JP5229683B2 - 被覆工具 - Google Patents
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Description
本願発明の被覆工具は、ZA膜の窒化ジルコニウムが立方晶であり、酸化ジルコニウムが単斜晶であることから、窒化ジルコニウムと酸化ジルコニウムとα型の酸化アルミニウムは結晶系が異なるため、夫々単独の結晶粒が存在する。また、窒化ジルコニウムは、工具として使用した場合、大気中で高温に暴露されることにより酸化ジルコニウムに変化する。この酸化で生成した酸化ジルコニウムは、単斜晶の酸化ジルコニウムとなる。一方、成膜時に形成された酸化ジルコニウムも、単斜晶であることから、両者の酸化ジルコニウム同志は強い密着性をもち耐チッピング性に優れる。また、単斜晶の酸化ジルコニウムの{111}面のX線回折ピーク強度が最大であることによって、α型酸化アルミニウム粒子間を埋めるように存在する酸化ジルコニウムは、α型酸化アルミニウムに対して、より効果的に圧縮残留応力を加えることができ靭性と耐チッピング性に優れる。この圧縮残留応力を付加されたα型酸化アルミニウムの機械強度は、靭性と耐チッピング性をより効果的に改善することができる。上記の理由については、次のように考えられる。成膜後に存在する酸化ジルコニウムの結晶構造は、成膜時高温では正方晶であるが、冷却後に単斜晶へ相変態にすることよって{111}面のピーク強度が最大となり、これが酸化ジルコニウムの体積膨張による圧縮残留応力の付加効果を最大限に引き出すことになるからである。酸化ジルコニウムは、成膜温度が1020℃以上での成膜後、常温に冷却されると結晶構造が単斜晶に相変態する。この時に膜体積が膨張し、α型酸化アルミニウムの結晶粒子に圧縮残留応力を存在させ、この結晶粒子の圧縮残留応力により機械強度が上がり、靭性と耐チッピング性に優れるようになる。また、ジルコニウム化合物は、α型酸化アルミニウムの結晶粒子の成長方向が略膜厚方向に縦長に成長することを促す作用が得られる。またジルコニウム化合物は、α型酸化アルミニウムの結晶粒子の成長方向を略膜厚方向に対して垂直な方向、即ち、横長方向に成長することを抑制し、結晶粒子の粗大化を回避する作用も得られる。
本発明例1の製造方法について述べる。質量%で、Co:7%、Cr:0.6%、Zr:2.2%、Ta:3.3%、Nb:0.2%、残WC及び不可避不純物の組成よりなる所定形状の切削工具用の超硬合金製基体をCVD成膜装置の炉内にセットした。CVD成膜装置のガス導入配管は、2重管構造となっており、内側の管と外側の管からの2重になった吹き出し口から基体表面に、α型酸化アルミニウムを形成し、その後ZA層を形成した。α型酸化アルミニウムは、2重管構造の外側の吹き出し口を使用してAl金属小片を詰め350℃に保温した小筒中にH2ガスを流量310ml/分とHClガス130ml/分とを流すことにより発生させたAlCl3ガスをCVD炉内に流し、1.5μm厚さを1000℃と6650Paで形成した。次に、ZA層は、2重管構造の外側の吹き出し口を使用してAl金属小片を詰め350℃に保温した小筒中にH2ガスを流量310ml/分とHClガス75ml/分とを流すことにより発生させたAlCl3ガスとZr金属小片を詰め450℃に保温した小筒中にH2ガスを流量500ml/分とHClガス30ml/分を流すことにより発生させたZrCl4ガス、H2ガスを2リットル/分、COガスを400ml/分、HClガスを100ml/分とH2Sガスを15ml/分を流し、2重管構造の内側の吹き出し口から、H2ガスに3%のNH3ガスを混合した混合ガスを流量500ml/分とZr金属小片を詰め450℃に保温した小筒中にH2ガスを流量500ml/分とHClガス20ml/分を流すことにより発生させたZrCl4ガスを炉内に流し、1020℃から1060℃まで30分に5℃の速さで炉内温度を上昇させ6650Paで反応させることにより10μm厚さを被覆して本発明例1を作製した。本発明例1は、超硬合金基体表面に従来の技術で窒化チタン、炭窒化チタン、炭窒酸化チタンを成膜した後、その上にα型酸化アルミニウムとZA層を形成したものである。
本発明例2〜13は、ZA層におけるジルコニウム含有量の影響を明らかにするため作成した。本発明例1と同じ基体、皮膜構成、皮膜厚さであり、ZA層の成膜時のAlCl3ガス量とZrCl4ガス量と成膜温度が異なる条件で作製した。夫々の成膜温度は一定の炉内温度に保って成膜した。更に、本発明例14はZA層の酸化アルミニウムがPR(1,0,10)≧1.3であることの影響を明らかにするために作成した。本発明例1と同じ基体に、Ti(CN)まで成膜した。その後、H2キャリアーガスとTiCl4ガスとCH4ガスを原料に用い、1000℃でTiCを成膜した後、TiCl4ガスとCH4を止め、H2キャリアーガスとCO2ガスを15分間流し、TiC膜を酸化させた後、本発明例1と同じ成膜条件でZA層を成膜した。
比較例15、16は、ZA層のα型酸化アルミニウムの結晶粒子間を埋めるように存在するジルコニウム化合物の効果を明らかにするために作成した。比較例15は、本発明例1と同じ基体に、同様の条件で酸化アルミニウムまで成膜した。その後、2重管構造の外側の吹き出し口を使用してZA層を、Al金属小片を詰め350℃に保温した小筒中にH2ガスを流量310ml/分とHClガス75ml/分とを流すことにより発生させたAlCl3ガスとZr金属小片を詰め450℃に保温した小筒中にH2ガスを流量500ml/分とHClガス50ml/分を流すことにより発生させたZrCl4ガス、H2ガスを2リットル/分、CO2を100ml/分、COガスを100ml/分、HClガスを100ml/分とH2Sガスを10ml/分をCVD炉内に流し、1020℃と6650Paで反応させることにより10μm厚さを被覆して作成した。また、2重管構造の内側の吹き出し口からはH2ガスを30ml/分のみ流した。比較例16は、成膜温度を900℃と設定した以外は比較例15と同様条件にして作成した。比較例17は、本発明例1と同じ基体、皮膜構成であり、ZA層の成膜時のAlCl3ガス量とは同じであるが、ZrCl4ガス量を減らし、2重管構造の内側の吹き出し口から、NH3ガスの代わりにN2ガスを2000ml/分で炉内に流し、成膜温度を1020℃から1060℃まで30分間に5℃の速さで温度を上昇させ、6650Paで5μm厚さを被覆して作成した。比較例18は、ZA層の成膜温度を1060℃に一定に保ち作成した。本発明例、比較例の成膜条件を表1に示す。
また、本発明例1の膜垂直研磨面の基体側から表面側まで順に6箇所の範囲について、ジルコニウム含有量を測定した。測定装置は、EPMAを用い、条件は加速電圧5kV、1箇所分は、ビーム径を基体に対して縦方向の1μm、横方向に10μmの測定範囲とする面分析を行った。ジルコニウム含有量(質量%)は、A基体側から表面側まで順に、1.0、2.0、3.5、4.5、5.0、5.0であった。これより、ジルコニウム含有量が表面側に向かって大きくなっていることが確認できた。表2の本発明例1のジルコニウム含有量は、表面側の値を示した。また、オージェ電子分析装置(日本電子株式会社製JAMP−9500F、以下、AESと記す。)を用いてジルコニウム含有酸化アルミニウム膜表面の高分解能2次電子像により、α型酸化アルミニウムの粒子間を同定した後、粒子間を埋めるような形態で存在する少なくともジルコニウム化合物の化学状態を分析した結果、本発明例1はジルコニウムが酸素元素と結合しているプロファイルと窒素元素と結合しているプロファイルを示し、ジルコニウムは酸化物と窒化物が存在していることがわかった。
一方、比較例15、16のZA層の結晶構造は、PR(1,0,10)≧1.3のα型酸化アルミニウムと単斜晶の{111}面の回折ピーク強度が最大である酸化ジルコニウムであったが、窒化物は検出されなかった。また、EPMA分析の結果、ジルコニウム含有量は、皮膜全体に渡って5%と略同じであった。EPMA分析によりZr分布を面分析と線分析した結果、比較例15はα型酸化アルミニウムの結晶粒子間を埋めるようにジルコニウム化合物が存在していた。比較例16のZA層は、成膜温度が900℃であり酸化ジルコニウムの成長速度が遅く、原料ガスのAlCl3量がZrCl4量の約1.5倍であることから酸化アルミニウムの結晶粒子とは別に、単独に酸化ジルコニウムが存在することなく、α型酸化アルミニウムと酸化ジルコニウムが混在し、α型酸化アルミニウムの結晶粒子間を埋めるようにジルコニウム化合物が存在していなかった。比較例17、18のZA層を解析した所、X線回折パターンよりα型酸化アルミニウムと単斜晶の酸化ジルコニウムであり、{111}面の回折ピーク強度が最大であった。またEDX分析により、ジルコニウム含有量は5%と略同じであり、AES分析の結果、Zrが窒素元素及び酸素元素と結合しているプロファイルを示し、Zrの窒化物と酸化物が存在していることがわかった。しかし、EPMA分析によりZr分布を面分析と線分析した結果、α型酸化アルミニウムの結晶粒子間を埋めるようにジルコニウム化合物が存在していたものの、α型酸化アルミニウムの結晶粒子間を埋める箇所の点分析の結果、NとOの含有量比はNz<Ozであった。比較例17は、ジルコニウム含有量が基体側から表面側まで傾斜していた。
本発明例1、参考例2〜14、比較例15〜18を下記の試験条件で評価した。切削加工に使用した被削材は、φ160でφ120まで2つ溝が入った炭素鋼S50Cを用い、φ60まで端面加工した。φ120までは湿式加工による断続切削をし、φ120からφ60までは乾式加工による連続加工で評価した。評価は、刃先がチッピングもしくは欠損した時、または逃げ面最大摩耗幅VBmaxが0.30mm以上になった時の加工時間を工具寿命と判定した。刃先は倍率100倍の光学顕微鏡で観察した。評価結果を表2に示した。
(試験条件)
被削材:S50C、φ160、φ120まで2つ溝入り
加工方法:端面旋削加工、φ60まで加工
工具形状:CNMG120412
切削速度:180m/min
送り:0.30mm/回転
切り込み:1.0mm
切削液:φ120まで湿式加工、φ120からφ60まで乾式加工
本発明例1、参考例2〜14は、何れも工具寿命が9分以上と、比較例15〜18に対して3倍以上長く格段に優れていた。これはZA層において、α型酸化アルミニウムの結晶粒子間を埋めるようにジルコニウム化合物が存在しているため、皮膜硬度の低下が非常に少なく、機械特性に優れたからである。またZA層の酸化ジルコニウムは単斜晶であることから、相変態による体積膨張や収縮による酸化アルミニウムの結晶粒子への影響が少なく、α型酸化アルミニウムの結晶粒子の脱落が無く、耐チッピング性に有効となり、ZA層の残留応力が緩和され靭性に優れる効果が得られた。その結果、工具使用時に生じる刃先温度の急激な昇降温に対しても相変態を生じることなく、結晶粒子間の機械強度が高く結晶粒子の脱落によるチッピングが発生しなかった。本発明例1、参考例2〜14を比較すると、ZA層のジルコニウム量が夫々0.4%、16.0%、20.0%の参考例3、12、13は、工具寿命が9分であった。これに対して、ジルコニウム量が0.5〜15%の範囲内にある本発明例1、参考例2と参考例4〜11は、工具寿命が12分以上と1.2倍以上長く優れていた。これは、ZA層のジルコニウム量が0.5%以上であることにより、ZA層のα型酸化アルミニウムの結晶粒子間を埋めるようにジルコニウム化合物が存在し、酸化アルミニウムの結晶粒子間が高強度となったためである。Zr量が0.5、1.0%の参考例4、5と、12.0、14.0、15.0%の参考例9〜11は、工具寿命が12から14分であった。これに対して、3〜10%の範囲の本発明例1、参考例2、6、7、8は工具寿命が17分以上と1.2倍以上長く、優れていた。ジルコニウム量は3〜10%であることが、より好ましい結果を示した。一方、比較例15は6分間の断続切削した時に、刃先の欠損は発生しなかったものの膜に微小なチッピングが発生したため工具寿命に至った。これは窒化ジルコニウムを含有していないため、微小なチッピングが発生したためである。摩耗量の進行も大きく進行した。比較例16は、2分間の切削で刃先が欠損した。これはZA層のα型酸化アルミニウムの結晶粒子間を埋めるようにジルコニウム化合物が存在しておらず、皮膜硬度と機械的強度が劣化したためである。その結果、容易に膜がチッピングや欠損しやすく、刃先が欠損した。また刃先部の昇降温により、酸化ジルコニウムの相変態による体積膨張や収縮が起こり、酸化アルミニウムと酸化ジルコニウムの混合層全体にクラックや微小膜剥離が発生した。更に、α型酸化アルミニウム結晶粒子の粗大化によって結晶粒子が脱落し、皮膜全体が脆くなり靭性や耐チッピング性に劣った。比較例17、18はNz<Ozであることにより酸化ジルコニウムの硬度が低く脆い欠点が現れ、靭性の改善が不十分なため耐チッピング性に劣った。
Claims (3)
- 工具基体に、ジルコニウム含有酸化アルミニウム層を被覆した被覆工具であって、該ジルコニウム含有酸化アルミニウム層はα型酸化アルミニウム、ジルコニウム化合物を含有し、該ジルコニウム含有酸化アルミニウム層のα型酸化アルミニウムの結晶粒子は略膜厚方向に縦長に成長しており、該α型酸化アルミニウムの結晶粒子間を埋めるように該ジルコニウム化合物が存在し、該ジルコニウム化合物は、窒素含有量を質量%でNz、酸素含有量を質量%でOzとしたとき、Nz>Ozであり、該ジルコニウム含有酸化アルミニウム層の該ジルコニウム含有量が表面側に向かって多くなっていることを特徴とする被覆工具。
- 請求項1記載の被覆工具において、該ジルコニウム化合物は酸化ジルコニウムを含有し、該酸化ジルコニウムの結晶構造は単斜晶であり、該α型酸化アルミニウムはX線回折強度比PR(1,0,10)が1.3以上であることを特徴とする被覆工具。
- 請求項1又は2に記載の被覆工具において、該ジルコニウム含有酸化アルミニウム層のジルコニウム含有量は、質量%で、0.5〜15%であることを特徴とする被覆工具。
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