JP2001074637A - 動的光散乱式粒径分布測定システム - Google Patents

動的光散乱式粒径分布測定システム

Info

Publication number
JP2001074637A
JP2001074637A JP24506899A JP24506899A JP2001074637A JP 2001074637 A JP2001074637 A JP 2001074637A JP 24506899 A JP24506899 A JP 24506899A JP 24506899 A JP24506899 A JP 24506899A JP 2001074637 A JP2001074637 A JP 2001074637A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
particle size
size distribution
light scattering
dynamic light
sample
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP24506899A
Other languages
English (en)
Other versions
JP3689274B2 (ja
Inventor
Makoto Umezawa
誠 梅沢
Tetsuji Yamaguchi
哲司 山口
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Horiba Ltd
Original Assignee
Horiba Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Horiba Ltd filed Critical Horiba Ltd
Priority to JP24506899A priority Critical patent/JP3689274B2/ja
Publication of JP2001074637A publication Critical patent/JP2001074637A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3689274B2 publication Critical patent/JP3689274B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 測定開始前に試料の分散状態や凝集状態の経
時変化(粒径分布の経時変化)や試料の濃度の経時変化
をリアルタイムで確認できる動的光散乱式粒径分布測定
システムを提供すること。 【解決手段】 溶媒2a中に分散しブラウン運動する粒
子2bを有する試料にレーザ光Lを照射して、前記粒子
2bによる散乱光によって生じた干渉光Liを電気的な
検出信号D(t)に変換し、この検出信号D(t)を演
算して粒径分布を測定するための動的光散乱式粒径分布
測定装置1と、この動的光散乱式粒径分布測定装置1を
制御する制御装置16とを備え、更に、この制御装置1
6は、測定開始前に試料の調製状態を確認する画面14
を有している。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、試料の調製状態
を測定開始前に確認する新規な動的光散乱式粒径分布測
定システムに関する。
【0002】
【従来技術および発明が解決しようとする課題】溶媒中
に分散しブラウン運動する粒子を有する試料にレーザ光
を照射し、生じた干渉光を利用して粒径分布を測定する
従来の動的光散乱式粒径分布測定装置では、測定後に得
られるデータから測定セル内に収容されている試料が測
定に適した定常状態になっていたか否かの判断を行って
いた。また、前記従来装置では、薄過ぎる濃度または濃
過ぎる濃度の試料を使用した場合、検出信号に含まれる
電気的ノイズ成分が増えることから粒径分布の測定精度
に悪影響を及ぼしていた。
【0003】この発明はこのような実情に鑑みてなさ
れ、測定開始前に試料の分散状態や凝集状態の経時変化
(粒径分布の経時変化)や試料の濃度の経時変化をリア
ルタイムで確認できる動的光散乱式粒径分布測定システ
ムを提供することを目的としている。
【0004】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、この発明の動的光散乱式粒径分布測定システムは、
溶媒中に分散しブラウン運動する粒子を有する試料にレ
ーザ光を照射して、前記粒子による散乱光によって生じ
た干渉光を電気的な検出信号に変換し、この検出信号を
演算して粒径分布を測定するための動的光散乱式粒径分
布測定装置と、この動的光散乱式粒径分布測定装置を制
御する制御装置とを備え、更に、この制御装置は、測定
開始前に試料の調製状態を確認する画面を有している。
【0005】また、この発明は別の観点から、溶媒中に
分散しブラウン運動する粒子を有する試料にレーザ光を
照射して、前記粒子による散乱光によって生じた干渉光
を電気的な検出信号に変換し、この検出信号を演算して
粒径分布を測定するための動的光散乱式粒径分布測定装
置と、この動的光散乱式粒径分布測定装置を制御する制
御装置とを備え、更に、この制御装置は、測定開始前に
試料の粒径分布の調製状態および/または濃度を確認す
る画面を有することを特徴とする動的光散乱式粒径分布
測定システムを提供する。
【0006】
【発明の実施の形態】図1〜図4は、この発明の一実施
例を示している。図1において、動的光散乱式粒径分布
測定装置1は、溶媒2aおよび測定対象の粒子2bを収
容する試料セル2と、前記粒子2bにレーザ光Lを照射
する光源3と、前記レーザ光Lをセル2内に集光させる
レンズ4と、光源3からのレーザ光Lを透過し、かつ前
記粒子2bによる散乱光のドップラーシフトによって生
じた干渉光Liを反射するビームスプリッタ5と、前記
干渉光Liを集光するレンズ6と、偏光板7と、前記干
渉光Liを電気的な検出信号D(t)に変換する検出器
8と、この検出信号D(t)を増幅するアンプ9と、フ
ィルタ10とよりなる。
【0007】12は信号処理装置で、検出信号D(t)
をデジタル信号に変換するAD変換器11と、検出信号
D(t)をデータ処理して粒子径分布を求めるデータ処
理装部としてのCPU13と、求められた粒子径分布を
表示する画面14を有する表示部15とよりなる。そし
て、CPU13と表示部15とで前記動的光散乱式粒径
分布測定装置1を制御する制御装置16を構成し、前記
動的光散乱式粒径分布測定装置1は、前記制御装置16
からの信号で制御される。
【0008】この発明の特徴は、測定開始前に試料の調
製状態を確認する点にある。
【0009】以下、確認の手順を図2を用いて説明す
る。 (1)まず、電源を入れて動的光散乱式粒径分布測定装
置1および制御装置16を動作可能な状態にする。これ
によって、レーザ光Lの照射によって生ずる干渉光Li
が検出器8に取り込まれる(ステップS1 参照)。
【0010】すなわち、レーザ光源3から出たレーザ光
Lは、ビームスプリッタ5およびレンズ4を通過してセ
ル2内に集光する。このとき、図1の拡大図に示すよう
に、一部のレーザ光は壁面2cを通過し、通過したレー
ザ光Lpは溶媒2aに分散されたブラウン運動する粒子
