする。
【0010】
【課題を解決するための手段】
本発明の流体軸受装置は、潤滑剤と撥油膜の組み合わせを規制するとともに、潤滑剤の表面張力が撥油膜の臨界表面張力よりも適正値だけ大きくなるよう構成したことを特徴とする。
【0011】
この本発明によると、高速回転により温度上昇や遠心力の増大が生じても、撥油膜のはじき力を維持して潤滑剤の漏洩を低減できる。
本発明の磁気ディスク装置は、潤滑剤と撥油膜の構成を特殊にしたことを特徴とする。
【0012】
この本発明によると、記録再生エラーやヘッドクラッシュのない信頼性の高い磁気ディスク装置を実現できる。
【0013】
【発明の実施の形態】
本発明の請求項1記載の磁気ディスク装置用流体軸受装置は、軸部とこの軸部によって回転自在に支持された回転体との間に潤滑剤を充填し、前記潤滑剤の液界面付近の軸部もしくは回転体に前記潤滑剤の漏洩を防止する撥油膜を形成した流体軸受装置であって、前記潤滑剤がパーフルオロポリエーテルまたはパーフルオロポリエーテル誘導体の少なくとも一方を主成分として含み、前記撥油膜がパーフルオロ系樹脂を主成分とする皮膜であり、前記潤滑剤の表面張力を前記撥油膜の臨界表面張力よりも8mN/m以上大きくしたことを特徴とする。
【0014】
この構成によると、撥油膜の臨界表面張力と潤滑剤の表面張力の差を一定以上持たせることで、モータ部の発熱や軸受部の摩擦熱などによる温度上昇に伴う潤滑剤の表面張力の低下や、高速回転に伴う遠心力の増大によっても、潤滑剤の飛散や滲みだしを確実に防止でき、信頼性の高い流体軸受装置を実現できる。
【0015】
本発明の請求項2記載の磁気ディスク装置用流体軸受装置は、軸部とこの軸部によって回転自在に支持された回転体との間に潤滑剤を充填し、前記潤滑剤の液界面付近の軸部もしくは回転体に前記潤滑剤の漏洩を防止する撥油膜を形成した流体軸受装置であって、前記潤滑剤がパーフルオロポリエーテルまたはパーフルオロポリエーテル誘導体の少なくとも一方を主成分として含み、前記撥油膜がフッ素化アルキル基を含有する側鎖を有するフッ素系化合物を主成分とする皮膜であり、前記潤滑剤の表面張力を前記撥油膜の臨界表面張力よりも8mN/m以上大きくしたことを特徴とする。
【0016】
本発明の請求項3記載のスピンドルモータは、請求項1または請求項2に記載の磁気ディスク装置用流体軸受装置を搭載したことを特徴とする。
【0017】
本発明の請求項4記載の磁気ディスク装置は、請求項3に記載のスピンドルモータを搭載したことを特徴とする。
【0021】
以下、本発明の各実施の形態を具体例に基づき図1〜図4を用いて説明する。
なお、上記従来例を示す図5と同様の構成をなすものには、同一の符号を付けて説明する。
【0022】
(実施の形態1)
図1に示すように、図5と同様に構成された流体軸受装置において、固定軸2の基端部にはテーパ部2a,2bが形成されており、潤滑剤10の液界面付近のスリーブ5の端面とテーパ部2bには撥油膜12が塗布されている。
【0023】
上記のように構成された流体軸受装置において、本発明者は、撥油膜12のはじき力の指標として固有の物性である臨界表面張力に着目し、潤滑剤10の表面張力を撥油膜12の臨界表面張力よりも適正値だけ大きくすることで、高温域での使用や高速回転化に伴う温度上昇などによっても撥油膜12のはじき力を維持して潤滑剤10の漏洩を防止できることを見出した。
【0024】
なお、ここで撥油膜12のはじき力の指標として臨界表面張力を用いているのは、一般に、固液界面において固体の表面エネルギー即ち表面張力が液体の表面張力より小さい場合には固体は液体には濡れにくく、固体の表面張力の測定が困難なためである。また、臨界表面張力は、固体面上で有機液体化合物の同族列が示す接触角をθ、その液体の表面張力をγとすると、cosθとγの関係は直線関係が得られ、その時のθ=0即ちcosθ=1に相当するγの値となる。
【0025】
具体的には、潤滑剤10の表面張力と撥油膜12の臨界表面張力との関係を調べるために撥油膜12の上に一定量の潤滑剤10を滴下し、一定時間が経過した時の潤滑剤10と撥油膜12の接触角と、潤滑剤10の表面張力と撥油膜12の臨界表面張力の差との関係を20℃雰囲気下で測定した。
【0026】
使用する潤滑剤10は、その表面張力により軸受に保持されるため軸受からの漏れや滲みを防ぐには表面張力が高い方が望ましいことから、従来より使用されている炭化水素系またはエステル系の少なくとも一方の成分を含む潤滑剤10を用いた。また、撥油膜12には、フッ素系の撥油膜12を用いた。
【0027】
得られた測定結果を図2に示す。なお、実線Aは炭化水素系およびエステル系の潤滑剤10を用いた場合の測定結果を示し、実線Bはフッ素系潤滑剤を使用した場合の測定結果を示す。
【0028】
実線Aに示すように、炭化水素系及びエステル系潤滑剤10を使用した場合には、表面張力と臨界表面張力の差が5mN/m付近より小さくなると接触角が急激に小さくなり、撥油膜12のはじき力が弱まった。
【0029】
また、フッ素系潤滑剤10の場合も同様の傾向が見られ、表面張力と臨界表面張力の差が8mN/m付近より小さい場合に接触角が急激に小さくなり、特に5mN/m以下では潤滑剤10が濡れ拡がって接触角を示さなくなった。
【0030】
このように炭化水素系及びエステル系潤滑剤10とフッ素系潤滑剤10とで接触角の特性が異なる理由は定かでないが、フッ素系潤滑剤10とフッ素系撥油膜12を組み合わせた場合には潤滑剤10と撥油膜12が同種類であるため、親和性を示す相互作用によりなじみやすいためだと考えられる。
【0031】
なお、撥油膜12としてシリコーン系撥油膜を使用した場合も、上記とほぼ同様の測定結果が得られた。
従って、図1に示す流体軸受装置において、潤滑剤10が炭化水素系油またはエステル系油の少なくとも一方の成分を含むものであり、撥油膜12がフッ素系またはシリコーン系の少なくとも一方の皮膜である場合には、潤滑剤12の表面張力を撥油膜12の臨界表面張力よりも5mN/m以上大きくした構成とすることで、温度上昇や高速回転によっても撥油膜12の弾き効果を維持して潤滑剤10の漏洩を防止でき、信頼性の高い流体軸受装置が実現できる。
【0032】
また、潤滑剤10がフッ素系潤滑剤10である場合には、このフッ素系潤滑剤10の表面張力を撥油膜12の臨界表面張力よりも8mN/m以上大きくすることで、上記と同様の効果が得られる。
【0033】
この実施の形態で使用される炭化水素系またはエステル系の少なくとも一方の成分を含む潤滑剤10としては、例えば、鉱物系の炭化水素、ポリαオレフィンなどの合成炭化水素、モノエステル、ジエステル、ポリオールエステルなどのエステル系などが挙げられる。これらの潤滑剤10は、性能のバランスが良く動粘度や表面張力の選択範囲が広いため、流体軸受装置の目的や用途に応じて任意に選択でき、単独もしくは混合させて用いることができる。
【0034】
フッ素系の潤滑剤10としては、耐熱性や化学安定性に優れしかも動粘度の温度変化の小さい、パーフルオロポリエーテルまたはパーフルオロポリエーテル誘導体の少なくとも一方を含むものが好適に使用できる。
【0035】
これらの潤滑剤10には、その性質を損なわない程度であれば性能の向上や補完を目的として酸化防止剤、極圧剤、油性剤、防錆剤、流動点降下剤、導電性付与剤、金属不活性剤、粘度指数向上剤などの添加剤を任意の組み合わせで添加しても良い。
【0036】
撥油膜12を形成するフッ素系樹脂としては、ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)、ポリフッ化ビニリデン(PVDF)ポリフッ化ビニル(PVF)、エチレン/テトラフルオロエチレン共重合体(ETFE)、エチレン/クロロトリフルオロエチレン共重合体(ECTFE)、ポリクロロトリフルオロエチレン(PCTFE)、テトラフルオロエチレン/パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体(PFA)、テトラフルオロエチレン/ヘキサフルオロプロピレン共重合体(FEP)などが挙げられ、その一部は水酸基、カルボキシル基、アミノ基、イソシアネート基、エポキシ基などの官能基で置換されていてもよい。これらを単独もしくは混合もしくは共重合させて用いることができる。
【0037】
