JP2009243941A - パーティクル検出システム、パーティクル検出方法及びプログラム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】導入された気体中のパーティクルを検出することが可能な最小粒径値がそれぞれ異なるパーティクル検出装置10、20、30を用意する。複数の導入路4からそれぞれ複数のパーティクル検出装置10、20、30へ計測対象となる気体を導入する。コンピュータ5は複数のパーティクル検出装置10、20、30により検出されたパーティクル数を受信する。そしてコンピュータ5の算出手段は、受信した各パーティクル検出装置10、20、30に係るパーティクル数及び各パーティクル検出装置10、20、30に係る最小粒径値に基づき、パーティクルの粒径分布を算出する。
【選択図】図1
Description
以下本発明の実施の形態を、図面を参照して説明する。図1はパーティクル検出システムの概要を示す模式図である。パーティクル検出システムは大きくコンピュータ5、複数のパーティクル検出装置10、20、30及び導入路4を含んで構成される。パーティクル検出装置10、20、30(場合により100で代表する)は相互に検出することが可能な最小粒径値が相違する一方で、検出することが可能な最大粒径値が略同一のものを用いる。本実施の形態においては例として、パーティクル検出装置10が検出することが可能な最小粒径値は2.5nm、最大粒径値は3μm、パーティクル検出装置20が検出することが可能な最小粒径値は4nm、最大粒径値は3μm、パーティクル検出装置30が検出することが可能な最小粒径値は6nm、最大粒径値は3μmであるものとして説明する。また以下ではパーティクル検出装置100の数を3であるものとして説明するが2以上であればよく、この数及び粒径値に限定するものではない。
実施の形態2は単一の照射部を用いる形態に関する。図11は実施の形態2に係る照射光学系収納部140の内部構造を模式的に示す模式的斜視図である。光学系収納部140は、単一の照射部14、焦点変更手段としてのフォーカスレンズ141及び焦点制御部142、3つの受光部15、25、35、これらにそれぞれ対応する集光レンズ151、251、351、並びに、ストッパ143等を含んで構成される。光学系収納部140は、受光部15、25、35及び集光レンズ151、251、351等を収納する中空直方体形状をなす第1収納部140a、及び、第1収納部140aの短辺方向の一端に連結され、照射部14及びフォーカスレンズ141等を収納する中空直方体状の第2収納部140bにより構成される。なお、フォーカスレンズ141及び集光レンズ151、251、351等を収容するレンズホルダの図示は省略している。
実施の形態3は単一のヒータ381または冷却部182により複数のコンデンサ部115、コンデンサ部215及びコンデンサ部315を加熱または冷却する形態に関する。図12は実施の形態3に係るコンデンサ部115及びコンデンサ部215の先端近傍を模式的に示す模式的断面図である。パーティクル検出装置10のコンデンサ部115の先端近傍外周には断熱材115aが周設されている。同様に、パーティクル検出装置20のコンデンサ部215の先端近傍外周には、熱伝導率が断熱材115aとは相違する断熱材215aが周設されている。断熱材115aが周設されたコンデンサ部115と断熱材215aが周設されたコンデンサ部215との間には単一の冷却部182が設けられている。
実施の形態4は検出することが可能な最小粒径値を変更する形態に関する。図13は実施の形態4に係るコンピュータ5のハードウェア構成を示すブロック図である。実施の形態1の構成に加えて流量記憶部553、温度記憶部554及び経路長記憶部555が記憶部55内部に設けられる。図14は最小粒径値を変更する際に表示部54に表示される変更画面のイメージを示す説明図である。変更画面にはパーティクル検出装置10、20、30の各ID、各パーティクル検出装置10、20、30の検出することが可能な最小粒径値(限界最小粒径値)、検出することが可能な最大の粒径値(限界最大粒径値)、及び、変更後の最小粒径値が表示される。
図24は実施の形態5に係るコンピュータ5の構成を示すブロック図である。実施の形態5に係るコンピュータ5を動作させるためのコンピュータプログラムは、本実施の形態5のように、CD−ROM、メモリーカード等の可搬型記録媒体1Aで提供することも可能である。さらに、コンピュータプログラムを、LAN、またはインターネット等の図示しない通信網を介して図示しないサーバコンピュータからダウンロードすることも可能である。以下に、その内容を説明する。
