JP7365955B2 - 粒子径測定方法、粒子径測定装置及び粒子径測定プログラム - Google Patents
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Claims (6)
- 予め設定された複数の測定タイミングを含むテスト測定時間の間、試料に光を照射し、前記試料により散乱された散乱光のテスト測定強度を測定するテスト測定ステップと、
前記テスト測定強度の自己相関と時間との関係を表す自己相関関数を算出する自己相関関数算出ステップと、
前記自己相関関数が所定の閾値を下回るまでの時間と該時間に加算して設定される予備時間とに基づいて、前記予め設定された複数の測定タイミングのうち本測定に用いる一部の測定タイミングを設定する設定ステップと、
前記一部の測定タイミングを含む本測定時間の間、前記試料に光を照射し、前記試料により散乱された散乱光の本測定強度を測定する本測定ステップと、
前記本測定強度に基づいて、前記試料の粒子径を算出する粒子径算出ステップと、
を含む粒子径測定方法。 - 前記テスト測定ステップにおいて、前記テスト測定強度の測定は複数回行われ、
前記テスト測定回数が少ないほど、前記予備時間が長くなるように設定される、
ことを特徴とする請求項1に記載の粒子径測定方法。 - 前記テスト測定ステップにおいて、前記テスト測定強度の測定は複数回行われ、
前記テスト測定強度の平均値が小さいほど、前記予備時間が長くなるように設定される、
ことを特徴とする請求項1に記載の粒子径測定方法。 - 前記テスト測定強度に基づいて、前記試料の粒子径を算出するステップをさらに含み、
前記テスト測定強度から算出された粒子径が小さいほど、前記予備時間が長くなるように設定される、
ことを特徴とする請求項1に記載の粒子径測定方法。 - 予め設定された複数の測定タイミングを含むテスト測定時間の間、試料に光を照射し、前記試料により散乱された散乱光のテスト測定強度を測定するテスト測定部と、
前記テスト測定強度の自己相関と時間との関係を表す自己相関関数を算出する自己相関関数算出部と、
前記自己相関関数が所定の閾値を下回るまでの時間と該時間に加算して設定される予備時間とに基づいて、前記予め設定された複数の測定タイミングのうち本測定に用いる一部の測定タイミングを設定する設定部と、
前記一部の測定タイミングを含む本測定時間の間、前記試料に光を照射し、前記試料により散乱された散乱光の本測定強度を測定する本測定部と、
前記本測定強度に基づいて、前記試料の粒子径を算出する粒子径算出部と、
を含む粒子径測定装置。 - 予め設定された複数の測定タイミングを含むテスト測定時間の間、試料に光を照射し、前記試料により散乱された散乱光のテスト測定強度を測定するテスト測定ステップと、
前記テスト測定強度の自己相関と時間との関係を表す自己相関関数を算出する自己相関関数算出ステップと、
前記自己相関関数が所定の閾値を下回るまでの時間と該時間に加算して設定される予備時間とに基づいて、前記予め設定された複数の測定タイミングのうち本測定に用いる一部の測定タイミングを設定する設定ステップと、
前記一部の測定タイミングを含む本測定時間の間、前記試料に光を照射し、前記試料により散乱された散乱光の本測定強度を測定する本測定ステップと、
前記本測定強度に基づいて、前記試料の粒子径を算出する粒子径算出ステップと、
を前記試料の粒子径を測定する粒子径測定装置に用いられるコンピュータに実行させる粒子径測定プログラム。
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