2bに当たり、このブラウン運動によってドップラーシ
フトしたレーザ光Ls(散乱光)が散乱する。一方、一
部のレーザ光はセル2の壁面2cで散乱(非散乱光)し
て、もとの周波数のレーザ光Lが逆方向に進む。両光
L,Lsは互いに干渉し合って干渉光Liとなり、レン
ズ3、ビームスプリッタ5、レンズ6および偏光板7を
通って検出器8上に集光する。この場合、ドップラーシ
フトしたレーザ光Ls同士を干渉させて干渉光Liを形
成し、これがレンズ3、ビームスプリッタ5、レンズ6
および偏光板7を通って検出器8上に集光するように構
成してもよい。
【0011】さて、両光L,Lsは互いに干渉し合って
干渉光Liとなる場合、入射するレーザ光Lに対する干
渉光Liの角度αは180°である。偏光板7はビーム
スプリッタ5によって反射された以外の光を偏光方向を
利用してカットする。そして、干渉光Liは、検出器8
で電気的な検出信号D(t)に変換され、アンプ9で増
幅され、フィルタ10によりフィルタリングされた後に
A/D変換器11でデジタル値に変換される。
【0012】(2)試料の調製状態確認用のボタン操作
を行って制御装置16の表示部15の画面14上に現れ
る「測定パネルボタン」を押す(ステップS2 参照)
と、画面14上に測定パネル20が出現する(ステップ
3 参照)。この測定パネル20は、以下に示す方法で
求めた粒径分布グラフGを表示するエリアA(図3参
照)と、試料の濃度を示すエリアBを備えている。試料
の濃度は、後述するようにレベルメータ50で示される
よう構成されている。 (3)A/D変換器11から1回目の光散乱データをC
PU13に取り込む(ステップS4 参照)。 (4)前記光散乱データに基づきCPU13の高速フー
リエ変換部(FFT)でパワースペクトルを演算する
(ステップS5 参照)。 (5)粒径分布を求める。つまり、前記パワースペクト
ルに基づいて異なる粒子径の粒子2bの割合を演算する
(ステップS6 参照)。 (6)この演算の結果は、粒径分布グラフGとして前記
粒径分布表示エリアAに例えば1秒間表示される(ステ
ップS7 参照)。 (7)そして、前記ステップS4 からステップS7 まで
の動作は、干渉光Liが検出器8に取り込まれている
間、繰り返して行われる。つまり、2回目の光散乱デー
タがCPU13に取り込まれ、その結果、図4に点線で
示すようなグラフG’がグラフGに代わって1秒間表示
される。以下、同様にして、粒径分布グラフが経時的に
次々とエリアAに表示される。 (8)ここで、試料が偏析がなく均一な状態、つまり、
粒子2b間の凝集がなく粒子2bが均一に分散する定常
状態になれば、粒径分布グラフにおける変化がなくなる
ことから、測定担当者(オペレータ)は、粒径分布グラ
フにおける変化がなくなった時点を試料が定常状態にな
った時点と判断することができる。以上のようにして確
認動作が行われる。
【0013】(9)そして、試料が定常状態になったと
思われる時点(ステップS8 参照)で、PC16に設け
た「測定開始ボタン」を押す(ステップS9 参照)こと
により、所定の測定が行われる。つまり、レーザ光Lの
照射によって生ずる干渉光Liが検出器8に取り込まれ
(ステップS10参照)、検出器8からは干渉光Liの強
度に対応した検出信号D(t)が出力され、この信号D
(t)は、アンプ9、フィルタ10、A/D変換器11
を介してPC16に入力される。このPC16のCPU
13においては粒径分布演算が行われる(ステップS11
参照)。
【0014】(10)そして、この粒径分布演算の結果
は、粒径分布グラフとして、前記画面14上に表示され
る(ステップS12参照)。
【0015】(11)一方、ステップS8 で試料が定常
状態になったと思われないと判断される場合は、試料を
交換したり、再調製する(ステップS13参照)。
【0016】このように、測定開始前に試料の調製状態
を粒径分布の経時変化として確認する画面14を有する
ことから、最適な粒子2bの分散状態での測定が可能と
なる。
【0017】また、前記ステップS4 で光散乱データを
CPU13に取り込んでいるので、すなわち、試料の濃
度に応じた散乱光強度が検出器8に取り込まれるので、
前記検出信号D(t)が図5に示すような例えば振幅が
20ボルトの交流信号の場合、試料の濃度を示すエリア
Bには濃度の経時変化がレベルメータ50に数値(最大
レベルが数値20に相当する)で表示される。
【0018】すなわち、この発明では、測定開始前の試
料の粒径分布および濃度の経時変化を確認する画面14
を有することから、最適な粒子2bの分散状態および濃
度での測定結果が得られる利点がある。
【0019】また、粒子2bが均一に分散している場合
に得られる粒径分布グラフを例えば図6(a)で示すも
のとすると、粒子2b同士が凝集している場合に得られ
る粒径分布グラフは例えば図6(b)で示すものとな
る。すなわち、この図6(b)で示される粒径分布グラ
フは、最適な分散状態でないと判断できる。
【0020】また、前記ステップS6 において、以下の
(A)あるいは(B)で示す処理を行うことにより、検
出信号D(t)に電気的ノイズが入ってもこの影響を軽
減できる。
【0021】(A)粒径分布を求めるにあたり、移動平
均処理を施してバラツキを抑える。つまり、求めた粒
径分布を積算していき、その都度積算回数で割る処理を
施すか、あるいは、一定回数ごとの積算値を積算回数
で割る処理を施して、粒径分布グラフを得るようにす
る。
【0022】(B)得られた粒径分布グラフ(図7に実
線で示す)にスムージング処理を施して、点線で示す粒
径分布グラフとする。
【0023】なお、上記実施形態では、制御装置16の
表示部15の画面14に粒径分布グラフを二次元的に表
示したものを示したが、時間軸を加えて、画面14に粒
径分布グラフを三次元的に表示するようにしてもよい。
【0024】
【発明の効果】以上説明したようにこの発明では、測定
開始前に試料の調製状態を画面で確認できる。すなわ
ち、測定開始前に粒径分布モニターが行えるので、凝集
状態のない最適な分散状態での測定が可能となる。ま
た、散乱光強度の値により、測定開始前に濃度モニター
が行えるので、測定開始前に濃度調製も行え、最適な分
散状態および濃度での測定が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の一実施形態を示す全体構成説明であ
る。
【図2】上記実施形態を示すフローチャートである。
【図3】上記実施形態における試料の調製状態を確認す
る画面を示す図である。
【図4】上記実施形態における試料の粒径分布の経時変
化を説明するための図である。
【図5】上記実施形態における検出信号の一例を示す図
である。
【図6】(a)は、粒子が均一に分散している場合に得
られる粒径分布グラフである。(b)は、粒子同士が凝
集している場合に得られる粒径分布グラフである。
【図7】上記実施形態において得られる粒径分布グラフ
とこれにスムージング処理が施された粒径分布グラフと
を示す図である。
【符号の説明】
1…動的光散乱式粒径分布測定装置、2a…溶媒、2b
…測定対象の粒子、3…光源、8…検出器、12…信号
処理装置、13…CPU、14…画面、15…表示部、
16…制御装置、L…レーザ光、Li…干渉光、D
(t)…電気的な検出信号。

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 溶媒中に分散しブラウン運動する粒子を
    有する試料にレーザ光を照射して、前記粒子による散乱
    光によって生じた干渉光を電気的な検出信号に変換し、
    この検出信号を演算して粒径分布を測定するための動的
    光散乱式粒径分布測定装置と、この動的光散乱式粒径分
    布測定装置を制御する制御装置とを備え、更に、この制
    御装置は、測定開始前に試料の調製状態を確認する画面
    を有することを特徴とする動的光散乱式粒径分布測定シ
    ステム。
  2. 【請求項2】 溶媒中に分散しブラウン運動する粒子を
    有する試料にレーザ光を照射して、前記粒子による散乱
    光によって生じた干渉光を電気的な検出信号に変換し、
    この検出信号を演算して粒径分布を測定するための動的
    光散乱式粒径分布測定装置と、この動的光散乱式粒径分
    布測定装置を制御する制御装置とを備え、更に、この制
    御装置は、測定開始前に試料の粒径分布の調製状態およ
    び/または濃度を確認する画面を有することを特徴とす
    る動的光散乱式粒径分布測定システム。
JP24506899A 1999-08-31 1999-08-31 動的光散乱式粒径分布測定システム Expired - Fee Related JP3689274B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP24506899A JP3689274B2 (ja) 1999-08-31 1999-08-31 動的光散乱式粒径分布測定システム

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP24506899A JP3689274B2 (ja) 1999-08-31 1999-08-31 動的光散乱式粒径分布測定システム

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2001074637A true JP2001074637A (ja) 2001-03-23
JP3689274B2 JP3689274B2 (ja) 2005-08-31

Family

ID=17128126

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP24506899A Expired - Fee Related JP3689274B2 (ja) 1999-08-31 1999-08-31 動的光散乱式粒径分布測定システム

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3689274B2 (ja)

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB2438243A (en) * 2006-05-15 2007-11-21 Lg Philips Lcd Co Ltd Anti-diffusion structure for a display TFT
JP2012230000A (ja) * 2011-04-26 2012-11-22 Sumika Chemical Analysis Service Ltd 微小粒子の検査方法
JP2013024760A (ja) * 2011-07-22 2013-02-04 Shimadzu Corp 粒度分布測定装置
JP2013160514A (ja) * 2012-02-01 2013-08-19 Shimadzu Corp 粒子径計測装置
JP2020101372A (ja) * 2018-12-19 2020-07-02 株式会社島津製作所 分析データ表示装置
JP2021165651A (ja) * 2020-04-06 2021-10-14 大塚電子株式会社 粒子径測定方法、粒子径測定装置及び粒子径測定プログラム
WO2021235169A1 (ja) * 2020-05-20 2021-11-25 国立研究開発法人産業技術総合研究所 個数基準粒子径分布計測方法及び計測システム

Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB2438243A (en) * 2006-05-15 2007-11-21 Lg Philips Lcd Co Ltd Anti-diffusion structure for a display TFT
GB2438243B (en) * 2006-05-15 2008-10-15 Lg Philips Lcd Co Ltd Thin film transistor, method of manufacturing the thin film transistor, and display substrate having the thin film transistor
US8927995B2 (en) 2006-05-15 2015-01-06 Lg Display Co., Ltd. Thin film transistor with anti-diffusion area that prevents metal atoms and/or ions from source/drain electrodes from shortening the channel length and display substrate having the thin film transistor
JP2012230000A (ja) * 2011-04-26 2012-11-22 Sumika Chemical Analysis Service Ltd 微小粒子の検査方法
JP2013024760A (ja) * 2011-07-22 2013-02-04 Shimadzu Corp 粒度分布測定装置
JP2013160514A (ja) * 2012-02-01 2013-08-19 Shimadzu Corp 粒子径計測装置
JP2020101372A (ja) * 2018-12-19 2020-07-02 株式会社島津製作所 分析データ表示装置
JP7093950B2 (ja) 2018-12-19 2022-07-01 株式会社島津製作所 分析データ表示装置
JP2021165651A (ja) * 2020-04-06 2021-10-14 大塚電子株式会社 粒子径測定方法、粒子径測定装置及び粒子径測定プログラム
WO2021235169A1 (ja) * 2020-05-20 2021-11-25 国立研究開発法人産業技術総合研究所 個数基準粒子径分布計測方法及び計測システム

Also Published As

Publication number Publication date
JP3689274B2 (ja) 2005-08-31

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5434667A (en) Characterization of particles by modulated dynamic light scattering
JPH0347703B2 (ja)
JP2001074637A (ja) 動的光散乱式粒径分布測定システム
JPS6312943A (ja) 表面分析方法および表面分析装置
JPS62291547A (ja) 物質の濃度測定方法
JP2004020539A (ja) 赤外円二色性測定装置および赤外円二色性測定方法
JPH11287859A (ja) レーザ距離計
JP2009109387A (ja) 試料分析装置および試料分析方法
JP3334743B2 (ja) 電気信号測定装置
JPH11295159A (ja) 応力測定装置
JP3036557B2 (ja) 非接触型レーザ血流計
JP3874749B2 (ja) 対象音検出方法及びその装置
JPS6371633A (ja) 微粒子計数装置
JP2000171384A (ja) 粒子径分布の測定装置および粒子径分布の測定方法
JPH09251004A (ja) 光音響分析方法およびその装置
JP3820065B2 (ja) 動的光散乱式粒径分布測定装置および動的光散乱式粒径分布測定方法
JPH0329836A (ja) 免疫反応の測定方法
JPH0829248A (ja) レーザドプラ方式振動計
CN110231313B (zh) 一种激光气体分析仪在线零点校准方法及装置
JPS6324139A (ja) 粒径の測定方法
JP3926362B2 (ja) 半導体ウエーハ検査システムにおける半導体ウエーハ表面上の欠陥のサイズを判定する方法
JPH08297086A (ja) 計測方法および装置
JP3645759B2 (ja) 粒子径分布解析方法
JPH04249761A (ja) 異物検査装置
JP2846764B2 (ja) 熱物性定数測定方法

Legal Events

Date Code Title Description
A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20041028

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20050201

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20050401

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20050607

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20050610

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110617

Year of fee payment: 6

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110617

Year of fee payment: 6

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120617

Year of fee payment: 7

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120617

Year of fee payment: 7

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120617

Year of fee payment: 7

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130617

Year of fee payment: 8

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130617

Year of fee payment: 8

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130617

Year of fee payment: 8

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees