JP2003270177A - 複数条件蛍光ｘ線分析における測定時間設定方法 - Google Patents
複数条件蛍光ｘ線分析における測定時間設定方法Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 軽元素および重元素の定量値を低電圧および
高電圧の２条件を用いることで検出する複数条件蛍光Ｘ
線分析において検出効率のよい測定結果を短時間で得る
ことができるとともに、測定結果の定量値の標準偏差を
小さくできる適正な測定時間を設定できる複数条件蛍光
Ｘ線分析における測定時間設定方法を提供すること。 【解決手段】 Ｘ線管１から発せられた一次Ｘ線２が測
定試料３に照射され、当該測定試料３から発せられる蛍
光Ｘ線４を検出器６で検出し、その信号を信号処理手段
を経てエネルギースペクトルとして読み取ることで当該
測定試料３に含まれている軽元素および重元素を、それ
ぞれＸ線管１の管電圧Ｅを低い管電圧とする測定および
高い管電圧とする測定で検出するにあたり、予め設定さ
れた一定の測定時間Ｔa 内における低い管電圧での測定
時間ＴL と高い管電圧での測定時間ＴH とを異なる長さ
に設定可能としてある。
高電圧の２条件を用いることで検出する複数条件蛍光Ｘ
線分析において検出効率のよい測定結果を短時間で得る
ことができるとともに、測定結果の定量値の標準偏差を
小さくできる適正な測定時間を設定できる複数条件蛍光
Ｘ線分析における測定時間設定方法を提供すること。 【解決手段】 Ｘ線管１から発せられた一次Ｘ線２が測
定試料３に照射され、当該測定試料３から発せられる蛍
光Ｘ線４を検出器６で検出し、その信号を信号処理手段
を経てエネルギースペクトルとして読み取ることで当該
測定試料３に含まれている軽元素および重元素を、それ
ぞれＸ線管１の管電圧Ｅを低い管電圧とする測定および
高い管電圧とする測定で検出するにあたり、予め設定さ
れた一定の測定時間Ｔa 内における低い管電圧での測定
時間ＴL と高い管電圧での測定時間ＴH とを異なる長さ
に設定可能としてある。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、複数条件蛍光Ｘ
線分析における測定時間設定方法に関するものである。
線分析における測定時間設定方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】一般に、蛍光Ｘ線分析装置では、図４、
図５に示すように、ターゲット部Ｔのターゲット材料と
してロジウム（Ｒｈ）やモリブデン（Ｍｏ）等を用いた
Ｘ線管１で発生した一次Ｘ線２を測定試料３に照射する
と、一次Ｘ線２の一部は測定試料３中の原子を励起して
蛍光Ｘ線４を発生させ、残りの一次Ｘ線２のほとんどは
測定試料３で散乱される。そして、測定試料３に含まれ
ている各元素ごとに、発生する蛍光Ｘ線４のエネルギー
値は決まっているため、このスペクトルデータは測定試
料３に含まれる元素に応じたエネルギー位置にピークを
有する。このピークの位置より測定試料３に含まれる元
素を特定することが可能である。図４において、測定試
料３からでた蛍光Ｘ線４および散乱Ｘ線５は、検出器
（半導体検出器）６に入り電気信号に変えられる。その
後、増幅器６ａを通ってマルチチャンネルアナライザ７
に入り、エネルギースペクトルが得られる。なお、図５
のＸ線管１において、一次Ｘ線２は、Ｒｈのターゲット
部Ｔに印加される管電圧ＥによりフィラメントＦから加
速された電子ｅ- がターゲット部Ｔに入射することで発
生する。
図５に示すように、ターゲット部Ｔのターゲット材料と
してロジウム（Ｒｈ）やモリブデン（Ｍｏ）等を用いた
Ｘ線管１で発生した一次Ｘ線２を測定試料３に照射する
と、一次Ｘ線２の一部は測定試料３中の原子を励起して
蛍光Ｘ線４を発生させ、残りの一次Ｘ線２のほとんどは
測定試料３で散乱される。そして、測定試料３に含まれ
ている各元素ごとに、発生する蛍光Ｘ線４のエネルギー
値は決まっているため、このスペクトルデータは測定試
料３に含まれる元素に応じたエネルギー位置にピークを
有する。このピークの位置より測定試料３に含まれる元
素を特定することが可能である。図４において、測定試
料３からでた蛍光Ｘ線４および散乱Ｘ線５は、検出器
（半導体検出器）６に入り電気信号に変えられる。その
後、増幅器６ａを通ってマルチチャンネルアナライザ７
に入り、エネルギースペクトルが得られる。なお、図５
のＸ線管１において、一次Ｘ線２は、Ｒｈのターゲット
部Ｔに印加される管電圧ＥによりフィラメントＦから加
速された電子ｅ- がターゲット部Ｔに入射することで発
生する。
【０００３】このようにＸ線管１から発せられた一次Ｘ
線２が測定試料３に照射され、当該測定試料３から発せ
られる蛍光Ｘ線４を検出器６で検出し、その信号を信号
処理手段６ａ，７を経てエネルギースペクトルとして読
み取ることで当該測定試料３に含まれている元素の検出
を行うにあたり、原子番号が、例えば、１１，１２，１
３，１４，１５，１６および１７をそれぞれ有するＮ
ａ，Ｍｇ，Ａｌ，Ｓｉ，Ｐ，ＳおよびＣｌ等の相対的に
原子番号の小さい軽元素と、原子番号が、例えば、３
８，３９，４０，４１，４２，４６，４７，４９，５
０，５１，７４，７８，７９および８２をそれぞれ有す
るＳｒ，Ｙ，Ｚｒ，Ｎｂ，Ｍｏ，Ｐｄ，Ａｇ，Ｉｎ，Ｓ
ｎ，Ｓｂ，Ｗ，Ｐｔ，ＡｕおよびＰｂ等の相対的に原子
番号の大きい重元素とを、Ｘ線管１の管電圧Ｅを低い管
電圧（以下、単に低電圧という）および高い管電圧（以
下、単に高電圧という）の２条件を用いることで検出す
ることが行われている。
線２が測定試料３に照射され、当該測定試料３から発せ
られる蛍光Ｘ線４を検出器６で検出し、その信号を信号
処理手段６ａ，７を経てエネルギースペクトルとして読
み取ることで当該測定試料３に含まれている元素の検出
を行うにあたり、原子番号が、例えば、１１，１２，１
３，１４，１５，１６および１７をそれぞれ有するＮ
ａ，Ｍｇ，Ａｌ，Ｓｉ，Ｐ，ＳおよびＣｌ等の相対的に
原子番号の小さい軽元素と、原子番号が、例えば、３
８，３９，４０，４１，４２，４６，４７，４９，５
０，５１，７４，７８，７９および８２をそれぞれ有す
るＳｒ，Ｙ，Ｚｒ，Ｎｂ，Ｍｏ，Ｐｄ，Ａｇ，Ｉｎ，Ｓ
ｎ，Ｓｂ，Ｗ，Ｐｔ，ＡｕおよびＰｂ等の相対的に原子
番号の大きい重元素とを、Ｘ線管１の管電圧Ｅを低い管
電圧（以下、単に低電圧という）および高い管電圧（以
下、単に高電圧という）の２条件を用いることで検出す
ることが行われている。
【０００４】従来では、図３において、ステップ３０１
で測定を開始し、ステップ３０２で予め一定の測定時間
Ｔa （秒）をオペレータが設定した後、ステップ３０３
で高電圧にてＴa ／２（秒）の測定を行い、続いて、ス
テップ３０４で低電圧にてＴ a ／２（秒）の測定を行
い、これらの結果を組み合わせて当該測定試料３に含ま
れている多元素を同時に定性する（ステップ３０５参
照）とともに、それらの定量計算を行い（ステップ３０
６参照）、オペレータの判断により定量精度が満足いく
ものであれば（ステップ３０７参照）、測定を終了して
いた（ステップ３０８参照）。しかし、ステップ３０７
において、定量精度が満足いくものでなければ、オペレ
ータが、新たに測定時間をＴb （秒）と設定し直し、ス
テップ３０３に戻って高電圧測定から測定を開始してい
た。
で測定を開始し、ステップ３０２で予め一定の測定時間
Ｔa （秒）をオペレータが設定した後、ステップ３０３
で高電圧にてＴa ／２（秒）の測定を行い、続いて、ス
テップ３０４で低電圧にてＴ a ／２（秒）の測定を行
い、これらの結果を組み合わせて当該測定試料３に含ま
れている多元素を同時に定性する（ステップ３０５参
照）とともに、それらの定量計算を行い（ステップ３０
６参照）、オペレータの判断により定量精度が満足いく
ものであれば（ステップ３０７参照）、測定を終了して
いた（ステップ３０８参照）。しかし、ステップ３０７
において、定量精度が満足いくものでなければ、オペレ
ータが、新たに測定時間をＴb （秒）と設定し直し、ス
テップ３０３に戻って高電圧測定から測定を開始してい
た。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかし、一定の測定時
間Ｔa の中で、低電圧測定時間と高電圧測定時間の比が
１：１に固定されていたから、高電圧測定で主に検出さ
れる重元素は軽元素に比べて検出効率が良いにもかかわ
らず、主に軽元素を検出する低電圧測定と同じ時間を高
電圧測定にかけるため、検出効率の良くない微量の軽元
素を検出するには、高電圧で必要以上の時間をかけてし
まうことになる。すなわち、低電圧で検出する軽元素の
定量精度を上げるためには、高電圧の測定時間も延ばす
必要がある。
間Ｔa の中で、低電圧測定時間と高電圧測定時間の比が
１：１に固定されていたから、高電圧測定で主に検出さ
れる重元素は軽元素に比べて検出効率が良いにもかかわ
らず、主に軽元素を検出する低電圧測定と同じ時間を高
電圧測定にかけるため、検出効率の良くない微量の軽元
素を検出するには、高電圧で必要以上の時間をかけてし
まうことになる。すなわち、低電圧で検出する軽元素の
定量精度を上げるためには、高電圧の測定時間も延ばす
必要がある。
【０００６】また、上記のように測定時間をＴa 秒に設
定し、この測定時間の中で低電圧測定にかける時間と高
電圧測定にかける時間の割合を同じにした場合に、仮
に、測定結果の定量値の標準偏差σ（一次Ｘ線カウント
数の平方根）が大きくでてこれを小さくしたい場合は、
新たに測定時間を設定し直す必要があった。
定し、この測定時間の中で低電圧測定にかける時間と高
電圧測定にかける時間の割合を同じにした場合に、仮
に、測定結果の定量値の標準偏差σ（一次Ｘ線カウント
数の平方根）が大きくでてこれを小さくしたい場合は、
新たに測定時間を設定し直す必要があった。
【０００７】この発明は、軽元素および重元素の定量値
を低電圧および高電圧の２条件を用いることで検出する
複数条件蛍光Ｘ線分析において検出効率のよい測定結果
を短時間で得ることができるとともに、測定結果の定量
値の標準偏差を小さくできる適正な測定時間を設定でき
る複数条件蛍光Ｘ線分析における測定時間設定方法を提
供することを目的とする。
を低電圧および高電圧の２条件を用いることで検出する
複数条件蛍光Ｘ線分析において検出効率のよい測定結果
を短時間で得ることができるとともに、測定結果の定量
値の標準偏差を小さくできる適正な測定時間を設定でき
る複数条件蛍光Ｘ線分析における測定時間設定方法を提
供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、この発明の複数条件蛍光Ｘ線分析における測定時間
設定方法は、Ｘ線管から発せられた一次Ｘ線が測定試料
に照射され、当該測定試料から発せられる蛍光Ｘ線を検
出器で検出し、その信号を信号処理手段を経てエネルギ
ースペクトルとして読み取ることで当該測定試料に含ま
れている軽元素および重元素を、それぞれＸ線管の管電
圧を低い管電圧とする測定および高い管電圧とする測定
で検出するにあたり、予め設定された一定の測定時間内
における低い管電圧での測定時間と高い管電圧での測定
時間とを異なる長さに設定可能としたことを特徴とす
る。
に、この発明の複数条件蛍光Ｘ線分析における測定時間
設定方法は、Ｘ線管から発せられた一次Ｘ線が測定試料
に照射され、当該測定試料から発せられる蛍光Ｘ線を検
出器で検出し、その信号を信号処理手段を経てエネルギ
ースペクトルとして読み取ることで当該測定試料に含ま
れている軽元素および重元素を、それぞれＸ線管の管電
圧を低い管電圧とする測定および高い管電圧とする測定
で検出するにあたり、予め設定された一定の測定時間内
における低い管電圧での測定時間と高い管電圧での測定
時間とを異なる長さに設定可能としたことを特徴とす
る。
【０００９】また、この発明は別の観点から、Ｘ線管か
ら発せられた一次Ｘ線が測定試料に照射され、当該測定
試料から発せられる蛍光Ｘ線を検出器で検出し、その信
号を信号処理手段を経てエネルギースペクトルとして読
み取ることで当該測定試料に含まれている軽元素および
重元素を、それぞれＸ線管の管電圧を低い管電圧とする
測定および高い管電圧とする測定で検出するにあたり、
測定後に定性された元素の標準偏差の経時変化を高い管
電圧および低い管電圧でモニタリングすることにより、
適正な測定時間を設定するようにしてあることを特徴と
する複数条件蛍光Ｘ線分析における測定時間設定方法を
提供する。
ら発せられた一次Ｘ線が測定試料に照射され、当該測定
試料から発せられる蛍光Ｘ線を検出器で検出し、その信
号を信号処理手段を経てエネルギースペクトルとして読
み取ることで当該測定試料に含まれている軽元素および
重元素を、それぞれＸ線管の管電圧を低い管電圧とする
測定および高い管電圧とする測定で検出するにあたり、
測定後に定性された元素の標準偏差の経時変化を高い管
電圧および低い管電圧でモニタリングすることにより、
適正な測定時間を設定するようにしてあることを特徴と
する複数条件蛍光Ｘ線分析における測定時間設定方法を
提供する。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下にこの発明の実施の形態につ
いて説明する。なお、この発明はそれによって限定され
るものではない。
いて説明する。なお、この発明はそれによって限定され
るものではない。
【００１１】図１は、検出効率の良くない微量の軽元素
の測定する際には、一定の測定時間Ｔa における低電圧
測定時間ＴL の割合を高電圧測定時間ＴH の割合よりも
大きくするよう構成してあるこの発明の第１の実施形態
を示す。
の測定する際には、一定の測定時間Ｔa における低電圧
測定時間ＴL の割合を高電圧測定時間ＴH の割合よりも
大きくするよう構成してあるこの発明の第１の実施形態
を示す。
【００１２】図１において、１０は、低電圧測定で主に
検出される軽元素の検出効率と、高電圧測定で主に検出
される重元素の検出効率が記憶されているメモリを示
す。
検出される軽元素の検出効率と、高電圧測定で主に検出
される重元素の検出効率が記憶されているメモリを示
す。
【００１３】而して、ステップ１０１で測定を開始し、
ステップ１０２で予め一定の測定時間Ｔa （秒）をオペ
レータが設定する。
ステップ１０２で予め一定の測定時間Ｔa （秒）をオペ
レータが設定する。
【００１４】続いて、ステップ１０３では、メモリ１０
に予め記憶されている前記軽元素の検出効率と前記重元
素の検出効率に基づいて低電圧測定にかける時間と高電
圧測定にかける時間の比率を計算する。この計算によ
り、一定の測定時間Ｔa （秒）の中で低電圧測定時間Ｔ
L （秒）の占める割合が高電圧測定時間ＴH （秒）の占
める割合よりも大きくなるよう、低電圧測定時間Ｔ
L （秒）と高電圧測定時間Ｔ H （秒）が自動的に設定さ
れる。ここで、Ｔa ＝ＴL ＋ＴH であり、ＴL ＞ＴHで
ある。
に予め記憶されている前記軽元素の検出効率と前記重元
素の検出効率に基づいて低電圧測定にかける時間と高電
圧測定にかける時間の比率を計算する。この計算によ
り、一定の測定時間Ｔa （秒）の中で低電圧測定時間Ｔ
L （秒）の占める割合が高電圧測定時間ＴH （秒）の占
める割合よりも大きくなるよう、低電圧測定時間Ｔ
L （秒）と高電圧測定時間Ｔ H （秒）が自動的に設定さ
れる。ここで、Ｔa ＝ＴL ＋ＴH であり、ＴL ＞ＴHで
ある。
【００１５】続いて、ステップ１０４で高電圧にてＴH
（秒）の測定を行い、続いて、ステップ１０５で低電圧
にてＴL （秒）の測定を行い、これらの結果を組み合わ
せて当該測定試料３に含まれている多元素を同時に定性
するとともに、それらの定量計算を行う（ステップ１０
６参照）。
（秒）の測定を行い、続いて、ステップ１０５で低電圧
にてＴL （秒）の測定を行い、これらの結果を組み合わ
せて当該測定試料３に含まれている多元素を同時に定性
するとともに、それらの定量計算を行う（ステップ１０
６参照）。
【００１６】このように、従来のように高電圧・低電圧
の測定時間の比を１：１に固定するのではなく、微量の
軽元素の測定する際には、一定の測定時間における低電
圧測定にかける時間の割合を高電圧測定にかける時間の
割合よりも大きくすることで、従来のように新たに測定
時間を設定し直す必要がなくなるとともに、総合的に検
出効率の良い結果を従来に比して短時間で得ることがで
きる。
の測定時間の比を１：１に固定するのではなく、微量の
軽元素の測定する際には、一定の測定時間における低電
圧測定にかける時間の割合を高電圧測定にかける時間の
割合よりも大きくすることで、従来のように新たに測定
時間を設定し直す必要がなくなるとともに、総合的に検
出効率の良い結果を従来に比して短時間で得ることがで
きる。
【００１７】図２は、測定結果の定量値の標準偏差の経
時変化をモニタリングすることにより、適正な測定時間
を設定し、高精度な複数条件蛍光Ｘ線分析ができるよう
に構成したこの発明の第２の実施形態を示す。
時変化をモニタリングすることにより、適正な測定時間
を設定し、高精度な複数条件蛍光Ｘ線分析ができるよう
に構成したこの発明の第２の実施形態を示す。
【００１８】図２において、ステップ２０１で測定を開
始し、ステップ２０２で予め一定の測定時間Ｔa （秒）
をオペレータが設定した後、ステップ２０３で従来と同
様、高電圧にてＴa ／２（秒）の測定を行い、続いて、
ステップ２０４で従来と同様、低電圧にてＴa ／２
（秒）の測定を行い、これらの結果を組み合わせて当該
測定試料３に含まれている多元素を同時に定性する（ス
テップ２０５参照）。
始し、ステップ２０２で予め一定の測定時間Ｔa （秒）
をオペレータが設定した後、ステップ２０３で従来と同
様、高電圧にてＴa ／２（秒）の測定を行い、続いて、
ステップ２０４で従来と同様、低電圧にてＴa ／２
（秒）の測定を行い、これらの結果を組み合わせて当該
測定試料３に含まれている多元素を同時に定性する（ス
テップ２０５参照）。
【００１９】すなわち、ここまでは従来と同様、任意の
初期測定時間Ｔa を設定し、測定後自動定性を行う。
初期測定時間Ｔa を設定し、測定後自動定性を行う。
【００２０】続いて、定性した元素のうち、はじめに重
元素についての標準偏差σを計算し（ステップ２０６参
照）、重元素についての標準偏差σの経時変化をモニタ
リングする。すなわち、ステップ２０７において、Δσ
／Δｔ（各重元素についての標準偏差σの時間微分）の
値が任意定数Ｓよりも小さくなる時点で重元素の測定を
終了する。ステップ２０７において、Δσ／Δｔ値が任
意定数Ｓよりも大きい場合は、重元素についての標準偏
差σの再計算のために、Ｔa ／２（秒）よりも遙に短い
微小時間Δｔ（秒）だけ延長して高電圧測定（ステップ
２０８参照）を行いステップ２０６に戻る。
元素についての標準偏差σを計算し（ステップ２０６参
照）、重元素についての標準偏差σの経時変化をモニタ
リングする。すなわち、ステップ２０７において、Δσ
／Δｔ（各重元素についての標準偏差σの時間微分）の
値が任意定数Ｓよりも小さくなる時点で重元素の測定を
終了する。ステップ２０７において、Δσ／Δｔ値が任
意定数Ｓよりも大きい場合は、重元素についての標準偏
差σの再計算のために、Ｔa ／２（秒）よりも遙に短い
微小時間Δｔ（秒）だけ延長して高電圧測定（ステップ
２０８参照）を行いステップ２０６に戻る。
【００２１】重元素についての標準偏差σの経時変化を
モニタリングした後、低電圧測定に自動で切替わり、軽
元素についての標準偏差σを計算し（ステップ２０９参
照）、軽元素についての標準偏差σの経時変化をモニタ
リングする。すなわち、ステップ２１０において、Δσ
／Δｔ（各軽元素についての標準偏差σの時間微分）の
値が任意定数Ｓよりも小さくなる時点で軽元素の測定を
終了する。ステップ２１０において、Δσ／Δｔ値が任
意定数Ｓよりも大きい場合は、軽元素についての標準偏
差σの再計算のために、Ｔa ／２（秒）よりも遙に短い
微小時間Δｔ（秒）だけ延長して低電圧測定（ステップ
２０８参照）を行いステップ２０９に戻る。
モニタリングした後、低電圧測定に自動で切替わり、軽
元素についての標準偏差σを計算し（ステップ２０９参
照）、軽元素についての標準偏差σの経時変化をモニタ
リングする。すなわち、ステップ２１０において、Δσ
／Δｔ（各軽元素についての標準偏差σの時間微分）の
値が任意定数Ｓよりも小さくなる時点で軽元素の測定を
終了する。ステップ２１０において、Δσ／Δｔ値が任
意定数Ｓよりも大きい場合は、軽元素についての標準偏
差σの再計算のために、Ｔa ／２（秒）よりも遙に短い
微小時間Δｔ（秒）だけ延長して低電圧測定（ステップ
２０８参照）を行いステップ２０９に戻る。
【００２２】このように、定性元素の標準偏差σの経時
変化をモニタリングし、Δσ／Δｔ値が任意定数Ｓより
も小さくなる時点で測定を終了させる。はじめに高電圧
で測定し、Δσ／Δｔ＜Ｓの条件を満たせば低電圧に切
替え、、高電圧の場合と同様にΔσ／Δｔ＜Ｓの条件を
満たすまで測定を行う。
変化をモニタリングし、Δσ／Δｔ値が任意定数Ｓより
も小さくなる時点で測定を終了させる。はじめに高電圧
で測定し、Δσ／Δｔ＜Ｓの条件を満たせば低電圧に切
替え、、高電圧の場合と同様にΔσ／Δｔ＜Ｓの条件を
満たすまで測定を行う。
【００２３】最後に、ステップ２１２で元素の定量を行
い、測定が終了する（ステップ２１３参照）。
い、測定が終了する（ステップ２１３参照）。
【００２４】この実施形態では、従来のように、新たに
測定時間を設定し直す必要はなくなる。すなわち、高電
圧測定のやり直しが無くなり、従来やり直しで行ってい
た高電圧測定に要した余分な時間および電圧条件の設定
のために要した時間を短縮できる。
測定時間を設定し直す必要はなくなる。すなわち、高電
圧測定のやり直しが無くなり、従来やり直しで行ってい
た高電圧測定に要した余分な時間および電圧条件の設定
のために要した時間を短縮できる。
【００２５】また、求められる精度を満たすよう最適な
測定時間の設定を自動で行える。すなわち、Δσ／Δｔ
＜Ｓの条件を満たすまで微小時間Δｔ（秒）だけ延長し
て高電圧測定および／または低電圧測定を行える。
測定時間の設定を自動で行える。すなわち、Δσ／Δｔ
＜Ｓの条件を満たすまで微小時間Δｔ（秒）だけ延長し
て高電圧測定および／または低電圧測定を行える。
【００２６】なお、上記第１の実施形態では、一定の測
定時間Ｔa における低い管電圧での測定時間ＴL を高い
管電圧での測定時間ＴH （＜ＴL ）よりも長く設定する
よう構成したものを示したが、この発明は、低い管電圧
での測定時間ＴL を高い管電圧での測定時間ＴH よりも
長く設定する複数条件蛍光Ｘ線分析における測定時間設
定方法に限定するものではなく、高い管電圧での測定時
間ＴH を低い管電圧での測定時間ＴL （＜ＴH ）よりも
長くなるように設定してもよい。この場合、高い管電圧
で検出される金属元素（重元素）を精度よく測定できる
と共に、軽元素については、測定（対象）試料に含まれ
ているか否かの確認を同時に行うことができる利点をこ
の発明は有する。
定時間Ｔa における低い管電圧での測定時間ＴL を高い
管電圧での測定時間ＴH （＜ＴL ）よりも長く設定する
よう構成したものを示したが、この発明は、低い管電圧
での測定時間ＴL を高い管電圧での測定時間ＴH よりも
長く設定する複数条件蛍光Ｘ線分析における測定時間設
定方法に限定するものではなく、高い管電圧での測定時
間ＴH を低い管電圧での測定時間ＴL （＜ＴH ）よりも
長くなるように設定してもよい。この場合、高い管電圧
で検出される金属元素（重元素）を精度よく測定できる
と共に、軽元素については、測定（対象）試料に含まれ
ているか否かの確認を同時に行うことができる利点をこ
の発明は有する。
【００２７】
【発明の効果】以上説明したようにこの発明では、高電
圧・低電圧の２条件を用いて測定を行い、これらの結果
を組み合わせて測定試料に含まれている軽元素および重
元素の定性・定量を行うにあたり、高電圧・低電圧の測
定時間の比を１：１に固定するのではなく、予め設定さ
れた一定の測定時間内における低い管電圧での測定時間
と高い管電圧での測定時間とを異なる長さに設定可能と
したものである。すなわち、この発明では、例えば、一
定の測定時間における低電圧測定時間の割合を高電圧測
定時間のそれよりも大きく設定することにより、総合的
に検出効率の良い結果を短時間で得ることができる。つ
まり、一定の測定時間における低い管電圧での測定時間
を高い管電圧での測定時間よりも長く設定することによ
り、総合的に検出効率の良い結果を短時間で得ることが
できる。また、この発明では、例えば、高い管電圧での
測定時間を低い管電圧での測定時間よりも長くなるよう
に設定することにより、高い管電圧で検出される重元素
を精度よく測定できると共に、軽元素については、測定
試料に含まれているか否かの確認を同時に行うことがで
きる。
圧・低電圧の２条件を用いて測定を行い、これらの結果
を組み合わせて測定試料に含まれている軽元素および重
元素の定性・定量を行うにあたり、高電圧・低電圧の測
定時間の比を１：１に固定するのではなく、予め設定さ
れた一定の測定時間内における低い管電圧での測定時間
と高い管電圧での測定時間とを異なる長さに設定可能と
したものである。すなわち、この発明では、例えば、一
定の測定時間における低電圧測定時間の割合を高電圧測
定時間のそれよりも大きく設定することにより、総合的
に検出効率の良い結果を短時間で得ることができる。つ
まり、一定の測定時間における低い管電圧での測定時間
を高い管電圧での測定時間よりも長く設定することによ
り、総合的に検出効率の良い結果を短時間で得ることが
できる。また、この発明では、例えば、高い管電圧での
測定時間を低い管電圧での測定時間よりも長くなるよう
に設定することにより、高い管電圧で検出される重元素
を精度よく測定できると共に、軽元素については、測定
試料に含まれているか否かの確認を同時に行うことがで
きる。
【００２８】また、測定後に定性された元素の標準偏差
の経時変化を高い管電圧および低い管電圧でモニタリン
グすることにより、求められる精度を満たすよう最適な
測定時間の設定を自動で行える。また、従来やり直しで
行っていた高電圧測定に要した余分な時間を短縮できる
とともに、電圧条件の設定のために要した時間をも短縮
できる。
の経時変化を高い管電圧および低い管電圧でモニタリン
グすることにより、求められる精度を満たすよう最適な
測定時間の設定を自動で行える。また、従来やり直しで
行っていた高電圧測定に要した余分な時間を短縮できる
とともに、電圧条件の設定のために要した時間をも短縮
できる。
【図１】この発明の第１の実施形態を示すフローチャー
トである。
トである。
【図２】この発明の第２の実施形態を示すフローチャー
トである。
トである。
【図３】従来例を示すフローチャートである。
【図４】蛍光Ｘ線分析装置を示すブロック図である。
【図５】前記蛍光Ｘ線分析装置の要部構成説明図であ
る。
る。
１…Ｘ線管、２…一次Ｘ線、３…測定試料、４…蛍光Ｘ
線、６…検出器、７…マルチチャンネルアナライザ、１
０…メモリ、Ｔa …測定時間、ＴL …低電圧測定時間、
ＴH …高電圧測定時間、Ｅ…管電圧。
線、６…検出器、７…マルチチャンネルアナライザ、１
０…メモリ、Ｔa …測定時間、ＴL …低電圧測定時間、
ＴH …高電圧測定時間、Ｅ…管電圧。
Claims (2)
- 【請求項１】 Ｘ線管から発せられた一次Ｘ線が測定試
料に照射され、当該測定試料から発せられる蛍光Ｘ線を
検出器で検出し、その信号を信号処理手段を経てエネル
ギースペクトルとして読み取ることで当該測定試料に含
まれている軽元素および重元素を、それぞれＸ線管の管
電圧を低い管電圧とする測定および高い管電圧とする測
定で検出するにあたり、予め設定された一定の測定時間
内における低い管電圧での測定時間と高い管電圧での測
定時間とを異なる長さに設定可能としたことを特徴とす
る複数条件蛍光Ｘ線分析における測定時間設定方法。 - 【請求項２】 Ｘ線管から発せられた一次Ｘ線が測定試
料に照射され、当該測定試料から発せられる蛍光Ｘ線を
検出器で検出し、その信号を信号処理手段を経てエネル
ギースペクトルとして読み取ることで当該測定試料に含
まれている軽元素および重元素を、それぞれＸ線管の管
電圧を低い管電圧とする測定および高い管電圧とする測
定で検出するにあたり、測定後に定性された元素の標準
偏差の経時変化を高い管電圧および低い管電圧でモニタ
リングすることにより、適正な測定時間を設定するよう
にしてあることを特徴とする複数条件蛍光Ｘ線分析にお
ける測定時間設定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002069181A JP2003270177A (ja) | 2002-03-13 | 2002-03-13 | 複数条件蛍光ｘ線分析における測定時間設定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002069181A JP2003270177A (ja) | 2002-03-13 | 2002-03-13 | 複数条件蛍光ｘ線分析における測定時間設定方法 |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2006244540A Division JP4560503B2 (ja) | 2006-09-08 | 2006-09-08 | 複数条件蛍光ｘ線分析における測定時間設定方法及び蛍光ｘ線分析装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003270177A true JP2003270177A (ja) | 2003-09-25 |
Family
ID=29200105
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002069181A Pending JP2003270177A (ja) | 2002-03-13 | 2002-03-13 | 複数条件蛍光ｘ線分析における測定時間設定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003270177A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2020165757A (ja) * | 2019-03-29 | 2020-10-08 | 株式会社リガク | 蛍光ｘ線分析装置 |
| WO2022049854A1 (ja) * | 2020-09-03 | 2022-03-10 | 株式会社リガク | 全反射蛍光ｘ線分析装置及び推定方法 |
-
2002
- 2002-03-13 JP JP2002069181A patent/JP2003270177A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JP2020165757A (ja) * | 2019-03-29 | 2020-10-08 | 株式会社リガク | 蛍光ｘ線分析装置 |
| WO2020202644A1 (ja) * | 2019-03-29 | 2020-10-08 | 株式会社リガク | 蛍光ｘ線分析装置 |
| CN113692533A (zh) * | 2019-03-29 | 2021-11-23 | 株式会社理学 | 荧光x射线分析装置 |
| US11402343B2 (en) | 2019-03-29 | 2022-08-02 | Rigaku Corporation | X-ray fluorescence spectrometer |
| WO2022049854A1 (ja) * | 2020-09-03 | 2022-03-10 | 株式会社リガク | 全反射蛍光ｘ線分析装置及び推定方法 |
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| JP7130267B2 (ja) | 2020-09-03 | 2022-09-05 | 株式会社リガク | 全反射蛍光ｘ線分析装置及び推定方法 |
| US11796495B2 (en) | 2020-09-03 | 2023-10-24 | Rigaku Corporation | Total reflection X-ray fluorescence spectrometer and estimation method |
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