JP4129653B2 - 超硬質膜被覆工具部材 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、高速度鋼やダイス鋼に代表される各種の鋼材,超硬合金,サーメット,セラミックス焼結体などの基材の表面にLaおよび/またはCeの元素を含有する硬質膜を被覆させた超硬質膜被覆工具部材に関し、具体的には、スローアウェイチップ,ドリル,エンドミルに代表される切削工具、型工具,スリッター,ノズルに代表される耐摩耗工具などの工具として最適な超硬質膜被覆工具部材に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
現在、工具に実用されているTi元素含有の硬質膜の膜質は、Tiの窒化物,炭窒化物,炭化物,TiとAlとの複合窒化物,複合炭窒化物,複合炭酸化物,複合窒酸化物である(Ti,Al)N,(Ti,Al)CN,(Ti,Al)CO,(Ti,Al)NOなどが代表例として挙げられる。これらの硬質膜の硬さは、TiC>TiCN≧(Ti,Al)N>TiNの順であり、硬質膜が高硬度になるほどアブレッシブ摩耗に優れるため、工具刃先での逃げ面摩耗を抑制する傾向にある。一方、硬質膜の耐酸化性や耐溶着性は(Ti,Al)N>TiN>TiCN>TiCの順に優れるため、この順番に工具刃先でのすくい面の反応拡散によるクレーター摩耗が減少する傾向にある。従って、これらの硬質膜を被覆した工具の耐摩耗性は、被削材や切削条件によって異なり、硬質膜の膜質によって一長一短がある。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
これらのTi元素含有の硬質膜を被覆した工具は、用途による膜質,膜厚さの選定、さらにこれらを組合せた多層膜とすることにより長寿命とすることが検討されている。また、これらのTi元素含有の硬質膜にZr,Hf,V,Crなどの耐熱性金属元素やB,O,Siなどの非金属元素を固溶含有させた改良膜が多数提案されているが、膜の硬さ、耐酸化性、耐溶着性などを同時に改善し、結果として工具の寿命を向上させることが困難であるという問題がある。これらの代表的なものに、特公平5−9511号公報、特公平4−53642号公報および特開平8−199340号公報がある。
【0004】
Ti元素含有の硬質膜を改良することを提案している先行技術の内、特公平5−9511号公報には超硬合金あるいはサーメットの表面にTiとZrとの複合炭化物,複合窒化物,複合炭窒化物の2種以上の複層からなる0.5〜10μmの硬質膜を蒸着した耐摩耗性に優れた表面被覆切削工具が記載されている。同公報に記載の硬質膜は、Tiの炭化物,窒化物,炭窒化物にZrを固溶させることにより、硬さと耐酸化性,耐溶着性の改善による耐摩耗性の向上を狙ったものであるが、改善効果が低く、かつ耐熱性や耐酸化性に対しては殆ど改善されていないために、高速切削や難削材加工には効果を発揮できないという問題がある。
【0005】
また、特公平4−53642号公報には、超硬合金あるいはサーメットの表面にTiとAlとの複合炭化物固溶体,複合窒化物固溶体,複合炭窒化物固溶体の中の1種の単層または2種以上の複層からなる0.5〜10μmの硬質膜を蒸着してなる耐摩耗性に優れた表面被覆切削工具が記載されている。同公報に記載の硬質膜は、基本的には、TiNにAlを固溶させて(Ti,Al)Nとすることにより、TiNの硬さと共に耐酸化性,耐溶着性も改善したもので、種々の切削条件で長寿命を発揮できる。しかし、TiCにはAlが固溶しないために高硬度の複合炭化物固溶体は形成されず、またTiNへのAlの固溶量には限界があるために高耐酸化性の複合窒化物固溶体も形成され難いなど、TiCより高硬度で耐酸化性,耐溶着性に優れた硬質膜を得ることが困難であるという問題がある。
【0006】
さらに、特開平8−199340号公報にはTiに対して30〜70原子%のAlを含有させた複合炭化物,複合窒化物,複合炭窒化物にCa,Dy,Nd,Ce,Srの1種以上(Rと表示)を20原子%まで固溶させた多元系硬質膜の被覆硬質合金が記載されている。同公報に記載の(Ti,Al,R)C,(Ti,Al,R)N ,(Ti,Al,R)CN系硬質膜は、アルカリ土類元素と希土類元素の一部を固溶させることにより、Ti−Al含有化合物の硬質膜の改善を図ったものであるが、固溶による硬度上昇は僅かであり、固溶量が多いと他化合物が生成析出して膜が変質し易いという問題がある。
【0007】
本発明は、上述のような問題を解決したもので、具体的には、基材の表面に被覆する硬質膜の中に硬質膜の耐酸化性および耐溶着性を向上させて、かつ硬度を高める元素を含有させることにより工具として、特に切削工具のような高温および高負荷という過酷な条件に対しても長寿命の効果が顕著となる超硬質膜被覆工具部材の提供を目的とするものである。
【0008】
【課題を解決するための手段】
本発明者らは、長年に亘り、耐酸化性,耐溶着性を保持しつつ、硬さを大幅に向上させ、改善させ得るTi元素含有の硬質膜について検討していた所、硬質膜にLa元素および/またはCe元素を固溶させると耐酸化性,耐溶着性および高硬度性が向上すること、特にTi化合物にLa元素および/またはCe元素を固溶させると効果が高く、さらに最も高硬度のTiCにLaおよび/またはCeを固溶させることが顕著に硬さを向上させると共に、耐酸化性,耐溶着性も大幅に改善できるという知見を得て本発明を完成するに至ったものである。
【0009】
本発明の超硬質膜被覆工具部材は、基材の表面に、1層の単層または2層以上の複層でなる硬質膜を被覆した被覆工具部材であって、該硬質膜の少なくとも1層がLaおよび/またはCeの元素を含む複合炭化物,複合窒化物または複合炭窒化物の超硬質膜であることを特徴とするものである。
【0010】
【発明の実施の態様】
本発明の超硬質膜被覆工具部材における基材は、被膜を被覆するときに加熱する温度に耐えることができる金属部材,焼結合金またはセラミックス焼結体でなり、具体的には、例えばステンレス鋼,耐熱合金,高速度鋼,ダイス鋼,Ti合金,Al合金に代表される金属部材、超硬合金,サ−メット,粉末ハイスの焼結合金、Al2O3系焼結体,Si3N4系焼結体,サイアロン系焼結体,ZrO2系焼結体のセラミックス焼結体を挙げることができる。これらのうち、低速切削条件や低負荷条件などの軽切削工具として実用する場合には、高速度鋼や粉末ハイスの基材が好ましく、逆に高速切削条件や高負荷条件などの重切削工具として実用する場合には、超硬合金,窒素含有TiC系サ−メットもしくはセラミックス焼結体の基材が好ましい。
【0011】
これらの基材のうち、Coおよび/またはNiを主成分とする結合相を4〜15重量%と、残りが炭化タングステンを主成分とする硬質相とを含む超硬合金の基材からなる場合には、超硬質膜の特性を最大に発揮させることが容易になること、切削工具および耐摩耗工具としての効果も顕著になることから好ましいことである。この超硬合金における結合相は、具体的には、Co,Ni,Co−Ni合金,Co−Cr合金,Ni−Cr合金,Co−Ni−Cr合金,Co−V合金,Co−Cr−V合金,Ni−V合金,NiーCrーV合金,Co−W合金,CoーCr−W合金などを代表例として挙げることができる。また、超硬合金における硬質相は、具体的には、炭化タングステン,炭化タングステンと周期律表の4a,5a,6a族元素の炭化物,炭窒化物およびこれらの相互固溶体の中の少なくとも1種の立方晶構造の化合物とからなる場合を代表例として挙げることができる。
【0012】
これらの基材の表面に被覆される硬質膜は、Laおよび/またはCeの元素を含む複合炭化物,複合窒化物または複合炭窒化物の超硬質膜の少なくとも1層からなる場合、この超硬質膜の少なくとも1層と従来の金属層および金属化合物層の中の少なくとも1層とからなる積層でなる場合、この超硬質膜の成分と従来の被膜としての金属成分および金属化合物成分の1種以上との混合層を挙げることができる。金属層または金属成分としては、具体的には、例えば、Ti,Zr,W,Crの中の少なくとも1層でなる場合を挙げることができ、金属化合物層または金属化合物成分としては、具体的には、例えば、周期律表の4a,5a,6a族元素,Al,Siの中の少なくとも1種の炭化物,窒化物,酸化物,炭窒化物,炭酸化物,窒酸化物,炭窒酸化物からなる1種の単層または2種以上の多層でなる場合を挙げることができる。
【0013】
これらの硬質膜のうち、基材の表面に隣接する状態に超硬質膜を被覆することもできるが、超硬質膜と金属層および/または金属化合物層との積層にすると基材と硬質膜との密着性を高めることができることから好ましいことである。積層の構成としては、高速度鋼,ダイス鋼に代表される鋼材,Al合金,Ti合金またはセラミックス焼結体の基材からなる場合には、基材表面に金属層またはTiの炭化物,窒化物,炭窒化物の金属化合物層の中の少なくとも1種の単層または多層を隣接被覆させ、この金属層および/または金属化合物層の表面に超硬質膜を被覆させることが基材と硬質膜との密着性の関係から好ましいことである。特に、超硬合金またはサーメットの基材からなる場合には、基材に隣接して形成される下地層がTi,炭化チタン,窒化チタン,炭窒化チタン,炭酸化チタン,窒酸化チタン,炭窒酸化チタンの中の1種の単層または2種以上の多層でなり、この下地層に隣接して超硬質膜が形成されることが基材と硬質膜との密着性および硬質膜の特性から好ましいことである。
【0014】
この硬質膜を構成している超硬質膜は、具体的には、例えば、(La,X)C,(La,X)N,(La,X)CN,(Ce,X)C,(Ce,X)N,(Ce,X)CN,(La,Ce,X)C,(La,Ce,X)N,(La,Ce,X)CN,のうちの1種の単層または2種以上の多層でなる場合を挙げることができる。この超硬質膜は、X=Tiでなる場合には超硬質膜中のLaおよび/またはCeの固溶量が多くなり、その結果高硬度性,耐酸化性および耐溶着性の改善が顕著となることから好ましいことである。
【0015】
この超硬質膜は、切削工具として用いる場合には膜厚さが平均0.3〜10μmとすることが好ましく、この超硬質膜と他に従来の被膜とからなる積層とする硬質膜の場合には、膜厚さが平均0.3〜20μmからなることが好ましいことである。特に、ドリルやエンドミルに代表される回転切削工具または断続切削工具として用いる場合には、超硬質膜の平均厚さが0.3〜5μm、硬質膜の平均厚さが0.3〜10μmからなることが好ましいことである。
【0016】
また、この超硬質膜は、(Ti1-a,Ma)(C1-x,Nx)yの式で表わせる複合炭化物もしくは複合炭窒化物の1種の単層または2種以上の複層からなる場合には硬さが高く、好ましいことである。( ただし、式中の符号は、MがLaおよび/またはCeの元素を表わし、a,x,yがそれぞれ原子比で、0.001≦a≦0.1, 0≦x≦0.7, 0.7≦y≦1.1を満足する)
【0017】
これらの式中、金属元素中のM原子比を表わすaは、0.001未満ではMの固溶による硬さと耐酸化性,耐溶着性の改善効果が少なく、0.1を超えて多くなると固溶限界を超えるために低硬度のLa,Ceの化合物が析出される。また、非金属元素中の窒素原子比を表わすxは、0.7を超えて多くなると硬さの低下およびLa,Ceの化合物として析出される。さらに、金属元素に対する非金属元素の原子比を表わすyは、0.7未満では硬さの低下が著しく、1.1を超えて多くなると化学的な結合限界を超えて遊離炭素などが析出される。
【0018】
本発明の超硬質膜被覆工具部材は、従来の基材を用いて、基材表面にイオンプレーティング法,アークイオンプレーティング法,スパッター法,イオンミキシング法など種々の物理蒸着法により超硬質膜を直接被覆すること、または基材表面に物理蒸着法,化学蒸着法,プラズマ化学蒸着法により従来の被膜を被覆した後、この被膜上に上述の超硬質膜を積層すること、さらには基材表面に従来の被膜により超硬質膜を挟持する状態に積層するなどとして作製することができる。
【0019】
【作用】
本発明の超硬質膜被覆工具部材は、La,Ceが金属炭化物,金属窒化物,金属炭窒化物に固溶し、特に炭化チタンに固溶して、例えば(Ti,La)C,(TiCe)Cの固溶体を形成することにより、硬さ,耐酸化性,耐熱性および耐溶着性を高める作用をし、この固溶体を超硬質被膜として基材表面に被覆することにより、耐摩耗性を改善する作用をし、これらの超硬質膜の特性と基材の表面に被覆したことがシナジー効果となって、特に切削工具のような高温で過酷な条件に対する耐摩耗性,耐酸化性,耐熱性,耐塑性変形性,耐欠損性,耐溶着性,耐熱衝撃性などの諸特性を向上させる作用となり、これら全体から工具としての耐久性および寿命を顕著に高める効果を発揮しているものである。
【0020】
【実施例】
基材として、82%WC−4%TiC−6%TaC−8%Co(重量%)の組成からなるISO規格でSNGN120408形状の超硬チップを使用し、この基材をアークイオンプレーティング装置の反応容器内に配置して1×10-4〜3×10-5Paの真空とした。その後、基材を500℃に加熱し、反応容器内にArガスを導入しながら−1000Vのバイアス電圧を印加することにより、基材表面を十分に洗浄した後、脱気を行った。次いで、表1に示したターゲット組成,ガス成分と流量,バイアス電圧,処理時間の組み合わせ条件により順次アーク放電させ、基材表面に超硬質膜を含む硬質膜を蒸着することにより、本発明品1〜3を得た。比較として、超硬質膜を除いて、その他は表2に示したように本発明品と同様にして従来の被膜からなる硬質膜を被覆した比較品1〜5を得た。
【0021】
これらの本発明品1〜3および比較品1〜5は、基材に隣接して被覆した硬質膜の層を第1層とし、積層の硬質膜の場合には、第1層の表面に第2層,第3層として順次被覆したものである。こうして得た本発明品1〜3および比較品1〜5における硬質膜の成分組成,膜の平均厚さ,および膜の平均硬さを求めて、それらの結果を表3および表4に示した。
【0022】
次に、本発明品1〜3および比較品1〜5を用いて、被削材:S48Cの丸棒,切削速度:200m/min,送り:0.3mm/rev,切り込み:2.0mm,切削時間:30minの条件で乾式の連続旋削試験を行い、チップ刃先での逃げ面の最大摩耗量とすくい面のクレーター深さを測定し、その結果を表5に示した。また、被削材:S48Cの4本溝入り丸棒,切削速度:100m/min,送り:0.15mm/rev,切り込み:3.0mm,切削時間:20minの条件で乾式の断続旋削試験を行い、チップ刃先での逃げ面の最大摩耗量とすくい面の膜剥離状態を観察し、結果を表5に併記した。
【0023】
【表1】
【0024】
【表2】
【0025】
【表3】
【0026】
【表4】
【0027】
【表5】
【0028】
【発明の効果】
本発明の超硬質膜被覆工具部材は、基材表面に被覆される硬質膜中に微量のLaおよび/またはCe元素を含有した超硬質膜の層を形成させることにより、硬質膜の特性が顕著に向上すること、その中でも耐熱性,鉄金属などとの耐溶着性および耐熱衝撃性に優れること、常温および高温での硬さが高くなることなどにより、この超硬質膜の特性と基材の特性とが相互効果を発揮し、特に切削工具のような高温で過酷な条件に対する耐摩耗性,耐酸化性,耐熱性,耐塑性変形性,耐欠損性,耐溶着性,耐熱衝撃性などの諸特性を向上させる効果が顕著となること、これら全体から工具としての耐久性および寿命を顕著に高める効果を有するものである。
Claims (6)
- 基材の表面に、1層の単層または2層以上の複層でなる硬質膜を被覆した被覆工具部材において、該硬質膜は、少なくとも1層が次式(A)で表わせる複合炭化物または複合炭窒化物からなる超硬質膜である超硬質膜被覆工具部材。
( Ti 1-a , M a )( C 1-x ,N x ) y −−−(A)
( ただし、式中の符号は、MがLaおよび/またはCeの元素を表わし、a,x,yがそれぞれ原子比で、0.001≦a≦0.1, 0≦x≦0.7,0.7≦y≦1.1を満足する) - 上記基材は、Coおよび/またはNiを主成分とする結合相を4〜15重量%と、残りが炭化タングステンを主成分とする硬質相からなる超硬合金である請求項1に記載の超硬質膜被覆工具部材。
- 上記硬質膜は、上記基材に隣接して形成される下地層と上記超硬質膜とを含み、該下地層がTi,炭化チタン,窒化チタン,炭窒化チタン,炭酸化チタン,窒酸化チタン,炭窒酸化チタンの中の1種の単層または2種以上の多層からなり、該超硬質膜が該下地層に隣接して形成される請求項1または2に記載の超硬質膜被覆工具部材。
- 上記超硬質膜は、膜厚さが平均0.3〜10μmからなり、上記硬質膜は、膜厚さが平均0.3〜20μmからなる請求項1〜3のうちのいずれか1項に記載の超硬質膜被覆工具部材。
- 上記被覆工具部材は、切削工具として用いられる請求項1〜4のうちのいずれか1項に記載の超硬質膜被覆工具部材。
- 上記切削工具は、ドリルまたはエンドミルである請求項5に記載の超硬質膜被覆工具部材。
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