また、市販品として、住友スリーエム社製フロラードFCやサカタインクス社製スミフルノンFP、旭ガラス社製サイトップなどの撥水、撥油剤であれば同様の効果が得られる。中でも、より低い臨界表面張力を持つ結晶性または非晶質のパーフルオロ系樹脂が特に好適に使用できる。
【0038】
また、撥油膜12を形成するシリコーン系樹脂としては、ポリジメチルシロキサン(PDMS)などのシリコーンレジンが挙げられ、その一部がエーテル、アミン、エポキシ、アルキド、フェニル、アルキルなどで変性されたものでも良い。また、フッ素系樹脂と同様にこれらを単独もしくは混合させて用いることができ、より低い臨界表面張力を持つものが好ましい。
【0039】
撥油膜12は、上記のフッ素系樹脂またはシリコーン系樹脂をコーティング液に溶解し、スリーブ5の下端面および固定軸2のテーパ部2bなどの所定の個所に塗布し、常温もしくは加熱乾燥により形成するコーティング皮膜とすると、フッ素化プラズマ処理などで表面改質する場合と比べて工程や設備が簡素化でき、容易にしかも低コストで形成できる。
【0040】
コーティング液の塗布方法は、スピンコート、ディツプコート、スプレーコート、転写コート、ポッティングコート、刷毛塗りなど、部材の大きさや形状に応じて任意に選択できる。
【0041】
また、コーティング液に各種の材料を分散、溶解させれば撥油膜12を形成した後に容易に別の機能を付与することもできる。また、上記の撥油膜12には、固定軸2もしくはスリーブ5と識別するために顔料や染料を含有させて黒色や白色その他の色で着色してもよい。また、均一に分散させる目的で分散剤を添加してもよい。これら、樹脂成分以外の添加物は、撥油膜の撥油性能や密着性を低下させない範囲で必要最小限にとどめるのが望ましい。
【0042】
以下に、この(実施の形態1)における具体例として実施例および比較例を示す。
実施例1
図1に示す流体軸受装置において、潤滑剤10として表面張力が34mN/mのポリオールエステル潤滑剤を用いた。この表面張力は、デュヌィ表面張力計等で測定した20℃での値である。
【0043】
また、撥油膜12は、臨界表面張力が19mN/mの市販のパーフルオロ系フッ素樹脂を用い、このフッ素系樹脂を溶解させたフッ素系コーティング液を、スリーブ5の下端面には転写式、固定軸2のテーパ部2bにはスプレー方式によってそれぞれ塗布し、加熱乾燥させて形成した。
【0044】
そして、80℃の高温環境下で、7200rpmの回転数で1000時間、連続回転させた。
その後、流体軸受装置を分解して、スリーブ5の下端面を観察し、図3(a)に示すようにスリーブ5の端面に潤滑剤10の漏れが見られなかったものを○、図3(b)に示すようにスリーブ5の端面に潤滑剤10の漏れや滲み17が観察されたものを×で評価した。
【0045】
評価結果を表1に示す。
【0046】
【表1】
Figure 0003727250
実施例2
潤滑剤10として表面張力が34mN/mのポリオールエステル潤滑剤を用い、撥油膜12を臨界表面張力が24mN/mのシリコーン系のポリジメチルシロキサンにて形成した。
【0047】
そしてそれ以外は実施例1と同様にしてスリーブ5の端面を観察した。
得られた評価結果を表1に示す。
実施例3
潤滑剤10として表面張力が21mN/mのフッ素系の直鎖型パーフルオロポリエーテル潤滑剤を用い、撥油膜12を臨界表面張力が12mN/mの市販のパーフルオロ系フッ素樹脂にて形成した。
【0048】
そしてそれ以外は実施例1と同様にしてスリーブ5の端面を観察した。
得られた評価結果を表1に示す。
比較例1
潤滑剤10として表面張力が23mN/mのフッ素系の直鎖型パーフルオロポリエーテル潤滑剤を用い、撥油膜12を臨界表面張力が19mN/mの市販のパーフルオロ系フッ素系樹脂にて形成した。
【0049】
そしてそれ以外は実施例1と同様にしてスリーブ5の端面を観察した。
得られた評価結果を表1に示す。
比較例2
潤滑剤10として表面張力が22mN/mの炭化水素潤滑剤を用い、撥油膜12として臨界表面張力が19mN/mの市販のパーフルオロ系フッ素系樹脂にて形成した。
【0050】
そしてそれ以外は実施例1と同様にしてスリーブ5の端面を観察した。
得られた評価結果を表1に示す。
実施例1と実施例2は、潤滑剤10が炭化水素系油またはエステル系油であり、撥油膜12がフッ素系またはシリコーン系の少なくとも一方の皮膜である組み合わせにおいて、潤滑剤12の表面張力が撥油膜12の臨界表面張力よりも5mN/m以上大きかったため、高温環境下での高速回転を行っても、図3(a)に示すようにスリーブ5の端面における潤滑剤10の漏れや滲みは観察されなかった。
【0051】
実施例3は、潤滑剤10がフッ素系潤滑剤である場合に、このフッ素系潤滑剤の表面張力を撥油膜12の臨界表面張力よりも8mN/m以上大きくしたため、上記と同様にスリーブ5の端面における潤滑剤10の漏れや滲みは観察されなかった。
【0052】
比較例1は、フッ素系潤滑剤10の表面張力とフッ素系撥油膜12の臨界表面張力との差が本発明の範囲である8mN/mよりも小さかったため、図3(b)に示すようにスリーブ5の端面において潤滑剤10の滲み17が観察された。
【0053】
比較例2は、炭化水素系の潤滑剤10の表面張力とフッ素系の撥油膜12の臨界表面張力との差が本発明の範囲である5mN/mよりも小さかったため、図3(b)に示すようにスリーブ5の端面において潤滑剤10の滲み17が観察された。
【0054】
ここで、比較例1のようにフッ素系潤滑剤10の表面張力とフッ素系撥油膜12の臨界表面張力との差が8mN/mよりも小さい場合、比較例2のように炭化水素系の潤滑剤10の表面張力とフッ素系の撥油膜12の臨界表面張力との差が5mN/mよりも小さい場合には、図2に示す接触角は共に約40°以下であった。この結果からも、このような条件では軸受から潤滑剤10の滲みが発生しやすいことがわかる。
【0055】
(実施の形態2)
図4は、本発明の(実施の形態2)を示す。
この(実施の形態2)では、上記実施の形態における流体軸受装置を用いることで、流体軸受装置の磁気ディスク装置への搭載を実現できる。
【0056】
図4に示すように、図1と同様に構成された流体軸受装置において、ハブ6には、スペーサ14を介して2枚の磁気ディスク13がセットされ、クランプ15およびビス16にて固定されている。磁気ディスク13には、潤滑剤(図示せず)が塗布されている。4c,4dはスリーブ5の内面側に形成された動圧発生溝である。
【0057】
流体軸受装置には、上記実施の形態におけるもののうち、潤滑剤10がフッ素系潤滑剤10であり、撥油膜12がフッ素系皮膜であり、フッ素系潤滑剤10の表面張力が撥油膜12の臨界表面張力よりも8mN/m以上大きくなるよう構成されたものが使用できる。
【0058】
フッ素系潤滑剤10としては上記実施の形態と同様のものが使用でき、例えば、パーフルオロポリエーテルまたはパーフルオロポリエーテル誘導体などが好適に使用できる。中でも、動粘度の温度変化が小さく、より耐熱性の高い直鎖型のパーフルオロポリエーテルを主成分とするのが好ましい。直鎖型の市販品としては、アウジモント社製フォンブリンM、Z、ダイキン工業社製デムナムSなどが挙げられるが、側鎖型のものを用いても良い。これらを単独もしくは混合、一部を水酸基、カルボキシル基、イソシアネート基、エステル基などの官能基で変成させて用いることができる。
【0059】
撥油膜12を形成するフッ素系皮膜も、その臨界表面張力が潤滑剤10の表面張力よりも8mN/m以上小さいものであれば上記実施の形態と同様のものが使用できるが、フッ素系潤滑剤10の表面張力との差を大きくとれる臨界表面張力が20mN/m以下のできる限り小さいものが好ましい。本発明では、フッ素系潤滑剤10の表面張力とフッ素系皮膜の臨界表面張力の差が8mN/m以上であることが必要であり、好ましくは10mN/m以上である。また、両者の差が10mN/m以上であれば、ほぼ最大のはじき力が得られる。
【0060】
上記のように構成された磁気ディスク装置は、撥油膜12を形成するフッ素系皮膜とフッ素系潤滑剤10とが共に磁気ディスク13の表面に塗布されたフッ素系潤滑剤と同じ種類であるため、シリコーン系の撥油膜12を用いた場合のようにポリシロキサンなどが磁気ディスク13やヘッドへ吸着して動作障害を起こすことがなくなり、クリーンで信頼性の駆動が実現できる。
