JP3678924B2 - 酸化アルミニウム被覆工具 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば切削用および/または耐摩耗用等に好適な酸化アルミニウム被覆工具に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
一般に、被覆工具は超硬質合金、高速度鋼、特殊鋼よりなる基体表面に硬質皮膜を化学蒸着法や、物理蒸着法により成膜することにより作製される。
このような被覆工具は皮膜の耐摩耗性と基体の強靭性とを兼ね備えており、広く実用に供されている。特に、高硬度材を高速で切削する場合には、切削工具の刃先温度は1000℃前後まで上昇し、このような高温下で、被削材との接触による摩耗や断続切削等による機械的衝撃に耐える必要があり、耐摩耗性と強靭性とを兼ね備えた被覆工具が重宝されている。
【0003】
硬質皮膜には、耐摩耗性と靭性に優れた周期律表IVa、Va、VIa族金属の炭化物、窒化物、炭窒化物からなる非酸化膜や耐酸化性に優れた酸化膜が単層あるいは多層膜として用いられている。非酸化膜では例えば炭化チタン、窒化チタン、炭窒化チタン膜が利用され、酸化膜では特にκ型酸化アルミニウムやα型酸化アルミニウム等が利用されている。炭化物、窒化物、炭窒化物等からなる非酸化膜の欠点は酸化され易いことであり、この欠点を補うため、これら非酸化膜上に耐酸化性に優れた酸化アルミニウム等の酸化膜を形成することが一般に行われている。
【0004】
この非酸化膜/酸化膜の多層膜構造の欠点は非酸化膜と酸化膜との間の密着性が低いこと、あるいは高温で機械強度が安定しないことである。
前記酸化膜としてκ型酸化アルミニウム膜を用いた場合、このκ型酸化アルミニウムは前記非酸化膜との密着性が比較的良好であり、しかも1000〜1020℃と比較的低温で成膜でき、かつ比較的結晶粒径の小さい膜が成膜できる長所を有している。しかし、準安定状態の酸化アルミニウムであり、高温でα型酸化アルミニウムに変態し体積が変化するため、切削工具等での使用時にこのκ型酸化アルミニウム膜の温度が上昇すると膜中にクラックが入り、膜が剥がれ易くなるという欠点がある。
これに対して、α型酸化アルミニウムは高温でも安定な酸化アルミニウムであり、高温安定性が優れる長所があるものの、κ型酸化アルミニウムよりもより高温で成膜するため、結晶粒径がより大きくなり易く、切削特性がばらつく欠点がある。
【0005】
α型酸化アルミニウムの結晶配向と結晶組識との関係は、先に、Chul-Soon等により検討されている(“The effect of reaction condition on the crystallographic orientation and surface morphology of chemical vapor deposited Al2O3”,Proc. 4thEuro. Conf. CVD(1983)p.410〜420)。Chul-Soon等は、α型酸化アルミニウムの結晶配向を表すものとして組織係数T.C.(hkl)を(1)式のように定義し、成膜条件との関連を評価している。
ここで、I(hkl)はα−Al2O3膜の(hkl)面からの実測X線回折強度であり、Io(hkl)はASTM ファイルNo.10−173 (PowderDiffraction File Published by JCPDSInternational Center for Diffraction Data)に記載されている標準X線回折強度である。標準X線回折強度Ioは、等方的に配向したα−Al2O3粉末粒子の(hkl)面からのX線回折強度を表すものである。(1)式で定義されたT.C.(hkl)は、α−Al2O3膜の(hkl)面からの実測X線回折ピーク強度の相対強度を示しており、T.C.(hkl)値が大きい程(hkl)面からのX線回折ピーク強度が他のピーク強度よりも強いこと、即ち、(hkl)面が基体接線方向に配向していることを示すものである。
Chul-Soon等は、超硬合金製基体表面上にTiN膜を成膜した後、AlCl3、CO2、H2ガスを用いてα型酸化アルミニウムを成膜する場合に、成膜温度が1000℃の時には、上記(012)面から(030)面までの、組織係数T.C.(hkl)が0.91〜1.13とほぼ均一であり、結晶がほぼ均等に配向していることを報告している。また、同時に、1000℃から1050℃、1100℃、1150℃に成膜温度を高めるにつれて、(104)配向と(116)配向が強くなること、あるいは、AlCl3ガス比を高めるにつれて(104)面の配向が強くなることを報告している。しかし、Chul-Soon等の論文では、いずれの成膜条件でも、(1.0.10)面のX線回折強度を全く記載しておらず、(1.0.10)面のX線回折強度は考慮されないほど弱かったものと推定される。また、Chul-Soon等の論文では、組識係数T.C.(hkl)と膜表面組識とが別個に記載されているものの、その相関は明記されていない。
【0006】
α型酸化アルミニウム膜の結晶配向と切削特性との関係は、例えば、特開平5−295517号で超硬合金製基体表面上にTiCN層を被覆し、同じ被覆処理工程中において、組織化係数TC(104)が1.5より大きいα−Al2O3層を被覆したアルミナ膜被覆物体を、特開平6−316758号で組織化係数TC(012)が1.3より大きいアルミナ膜被覆物体を、特開平7−216549号では組織化係数TC(110)が1.5より大きい本質的にクーリングクラックが存在しないアルミナ膜被覆物体を提案している。ここで定義されている組織化係数TC(hkl)は(1)式において、(030)面を含めずに計算されるものである。なお、これら公報においても、(1.0.10)面のX線回折強度については全く記載されておらず、Chul-Soon等の論文同様に、(1.0.10)面からのX線回折強度は考慮されないほど弱かったものと推定される。
【0007】
本発明者等は特開平10−156606号において、超硬合金製基体等の表面上に(110)面のX線回折強度が強く、下地膜との密着性が優れるα型酸化アルミニウムを主とする酸化膜を被覆した工具を提案している。この発明においても、(1.0.10)面からのX線回折強度は弱く、(1.0.10)面についての考察は行なわなかった。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の目的は、上記従来技術を改良し、(1.0.10)面による等価X線回折強度比PR(1.0.10)を最適範囲になるようにして結晶粒を微細化したα型酸化アルミニウム膜を被覆することにより、切削耐久特性に代表される工具特性の優れた酸化アルミニウム被覆工具を提供することである。
【0009】
【課題を解決するための手段】
本発明者らは、上記の観点から鋭意検討した結果、α型酸化アルミニウムの(1.0.10)面の結晶配向、すなわち等価X線回折強度比PR(1.0.10)を高めることにより、α型酸化アルミニウムを主とする酸化膜の結晶粒を微細化でき、優れた機械特性と切削耐久特性を持つ酸化アルミニウム被覆工具が得られることを見出し、本発明に想到した。
【0010】
本発明は、基体表面に周期律表のIVa、Va、VIa族金属の炭化物、窒化物、炭窒化物、酸化物、炭酸化物、窒酸化物および炭窒酸化物のいずれか一種の単層皮膜または二種以上からなる多層皮膜、並びに周期律表のIVa、Va、VIa族金属の酸化物、炭酸化物、窒酸化物および炭窒酸化物のいずれか一種以上を主とする膜上に少なくとも一層のα型酸化アルミニウムを主とする酸化膜が形成されている酸化アルミニウム被覆工具において、前記酸化膜の(1.0.10)面による等価X線回折強度比PR(1.0.10)が1.3以上である酸化アルミニウム被覆工具である。前記酸化膜の(1.0.10)面による等価X線回折強度比PR(1.0.10)は1.5以上であることがより好ましい。更に、本発明の酸化アルミニウム被覆工具において、前記α型酸化アルミニウムを主とする酸化膜の、(1.0.10)面による等価X線回折強度比PR(1.0.10)が最大であることが特に好ましい。また、本発明の酸化アルミニウム被覆工具は、(1.0.10)面が超硬合金製基体表面の接線方向に配向しており、後述の図2を用いた説明からもわかるように、膜厚に比べて膜表面の平均結晶粒径が小さい酸化膜を得ることができるので、膜中にクラックが進展し難く、耐摩耗性に優れた、良好な切削耐久特性が実現されていると判断される。
【0011】
また、本発明の酸化アルミニウム被覆工具において、前記α型酸化アルミニウムを主とする酸化膜表面の平均結晶粒径が、膜厚が2.5μm以下の時は1μm以下、膜厚が2.5μmを越えて4.5μm以下のの時は2μm以下(より好ましくは1.5μm以下)であり、膜厚が4.5μmを超える時は3μm以下(より好ましくは2.5μm以下)であるものがよい。酸化膜表面の平均結晶粒径を前記の好ましい範囲にしたことにより、膜表面の面粗さが小さくなり相手材との摩擦係数が小さくなるとともに、膜中にクラックが進展し難くなり、耐摩耗性に優れた、良好な切削耐久特性が実現されていると判断される。
【0012】
また、前記α型酸化アルミニウムを主とする酸化膜の表面にチタン化合物の膜が形成されていてもよい。
また、周期律表のIVa、Va、VIa族金属の炭化物、窒化物、炭窒化物の一種以上とFe、Ni、Co、W、Mo、Crの一種以上とよりなる超硬合金を基体とすることが好ましい。上記の超硬合金を基体とすることにより本発明の酸化アルミニウム被覆工具全体の靭性、硬度、耐熱性がバランス良く高まり、良好な切削耐久特性が実現されていると判断される。
【0013】
【発明の実施の形態】
図1は、本発明の酸化アルミニウム被覆工具の代表的な、2θ-θ走査法によるX線回折パターンの一例を示したものである。X線源にはCuのKα1(波長λ=0.154nm)を用いた。本発明品は、後述の実施例1の条件により、超硬合金製基体表面に順次窒化チタン、炭窒化チタン、炭化チタン、炭酸化チタンを成膜した後、その表面上にα型酸化アルミニウムを成膜したものである。図1より、本発明品のα型酸化アルミニウム膜は、下記の表1や表2に示すα−Al2O3の(1.0.10)面やTiCNの(222)面の標準X線回折強度に比較して、2θ=76.9度近傍のX線回折強度が強いことがわかる。
【0014】
表1はα−Al2O3の各結晶方位面に対する、面間距離d、2θ値、標準X線回折強度Ioをまとめたものである。面間距離dと標準X線回折強度IoとはASTMファイルのNo.10−173から転記し、2θ値はCuのKα1線を用いた時に測定される値を面間距離dから計算により求めたものである。
【0015】
【表1】
【0016】
表2は、TiCNの面間距離、2θ値、標準X線回折強度Ioをまとめたものである。面間距離dと2θ値とは特願平10−76561で規定されたものを用い、X線回折強度IoはTiC(ASTMファイルNo.29−1361)とTiN(ASTMファイルNo.38−1420)の標準X線回折強度Ioを併記した。
【0017】
【表2】
【0018】
本発明では、α−Al2O3の(012)面から(1.0.10)面までの配向を定量的に評価するため、先記のT.C.(hkl)を拡張して、次式の等価X線回折強度比PR(hkl)を定義した。
ここで定義した等価X線回折強度比PR(hkl)は、I(hkl)、Io(hkl)として(1)式の組織係数T.C.(hkl)と同一のものを用い、計算に用いられる結晶方位面として、(1)式の(012)から(030)面に(1.0.10)面を追加したものである。
なお、表1、2からわかるように、TiCNの(222)面の2θ値(76.96度)とα−Al2O3の(1.0.10)面の2θ値(76.88度)とはその差が0.08度であり、両者のX線回折ピークを分離することはできない。このため、TiCNの(222)面は(111)面と結晶構造上同一であることを用いて、TiCNの(222)面のX線回折強度を下記の(3)式により求め、下記の(4)式により、この値を、実測された76.9度近傍のX線回折強度I(76.9°)から差し引くことにより、α−Al2O3の(1.0.10)面のX線回折強度を求めた。
ここで、TiCNの標準X線回折強度Io(hkl)はTiCの値を採用した。TiNの標準X線回折強度Io(hkl)を採用した場合、TiCNのI(222)はI(111)の12/72となり(3)式による計算値よりも大きく、α−Al2O3のI(1.0.10)は(4)式による計算値よりも小さくなる。(3)、(4)式で求めたα−Al2O3のI(1.0.10)値は、小さめに求めた値であることがわかる。
【0019】
本発明品の酸化膜表面の平均結晶粒径は(株)日立製作所製の走査型電子顕微鏡(S−2300)を用いて撮影した写真により測定した結果、後述のように、膜厚が2.5μm以下の時は1μm以下であり、膜厚が2.5μmを越えて4.5μm以下の時は2μm以下、膜厚が4.5μmを超える時には3μm以下であった。また、膜厚は前記撮影写真により任意の複数箇所の膜厚を評価し、平均した値である。
【0020】
本発明品のα型酸化アルミニウムを主とする酸化膜の平均結晶粒径が小さく、機械特性や切削特性が優れる理由は明確でないが次のことが考えられる。
本発明品のα型酸化アルミニウムを主とする酸化膜は図1や後述の表5に見られるように、等価X線回折強度比PR(1.0.10)が1.3以上、より好ましくは1.5以上であり、基体と平行方向にα−Al2O3の(1.0.10)面が配向しているものである。
【0021】
α型酸化アルミニウムの結晶は、図2(a)、(b)に示すように、c軸方向に約3倍細長い六方晶の単位格子(a、b軸の格子定数が0.476nm、c軸の格子定数が1.299nm)からなっている。図2(a)では(1.0.10)面、図2(b)では(012)面と(110)面とをハッチして示している。表3は、図2のハッチした各面の対向コーナー間の最大値(最大長さ)と最小値(最小長さ)とをα−Al2O3の上記格子定数から求めたものである。表3から、α−Al2O3の単位格子内の(1.0.10)面は前記対向コーナー間の最小値が(012)面と同一であり、前記対向コーナー間の最大値が(012)面の0.61倍に小さくなることがわかる。
また、図2(a)に示したように、(1.0.10)面が基体表面に平行な場合は、α−Al2O3の単位格子のc軸が72.3°の角度で、基体表面に対し略垂直方向に立っており、縦方向に長い結晶粒が得られ易いことがわかる。これに対して、図2(b)に示したように、(012)面が基体表面に平行な場合は、α−Al2O3の単位格子のc軸と基体表面との角度は32.3度しかなく、略基体平面方向に沿って細長い結晶粒が得られ易いことがわかる。
上記の結果、α−Al2O3膜のPR(1.0.10)が大きく、(1.0.10)面が基体表面と略平行方向に配向している場合には、基体表面に略垂直な方向、即ち、膜厚方向に細長い結晶粒が得られ易く、膜厚に比べて結晶粒径が小さいα−Al2O3膜が得られるものと考えられる。
【0022】
【表3】
【0023】
本発明品のα−Al2O3は(1.0.10)面が基体水平方向に配向しているため、上記の理由で、膜厚が2.5μm以下の時は平均結晶粒径が1μm以下、膜厚が2.5μmを越えて4.5μm以下の時は平均結晶粒径が2μm以下、膜厚が4.5μmを超える時は平均結晶粒径が3μm以下の微細結晶粒からなるα型酸化アルミニウム膜を得ることができたものと考えられる。また、この微細結晶粒化に伴い、膜表面の中心線平均面粗さRaや最大面粗さRmaxが小さくなり、切削加工等の工具として使用した時に相手材との摩擦が小さくなり、膜の磨耗や脱粒が少なく、優れた機械特性が得られたものと考えられる。
【0024】
本発明の被覆工具において、α型酸化アルミニウムを主とする酸化膜は必ずしも最外層である必要はなく、α型酸化アルミニウムを主とする酸化膜の上に更に少なくとも一層のチタン化合物(例えばTiN等)を被覆してもよい。この場合、α型酸化アルミニウムを主とする酸化膜の平均結晶粒径は、HF−HNO3水溶液等によりチタン化合物膜を化学エッチングで除去することにより測定できる。
【0025】
本発明の被覆工具の製作に際し、既知の成膜方法を適用することができる。例えば、通常の化学蒸着法(熱CVD)、プラズマを付加した化学蒸着法(PACVD)等を用いることができる。用途は切削工具に限るものではなく、α型酸化アルミニウムを主とする酸化膜を含む単層あるいは多層の硬質皮膜を被覆した耐摩耗材や金型、溶湯部品等でもよい。酸化膜はα型酸化アルミニウム単相に限るものではなく、α型酸化アルミニウムが主であれば、他の酸化物、例えばα型酸化アルミニウムとκ型酸化アルミニウムとの混合膜やγ型酸化アルミニウム、θ型酸化アルミニウム、δ型酸化アルミニウム、χ型酸化アルミニウム等、他の酸化アルミニウムとの混合膜あるいはα型酸化アルミニウムと酸化ジルコニウム等他の酸化物との混合膜であっても略同様の効果が得られる。
なお、本発明においてα型酸化アルミニウムを主とする酸化膜とは、対象とするα型酸化アルミニウムを主とする酸化膜のX線回折ピーク強度の総計の60%以上がα型酸化アルミニウムのX線回折ピークからなるものをいう。
【0026】
次に本発明による被覆工具を実施例によって具体的に説明するが、本発明はこれら実施例の範囲に限定されるものではない。
【0027】
(実施例1)
重量%で、WC72%,TiC8%,(Ta,Nb)C11%,Co9%の組成よりなる切削工具用超硬合金基板をCVD炉内にセットし、その表面に、化学蒸着法によりH2キャリヤーガスとTiCl4ガスとN2ガスとを原料ガスに用い0.3μm厚さのTiNを900℃でまず形成した。次に、H2キャリヤーガスとTiCl4ガスとCH3CNガスとを原料ガスに用い900℃で6μm厚さのTiCN膜を形成した。続いて、950〜1020℃でH2キャリヤーガスとTiCl4ガスとCH4ガスとをトータル2,200ml/分の条件で5〜120分間流してまずTiC膜を成膜し、そのまま連続して本構成ガスに更に2.2〜110ml/分のCO2とCOの混合ガスを追加して5〜30分間成膜することによりTiCO膜を作製した。
その後、続いてAl金属小片を詰め350℃に保温した小筒中にH2ガスを流量310ml/分とHClガス130ml/分とを流すことにより発生させたAlCl3ガスとH2ガス2l/分とCO2とCOの混合ガス400ml/分とをCVD炉内に流し1000〜1050℃で反応させることにより酸化アルミニウム膜を所定の厚さ成膜し、本発明品を作製した。酸化アルミニウム膜の成膜時にSO2ガスは流さなかった。
【0028】
作製した膜のX線回折は理学電気(株)製のX線回折装置(RUー300R)を用いて2θ−θ法により2θが20〜90°の範囲で測定した。X線源にはCuのKα1線(波長λ=0.154nm)のみを用い、装置に内蔵されたソフトによりKα2線とノイズとを除去して測定した。
【0029】
図1は、実施例1において作製された、本発明品の代表的なX線回折パターンの一例を示したものである。図1より、本発明品は、2θが76.9度のピークが強いことがわかる。実施例1において作製された本発明品(試料No.11〜16)のX線回折強度測定値を表4に、表4より求めた等価X線回折強度比PR(hkl)を表5に、PR(1.0.10)と後述の膜厚、平均結晶粒径および切削試験結果(連続切削可能時間、断続切削可能時間)を表6に各々示した。上記図1は試料No.14のX線回折パターンである。表4〜6において、α(hkl)はα−Al2O3の(hkl)を示す。表4〜6より、それぞれのα−Al2O3はPR(1.0.10)が1.3以上か1.5以上、あるいは最大のPR(hkl)値を示しており、膜厚が2.5μm以下の時の平均結晶粒径が1μm以下、膜厚が2.5μmを越えて4.5μm以下の時の平均結晶粒径が2μm以下、膜厚が4.5μmを超える時の平均結晶粒径が2.5μm以下であることがわかる。
【0030】
【表4】
【0031】
【表5】
【0032】
【表6】
【0033】
平均結晶粒径の測定方法を試料No.14に即して、以下に説明する。
図3(a)は試料No.14の酸化膜表面を、倍率5000倍(写真上の実質倍率は5000×0.8=4000倍)で撮影した、寸法が85mm×110mmのSEM写真である。このSEM写真上に、図6(b)の模式図に示すように、上から21mm、42.5mm、64mmの各位置に引いた横線と対角線二本、計五本を引き、各直線内にある結晶粒の数から、下記(5)式により平均結晶粒径を求めた。
図6(a)の場合、直線の総長さは606mm、直線内の結晶粒の総数は167ケであり、平均結晶粒径は0.7μmである。
【0034】
酸化膜の膜厚は、各試料を10度傾けて斜め方向に研摩した面をレーザー顕微鏡により観察し、酸化膜の間隔を測定することにより求めた。このようにすることにより、酸化膜の膜厚をより正確に求めることができる。
【0035】
切削試験は以下の条件で行なった。実施例1の条件で作製した本発明品(試料No.11〜16)の切削工具各5個を用いて、鋳物の被削材を以下の条件で1時間連続切削した後に、逃げ面の摩耗量を倍率200倍の光学顕微鏡により観察し、摩耗量が0.2mmに達した時点で切削寿命と判定した。
被削材 FC25(HB230)
工具形状 CNMA120412
切削速度 300m/分
送り 0.3mm/rev
切り込み 2.0mm
切削液 水溶性液を使用
また、上記本発明品の切削工具各5個を以下の条件で断続切削し、欠損に至るまでの断続切削可能回数を評価した。刃先先端の欠け状況は倍率50倍の実体顕微鏡で観察した。
被削材 S53C 溝入材(HS38)
切削条件 220 m/分
送り 0.2 mm/rev
切り込み 2.0 mm
切削液 使用せず(乾式切削)
【0036】
上記の各切削試験結果を表6下段に示した。
表6より、PR(1.0.10)が1.3以上(試料No.12)の場合は、膜厚3.5μmに対して平均結晶粒径が1.8μmと小さく、連続切削可能時間が60分、断続切削可能回数が1,000回と切削特性が優れること、PR(1.0.10)が1.5以上(試料No.13)の場合は、膜厚3.5μmに対して平均結晶粒径が1.3μmと小さく、連続切削可能時間が80分、断続切削可能回数が1,300回と切削特性が更に優れ、好ましいことがわかる。また、PR(1.0.10)が3.76(試料No.14)の場合は、膜厚3.5μmに対して平均結晶粒径が0.7μmと更に小さく、連続切削可能時間が80分、断続切削可能回数が1,500回と切削特性が更に優れ、更に好ましいことがわかる。
上記試料と、試料No.11、15、16の切削試験結果から、本発明品は、PR(1.0.10)が1.3以上であり、膜厚が2.5μm以下の時の平均結晶粒径が1μm以下、膜厚が2.5μmを越えて4.5μm以下の時の平均結晶粒径は2μm以下、膜厚が4.5μmを超えて6μm以下の時の平均結晶粒径も1.7μmであり、連続切削可能時間は60分以上、断続切削可能回数は1,000回以上と切削耐久特性が優れていることがわかる。
【0037】
(従来例1)
PR(1.0.10)の差異によるα型酸化アルミニウムを主とする酸化膜の平均結晶粒径および切削特性への影響を明らかにするために、本発明品と同様に重量%でWC72%、TiC8%、(Ta、Nb)C11%、Co9%の組成よりなる切削工具用超硬合金基板の表面に0.3μm厚さのTiN膜と6μm厚さのTiCN膜を形成した。その後、H2キャリヤーガスとTiCl4ガスとCH4ガスとを原料ガスに用い1010℃で5〜120分間反応させTiC膜を成膜した後、TiCl4ガスとCH4ガスとを止め、作製したTiC膜上にH2キャリヤーガスとCO2ガスとを流して1010℃で15分間TiC膜を酸化させた後、実施例1と同一の条件で1020℃でH2ガス、AlCl3ガスおよびCO2ガスにより所定の厚さの酸化アルミニウム膜を成膜し、従来品を作製した。
【0038】
作製した従来品のX線回折強度、等価X線回折強度比PR(1.0.10)と膜厚、平均結晶粒径を表4〜6の右端に記した。表6より、従来品はPR(1.0.10)が1.3未満であり、膜厚3.5μmに対して、平均結晶粒径が2.7μmと大きいことがわかる。
【0039】
上記従来品の切削工具5個を用いて上記実施例と同一の切削試験を行った結果、従来品は30分間連続切削後に酸化膜の剥離が見られ、断続切削試験では、800回衝撃切削後に大きな欠けが発生し、切削工具として劣っていることが判明した。
【0040】
(実施例2)
実施例1で用いた成膜条件で酸化アルミニウム膜まで成膜した後、更に、H2ガス4l/分とTiCl4ガス50ml/分とN2ガス1.3l/分とを20分間流し、1020℃で窒化チタニウム膜を形成し、本発明品を作製した。
【0041】
実施例2で作製した本発明品のX線回折強度測定値を表7に、等価X線回折強度比PR(hkl)を表8に、PR(1.0.10)と膜厚、平均結晶粒径および切削試験結果(連続切削可能時間、断続切削可能時間)を表9に、各々示した。
図4は実施例2で得られた本発明品の代表的なX線回折パターンの一例として、試料No.24のX線回折パターンを示したものである。酸化アルミニウム膜の平均結晶粒径はHF−HNO3水溶液により、TiN膜を除去した後、実施例1と同一の方法で測定した。
【0042】
【表7】
【0043】
【表8】
【0044】
【表9】
【0045】
表9より、実施例2のα- Al2O3膜はPR(1.0.10)が1.3以上か1.5以上、あるいは最大のPR(hkl)を示しており、膜厚が2.5μm以下の時の平均結晶粒径が1μm以下、膜厚が2.5μmを越えて4.5μm以下の時の平均結晶粒径は2μm以下、膜厚が4.5μmを超える時の平均結晶粒径は3μm以下であることがわかる。
【0046】
また、表9より、PR(1.0.10)が1.3以上(試料No.24)の場合、膜厚6μmに対して平均結晶粒径が3.0μmと小さく、連続切削可能時間が80分、断続切削可能回数が1,800回と切削特性が優れることがわかる。また、PR(1.0.10)が1.5以上(試料No.25)の場合は、膜厚6μmに対して平均結晶粒径が2.5μmと小さく、連続切削可能時間が150分、断続切削可能回数が2,000回と切削特性が更に優れていることがわかる。これらより、PR(1.0.10)は1.5以上がより好ましいこと、更にまた、膜厚が6.0μmを超える時の平均結晶粒径は2.5μm以下が好ましいことがわかる。
【0047】
また、試料No.22のPR(1.0.10)は1.71であり、膜厚4.5μmに対して平均結晶粒径が2.0μmと小さく、連続切削可能時間が100分、断続切削可能時間が1,500回と切削特性が優れることがわかる。更に、試料No.23のPR(1.0.10)は3.69であり、膜厚4.5μmに対して平均結晶粒径が1.5μmと更に小さく、連続切削可能時間が130分、断続切削可能回数が1,800回と更に一段と切削特性が優れており、膜厚4.5μm以下に対して平均結晶粒径1.5μm以下が好ましいことがわかる。
【0048】
(従来例2)
PR(1.0.10)の差異によるα型酸化アルミニウムを主とする酸化膜の平均結晶粒径および切削特性への影響を明らかにするために、実施例2と同様に、TiC膜までを成膜した。次に、TiCl4ガスとCH4ガスとを止め、H2キャリヤーガスとCO2ガスとを流して1010℃で15分間TiC膜を酸化させた後、実施例2と同一の条件で1020℃でH2ガス、AlCl3ガスおよびCO2ガスにより所定の厚さの酸化アルミニウム膜まで成膜した後、更に、H2ガス4l/分とTiCl4ガス50ml/分とN2ガス1.3l/分とを20分間流し、1020℃で窒化チタニウム膜を形成し従来品を作製した。
【0049】
従来例2で作製した従来品の等価X線回折強度比PR(1.0.10)と膜厚、平均結晶粒径を表9の右端に記した。表9より、この従来品はPR(1.0.10)が1.3未満であり、膜厚6μmに対して、平均結晶粒径が3.5μmと大きいことがわかる。
【0050】
従来例2で作製した従来品の切削工具5個を用いて実施例2と同一の切削試験を行った結果、この従来品はいずれも40分間連続切削後に酸化膜の剥離が見られ、断続切削試験では600回衝撃切削後に大きな欠けが発生しており、切削工具として劣っていることが判明した。
【0051】
【発明の効果】
上述のように、本発明によれば、基体表面に周期律表のIVa、Va、VIa族金属の炭化物、窒化物、炭窒化物、酸化物、炭酸化物、窒酸化物および炭窒酸化物のいずれか一種の単層皮膜または二種以上からなる多層皮膜上に、周期律表のIVa、Va、VIa族金属の酸化物、炭酸化物、窒酸化物および炭窒酸化物のいずれか一種以上を主とする膜を介して、等価X線回折強度比PR(1.0.10)が1.3以上あるいは最大であるα型酸化アルミニウムを主とする酸化膜が形成されていることにより、膜の平均結晶粒径が小さくなり、優れた切削耐久特性を示す酸化アルミニウム被覆工具を実現できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の酸化アルミニウム被覆工具のX線回折パターンの一例を示す図である。
【図2】α型酸化アルミニウムの単位格子と結晶方位面の関係を示す図である。
【図3】本発明の酸化アルミニウム被覆工具の代表的なセラミック材料の組織写真(a)、(a)に対応した模式図であって平均結晶粒径の測定方法を説明する図(b)である。
【図4】本発明の酸化アルミニウム被覆工具のX線回折パターンの他の例を示す図である。
Claims (4)
- 基体表面に周期律表のIVa、Va、VIa族金属の炭化物、窒化物、炭窒化物、酸化物、炭酸化物、窒酸化物および炭窒酸化物のいずれか一種の単層皮膜または二種以上からなる多層皮膜、並びに周期律表のIVa、Va、VIa族金属の酸化物、炭酸化物、窒酸化物および炭窒酸化物のいずれか一種以上を主とする膜上に少なくとも一層のα型酸化アルミニウムを主とする酸化膜が形成されている酸化アルミニウム被覆工具において、前記酸化膜の(1.0.10)面による等価X線回折強度比PR(1.0.10)が1.3以上であることを特徴とする酸化アルミニウム被覆工具。
- 前記α型酸化アルミニウムを主とする酸化膜の(1.0.10)面による等価X線回折強度比PR(1.0.10)が最大である請求項1に記載の酸化アルミニウム被覆工具。
- 前記α型酸化アルミニウムを主とする酸化膜表面の平均結晶粒径が、膜厚が2.5μm以下の時は1μm以下、膜厚が2.5μmを越えて4.5μm以下の時は2μm以下、膜厚が4.5μmを超える時は3μm以下である請求項1または2に記載の酸化アルミニウム被覆工具。
- 周期律表のIVa、Va、VIa族金属の炭化物、窒化物、炭窒化物の一種以上とFe、Ni、Co、W、Mo、Crの一種以上とよりなる超硬合金を基体とする請求項1乃至3のいずれかに記載の酸化アルミニウム被覆工具。
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