JP2013160514A - 粒子径計測装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 N個の光検出素子からのN個のアナログ信号をN個のデジタル信号に変換させた後、N個のデジタル信号を出力する変換ハードウェア15と、変換ハードウェア15からのN個のデジタル信号に基づいて、被測定粒子が測定空間を通過したと認識する粒子個数計測部42と、N個の光検出素子の内から選択されたX個の光検出素子からのX個のアナログ信号を出力する出力ファームウェア16と、出力ファームウェア16からのX個のアナログ信号に基づいて、測定空間を通過した被測定粒子の粒子径区分を分類して出力する粒子径計測部43と、各粒子径区分の粒子個数を表示器50に表示する表示制御部54とを備える粒子径計測装置1であって、表示制御部54は、全粒子個数に対する各粒子径区分の粒子個数の割合を円グラフで表示する。
【選択図】図3
Description
粒子径計測装置101は、測定空間を配置するための測定空間配置部13と、測定空間に対してレーザ光を照射する照射光学系12と、光強度分布を検出する検出光学系14と、アナログ信号をデジタル信号に変換させる変換ハードウェア15と、アナログ信号を出力する出力ファームウェア16と、制御ユニット17と、制御ユニット17とシリアルクロスケーブル51を介して接続されたモニタPC(表示器)150とを備える。
具体的には、出力ファームウェア16からのアナログ信号を取得し、所定の電圧第二閾値V2を超えた時間から所定の時間Δtが経過するまでの間に得られた最大電圧値Vmaxを取得する。そして、最大電圧値Vmaxから(A)〜(G)の7段階の粒子径区分の内のいずれの粒子径区分に該当するかを判定するとともに、その粒子径区分における粒子個数を1個増加させる。このような計測を、各Xchでそれぞれ実行する。
しかしながら、図9に示すように、粒子個数計測部42によって計測された粒子個数と、粒子径計測部43によって計測された粒子個数とは一致していない。
また、「光強度」とは、光検出素子で検出される数値そのものではなくてもよく、被測定物を測定する前に既に検出されている初期余剰光の光強度が存在する場合もあるので、光検出素子で検出される数値と初期余剰光の数値との差分であることが好ましい。
また、本発明の粒子径計測装置においては、前記表示制御部は、各粒子径区間における粒子個数を棒グラフで表示させることが可能となっており、円グラフか棒グラフかのいずれで表示させるかを切り替えるようにしてもよい。
さらに、本発明の粒子径計測装置においては、前記表示制御部は、所定の時間区間での円グラフと、開始時間から現時間までの円グラフとを表示させるようにしてもよい。
まず、ステップS101の処理において、n_sec_cnt=1、n_diam_cnt[]=0、n_diam_buf[]=0、n_diam_dt[]=0とする。なお、n_sec_cntは秒数カウンタであり、n_diam_cnt[]は制御機が持つ粒子径区分ごとのパーティクル累積値であり、n_diam_buf[]は粒子径区分ごとのパーティクル数(累積値用)であり、n_diam_dt[]は粒子径区分ごとのパーティクル数(瞬時値用)である。
次に、ステップS103の処理において、n_diam_cnt[]を更新する。つまり、開始時間t0から現時間tg−1秒までの各粒子径区分における粒子個数を、開始時間t0から現時間tgまでの各粒子径区分における粒子個数に更新する。
次に、ステップS104の処理において、開始時間t0から現時間tgまでの累積値の円グラフを更新する。つまり、開始時間t0から現時間tgまでの累積値の円グラフを1秒間隔で更新して表示する。
次に、ステップS107の処理において、n_sec_cnt++とする。
次に、ステップS110の処理において、n_sec_cnt=1、n_diam_buf[]=0とする。つまり、瞬時値処理について初期化する。
一方、ステップS108の処理において、5=n_sec_cntでないと判定したときには、ステップS112の処理において、n_sec_cnt++とするとともに、ステップS104、S107、S111の処理が終了していると、ステップS102の処理に戻る。
12a レーザ光源
14b アレイ型受光器(検出器)
15 変換ハードウェア
16 出力ファームウェア
42 粒子個数計測部
43 粒子径計測部
50 モニタPC(表示器)
54 表示制御部
Claims (3)
- 被測定粒子群を含む被測定物を通過させる測定空間に測定光を出射する光源と、
前記光源からの測定光を前記被測定物に照射することにより発生する光強度分布をN個の光検出素子で検出する検出器と、
N個の光検出素子からのN個のアナログ信号をN個のデジタル信号に変換させた後、N個のデジタル信号を出力する変換ハードウェアと、
前記変換ハードウェアからのN個のデジタル信号に基づいて、前記被測定粒子が測定空間を通過したと認識する粒子個数計測部と、
N個の光検出素子の内から選択されたX個の光検出素子からのX個のアナログ信号を出力する出力ファームウェアと、
前記出力ファームウェアからのX個のアナログ信号に基づいて、前記測定空間を通過した被測定粒子の粒子径区分を分類して出力する粒子径計測部と、
各粒子径区分における粒子個数を表示器に表示させる表示制御部とを備える粒子径計測装置であって、
前記表示制御部は、全粒子個数に対する各粒子径区分における粒子個数の割合を円グラフで表示させることが可能となっていることを特徴とする粒子径計測装置。 - 前記表示制御部は、各粒子径区間における粒子個数を棒グラフで表示させることが可能となっており、
円グラフか棒グラフかのいずれで表示させるかを切り替えることを特徴とする請求項1に記載の粒子径計測装置。 - 前記表示制御部は、所定の時間区間での円グラフと、開始時間から現時間までの円グラフとを表示させることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の粒子径計測装置。
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