【0061】
なお、上記各実施の形態では、軸部の一端を固定した流体軸受装置を例に挙げて説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、両端が固定された流体軸受装置や、軸部を回転体とする場合やスリーブの内径穴を両側開放させた流体軸受装置などでも同様の効果が得られる。また、臨界表面張力の異なる2種類以上の撥油膜12をスリーブ5と回転軸の両方に形成しても良い。
【0062】
【発明の効果】
以上のように本発明の流体軸受装置によると、軸部とこの軸部によって回転自在に支持された回転体との間に潤滑剤を充填し、前記潤滑剤の液界面付近の軸部もしくは回転体に前記潤滑剤の漏洩を防止する撥油膜を形成した流体軸受装置であって、前記潤滑剤が炭化水素系油またはエステル系油の少なくとも一方の成分を含み、前記撥油膜がフッ素系またはシリコーン系の少なくとも一方の皮膜であり、前記潤滑剤の表面張力を前記撥油膜の臨界表面張力よりも5mN/m以上大きくすることで、高温域での使用や高速回転化下であっても、撥油膜のはじき力を維持して潤滑剤の漏洩を良好に防止でき、信頼性の高い流体軸受装置が実現できる。
【0063】
また、潤滑剤がフッ素系潤滑剤である場合には、このフッ素系潤滑剤の表面張力を前記撥油膜の臨界表面張力よりも8mN/m以上大きくすることで、上記と同様の効果が得られる。
【0064】
また、本発明の磁気ディスク装置によると、軸部とこの軸部によって回転自在に支持された回転体との間に潤滑剤を充填し、前記潤滑剤の液界面付近の軸部もしくは回転体に前記潤滑剤の漏洩を防止する撥油膜を形成した流体軸受装置を搭載した磁気ディスク装置であって、前記潤滑剤がフッ素系潤滑剤であり、前記撥油膜がフッ素系皮膜であり、前記潤滑剤の表面張力を前記撥油膜の臨界表面張力よりも8mN/m以上大きくすることで、従来は使用できなかった磁気ディスク装置にも適用可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の(実施の形態1)における流体軸受装置の縦断面図
【図2】同実施の形態における潤滑剤の表面張力と撥油膜の臨界表面張力の関係を示す測定図
【図3】同実施の形態における実施例および比較例でのスリーブ端面の模式図
【図4】本発明の(実施の形態2)における磁気ディスク装置の縦断面図
【図5】従来の流体軸受装置の縦断面図
【符号の説明】
1 ベース
2 固定軸
2a、2b 固定軸テーパ部
4a〜4d 動圧発生溝
5 スリーブ
6 ハブ
10 潤滑剤
12 撥油膜
13 磁気ディスク

Claims (4)

  1. 軸部とこの軸部によって回転自在に支持された回転体との間に潤滑剤を充填し、前記潤滑剤の液界面付近の軸部もしくは回転体に前記潤滑剤の漏洩を防止する撥油膜を形成した流体軸受装置であって、
    前記潤滑剤がパーフルオロポリエーテルまたはパーフルオロポリエーテル誘導体の少なくとも一方を主成分として含み、前記撥油膜がパーフルオロ系樹脂を主成分とする皮膜であり、前記潤滑剤の表面張力を前記撥油膜の臨界表面張力よりも8mN/m以上大きくした
    磁気ディスク装置用流体軸受装置。
  2. 軸部とこの軸部によって回転自在に支持された回転体との間に潤滑剤を充填し、前記潤滑剤の液界面付近の軸部もしくは回転体に前記潤滑剤の漏洩を防止する撥油膜を形成した流体軸受装置であって、
    前記潤滑剤がパーフルオロポリエーテルまたはパーフルオロポリエーテル誘導体の少なくとも一方を主成分として含み、前記撥油膜がフッ素化アルキル基を含有する側鎖を有するフッ素系化合物を主成分とする皮膜であり、前記潤滑剤の表面張力を前記撥油膜の臨界表面張力よりも8mN/m以上大きくした
    磁気ディスク装置用流体軸受装置。
  3. 請求項1または請求項2に記載の磁気ディスク装置用流体軸受装置を搭載したスピンドルモータ。
  4. 請求項3に記載のスピンドルモータを搭載した磁気ディスク装置。
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