4 導入路
5 コンピュータ
10 パーティクル検出装置
11 制御部
13 入力部
14 照射部
15 受光部
16 通信部
18 温度制御部
19 内蔵ポンプ
20 パーティクル検出装置
21 制御部
23 入力部
24 照射部
25 受光部
26 通信部
28 温度制御部
29 内蔵ポンプ
30 パーティクル検出装置
31 制御部
33 入力部
34 照射部
35 受光部
36 通信部
38 温度制御部
39 内蔵ポンプ
51 CPU
52 RAM
53 入力部
54 表示部
55 記憶部
55P 制御プログラム
56 受信部
58 通信部
111 キャピラリ
112 フィルタ
113 飽和部
114 液芯部
115 コンデンサ部
115a、215a 断熱材
140 光学系収納部
141 フォーカスレンズ
142 焦点制御部
143 ストッパ
151 集光レンズ
171、271、371 流量制御弁
172、272、372 駆動機構
173、273、373 ノズル
181、183 ヒータ
182 冷却部
213 飽和部
214 液芯部
215 コンデンサ部
240 光学系収納部
281、283 ヒータ
282 冷却部
313 飽和部
314 液芯部
315 コンデンサ部
316 テーパ部
340 光学系収納部
381 ヒータ
382 冷却部
541 変更ボックス
552 結果ファイル
551 最小粒径値記憶部
552a 粒径分布ファイル
553 流量記憶部
554 温度記憶部
555 経路長記憶部
Claims (10)
- 計測対象となる気体中のパーティクルを検出するパーティクル検出システムであって、
導入された気体中のパーティクルを検出することが可能な最小粒径値がそれぞれ異なる複数のパーティクル検出装置と、
計測対象となる気体を前記複数のパーティクル検出装置それぞれへ導入するための複数の導入路と、
前記複数のパーティクル検出装置から送信されたパーティクル数を受信する受信部と、
該受信部により受信した各パーティクル検出装置に係るパーティクル数及び各パーティクル検出装置に係る最小粒径値に基づき、パーティクルの粒径分布を算出する算出手段と
を備えることを特徴とするパーティクル検出システム。 - 前記算出手段は、
検出することが可能な最小粒径値が小さいパーティクル検出装置に係るパーティクル数から、前記粒径値よりも大きい最小粒径値を検出することが可能なパーティクル検出装置に係るパーティクル数の差を算出する差分算出手段と、
検出することが可能な最小粒径値が最も大きいパーティクル検出装置に係るパーティクル数を抽出する抽出手段と
を備えることを特徴とする請求項1に記載のパーティクル検出システム。 - 前記複数のパーティクル検出装置それぞれに設けられ、前記導入路から導入された気体中のパーティクルを凝縮成長させる凝縮部と、
該凝縮部により凝縮成長したパーティクルに光を照射する単一の照射手段と、
該照射手段に設けられ、前記複数の凝縮部により凝縮成長されたパーティクルをそれぞれ照射するために前記照射手段の焦点を変更する焦点変更手段と、
前記複数のパーティクル検出装置それぞれに設けられ、前記照射手段によるパーティクルの照射により散乱する散乱光を受光する受光手段と、
該受光手段により受光した散乱光に基づき、パーティクル数を計数する計数手段と
を備えることを特徴とする請求項1または2に記載のパーティクル検出システム。 - 前記複数のパーティクル検出装置それぞれに設けられ、前記導入路から導入された気体中のパーティクルを凝縮成長させる凝縮部と、
各凝縮部の外周に設けられ、熱伝導率が凝縮部毎にそれぞれ異なる複数の断熱材と、
該複数の断熱材に当接し、予め定められた温度にて加熱または冷却する温度調整部と
を備えることを特徴とする請求項1または2に記載のパーティクル検出システム。 - 前記複数の導入路それぞれに設けられ、各パーティクル検出装置に導入する気体の流量を制御する流量制御部と、
各パーティクル検出装置の検出することが可能な最小粒径値の変更を受け付ける受け付け手段と、
最小粒径値に対応して流量を記憶した流量記憶部と、
前記受け付け手段により受け付けた変更後の最小粒径値に対応する流量を前記流量記憶部から読み出す読み出し手段とを備え、
前記流量制御部は、
前記読み出し手段により読み出した流量に基づき、各パーティクル検出装置に導入する気体の流量を制御するよう構成してある
ことを特徴とする請求項1または2に記載のパーティクル検出システム。 - 前記複数のパーティクル検出装置それぞれに設けられ、前記導入路から導入された気体中のパーティクルを凝縮成長させる凝縮部と、
前記複数の凝縮部それぞれに対して加熱または冷却する温度の制御を行う温度制御部と、
各パーティクル検出装置の検出することが可能な最小粒径値の変更を受け付ける受け付け手段と、
最小粒径値に対応して温度を記憶した温度記憶部と、
前記受け付け手段により受け付けた変更後の最小粒径値に対応する温度を前記温度記憶部から読み出す読み出し手段とを備え、
前記温度制御部は、
前記読み出し手段により読み出した温度に基づき、前記複数の凝縮部に加熱または冷却する温度を制御するよう構成してある
ことを特徴とする請求項1または2に記載のパーティクル検出システム。 - 気体が通過する経路長を変更する経路長変更手段と、
各パーティクル検出装置の検出することが可能な最小粒径値の変更を受け付ける受け付け手段と、
最小粒径値に対応して経路長を記憶した経路長記憶部と、
前記受け付け手段により受け付けた変更後の最小粒径値に対応する経路長を前記経路長記憶部から読み出す読み出し手段とを備え、
前記経路長変更手段は、
前記読み出し手段により読み出した経路長に基づき、各パーティクル検出装置の気体が通過する経路長を変更するよう構成してある
ことを特徴とする請求項1または2に記載のパーティクル検出システム。 - 前記複数の導入路それぞれに設けられ、各パーティクル検出装置に導入する気体の流量を制御する流量制御部と、
前記複数のパーティクル検出装置それぞれに設けられ、前記導入路から導入された気体中のパーティクルを凝縮成長させる凝縮部と、
前記複数の凝縮部それぞれに対して加熱または冷却する温度の制御を行う温度制御部と、
気体が通過する経路長を変更する経路長変更手段と、
各パーティクル検出装置の検出することが可能な最小粒径値の変更を受け付ける受け付け手段と、
最小粒径値に対応して温度、流量及び経路長を記憶した記憶部と、
前記受け付け手段により受け付けた変更後の最小粒径値に対応する温度、流量及び経路長を前記記憶部から読み出す読み出し手段とを備え、
前記流量制御部は、
前記読み出し手段により読み出した流量に基づき、各パーティクル検出装置に導入する気体の流量を制御するよう構成してあり、
前記温度制御部は、
前記読み出し手段により読み出した温度に基づき、前記複数の凝縮部に加熱または冷却する温度を制御するよう構成してあり、
前記経路長変更手段は、
前記読み出し手段により読み出した経路長に基づき、各パーティクル検出装置の気体が通過する経路長を変更するよう構成してある
ことを特徴とする請求項1または2に記載のパーティクル検出システム。 - 計測対象となる気体中のパーティクルを検出するパーティクル検出方法であって、
導入された気体中のパーティクルを検出することが可能な最小粒径値がそれぞれ異なる複数のパーティクル検出装置へ、計測対象となる気体を複数の導入路を介して導入する導入ステップと、
前記複数のパーティクル検出装置から送信されたパーティクル数をコンピュータの受信部により受信する受信ステップと、
該受信ステップにより受信した各パーティクル検出装置に係るパーティクル数及び各パーティクル検出装置に係る最小粒径値に基づき、前記コンピュータの制御部によりパーティクルの粒径分布を算出する算出ステップと
を備えることを特徴とするパーティクル検出方法。 - 計測対象となる気体中のパーティクルの粒径分布をコンピュータに算出させるプログラムであって、
コンピュータに、
導入された気体中のパーティクルを検出することが可能な最小粒径値がそれぞれ異なる複数のパーティクル検出装置へ、計測対象となる気体が複数の導入路を介して導入された場合に、各パーティクル検出装置から送信されるパーティクル数を受信部により受信する受信ステップと、
該受信ステップにより受信した各パーティクル検出装置に係るパーティクル数及び各パーティクル検出装置に係る最小粒径値に基づき、制御部によりパーティクルの粒径分布を算出する算出ステップと
を実行するためのプログラム。
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