JP3718190B2 - 面実装構造体の形成方法および面実装構造体 - Google Patents
面実装構造体の形成方法および面実装構造体 Download PDFInfo
- Publication number
- JP3718190B2 JP3718190B2 JP2002222504A JP2002222504A JP3718190B2 JP 3718190 B2 JP3718190 B2 JP 3718190B2 JP 2002222504 A JP2002222504 A JP 2002222504A JP 2002222504 A JP2002222504 A JP 2002222504A JP 3718190 B2 JP3718190 B2 JP 3718190B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- melt viscosity
- resin film
- sealing resin
- resin layer
- mounting
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L24/00—Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
- H01L24/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L24/26—Layer connectors, e.g. plate connectors, solder or adhesive layers; Manufacturing methods related thereto
- H01L24/27—Manufacturing methods
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/10—Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/15—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process
- H01L2224/16—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process of an individual bump connector
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/26—Layer connectors, e.g. plate connectors, solder or adhesive layers; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/28—Structure, shape, material or disposition of the layer connectors prior to the connecting process
- H01L2224/29—Structure, shape, material or disposition of the layer connectors prior to the connecting process of an individual layer connector
- H01L2224/29001—Core members of the layer connector
- H01L2224/29075—Plural core members
- H01L2224/2908—Plural core members being stacked
- H01L2224/29082—Two-layer arrangements
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/73—Means for bonding being of different types provided for in two or more of groups H01L2224/10, H01L2224/18, H01L2224/26, H01L2224/34, H01L2224/42, H01L2224/50, H01L2224/63, H01L2224/71
- H01L2224/731—Location prior to the connecting process
- H01L2224/73101—Location prior to the connecting process on the same surface
- H01L2224/73103—Bump and layer connectors
- H01L2224/73104—Bump and layer connectors the bump connector being embedded into the layer connector
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/73—Means for bonding being of different types provided for in two or more of groups H01L2224/10, H01L2224/18, H01L2224/26, H01L2224/34, H01L2224/42, H01L2224/50, H01L2224/63, H01L2224/71
- H01L2224/732—Location after the connecting process
- H01L2224/73201—Location after the connecting process on the same surface
- H01L2224/73203—Bump and layer connectors
- H01L2224/73204—Bump and layer connectors the bump connector being embedded into the layer connector
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/80—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
- H01L2224/81—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a bump connector
- H01L2224/8119—Arrangement of the bump connectors prior to mounting
- H01L2224/81191—Arrangement of the bump connectors prior to mounting wherein the bump connectors are disposed only on the semiconductor or solid-state body
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/80—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
- H01L2224/83—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a layer connector
- H01L2224/8319—Arrangement of the layer connectors prior to mounting
- H01L2224/83191—Arrangement of the layer connectors prior to mounting wherein the layer connectors are disposed only on the semiconductor or solid-state body
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/15—Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/151—Die mounting substrate
- H01L2924/153—Connection portion
- H01L2924/1531—Connection portion the connection portion being formed only on the surface of the substrate opposite to the die mounting surface
- H01L2924/15311—Connection portion the connection portion being formed only on the surface of the substrate opposite to the die mounting surface being a ball array, e.g. BGA
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/15—Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/151—Die mounting substrate
- H01L2924/156—Material
- H01L2924/15786—Material with a principal constituent of the material being a non metallic, non metalloid inorganic material
- H01L2924/15787—Ceramics, e.g. crystalline carbides, nitrides or oxides
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体チップと半導体チップの接合、半導体チップの配線基板への実装、および配線基板と配線基板の接合などに適用可能な面実装構造体の形成方法、これにより得られる面実装構造体、並びに、当該方法に使用される封止樹脂フィルムに関する。
【0002】
【従来の技術】
近年、プリント配線基板やセラミック基板などへの電子部品の実装に関しては高密度化の要求が高まっており、かかる要求を満たすために、半導体チップについてはベアチップの状態で実装される場合が多い。ベアチップ実装においては、半導体チップと基板配線の電気的接続をワイヤボンディングを介して達成する方式に代えて、半導体チップおよび配線基板の端子間にハンダバンプや金バンプを介在させることによって両者を電気的に接続するフリップチップ接合が採用される傾向にある。また、ハンダバンプや金バンプを介して電気的接続を図りつつ面実装する技術は、半導体チップ−配線基板間のみならず、半導体チップ−半導体チップ間、および、配線基板−配線基板間においても採用される場合がある。
【0003】
図5は、従来のフリップチップ接合方法の一例を表す。この方法においては、まず、図5(a)に示すように、配線基板51に対して、液状であって熱硬化性の接着剤ないし封止樹脂52を塗布する。封止樹脂52は、配線基板51における実装面に対して、液状材料塗布用のノズル53を介して所定のパターンで塗布される。配線基板51には、後に搭載される半導体チップとの電気的接続を図るための電極パッド54が設けられている。次に、図5(b)に示すように、配線基板51に対して半導体チップ55を搭載する。半導体チップ55には、外部接続用の複数のバンプ電極56が予め設けられている。搭載工程においては、半導体チップ55を配線基板51に対して位置合せした後、加熱下でこれらを積層方向に加圧することによって、電極パッド54とバンプ電極56とを接続させる。このとき、封止樹脂52は、配線基板51と半導体チップ55の間で押し潰されて広がった後に硬化する。封止樹脂52は、配線基板51と半導体チップ55とを接合するとともに、電極パッド54およびバンプ電極56とからなる電気的接続部を保護するためのものである。このような封止樹脂52により、半導体チップ55と配線基板51との間における接続信頼性が確保される。このような封止樹脂52を形成するための接着剤については、例えば特開昭63−155732号公報に開示されている。
【0004】
図6は、従来のフリップチップ接合方法の他の例を表す。この方法においては、まず、図6(a)に示すように、バンプ電極56が予め設けられている半導体チップ55を、電極パッド54を有する配線基板51に対して搭載する。具体的には、半導体チップ55を配線基板51に対して位置合せした後、加熱下でこれらを積層方向に加圧することによって、電極パッド54とバンプ電極56とを接続させる。次に、図6(b)に示すように、配線基板51と半導体チップ55の間に液状の接着剤ないし封止樹脂52’を充填する。封止樹脂52’は、毛管現象により配線基板51と半導体チップ55の間に進入して広がった後、硬化させられる。
【0005】
従来、配線基板に対する半導体チップのフリップチップ接合は、一般に、図5または図6に示す方法で行われている。しかしながら、このような方法では、配線基板51と半導体チップ55の間に介在することとなる封止樹脂52,52’の塗布または充填は、各実装面ないし各接続部に対して個々に行わなければならない。そのため、従来の方法によると、多数のフリップチップ接合を達成するためには多大な時間を要してしまう。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
接合プロセスにおけるこのような不具合を解消ないし軽減するためには、液状の封止樹脂に代えてフィルム状の接着剤ないし封止樹脂を使用することが考えられる。図7は、電子部品用の接着剤として一般に市販されているような従来の樹脂フィルムを、封止樹脂を形成するための材料として使用する場合の一例を表す。この方法においては、まず、例えば図7(a)に示すような半導体ウエハ71を用意する。半導体ウエハ71には複数の半導体素子72’が造り込まれている。各半導体素子72’の片面には、外部接続用の複数のバンプ電極73が設けられている。次に、図7(b)に示すように、半導体ウエハ71に対して従来の樹脂フィルム74を加熱接合する。具体的には、樹脂フィルム74を半導体ウエハ71におけるバンプ電極73の側に載置し、樹脂フィルム74に荷重を加えつつ加熱する。これにより、樹脂フィルム74が一旦溶融状態とされて半導体ウエハ71に対して接合される。次に、図7(c)に示すように、樹脂フィルム74が接合された半導体ウエハ71を分割し、樹脂フィルム74を伴う半導体チップ72を得る。次に、図7(d)に示すように、当該半導体チップ72を配線基板75に搭載する。配線基板75には、半導体チップ72のバンプ電極73に対応する位置に予め複数の電極パッド76が設けられている。搭載工程においては、半導体チップ72を配線基板75に位置合せした後に加熱下でこれらを積層方向に加圧することによって、電極パッド76とバンプ電極73とを接続する。このとき、樹脂フィルム74は、配線基板75と半導体チップ72の間で押し潰されて広がった後、硬化して封止樹脂74’となる。このような方法においては、半導体ウエハ71に対して樹脂フィルム74が一括して供給されるため、多数のフリップチップ接合における封止樹脂形成に要する時間については、液状封止樹脂を使用する方法よりも短くすることができる。
【0007】
しかしながら、電子部品用の接着剤として一般に市販されているような従来の樹脂フィルム74は、比較的高い溶融粘度を有する。すなわち、樹脂フィルム74は、溶融状態にあっても比較的高い粘度を有する。そのため、従来の樹脂フィルム74は、半導体ウエハ71に加熱接合される際、流動性に乏しく、バンプ電極73による凹凸形状に応じてバンプ電極73を適切に被覆することがきない傾向にある。その結果、図7(b)に示すように、特にバンプ電極73の付近における半導体ウエハ71と樹脂フィルム74との間には、ボイド77が発生してしまう。このボイド77は、図7(d)に示すように、半導体チップ72が配線基板75に搭載された状態においても、半導体チップ72と封止樹脂74’との間に残存する場合が多い。ボイド77が発生していると、封止樹脂74’による保護機能および接合機能は低下し、半導体チップ72および配線基板75の間の接続信頼性は低下してしまう。
【0008】
図7を参照して上述した一連の工程において、一般に市販されているような高溶融粘度の樹脂フィルム74に代えて、溶融粘度の比較的低い樹脂フィルム78を使用することも考えられる。低溶融粘度の樹脂フィルム78を使用すると、半導体ウエハ71に対して樹脂フィルム78を加熱接合する工程では、樹脂フィルム78は、溶融状態における流動性が高いので、バンプ電極73による凹凸形状に応じてバンプ電極73を適切に被覆することができる。その結果、図8(a)に示すように、バンプ電極73の付近での半導体ウエハ71と樹脂フィルム78との間におけるボイドの発生は抑制される。
【0009】
しかしながら、半導体ウエハ71に対して、低溶融粘度の樹脂フィルム78を加熱接合するとき、バンプ電極73の凹凸形状に起因して、樹脂フィルム78の露出面には微小な凹凸79が形成されやすい。半導体ウエハ71を分割して得られる半導体チップ72を、この凹凸79を有する状態で配線基板75に対して搭載すると、図8(b)に示すように、樹脂フィルム78が硬化してなる封止樹脂78’と配線基板75との間にボイド77が発生してしまう。具体的には、半導体チップ72を配線基板75に位置合せした後に加熱下でこれらを積層方向に加圧する際、樹脂フィルム78が配線基板75と当接した状態において、樹脂フィルム78と配線基板75との間には、微小な凹凸79に起因して空隙ないしボイド77が形成される。樹脂フィルム78の溶融粘度が低いために、このボイド77は、搭載工程の加圧によっても樹脂フィルム78と配線基板75の接触界面から排除されにくく、図8(b)に示すように、搭載工程の加熱により膨張成長して接触界面に留まってしまう。
【0010】
このように、フリップチップ接合部に封止樹脂材を設けるために従来のフィルム状の接着剤ないし樹脂材料を使用すると、半導体チップまたは配線基板と封止樹脂材との間において、ボイドが発生しやすいのである。また、特開2000−114280号公報には、溶融粘度の異なる樹脂層を板状のコア材を介して接合してなる樹脂フィルムが開示されているが、当該樹脂フィルムはコア材を有しているため、バンプ電極が樹脂フィルムを貫通する必要のある上述のようなフリップチップ接合に適用するのは困難である。
【0011】
本発明は、このような事情のもとで考え出されたものであって、実装対象物と封止樹脂材との間におけるボイドの発生を抑制することができる面実装構造体の形成方法、これにより得られる面実装構造体、および、当該方法に使用することのできる封止樹脂フィルムを提供することを目的とする。
【0012】
【課題を解決するための手段】
本発明の第1の側面によると面実装構造体の形成方法が提供される。この方法は、低溶融粘度樹脂層および高溶融粘度樹脂層による積層構造を有する封止樹脂フィルムを、バンプ電極を有する第1実装対象物に対して、当該バンプ電極を覆うように低溶融粘度樹脂層を介して加熱接合する第1工程と、封止樹脂フィルムが接合されている第1実装対象物、および、平面電極を有する第2実装対象物を、封止樹脂フィルムの高溶融粘度樹脂層が第2実装対象物に接するとともにバンプ電極と平面電極が電気的に接続するように、加熱接合する第2工程と、含むことを特徴とする。第1実装対象物および第2実装対象物は、各々、半導体チップ、半導体ウエハ、または、実装基板やマザーボードなどの配線基板である。また、平面電極とは、例えば薄膜成形技術により形成されたランド電極である。
【0013】
このような構成によると、第1実装対象物および第2実装対象物と封止樹脂材との間におけるボイドの発生を抑制することができる。本発明における封止樹脂フィルムは、低溶融粘度樹脂層および高溶融粘度樹脂層による積層構造を有し、まず、第1工程において、バンプ電極が形成されている第1実装対象物に対して、低溶融粘度樹脂層を介して加熱接合される。すなわち、第1工程では、封止樹脂フィルムにおける低溶融粘度樹脂層の側が第1実装対象物に対して張り合わされる。第1工程の加熱温度における低溶融粘度樹脂層の粘度は、第1実装対象物のバンプ電極による凹凸形状に良好に追従可能な低い範囲に設定しておく。これにより、第1工程において、封止樹脂フィルムは、バンプ電極を適切に被覆し、その結果、第1実装対象物と封止樹脂フィルムとの間におけるボイドの発生が抑制されるのである。また、低溶融粘度樹脂層における第1実装対象物との接合面とは反対の面には、溶融粘度の高い高溶融粘度樹脂層が張り合わされているので、封止樹脂フィルムを第1実装対象物に加熱接合した状態においては、封止樹脂フィルムの露出面には、バンプ電極の凹凸形状に起因する凹凸の発生は抑制される。このように凹凸の発生が抑制された高溶融粘度樹脂層を介して、第1実装対象物は、接合面が相対的に平坦な第2実装対象物と加熱接合される。そのため、第2実装対象物と封止樹脂フィルムとの間におけるボイドの発生は抑制される。
【0014】
このように、本発明の第1の側面に係る面実装構造体の形成方法によると、実装対象物と封止樹脂材との間におけるボイドの発生を抑制することができるのである。ボイドの発生を抑制することにより、実装対象物間の電気的接続について、良好な接続信頼性を得ることが可能となる。
【0015】
好ましくは、第1工程では、封止樹脂フィルムをロールにより第1実装対象物に押圧しつつ当該ロールを掃引することにより、封止樹脂フィルムを第1実装対象物に加熱接合する。例えばロールマウンタを使用してこのように第1工程を行うと、第1実装対象物と封止樹脂フィルムとの間に気泡が入りにくい。したがって、このような構成は、バンプ電極が形成されているために比較的に凹凸形状の激しい第1実装対象物面に対して、ボイドの発生を抑制しつつ封止樹脂フィルムを接合するうえで、好適である。
【0016】
好ましくは、第2工程では、第1実装対象物および第2実装対象物の積層方向に一括加圧することにより、当該第1実装対象物および第2実装対象物を加熱接合する。例えば、フリップチップボンダを使用してこのように第2工程を行うことにより、第1実装対象物と第2実装対象物の接合を適切に行うことができる。
【0017】
好ましい実施の形態においては、第1工程における第1実装対象物は、複数の半導体素子が造り込まれている半導体ウエハであり、当該半導体ウエハは、第1工程の後に半導体素子の個片に分割され、第2工程では、半導体素子は、第2工程における第1実装対象物として第2実装対象物と加熱接合される。他の好ましい実施の形態においては、第1工程における第1実装対象物は、複数の回路ユニットが形成されている基板であり、当該基板は、第1工程の後に単一の回路ユニットを有する基板個片に分割され、第2工程では、基板個片は、第2工程における第1実装対象物として第2実装対象物と加熱接合される。これらの構成によると、一度のプロセスで、多数の半導体素子または配線基板に対して封止樹脂フィルムを接合することができる。したがって、これらの構成によると、例えば半導体チップが配線基板にフリップチップ接合されてなる面実装構造体の形成や、例えば実装基板がマザーボードに面実装されてなる面実装構造体の形成を、効率よく行うことが可能となる。
【0018】
本発明の第2の側面によると面実装構造体が提供される。この面実装構造体は、バンプ電極を有する第1実装対象物と、バンプ電極と電気的に接続している平面電極を有する第2実装対象物と、低溶融粘度樹脂層および高溶融粘度樹脂層による積層構造を有し、低溶融粘度樹脂層を介して第1実装対象物に接合するとともに高溶融粘度樹脂層を介して第2実装対象物に接合している封止樹脂材と、を備えることを特徴とする。
【0019】
このような構成の面実装構造体は、本発明の第1の側面に係る方法により形成することができる。したがって、本発明の第2の側面によると、面実装構造体の形成において第1の側面に関して上述したのと同様の効果が奏される。その結果、第1実装対象物および第2実装対象物と封止樹脂との間におけるボイドの発生が抑制された面実装構造体が得られるのである。
【0020】
本発明の第3の側面によると、面実装構造体における2つの実装対象物の間に介在する封止樹脂材を形成するための封止樹脂フィルムが提供される。この封止樹脂フィルムは、低溶融粘度樹脂層および高溶融粘度樹脂層による積層構造を有することを特徴とする。
【0021】
このような構成の封止樹脂フィルムは、本発明の第1の側面に係る実装構造体の形成方法における封止樹脂フィルムとして使用することができる。したがって、本発明の第3の側面に係る封止樹脂フィルムを使用すると、面実装構造体の形成において、第1の側面に関して上述したのと同様の効果が奏される。その結果、第1実装対象物および第2実装対象物と封止樹脂との間におけるボイドの発生が抑制された面実装構造体が得られるのである。
【0022】
【発明の実施の形態】
図1および図2を参照して、本発明の第1の実施形態に係る面実装構造体形成方法を説明する。本実施形態については、配線基板への半導体チップのフリップチップ接合を例に挙げて説明する。
【0023】
本実施形態においては、まず、図1および図2(a)に示すような半導体ウエハ1を用意する。図2(a)は、図1の線II−IIに沿った断面図である。半導体ウエハ1には複数の半導体素子10’が造り込まれている。図1では、単一の半導体素子10’が形成されている区画を破線で表す。各半導体素子10’には、その周縁に沿って複数のバンプ電極11(図1において一部省略)が設けられている。バンプ電極11は、例えば金バンプであり、例えば25〜50μmの高さを有する。
【0024】
このような半導体ウエハ1に対して、まず、図2(b)に示すように、ロールマウンタを使用して封止樹脂フィルム20を加熱接合する。具体的には、半導体ウエハ1のバンプ形成面に対して封止樹脂フィルム20を載置した後、加熱下で、封止樹脂フィルム20をロール40により半導体ウエハ1に押圧しつつ、ロール40を掃引することにより、封止樹脂フィルム20を半導体ウエハ1に接合する。ロール40によるこのような接合によると、半導体ウエハ1と封止樹脂フィルム20との間に気泡が入りにくい。
【0025】
封止樹脂フィルム20は、低溶融粘度樹脂層21および高溶融粘度樹脂層22からなる積層構造を有し、低溶融粘度樹脂層21を介して半導体ウエハ1に接合される。封止樹脂フィルム20は、半導体ウエハ1のバンプ電極11を完全に覆うことのできる厚さを有し、低溶融粘度樹脂層21の厚さは例えば5〜45μmであって、高溶融粘度樹脂層22の厚さは例えば5〜45μmであり、封止樹脂フィルム20の総厚さは例えば10〜90μmである。低溶融粘度樹脂層21は、少なくとも本工程の加熱温度で溶融した状態において、高溶融粘度樹脂層22よりも粘度が低い樹脂により構成されている。低溶融粘度樹脂層21を構成するための熱硬化性樹脂としては、ビスフェノールF型エポキシ、脂環式エポキシ、ナフタレン型エポキシ、ビスフェノールA型エポキシなどが挙げられる。一方、高溶融粘度樹脂層22は、少なくとも本工程の加熱温度で溶融した状態において低溶融粘度樹脂層21よりも粘度が高い樹脂であって、且つ、後述の配線基板への加熱接合時における加熱温度で溶融した状態において充分に粘度が高い樹脂により構成されている。高溶融粘度樹脂層22を構成するための熱硬化性樹脂としては、固形ビスフェノールA型エポキシ、ビフェニル型エポキシ、フェノールノボラック型エポキシ、クレゾールノボラック型エポキシなどが挙げられる。低溶融粘度樹脂層21および/または高溶融粘度樹脂層22には、必要に応じてシリカやアルミナなどのフィラーを添加してもよい。
【0026】
封止樹脂フィルム20の作製においては、例えば、まず、低溶融粘度樹脂層21および高溶融粘度樹脂層22のいずれか一方を形成するための熱硬化性の樹脂主剤と、硬化剤と、硬化促進剤と、溶剤と、必要な場合にはフィラーとを含む樹脂ワニスを、所定のベース材に対して所定の厚さで塗布し、これを乾燥して半硬化状態とする。溶剤としては、エタノール、アセトン、メチルエチルケトンなどを使用することができる。次に、このようにして形成された低溶融粘度樹脂層21および高溶融粘度樹脂層22を積層し、ロールマウンタを使用して、両樹脂層を一旦加熱溶融させて熱圧着させる。このようにして、低溶融粘度樹脂層21および高溶融粘度樹脂層22からなる積層構造を有する封止樹脂フィルム20を作製することができる。
【0027】
このようにして作製される封止樹脂フィルム20を半導体ウエハ1に加熱接合するための図2(b)に示す工程においては、封止樹脂フィルム20を構成する樹脂材料に応じて、加熱温度は60〜100℃とし、ロール40による荷重は0.1〜10kgf/ロールとする。また、加熱温度60〜100℃における低溶融粘度樹脂層21および高溶融粘度樹脂層22の溶融粘度は、各々、例えば1〜1000Pa・sおよび100kPa・s〜10MPa・sである。
【0028】
本実施形態のフリップチップ接合方法においては、次に、図2(c)に示すように、封止樹脂フィルム20が接合された半導体ウエハ1をダイシングする。具体的には、図1の破線で示されるような素子境界線に沿って半導体ウエハ1を分割することによって、半導体素子10’を個片化し、封止樹脂フィルム20を伴う半導体チップ10を得る。
【0029】
次に、フリップチップボンダを使用して、図2(d)に示すように、半導体チップ10を配線基板30に搭載する。配線基板30には、半導体チップ10のバンプ電極11に対応する位置に予め複数の電極パッド31が設けられている。電極パッド31は、本実施形態においては、配線基板30の表面に露出するように形成されたランド電極である。そのため、配線基板30の接合面は、比較的に平坦である。本工程では、半導体チップ10を配線基板30に位置合せした後に加熱下でこれらを積層方向に加圧することによって、電極パッド31とバンプ電極11とを接続させる。このとき、封止樹脂フィルム20は配線基板30と半導体チップ10の間で押し潰され、低溶融粘度樹脂層21および高溶融粘度樹脂層22が硬化して封止樹脂材23が形成される。本工程における加熱温度は例えば180〜250℃であり、荷重は例えば50〜130gf/バンプである。
【0030】
以上のようにして、配線基板30に対して半導体チップ10がフリップチップ接合されてなる半導体パッケージX1が、本発明に係る面実装構造体として形成される。半導体パッケージX1においては、半導体チップ10と封止樹脂材23との間におけるボイドの発生は低減されている。図2(b)に示す工程において、封止樹脂フィルム20は、バンプ電極11が形成されている半導体ウエハ1に対して、低溶融粘度樹脂層21を介して加熱接合されており、この工程での加熱温度における低溶融粘度樹脂層21の粘度は、半導体ウエハ1のバンプ電極11による凹凸形状に良好に追従可能な程度に設定されている。したがって、封止樹脂フィルム20の加熱接合時において、封止樹脂フィルム20はバンプ電極11を適切に被覆し、半導体ウエハ1と封止樹脂フィルム20との間におけるボイドの発生が抑制される。その結果、半導体パッケージX1において、半導体チップ10と封止樹脂材23との間におけるボイドの発生は低減されているのである。
【0031】
また、半導体パッケージX1においては、配線基板30と封止樹脂材23との間におけるボイドの発生は低減されている。封止樹脂フィルム20は、低溶融粘度樹脂層21および高溶融粘度樹脂層22からなる積層構造を有する。そのため、図2(b)に示す工程で封止樹脂フィルム20を半導体ウエハ1に加熱接合した状態においては、封止樹脂フィルム20の露出面は、高溶融粘度樹脂層22により構成されて、バンプ電極11の凹凸形状に起因する凹凸の発生は抑制される。このように凹凸が抑制された高溶融粘度樹脂層22を介して半導体チップ10は配線基板30と加熱接合されるので、半導体パッケージX1において、配線基板30と封止樹脂材23との間におけるボイドの発生は低減されているのである。
【0032】
加えて、本実施形態においては、半導体ウエハ1に対して封止樹脂フィルム20が一括して供給されるため、多数のフリップチップ接合における封止樹脂形成に要する時間は、液状封止樹脂を使用する工法よりも少なくて済む。
【0033】
図3は、本発明の第2の実施形態に係る面実装構造体形成方法を表す。本実施形態については、マザーボードへの半導体パッケージの面実装を例に挙げて説明する。
【0034】
本実施形態においては、まず、図3(a)に示すように、例えば第1の実施形態で得られた半導体パッケージX1における配線基板30に対して、外部接続用のバンプ電極32を形成する。バンプ電極32は、ハンダバンプであり、例えば200〜700μmの高さを有する。
【0035】
次に、プレス機を使用して加熱および加圧することによって、図3(b)に示すように、半導体パッケージX1に対して封止樹脂フィルム20’を接合する。封止樹脂フィルム20’は、低溶融粘度樹脂層21’および高溶融粘度樹脂層22’からなる積層構造を有し、低溶融粘度樹脂層21’を介して半導体ウエハ1に接合される。封止樹脂フィルム20’は、半導体パッケージX1のバンプ電極32を完全に覆うことのできる厚さを有し、低溶融粘度樹脂層21’の厚さは例えば100〜350μmであって、高溶融粘度樹脂層22’の厚さは例えば100〜350μmであり、封止樹脂フィルム20’の総厚さは例えば200〜700μmである。封止樹脂フィルム20’の構成材料および作製方法については、第1の実施形態において封止樹脂フィルム20に関して上述したのと同様である。
【0036】
次に、図3(c)に示すように、半導体パッケージX1をマザーボード40に搭載する。マザーボード40には、半導体パッケージX1のバンプ電極32に対応する位置に予め複数の電極パッド41が設けられている。本工程では、半導体パッケージX1をマザーボード40に位置合せした後に加熱下でこれらを積層方向に加圧することによって、電極パッド41とバンプ電極32とを接合する。例えば、フリップチップボンダを使用して、バンプ電極32をリフローさせつつ封止樹脂フィルム20’を硬化させることによって、半導体パッケージX1をマザーボード40に搭載する。このとき、封止樹脂フィルム20’はマザーボード40と半導体パッケージX1の間で押し潰され、低溶融粘度樹脂層21’および高溶融粘度樹脂層22’が硬化して封止樹脂材23’が形成される。本工程における加熱温度は例えば215〜260℃であり、荷重は例えば100〜200gf/バンプである。
【0037】
以上のようにして、マザーボード40に対して半導体パッケージX1が面実装されてなる面実装構造体X2が形成される。第1の実施形態において半導体チップ10と封止樹脂材23との間におけるボイドの発生が低減されるのと同様に、面実装構造体X2においては、半導体パッケージX1と封止樹脂材23’との間におけるボイドの発生は低減されている。また、第1の実施形態において配線基板30と封止樹脂材23との間におけるボイドの発生が低減されるのと同様に、実装構造体X2においては、マザーボード40と封止樹脂材23’との間におけるボイドの発生は低減されている。
【0038】
本発明に係る面実装構造体形成方法は、第1の実施形態のような半導体チップ−配線基板間のフリップチップ接合、第2の実施形態のような配線基板−配線基板間の面実装に加えて、半導体チップ−半導体チップ間の接合においても適用することが可能である。
【0039】
【実施例】
次に、本発明の実施例について、比較例とともに説明する。
【0040】
【実施例1】
<封止樹脂フィルムの作製>
表1に示す組成1を有する高溶融粘度樹脂層(20μm)と、表2に示す組成2を有する低溶融粘度樹脂層(20μm)とからなる封止樹脂フィルムを作製した。具体的には、まず、高溶融粘度樹脂層形成用の主剤含有液として、主剤である固形ビスフェノールA型エポキシ(商品名:EP5100、旭電化工業製)と、フィラーとしての球状シリカ粉末(商品名:SO−E5、アドマテックス製)との混連物を調製した。一方、高溶融粘度樹脂層形成用の硬化剤含有液を、固形のフェノール系硬化剤(商品名:ミレックスLL、三井化学製)と、硬化促進剤としての2−メチルイミダゾールアジン付加物(商品名:2MZAPW、四国化成製)とを、溶剤としてのアセトンに溶解させることにより調製した。このようにして調製した主剤含有液と硬化材含有液とを混合し、高溶融粘度樹脂層形成用のワニスを調製した。次に、このワニスをPETフィルム上に塗工した後、乾燥して溶剤を蒸散させた。このようにして、PETフィルム上において、表1に示す組成1を有して厚さが20μmの高溶融粘度樹脂層を形成した。
【0041】
次に、低溶融粘度樹脂層形成用の主剤含有液として、主剤であるビスフェノールF型エポキシ(商品名:EXA830LVP、大日本インキ製)と、更なる主剤としての脂環式エポキシ(商品名:CY179、バンティコ製)と、フィラーとしての球状シリカ粉末(商品名:SO−E5、アドマテックス製)との混連物を調製した。一方、低溶融粘度樹脂層形成用の硬化剤含有液を、固形のフェノール系硬化剤(商品名:ミレックスLL、三井化学製)と、硬化促進剤としての2−メチルイミダゾールアジン付加物(商品名:2MZAPW、四国化成製)とを、溶剤としてのアセトンに溶解させることにより調製した。このようにして調製した主剤含有液と硬化材含有液とを混合し、低溶融粘度樹脂層形成用のワニスを調製した。次に、先に形成した高溶融粘度樹脂層の上に、このワニスを塗工し、これを乾燥することによって、表2に示す組成2を有して厚さが20μmの低溶融粘度樹脂層を高溶融粘度樹脂層の上に形成した。このようにして、本実施例の封止樹脂フィルム(厚さ40μm)を作製した。
【0042】
上述の高溶融粘度樹脂層と同様にして別途作製した高溶融粘度樹脂フィルムと、PETフィルム上において上述の低溶融粘度樹脂層と同様にして別途作製した低溶融粘度樹脂フィルムとについて、各々、融状態における粘度を測定した。その結果、高溶融粘度樹脂フィルムについては図4のグラフAに示す結果が得られ、低溶融粘度樹脂フィルムについては図4のグラフBに示す結果が得られた。図4に表れているように、高溶融粘度樹脂フィルムは、溶融状態において、低溶融粘度樹脂フィルムよりも常に高い粘度を示すことが確認された。
【0043】
【表1】
【0044】
【表2】
【0045】
<フリップチップ実装>
130個の半導体素子(8.5mm角)が造りこまれている例えば図1に示すような半導体ウエハ(6インチ)における各半導体素子上に対して、金ワイヤ先端に形成される金ボールによる金バンプを、バンプピッチ200μmで120個形成した。次に、この半導体ウエハにおけるバンプ形成面に、上述のようにして作製した本実施例の封止樹脂フィルムを、低溶融粘度樹脂層を介して載置した。次に、例えば図2(b)に示すように、ロールマウンタ(日本エム・シー・ケー製)を使用して、半導体ウエハに対して封止樹脂フィルムを加熱接合した。このときの加熱温度は75℃とし、荷重は4kgf/ロールとし、封止樹脂フィルムを溶融状態にして半導体ウエハに貼り付けた。封止樹脂フィルムの上方から観察すると、半導体ウエハと封止樹脂フィルムとの間には、気泡ないしボイドは殆ど発生していないことが確認された。封止樹脂フィルムは薄く且つ半透明であり、封止樹脂フィルムの上方からでも、当該封止樹脂フィルムと半導体ウエハとの界面におけるボイドの有無の観察は可能であった。このように、本実施例の封止樹脂フィルムによると、半導体ウエハのバンプ形成面を良好に被覆することができた。
【0046】
次に、例えば図2(c)に示すように、上述の半導体ウエハを封止樹脂フィルムとともにダイシングし、封止樹脂フィルムを伴う半導体チップを得た。次に、例えば図2(d)に示すように、フリップチップボンダ(FCB−IIM、松下電気産業)を使用して、別途用意しておいた配線基板に対して当該半導体チップをフリップチップ接合した。具体的には、配線基板に対して半導体チップを位置合せした後、加熱下でこれらを積層方向に加圧し、封止樹脂フィルムについて溶融状態を経て硬化させることによって、半導体チップを配線基板に接合した。このときの加熱温度は230℃とし、荷重は100g/バンプとし、押圧時間は15秒間とした。このようにして、配線基板に対して半導体チップをフリップチップ接合し、本実施例のフリップチップ実装構造体を作製した。
【0047】
<ボイド量の測定>
本実施例のフリップチップ実装構造体について、発生したボイドの量を測定した。具体的には、超音波顕微鏡(日立建機製)を使用して封止樹脂材の内部を観察し、封止樹脂材の最外郭体積に対するボイド体積の比率を算出した。その結果、本実施例のフリップチップ実装構造体では、ボイド量は少なく、1%未満であった。すなわち、本実施例のフリップチップ実装構造体においては、半導体チップと封止樹脂材の間、および、配線基板と封止樹脂材の間において、ボイドの発生が充分に抑制されていた。
【0048】
【比較例1】
実施例1の高溶融粘度樹脂層と同様にして、表1に示す組成1を有して高溶融粘度の樹脂フィルム(厚さ40μm)を作製し、この樹脂フィルムを、実施例1と同様に、ロールマウンタを使用して半導体ウエハに加熱接合した。ロールマウンタによる樹脂フィルムの加熱接合の後、樹脂フィルムの上方から観察すると、例えば図7(b)の断面図で表されるのと同様に、半導体ウエハと樹脂フィルムとの間には、気泡ないしボイドが多量に発生していることが確認された。したがって、フリップチップ実装における以降の工程については、行わなかった。
【0049】
【比較例2】
実施例1の高溶融粘度樹脂層と同様にして、表2に示す組成2を有して低溶融粘度の樹脂フィルム(厚さ40μm)を作製し、この樹脂フィルムを使用して、実施例1と同様にフリップチップ実装を行った。具体的には、半導体ウエハに対する金バンプの形成から、ロールマウンタによる封止樹脂フィルムの加熱接合を経て、配線基板への半導体チップのフリップチップ接合までの一連の工程を行った。ロールマウンタによる樹脂フィルムの加熱接合の後、樹脂フィルムの上方から観察すると、半導体ウエハと樹脂フィルムとの間には、気泡ないしボイドは殆ど発生していないことが確認された。また、フリップチップ実装構造体について、実施例1と同様に超音波顕微鏡を使用して封止樹脂材の内部を観測したところ、例えば図8(b)の断面図で表されるのと同様に、配線基板と封止樹脂材との間において多量のボイドが発生していることが確認された。また、実施例1と同様にして、ボイド量を算出したところ、ボイド量は23%と多かった。
【0050】
以上のまとめとして、本発明の構成およびそのバリエーションを以下に付記として列挙する。
【0051】
(付記1)低溶融粘度樹脂層および高溶融粘度樹脂層による積層構造を有する封止樹脂フィルムを、バンプ電極を有する第1実装対象物に対して、当該バンプ電極を覆うように前記低溶融粘度樹脂層を介して加熱接合する第1工程と、
前記封止樹脂フィルムが接合されている前記第1実装対象物、および、平面電極を有する第2実装対象物を、前記封止樹脂フィルムが前記高溶融粘度樹脂層を介して前記第2実装対象物に接合するとともに前記バンプ電極と前記平面電極が電気的に接続するように、加熱接合する第2工程と、を含むことを特徴とする面実装構造体の形成方法。
(付記2)前記第1工程では、前記封止樹脂フィルムをロールにより前記第1実装対象物に押圧しつつ当該ロールを掃引することにより、前記封止樹脂フィルムを前記第1実装対象物に加熱接合する、付記1に記載の面実装構造体の形成方法。
(付記3)前記第2工程では、前記第1実装対象物および前記第2実装対象物の積層方向に一括加圧することにより、当該第1実装対象物および第2実装対象物を加熱接合する、付記1または2に記載の面実装構造体。
(付記4)前記第1工程における前記第1実装対象物は、複数の半導体素子が造り込まれている半導体ウエハであり、当該半導体ウエハは、前記第1工程の後に半導体素子の個片に分割され、前記第2工程では、前記半導体素子は、前記第2工程における第1実装対象物として前記第2実装対象物と加熱接合される、付記1から3のいずれか1つに記載の面実装構造体の形成方法。
(付記5)前記第1工程における前記第1実装対象物は、複数の回路ユニットが形成されている基板であり、当該基板は、前記第1工程の後に単一の前記回路ユニットを有する基板個片に分割され、前記第2工程では、前記基板個片は、前記第2工程における第1実装対象物として前記第2実装対象物と加熱接合される、付記1から3のいずれか1つに記載の面実装構造体の形成方法。
(付記6)バンプ電極を有する第1実装対象物と、
前記バンプ電極と電気的に接続している平面電極を有する第2実装対象物と、
低溶融粘度樹脂層および高溶融粘度樹脂層による積層構造を有し、前記低溶融粘度樹脂層を介して前記第1実装対象物に接合するとともに前記高溶融粘度樹脂層を介して前記第2実装対象物に接合している封止樹脂材と、を備えることを特徴とする面実装構造体。
(付記7)面実装構造体における2つの実装対象物の間に介在する封止樹脂材を形成するための封止樹脂フィルムであって、低溶融粘度樹脂層および高溶融粘度樹脂層による積層構造を有することを特徴とする、封止樹脂フィルム。
【0052】
【発明の効果】
本発明によると、半導体チップと半導体チップ、半導体チップと配線基板、または配線基板と配線基板が、封止樹脂材を介して面実装されてなる構造体において、半導体チップまたは配線基板と封止樹脂材との間におけるボイドの発生を抑制することができる。ボイドの発生を抑制することにより、実装対象物間の電気的接続について、良好な接続信頼性を得ることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施形態にて用いられる半導体ウエハを表す。
【図2】本発明の第1の実施形態に係る面実装構造体形成方法の工程を表す。
【図3】本発明の第2の実施形態に係る面実装構造体形成方法の工程を表す。
【図4】実施例および比較例で使用した樹脂材料についての溶融粘度測定の結果を表す。
【図5】従来のフリップチップ接合方法の一例を表す。
【図6】従来のフリップチップ接合方法の他の例を表す。
【図7】フリップチップ接合において従来の樹脂フィルムを使用する場合の工程を表す。
【図8】フリップチップ接合において溶融粘度の低い樹脂フィルムを使用した場合の工程を表す。
【符号の説明】
1 半導体ウエハ
10 半導体チップ
10’ 半導体素子
11 バンプ電極
20,20’ 封止樹脂フィルム
21,21’ 低溶融粘度樹脂層
22,22’ 高溶融粘度樹脂層
23,23’ 封止樹脂材
30 配線基板
31 電極パッド
32 バンプ電極
40 マザーボード
41 電極パッド
Claims (3)
- 低溶融粘度樹脂層および高溶融粘度樹脂層による積層構造を有する封止樹脂フィルムを、基板と当該基板面から突出するバンプ電極とを有する第1実装対象物のバンプ電極側に対して、当該バンプ電極を覆うように前記低溶融粘度樹脂層を介して加熱接合する第1工程と、
前記封止樹脂フィルムが接合されている前記第1実装対象物、および、基板と当該基板面に対して面一状の平面電極とを有する第2実装対象物を、前記封止樹脂フィルムが前記高溶融粘度樹脂層を介して前記第2実装対象物の平面電極側に接合するとともに前記バンプ電極と前記平面電極が電気的に接続するように、加熱接合する第2工程と、を含むことを特徴とする面実装構造体の形成方法。 - 前記第1工程では、前記封止樹脂フィルムをロールにより前記第1実装対象物に押圧しつつ当該ロールを掃引することにより、前記封止樹脂フィルムを前記第1実装対象物の前記バンプ電極側に加熱接合する、請求項1に記載の面実装構造体の形成方法。
- 基板、および、当該基板面から突出するバンプ電極、を有する第1実装対象物と、
基板、および、当該基板面に対して面一状であり且つ前記バンプ電極と電気的に接続している平面電極、を有する第2実装対象物と、
低溶融粘度樹脂層および高溶融粘度樹脂層による積層構造を有し、前記低溶融粘度樹脂層を介して前記第1実装対象物の前記バンプ電極側に接合するとともに前記高溶融粘度樹脂層を介して前記第2実装対象物の前記平面電極側に接合している封止樹脂材と、を備えることを特徴とする面実装構造体。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002222504A JP3718190B2 (ja) | 2002-07-31 | 2002-07-31 | 面実装構造体の形成方法および面実装構造体 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002222504A JP3718190B2 (ja) | 2002-07-31 | 2002-07-31 | 面実装構造体の形成方法および面実装構造体 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004063936A JP2004063936A (ja) | 2004-02-26 |
JP3718190B2 true JP3718190B2 (ja) | 2005-11-16 |
Family
ID=31942508
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002222504A Expired - Fee Related JP3718190B2 (ja) | 2002-07-31 | 2002-07-31 | 面実装構造体の形成方法および面実装構造体 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3718190B2 (ja) |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI299555B (en) * | 2006-04-28 | 2008-08-01 | Taiwan Tft Lcd Ass | Semiconductor flip-chip package component and fabricating method |
JP5802400B2 (ja) * | 2011-02-14 | 2015-10-28 | 日東電工株式会社 | 封止用樹脂シートおよびそれを用いた半導体装置、並びにその半導体装置の製法 |
WO2012153846A1 (ja) * | 2011-05-11 | 2012-11-15 | 日立化成工業株式会社 | 半導体装置の製造方法、半導体素子付き半導体ウェハの製造方法、接着剤層付き半導体ウェハの製造方法及び半導体ウェハ積層体の製造方法 |
JP5891605B2 (ja) * | 2011-05-11 | 2016-03-23 | 日立化成株式会社 | 半導体装置の製造方法、及び半導体ウェハ積層体の製造方法 |
JP2013115185A (ja) * | 2011-11-28 | 2013-06-10 | Nitto Denko Corp | 半導体装置の製造方法 |
JP5827878B2 (ja) * | 2011-11-28 | 2015-12-02 | 日東電工株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
JP2022076089A (ja) * | 2020-11-09 | 2022-05-19 | 治 小森 | 冷蔵保存庫内に電場を形成するための高圧パネル |
-
2002
- 2002-07-31 JP JP2002222504A patent/JP3718190B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2004063936A (ja) | 2004-02-26 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4145730B2 (ja) | 半導体内蔵モジュール | |
JP5425589B2 (ja) | 電子デバイスの製造方法 | |
JP2012069903A (ja) | 半導体装置及びその製造方法 | |
KR20060049094A (ko) | 반도체 장치 및 그 제조방법 | |
US11217460B2 (en) | Multiple underfills for flip chip packages | |
JP2002170921A (ja) | 半導体装置およびその製造方法 | |
WO2006112384A1 (ja) | 電子部品接続用突起電極とそれを用いた電子部品実装体およびそれらの製造方法 | |
JP2000003922A (ja) | 半導体装置の製法 | |
KR19990082715A (ko) | 반도체장치 | |
JP2012079876A (ja) | 電子装置の製造方法及び電子装置 | |
JP3896285B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
KR20120049144A (ko) | 전자부품을 가진 배선기판 및 그 제조방법 | |
JP4569605B2 (ja) | 半導体装置のアンダーフィルの充填方法 | |
JP3718190B2 (ja) | 面実装構造体の形成方法および面実装構造体 | |
JPH10289969A (ja) | 半導体装置およびそれに用いる封止用樹脂シート | |
JP2003258034A (ja) | 多層配線基体の製造方法および多層配線基体 | |
WO2012077447A1 (ja) | 半導体素子の実装方法、及び実装体 | |
JP2003124380A (ja) | 電子部品内蔵モジュールおよびその製造方法 | |
JP4288912B2 (ja) | 配線板、半導体パッケージ用基板、半導体パッケージ及びそれらの製造方法 | |
JP2001298146A (ja) | 多層配線基体の製造方法および多層配線基体 | |
US8168471B2 (en) | Semiconductor device and manufacturing method of a semiconductor device | |
JP2000260817A (ja) | 半導体装置およびその製造方法 | |
JP2003152022A (ja) | 接着部材、半導体装置及びその製造方法、回路基板並びに電子機器 | |
JP4159556B2 (ja) | 半導体装置の製造方法及び接着剤 | |
JPH10242211A (ja) | 半導体装置の製法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20040910 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20050527 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20050607 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20050803 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20050830 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20050901 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080909 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090909 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090909 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100909 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100909 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110909 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120909 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120909 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130909 Year of fee payment: 8 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |