JP3408267B2 - 結晶配向の多層被覆焼結合金 - Google Patents

結晶配向の多層被覆焼結合金

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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、超硬合金又はサーメッ
トの基体表面に単層もしくは多層のB1型化合物層と酸
化アルミニウム層とでなる被膜を被覆してなる多層被覆
焼結合金に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、超硬合金又はサーメットの焼結合
金の基体表面に、CVD法(化学蒸着法)やPVD法
(物理蒸着法)によりTiの炭化物,窒化物又は炭窒化
物等のB1型化合物でなる被膜を被覆した被覆焼結合
金、もしくは、基体表面にB1型化合物でなる被膜と酸
化アルミニウムの被膜を被覆した多層被覆焼結合金が多
数提案されており、その代表的なものとして、特開昭5
6−156767号公報,特開平2−159363号公
報及び特開昭48−59106号公報がある。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】特開昭56−1567
67号公報には、超硬合金又はサーメットの基体表面に
被覆させたTi,Zr,Hfの炭化物,窒化物,炭窒化
物の被膜の結晶が(220)面に強く配向されてなる被
覆焼結合金について記載されている。
【0004】また、特開平2−159363号公報に
は、超硬合金の基体表面にイオンプレーティング法でも
って、Tiの炭化物,窒化物及び炭窒化物のうちの1種
の単層又は2種以上の多層の被膜を被覆してなる被覆超
硬合金における基体の表面と接する少なくとも第1層の
被膜が(111)面に強く配向されてなる被覆焼結合金
について記載されている。
【0005】これら両公報に記載の被覆焼結合金は、B
1型化合物の被膜の結晶を一定方向に配向させることに
より、被膜の付着性を高めようとしたものであるが、B
1型化合物の被膜の結晶方向性にのみ注目しているため
に、さらに別の結晶構造の被膜を被覆した多層被覆焼結
合金にすると被膜間の付着性に問題が生じること、及び
基材と被膜間の付着性においても問題がある。
【0006】特開昭48−59106号公報には、超硬
合金の基体表面にB1型化合物の被膜と酸化アルミニウ
ムの被膜とを被覆した多層被覆焼結合金について記載さ
れている。同公報の多層被覆焼結合金は、被膜と被膜と
の界面、及び基体と被膜との界面における配慮が行なわ
れていないために、付着性に問題がある。
【0007】本発明は、上述の問題を解決したもので、
具体的には超硬合金又はサーメットの焼結合金の基体表
面に結晶構造の異なる被膜を被覆させた被覆焼結合金の
被膜間における適合性を結晶学的及び表面エネルギー的
に最適にし、被膜の耐剥離性,耐摩耗性及び耐欠損性を
高めた多層被覆焼結合金の提供を目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明者は、超硬合金又
はサーメットの基体表面にTiの炭化物,窒化物又は炭
窒化物の被膜と酸化アルミニウムの被膜を被覆した多層
被覆焼結合金における、基体と被膜との付着性につい
て、結晶学的及び表面エネルギの観点から検討していた
所、結晶構造の異なる被膜間、被膜と基体表面との界面
における最適な結晶面の組合わせがあるという知見を得
て、本発明を完成するに至ったものである。
【0009】すなわち、本発明の結晶配向の多層被覆焼
結合金は、超硬合金又はサーメットでなる焼結合金の基
体表面の1部又は全面に周期律表の4a(Ti,Zr,
Hf),5a(V,Nb,Ta)族金属の炭化物,窒化
物,酸化物及びこれらの相互固溶体の中の1種以上の単
層もしくは多層のB1型化合物層と酸化アルミニウム層
とでなる被膜を被覆してなる多層被覆焼結合金であっ
て、該被膜は、該基体表面に接する第1層が該B1型化
合物層でなり、かつ該第1層のB1型化合物は、Cu−
KαХ線による回折角20°〜70°(2θ)間におけ
るX線反射回折強度比の80%以上が(111)面でな
り、該酸化アルミニウム層の酸化アルミニウムは、Cu
−KαХ線による回折角20°〜70°(2θ)間のX
線反射回折強度比の80%以上が(012)面及び/又
は(104)面からなり、かつ該酸化アルミニウム層
は、Cu−KαХ線による回折角20°〜70°(2
θ)間におけるX線反射回折強度比の80%以上が(1
11)面でなるB1型化合物層に接して被覆されている
ことを特徴とするものである。
【0010】本発明の多層被覆焼結合金における基体
は、具体的には、例えばJIS規格のH5501(超硬
合金),B4053(超硬合金の使用選択基準),M3
916(超硬チップ鉱山工具用)及び従来の技術文献や
特許公報に記載されている超硬合金、もしくはTiC−
Ni基サーメット,Ti(C,N)−Ni基サーメット
で代表されている従来の技術文献や特許公報に記載され
ているサーメット、あるいは市販の超硬合金やサーメッ
トを用いることもできる。
【0011】これらの基体は、市販されている超硬合金
又はサーメットをそのまま用いることもできるが、基体
表面に存在する硬質相、具体的には、炭化タングステン
もしくはB1型化合物の結晶面を配向させると、基体と
被膜との付着性を顕著に高めることができるので好まし
いことである。基体が超硬合金からなる場合、基体表面
に存在する炭化タングステンの結晶は、Cu−KαХ線
による回折角20°〜70°(2θ)間のX線反射回折
強度比の80%以上が(100)面及び/又は(00
1)面でなることが特に好ましい。また、基体が炭化チ
タン及び/又は炭窒化チタンを含むB1型化合物を主成
分とするサーメットの場合、基体表面に存在するB1型
化合物の結晶は、Cu−KαХ線による回折角20°〜
70°(2θ)間のX線反射回折強度比の80%以上が
(111)面でなることが特に好ましい。基体の中に存
在するB1型化合物とは、具体的には、例えば炭化チタ
ン,炭窒化チタン,又は炭化チタン,炭窒化チタンと周
期律表の4a,5a,6a(Cr,Mo,W)族金属の
炭化物,窒化物炭窒化物(炭化チタン,炭窒化チタンを
除く)の中の1種以上との相互固溶体、あるいは、芯部
が炭化チタン,炭窒化チタンでなり、芯部を包囲した周
辺部が周期律表の4a,5a,6a族金属の炭化物,窒
化物の中の2種以上の相互固溶体からなる複合相でなる
ものを挙げることができる。
【0012】基体の表面に形成される被膜の内、基体の
表面に接する少なくとも第1層は、周期律表の4a,5
a,族金属の炭化物,窒化物,酸化物及びこれらの相互
固溶体の中の1種のB1型化合物層でなり、この第1層
が(111)面に結晶配向されていると共に、この(1
11)面に結晶配向されたB1型化合物層に接して形成
される少なくとももう1つの層である酸化アルミニウム
層は、(012)面及び/又は(104)面に結晶配向
されていることを特徴とする。この被膜の構成を具体的
に例示すると、上述の第1層に上述の結晶配向の酸化ア
ルミニウム層が形成される第1例、この第1例の酸化ア
ルムニウム層の表面に付着性を重視しない従来のB1型
化合物層が形成される第2例、第1例の酸化アルミニウ
ム層の表面に(111)面の結晶配向のB1型化合物層
が形成される第3例、上述の第1層の表面に単層又は多
層の従来のB1型化合物層とその表面に(111)面に
結晶配向のB1型化合物層とその表面に上述の結晶配向
の酸化アルミニウム層が形成される第4例を挙げること
ができる。
【0013】本発明の多層被覆焼結合金を作製する場
合、基体は市販されている従来の超硬合金又はサーメッ
トを用いることができるが、表面の結晶を配向した基体
を用いることが好ましい。超硬合金の基体表面の炭化タ
ングステンを(100)面に結晶配向させる場合は、例
えば炭化タングスを含有した超硬合金の組成成分からな
る出発原料中に周期律表の4a,5a,6a族金属のホ
ウ化物粉末、特に好ましくはホウ化タングステンを微量
混在させて、焼結工程時の昇温及び冷却の温度と雰囲気
の制御でもって作製することができる。また、超硬合金
の基体表面の炭化タングステンを(001)面に結晶配
向させる場合は、例えば周期律表の4a,5a,6a族
金属の炭化物(但し、炭化タングステンを除く)の1種
以上に炭化タングステンが1800℃以上の高温で過飽
和に固溶されてなる高温炭化過飽和炭化タングステンの
固溶体粉末を上述の出発原料中に混在させて、従来の粉
末冶金法を応用することにより作製することができる。
さらに、サーメットの基体表面に存在する窒化チタン及
び/又は炭窒化チタンを含むB1型化合物を(111)
面に結晶配向させる場合は、例えば金属溶液中で炭化チ
タン,炭窒化チタン又は窒化チタンを折出させた粉末
(マッケナ法)を出発原料として用い、これに他の必要
な出発原料粉末とを組合わせて、従来の粉末冶金法を応
用して作製することができる。
【0014】これらの基体の表面に接して(111)面
に結晶配向されてなるB1型化合物の第1層を被覆する
には、具体的には、例えばCVD法においては、炭化物
の第1層は、100Torr以下の反応容器内全ガス量
に対するハロゲン化ガス量の比を0.1〜0.2とし、
窒化物の第1層は、100Torr以下の反応容器内全
ガス量に対する窒素ガス及び/又はアンモニアガス量の
比を0.1〜0.2とし、炭酸化物の第1層は、100
Torr以下の反応容器内全ガス量に対するハロゲン化
ガス及び酸化炭素ガスの合計の比を0.1〜0.2と
し、窒酸化物の第1層は、100Torr以下の反応容
器内全ガス量に対する窒素ガス及び/又はアンモニアガ
スと酸化炭素ガスとの合計の比を0.1〜0.2とし、
炭窒酸化物の第1層は、100Torr以下の反応容器
内全ガス量に対するハロゲン化ガスと窒素ガス及び/又
はアンモニアガスと酸化炭素ガスとの合計の比を0.1
〜0.2とすることにより作製することができる。
【0015】この第1層の表面に直接、又は結晶配向さ
れてないB1型化合物の単層又は多層を介在させ、次い
で、この表面に(111)面に結晶配向されたB1型化
合物層を形成した後、結晶配向された酸化アルミニウム
層を形成する。この結晶配向された酸化アルミニウム層
の内、(104)面に結晶配向するには、例えばCVD
法における反応容器内全ガス圧を600Torr〜2気
圧とし、(012)面に結晶配向するには、反応容器内
全ガス圧を10〜150Torrとすることにより作製
することができるここで述べてきた基体表面の結晶配
向、第1層の結晶配向及び酸化アルミニウム層の結晶配
向としての結晶面におけるCu−KαХ線による回折角
20°〜70°(2θ)間のX線反射回折強度比の80
%以上とは、具体的にはCuターゲット、Niフィルタ
ーを用いたX線回折装置で、回折角(2θ)20°〜7
0°間においてCu−Kα線の全反射X線強度カウント
数の総和に対するそれぞれの結晶配向面の反射X線強度
カウント数の比が80%以上からなることを現わしてい
る。
【0016】
【作用】本発明の多層被覆焼結合金は、最稠蜜の第1層
が、基体表面との付着性を高める作用をしており、基体
表面が結晶配向されていると、基体表面と第1層の相互
作用でもって付着性を高めており、結晶配向された最稠
密の酸化アルミニウム層と結晶配向された最稠密のB1
型化合物層とが相互に付着性を高める作用をし、総合的
に基体と被膜との界面及び被膜と被膜との界面におい
て、結晶学的、表面エネルギー的に、最適に適合し合っ
ているものである。
【0017】
【実施例】市販されている各種の粉末と、2.5mol
%W25固溶したWC(以下、B・WCと略記)と45
wt%WC−22wt%TiC−33wt%TaC組成
を高温炭化過飽和固溶体としたWC(以下、WTTと略
記)とマッケナ法により作製したTiC(以下、M・T
iCと略記),Ti(C,N)[以下、M・Ti(C,
N)と略記]粉末を用いて、表1に示す組成に配合し、
それぞれの配合粉末にアセトンと超硬合金ボールを加え
て混合粉砕及び乾燥後、1t/cm2の加圧力で成形体
とし、表1に併記した焼結条件でもって成形体を焼結し
て基体を作製した。これらの基体の硬さ,抗折強度を求
め、さらにCuターゲット,NiフィルターによるX線
回折(2θ=20°〜70°間)を行って、基体表面に
おけるX線反射回折強度比を求めて、その結果を表2に
示した。(但し、本発明品1,2及び比較品1は炭化タ
ングステン結晶面、本発明品3,4及び比較品2はB1
型化合物結晶面)
【0018】
【表1】
【0019】
【表2】 表2に示した基体表面に表3に示した被覆処理条件でも
って第1層を形成した後、第1層の表面におけるX線反
射回折強度比を求めて、その結果を表3に併記した。
【0020】
【表3】 表3に示した第1層の表面に表4に示した被覆処理条件
でもって酸化アルミニウム層を形成後、酸化アルミニウ
ム層の表面におけるX線反射回折強度比を求めて、その
結果を表4に併記した。
【0021】
【表4】 以上のようにして作製した本発明品1〜4及び比較品1
〜2に、さらに市販のP30相当の超硬合金の表面に本
発明品1と同様にして第1層及び酸化アルミニウム層を
形成した本発明品5を加えて切削試験を行った。切削試
験は、被削材:S48C(HB228),切削速度:2
50m/min,切込量:1.5mm,送り:0.3m
m/rev,チップ形状:SNP432,切削時間:5
分における乾式旋削試験と被削材:S55C(100×
150mm角材,HB240),切削速度:150m/
min,切込量:1.5mm,送り:0.2mm/刃
(欠損又はチッピングしないときは、0.25mm/刃
増加し、欠損又はチッピング時で寿命とした。)チップ
形状:TNP432における乾式転削試験を行い、その
結果を表5に示した。
【0022】
【表5】
【0023】
【発明の効果】本発明の多層被覆焼結合金は、基体と被
膜の界面、及び被膜と被膜の界面における付着性が優れ
ており、被膜の効果を充分に発揮させることができるも
ので、従来の多層被覆超硬合金に比べて、切削工具とし
て用いた場合、基体表面の結晶配向をしない本発明品が
耐摩耗性において約40〜47%向上し、耐欠損性にお
いて約56%向上し、基体表面の結晶配向をした本発明
品が耐摩耗性において約75〜144%向上し、耐欠損
性において約110〜167%向上するという効果があ
る。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭54−26811(JP,A) 特開 平3−90575(JP,A) 特開 昭59−81002(JP,A) 特開 昭56−155080(JP,A) 特開 昭48−59106(JP,A) 特開 平3−190604(JP,A) 特開 平4−103754(JP,A) 特開 昭63−195260(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) C23C 14/00 - 14/58 C23C 16/00 - 16/56 B22F 1/02 C23C 28/04

Claims (3)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 超硬合金又はサーメットでなる焼結合金
    の基体表面の1部又は全面に周期律表の4a,5a族金
    属の炭化物,窒化物,酸化物及びこれらの相互固溶体の
    中の1種以上の単層もしくは多層のB1型化合物層と酸
    化アルミニウム層とでなる被膜を被覆してなる多層被覆
    焼結合金において、 該被膜は、該基体表面に接する第1層が該B1型化合物
    層でなり、かつ該第1層のB1型化合物は、Cu−Kα
    Х線による回折角20°〜70°(2θ)間のX線反射
    回折強度比の80%以上が(111)面でなり、該酸化
    アルミニウム層の酸化アルミニウムは、Cu−KαХ線
    による回折角20°〜70°(2θ)間のX線反射回折
    強度比の80%以上が(012)面及び/又は(10
    4)面からなり、かつ該酸化アルミニウム層は、Cu−
    KαХ線による回折角20°〜70°(2θ)間のX線
    反射回折強度比の80%以上が(111)面でなるB1
    型化合物層に接して被覆されていることを特徴とする結
    晶配向の多層被覆焼結合金。
  2. 【請求項2】 上記基体は、超硬合金からなり、該基体
    表面に存在する炭化タングステンは、Cu−KαХ線に
    よる回折角20°〜70°(2θ)間のX線反射回折強
    度比の80%以上が(100)面及び/又は(001)
    面でなることを特徴とする請求項1記載の結晶配向の多
    層被覆焼結合金。
  3. 【請求項3】 上記基体は、炭化チタン及び/又は炭窒
    化チタンを含むB1型化合物を主成分とするサーメット
    からなり、かつ該基体表面に存在するB1型化合物は、
    Cu−KαХ線による回折角20°〜70°(2θ)間
    のX線反射回折強度比の80%以上が(111)面でな
    ることを特徴とする請求項1記載の結晶配向の多層被覆
    焼結合金。
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