JP3689274B2 - 動的光散乱式粒径分布測定システム - Google Patents
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- 239000002245 particle Substances 0.000 title claims description 84
- 238000009826 distribution Methods 0.000 title claims description 68
- 238000005259 measurement Methods 0.000 title claims description 27
- 238000002296 dynamic light scattering Methods 0.000 title claims description 21
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 19
- 230000008859 change Effects 0.000 claims description 10
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 9
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 claims description 9
- 230000010354 integration Effects 0.000 claims description 7
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 6
- 239000002904 solvent Substances 0.000 claims description 6
- 230000036962 time dependent Effects 0.000 claims description 4
- 210000004027 cell Anatomy 0.000 description 5
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 5
- 230000005653 Brownian motion process Effects 0.000 description 4
- 238000000149 argon plasma sintering Methods 0.000 description 4
- 238000005537 brownian motion Methods 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 230000002776 aggregation Effects 0.000 description 3
- 238000004220 aggregation Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 2
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 2
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 2
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 238000005054 agglomeration Methods 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 210000002421 cell wall Anatomy 0.000 description 1
- 238000009499 grossing Methods 0.000 description 1
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 238000005204 segregation Methods 0.000 description 1
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Description
【発明の属する技術分野】
この発明は、試料の調製状態および試料の濃度を測定開始前に確認する新規な動的光散乱式粒径分布測定システムに関する。
【0002】
【従来技術および発明が解決しようとする課題】
溶媒中に分散しブラウン運動する粒子を有する試料にレーザ光を照射し、生じた干渉光を利用して粒径分布を測定する従来の動的光散乱式粒径分布測定装置では、測定後に得られるデータから測定セル内に収容されている試料が測定に適した定常状態になっていたか否かの判断を行っていた。また、前記従来装置では、薄過ぎる濃度または濃過ぎる濃度の試料を使用した場合、検出信号に含まれる電気的ノイズ成分が増えることから粒径分布の測定精度に悪影響を及ぼしていた。
【0003】
この発明はこのような実情に鑑みてなされ、測定開始前に試料の分散状態や凝集状態の経時変化(粒径分布の経時変化)および試料の濃度の経時変化をリアルタイムで確認できて、粒径分布測定精度の著しい向上を達成することができる動的光散乱式粒径分布測定システムを提供することを目的としている。
【0004】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、この発明の動的光散乱式粒径分布測定システムは、溶媒中に分散しブラウン運動する粒子を有する試料にレーザ光を照射して、前記粒子による散乱光によって生じた干渉光を電気的な検出信号に変換し、この検出信号を演算して粒径分布を測定するための動的光散乱式粒径分布測定装置と、この動的光散乱式粒径分布測定装置を制御する制御装置とを備えてなる動的光散乱式粒径分布測定システムにおいて、前記制御装置は、粒径分布を表示するエリアおよび試料の濃度を表示するエリアに区画された画面を有する表示部を備え、前記動的光散乱式粒径分布測定装置および制御装置の動作開始に伴い次々と取り込まれる前記検出信号の演算結果としての粒径分布の経時変化および試料濃度の経時変化を前記表示部の画面上の両区画エリアに表示させて、測定開始前に試料の調製状態および試料濃度を確認可能としていることを特徴としている。
【0005】
この発明に係る動的光散乱式粒径分布測定システムにおいて、請求項2に記載のように、測定時に次々と取り込まれる前記検出信号の演算による粒径分布を積算し、その都度積算値を積算回数で割る、あるいは、一定積算回数毎の積算値を積算回数で割る移動平均処理を施して粒径分布を測定することが好ましい。
【0006】
【発明の実施の形態】
図1〜図4は、この発明の一実施例を示している。
図1において、動的光散乱式粒径分布測定装置1は、溶媒2aおよび測定対象の粒子2bを収容する試料セル2と、前記粒子2bにレーザ光Lを照射する光源3と、前記レーザ光Lをセル2内に集光させるレンズ4と、光源3からのレーザ光Lを透過し、かつ前記粒子2bによる散乱光のドップラーシフトによって生じた干渉光Liを反射するビームスプリッタ5と、前記干渉光Liを集光するレンズ6と、偏光板7と、前記干渉光Liを電気的な検出信号D(t)に変換する検出器8と、この検出信号D(t)を増幅するアンプ9と、フィルタ10とよりなる。
【0007】
12は信号処理装置で、検出信号D(t)をデジタル信号に変換するAD変換器11と、検出信号D(t)をデータ処理して粒径分布を求めるデータ処理装部としてのCPU13と、求められた粒径分布を表示する画面14を有する表示部15とよりなる。そして、CPU13と表示部15とで前記動的光散乱式粒径分布測定装置1を制御する制御装置16を構成し、前記動的光散乱式粒径分布測定装置1は、前記制御装置16からの信号で制御される。
【0008】
そして、前記制御装置16は、測定開始前に試料の調製状態および試料の濃度を確認することが可能に構成されている。
【0009】
以下、それらの確認の手順および所定の粒径分布の測定の手順について図2を用いて説明する。
(1)まず、電源を入れて動的光散乱式粒径分布測定装置1および制御装置(以下、PCと称するものを含む)16を動作可能な状態にする。これによって、レーザ光Lの照射によって生ずる干渉光Liが検出器8に取り込まれる(ステップS1 参照)。
【0010】
すなわち、レーザ光源3から出たレーザ光Lは、ビームスプリッタ5およびレンズ4を通過してセル2内に集光する。このとき、図1の拡大図に示すように、一部のレーザ光Lはセル壁面2cを通過し、通過したレーザ光Lpは溶媒2a中に分散されてブラウン運動する粒子2bに当たり、このブラウン運動によってドップラーシフトしたレーザ光Ls(散乱光)が散乱する。一方、一部のレーザ光はセル2の壁面2cで散乱(非散乱光)して、もとの周波数のレーザ光Lが逆方向に進む。両光L,Lsは互いに干渉し合って干渉光Liとなり、レンズ4、ビームスプリッタ5、レンズ6および偏光板7を通って検出器8上に集光する。この場合、ドップラーシフトしたレーザ光Ls同士を干渉させて干渉光Liを形成し、これがレンズ4、ビームスプリッタ5、レンズ6および偏光板7を通って検出器8上に集光するように構成してもよい、
【0011】
さて、両光L,Lsは互いに干渉し合って干渉光Liとなる場合、入射するレーザ光Lに対する干渉光Liの角度αは180°である。偏光板7はビームスプリッタ5によって反射された以外の光を偏光方向を利用してカットする。そして、干渉光Liは、検出器8で電気的な検出信号D(t)に変換され、アンプ9で増幅され、フィルタ10によりフィルタリングされた後にA/D変換器11でデジタル値に変換される。
【0012】
(2)試料の調製状態確認用のボタン操作を行って制御装置16の表示部15の画面14上に現れる「測定パネルボタン」を押す(ステップS2 参照)と、画面14上に測定パネル20が出現する(ステップS3 参照)。この測定パネル20は、以下に示す方法で求めた粒径分布グラフGを表示するエリアA(図3参照)と、試料の濃度を示すエリアBを備えている。試料の濃度は、後述するようにレベルメータ50で示されるよう構成されている。
(3)A/D変換器11から1回目の光散乱データをCPU13に取り込む(ステップS4 参照)。
(4)前記光散乱データに基づきCPU13の高速フーリエ変換部(FFT)でパワースペクトルを演算する(ステップS5 参照)。
(5)粒径分布を求める。つまり、前記パワースペクトルに基づいて異なる粒子径の粒子2bの割合を演算する(ステップS6 参照)。
(6)この演算の結果は、粒径分布グラフGとして前記粒径分布表示エリアAに例えば1秒間表示される(ステップS7 参照)。
(7)そして、前記ステップS4 からステップS7 までの動作は、干渉光Liが検出器8に取り込まれている間、繰り返して行われる。つまり、2回目の光散乱データがCPU13に取り込まれ、その結果、図4に点線で示すようなグラフG’がグラフGに代わって1秒間表示される。以下、同様にして、粒径分布グラフが経時的に次々とエリアAに表示される。
(8)ここで、試料が偏析なく均一な状態、つまり、粒子2b間の凝集がなく粒子2bが均一に分散する定常状態になれば、粒径分布グラフにおける変化がなくなることから、測定担当者(オペレータ)は、粒径分布グラフにおける変化がなくなった時点を試料が定常状態になった時点と判断することができる。以上のようにして試料の調製状態の確認動作が行われる。
【0013】
(9)そして、試料が定常状態になったと思われる時点(ステップS8 参照)で、PC16に設けた「測定開始ボタン」を押す(ステップS9 参照)ことにより、所定の測定が行われる。つまり、レーザ光Lの照射によって生ずる干渉光Liが検出器8に取り込まれ(ステップS10参照)、検出器8からは干渉光Liの強度に対応した検出信号D(t)が出力され、この信号D(t)は、アンプ9、フィルタ10、A/D変換器11を介してPC16に入力される。このPC16のCPU13においては粒径分布演算が行われる(ステップS11参照)。
【0014】
(10)そして、この粒径分布演算の結果は、粒径分布グラフとして、前記画面14上に表示される(ステップS12参照)。
【0015】
(11)一方、ステップS8 で試料が定常状態になったと思われないと判断される場合は、試料を交換したり、再調製する(ステップS13参照)。
【0016】
このように、測定開始前に試料の調製状態を粒径分布の経時変化として確認する画面14を有することから、最適な粒子2bの分散状態での測定が可能となる。
【0017】
また、前記ステップS4 で光散乱データをCPU13に取り込んでいるので、すなわち、試料の濃度に応じた散乱光強度が検出器8に取り込まれるので、前記検出信号D(t)が図5に示すような例えば振幅が20ボルトの交流信号の場合、試料の濃度を示すエリアBには濃度の経時変化がレベルメータ50に数値(最大レベルが数値20に相当する)で表示される。
【0018】
すなわち、この発明では、測定開始前の試料の粒径分布および濃度の経時変化を確認する画面14を有することから、最適な粒子2bの分散状態および濃度での測定結果が得られる利点がある。
【0019】
また、粒子2bが均一に分散している場合に得られる粒径分布グラフを例えば図6(a)で示すものとすると、粒子2b同士が凝集している場合に得られる粒径分布グラフは例えば図6(b)で示すものとなる。すなわち、この図6(b)で示される粒径分布グラフは、最適な分散状態でないと判断できる。
【0020】
また、前記ステップS6 において、以下の(A)あるいは(B)で示す処理を行うことにより、検出信号D(t)に電気的ノイズが入ってもこの影響を軽減できる。
【0021】
(A)粒径分布を求めるにあたり、移動平均処理を施してバラツキを抑える。つまり、〔1〕求めた粒径分布を積算していき、その都度積算回数で割る処理を施すか、あるいは、〔2〕一定回数ごとの積算値を積算回数で割る処理を施して、粒径分布グラフを得るようにする。
【0022】
(B)得られた粒径分布グラフ(図7に実線で示す)にスムージング処理を施して、点線で示す粒径分布グラフとする。
【0023】
なお、上記実施形態では、制御装置16の表示部15の画面14に粒径分布グラフを二次元的に表示したものを示したが、時間軸を加えて、画面14に粒径分布グラフを三次元的に表示するようにしてもよい。
【0024】
【発明の効果】
以上説明したようにこの発明では、測定開始前に試料の調製状態および試料濃度を一つの画面で確認できる。すなわち、測定開始前に粒径分布モニターおよび濃度モニターが行えるので、凝集状態のない最適な分散状態および濃度での測定が可能となり、所定の粒径分布の測定精度の著しい向上を達成することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 この発明の一実施形態を示す全体構成説明である。
【図2】 上記実施形態を示すフローチャートである。
【図3】 上記実施形態における試料の調製状態を確認する画面を示す図である。
【図4】 上記実施形態における試料の粒径分布の経時変化を説明するための図である。
【図5】 上記実施形態における検出信号の一例を示す図である。
【図6】 (a)は、粒子が均一に分散している場合に得られる粒径分布グラフである。
(b)は、粒子同士が凝集している場合に得られる粒径分布グラフである。
【図7】 上記実施形態において得られる粒径分布グラフとこれにスムージング処理が施された粒径分布グラフとを示す図である。
【符号の説明】
1…動的光散乱式粒径分布測定装置、2a…溶媒、2b…測定対象の粒子、3…光源、8…検出器、12…信号処理装置、13…CPU、14…画面、15…表示部、16…制御装置、L…レーザ光、Li…干渉光、D(t)…電気的な検出信号。
Claims (2)
- 溶媒中に分散しブラウン運動する粒子を有する試料にレーザ光を照射して、前記粒子による散乱光によって生じた干渉光を電気的な検出信号に変換し、この検出信号を演算して粒径分布を測定するための動的光散乱式粒径分布測定装置と、この動的光散乱式粒径分布測定装置を制御する制御装置とを備えてなる動的光散乱式粒径分布測定システムにおいて、
前記制御装置は、粒径分布を表示するエリアおよび試料の濃度を表示するエリアに区画された画面を有する表示部を備え、前記動的光散乱式粒径分布測定装置および制御装置の動作開始に伴い次々と取り込まれる前記検出信号の演算結果としての粒径分布の経時変化および試料濃度の経時変化を前記表示部の画面上の両区画エリアに表示させて、測定開始前に試料の調製状態および試料濃度を確認可能としていることを特徴とする動的光散乱式粒径分布測定システム。 - 測定時に次々と取り込まれる前記検出信号の演算による粒径分布を積算し、その都度積算値を積算回数で割る、あるいは、一定積算回数毎の積算値を積算回数で割る移動平均処理を施して粒径分布を測定する請求項1に記載の動的光散乱式粒径分布測定システム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP24506899A JP3689274B2 (ja) | 1999-08-31 | 1999-08-31 | 動的光散乱式粒径分布測定システム |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP24506899A JP3689274B2 (ja) | 1999-08-31 | 1999-08-31 | 動的光散乱式粒径分布測定システム |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2001074637A JP2001074637A (ja) | 2001-03-23 |
JP3689274B2 true JP3689274B2 (ja) | 2005-08-31 |
Family
ID=17128126
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP24506899A Expired - Fee Related JP3689274B2 (ja) | 1999-08-31 | 1999-08-31 | 動的光散乱式粒径分布測定システム |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3689274B2 (ja) |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4713433B2 (ja) * | 2006-05-15 | 2011-06-29 | エルジー ディスプレイ カンパニー リミテッド | 薄膜トランジスタ |
JP6027724B2 (ja) * | 2011-04-26 | 2016-11-16 | 株式会社住化分析センター | 微小粒子の検査方法 |
JP2013024760A (ja) * | 2011-07-22 | 2013-02-04 | Shimadzu Corp | 粒度分布測定装置 |
JP6080362B2 (ja) * | 2012-02-01 | 2017-02-15 | 株式会社島津製作所 | 粒子径計測装置 |
JP7093950B2 (ja) * | 2018-12-19 | 2022-07-01 | 株式会社島津製作所 | 分析データ表示装置 |
JP7365955B2 (ja) * | 2020-04-06 | 2023-10-20 | 大塚電子株式会社 | 粒子径測定方法、粒子径測定装置及び粒子径測定プログラム |
WO2021235169A1 (ja) * | 2020-05-20 | 2021-11-25 | 国立研究開発法人産業技術総合研究所 | 個数基準粒子径分布計測方法及び計測システム |
-
1999
- 1999-08-31 JP JP24506899A patent/JP3689274B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2001074637A (ja) | 2001-03-23 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20041028 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20050201 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20050401 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20050607 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20050610 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110617 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110617 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120617 Year of fee payment: 7 |
|
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|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130617 Year of fee payment: 8 |
|
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Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130617 Year of fee payment: 8 |
|
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