JPH08104583A - 工具用複合高硬度材料 - Google Patents
工具用複合高硬度材料Info
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- JPH08104583A JPH08104583A JP7215268A JP21526895A JPH08104583A JP H08104583 A JPH08104583 A JP H08104583A JP 7215268 A JP7215268 A JP 7215268A JP 21526895 A JP21526895 A JP 21526895A JP H08104583 A JPH08104583 A JP H08104583A
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Abstract
含むCBN焼結体からなる基材を有する工具用の複合硬
度材料。 【構成】 周期律表第IVa、VaおよびVIa族元素、A
lならびにBから成る群の中から選択される少なくとも
1種の元素の立方晶型結晶構造を有する金属結合性の窒
化物、炭化物または炭窒化物(a) と、常温、常圧、平衡
状態で立方晶型以外の結晶構造を有する少なくとも1種
の共有結合性の化合物(b) とが交互に積層された超薄膜
積層膜(1) を基材(2) の少なくとも切削に関与する箇所
の表面上に有し、超薄膜積層膜を構成する個々の層の厚
さが 0.2〜20nmであり、超薄膜積層膜全体が立方晶型の
結晶構造を有する。 【効果】 母材強度が高く、耐磨耗性に優れ、高温硬
度、耐酸化性に優れ、難削鋼の切削に用いることができ
る。
Description
N)を主成分とする焼結体(CBN焼結体)よりなる切
削工具材料の改良に関するものであり、特に、耐摩耗性
に優れた工具用複合硬度材料に関するものである。
ンドに次ぐ高い硬度を有する材料で、このCBNの焼結
体は金属の切削工具として使用されている。CBN焼結
体は結合剤(焼結助剤)を用いてCBN結晶粒子を高温
高圧下で焼結させて作られるが、下記の3つのタイプに
大別することができる: (1) CBN結晶粒子を20〜80体積%含み、結合剤として
Tiの炭化物、窒化物、炭窒化物を用いるもの (例、特
開昭53-77811号) (2) CBN結晶粒子を70体積%以上含み、結合剤として
AlおよびCo金属を用いるもの (例、特公昭52-43846
号) (3) CBN結晶粒子を95体積%以上含み、結合剤として
M3 B2 N4 ( ここで、Mはアルカリ土類金属) を用い
るもの (例、特開昭59-57967号)
有し、熱伝導度が高い(高温強度に優れている)ので、
各種の鋼の切削工具として利用されている。例えば、タ
イプ(1) のCBN焼結体はビッカース硬度 2,800〜3,70
0 を有し、耐摩耗性に優れているので焼入れ鋼の切削等
に利用されており、タイプ(2) のCBN焼結体はビッカ
ース硬度 3,500〜4,300 を有し、耐摩耗耐欠損性に優れ
ているので高硬度鋳鉄の切削等に利用されており、タイ
プ(3) のCBN焼結体はビッカース硬度 4,000〜4,800
を有し、熱伝導性に優れているのでボンディグツール等
に利用されている。
あり、耐酸化性および鉄との反応性に弱点があるため、
難削材料、例えばトランスミッション用の鋼の切削で
は、CBN焼結体のみでは耐摩耗性が不足し、摩耗が回
避できない。CBN焼結体の耐摩耗性を向上させるため
に、CBN焼結体に各種耐摩耗層を被覆またはコーティ
ングする方法が提案されている (例えば、特開昭59-134
603号公報、特開昭61-183187 号公報、特開平 1-96083
号公報、特開平 1-96084号公報、特公平 2-44710号公
報) が、公知の耐摩耗層は基材のCBN焼結体よりも硬
度が低いため工具の摩耗は避けられない。また、超硬合
金にTiN、 (TiAl)N、TiCN、Al 2 O3 等を
被覆した工具も提案されているが、HRC60以上の焼入
れ鋼を高速・高能率で切削すると切削温度が高くなっ
て、基材内部が塑性変形し、容易に剥離または破壊して
しまう。
強度が高く、耐摩耗性、耐反応性に優れ、しかも高温硬
度、耐酸化性に優れた焼入れ鋼や高級鋳鉄等の切削に使
用可能な工具用複合高硬度材料を提供することにある。
硼素(CBN)を20体積%以上含むCBN焼結体からな
る基材を有する工具用の複合高硬度材料において、少な
くとも切削に関与する箇所の表面上に個々の層の厚さが
0.2〜20nmである超薄膜が交互に積層した構造を有する
超薄膜積層膜を有する点に特徴がある。この「超薄膜積
層膜」とは下記(a) と(b) の化合物: (a) 立方晶型結晶構造を有する周期律表第IVa、Vaお
よびVIa族元素、AlならびにBから成る群の中から選
択される少なくとも1種の元素の主として金属結合性の
窒化物または炭窒化物、(b) 常温、常圧、平衡状態で立
方晶型以外の結晶構造を有する少なくとも1種の主とし
て共有結合性の化合物、の層を基材上に交互に積層し且
つ積層膜全体が立方晶型の結晶構造を有するものを意味
する。
念的な断面図であり、(1) は超薄膜積層膜であり、 (a)
および(b) は超薄膜積層膜1を構成する各単位層を表し
ており、 (2)は基材、 (3)および(4) は必要に応じて設
けられる中間層および表面層を示している。なお、図1
では超薄膜積層膜(1) を構成する各層 (a)および(b)が
強調して示してあるが、超薄膜積層膜の各層の厚さは実
際には 0.2〜20nmであり、中間層(3) の厚さ 0.05 〜
5 μmおよび表面層(4) の厚さ 0.1〜5 μmの約 1/100
であることに注意されたい。
位を意味し、各層 (a)と(b) の厚さの和λを意味する
(λ=(a) +(b))。
のを意味し、少なくとも1種の主として共有結合性化合
物の薄膜の結晶構造を主として金属結合性化合物の結晶
構造である立方晶に変化させて、共有結合性化合物の性
質と金属結合性化合物の性質を併せ持ち且つ全体に立方
晶の単一結晶構造を示す超薄膜積層体である。この超薄
膜積層膜は2種類またはそれ以上の化合物を界面を形成
させないで化合物の組成の全部または一部が連続的に変
化し、そのある部分が立方晶型の共有結合性化合物であ
る構造(以下、「組成変調層」とよぶ)でもよい。ま
た、明瞭な界面と界面を持たない組成変調層とが組み合
わされた構造にすることもできる。
成が連続的に変化する組成変調層を超薄膜積層膜の互い
に隣接した2つの単位層の間に有する点にある。この組
織変調層を有する超薄膜積層膜は所望特性の超薄膜積層
膜を得るための製作条件の許容範囲が広くなるという利
点がある。
成元素の全てが異なる化合物を積層したもの、構成元素
の一部が共有な化合物を積層したもの、全ての構成元素
が同一で組成比のみが異なる化合物を積層したものにす
ることができる。一例としてTiAlNの場合にはTi
リッチになると主として金属結合性の化合物となり、A
lリッチになると主として共有結合性の化合物になる。
Alの代わりにBを用いた場合も同様である。また、
(a)および/または(b) の層が複数ある場合には(a)およ
び(b) の各々の層の化合物は全て同じでも、層毎に互い
に違っていてもよい。
少なくとも一方を含む化合物にすることができる。好ま
しい化合物は窒化アルミニウム(AlN)である。
物(a) は、Ti、Zr、Cr、V、Hf、AlおよびB
からなる群の中から選択される少なくとも一つの元素を
含む窒化物、炭化物、炭窒化物、複合窒化物、複合炭化
物または複合炭窒化物にすることができる。
オンプレーティング法等のPVD法で作ることができ
る。これらの方法は基材強度、工具では基材の耐摩耗
性、耐欠損性を高いレベルに維持したまま表面処理する
ことができる。本発明の超薄膜積層膜を作製するには、
非晶質成分の少ない結晶性の高い共有結合性化合物の層
が形成可能な成膜プロセスが必要である。実際には、原
料元素のイオン化率が高いアーク式イオンプレーティン
グ法が適している。反応性イオンプレーティング法、マ
グネトロンスパッタリングを含めたスパッタリング法で
も共有結合性化合物を成膜できるが、非晶質成分がどう
しても混在するため、特性は低下する。
は、窒化物あるいは炭化物の化合物のターゲットを用い
るよりも、少なくともIVa、Va、VIa族元素、B、Al
の1種以上の元素を含んだ金属あるいは合金の複数のタ
ーゲットとC、Nのいずれか、あるいは両方を含む気体
を原料として用いる反応性のPVD法が適している。本
発明の立方晶型の共有結合性化合物を形成するには、イ
オン化率が高く、結晶性の高い共有結合性化合物を形成
することができるアーク式イオンプレーティング法が適
している。この時、形成する化合物の結晶性向上等のた
めに、原料となる気体以外に、Ar、He等の不活性ガス、
H2 等のエッチング効果を持つ気体を成膜炉内に同時に
導入することもできる。
を被覆する場合には、チップの各面に求められる特性に
応じて、チップの逃げ面とすくい面に積層周期の異なる
超薄膜積層を被覆するのが好ましい。
置の第1実施例の概念図である。この実施例では工具チ
ップすなわち基材(2) を回転ホルダー(5) の外周に取付
け、回転ホルダー(5) を回転させながら窒素雰囲気中で
アーク電極(20)との間にアーク放電を起こさせることに
よって2つの蒸発原(10)、(11)からAlとTiの蒸気を
蒸発させて、基材(2) 上にAlNおよびTiNの超薄膜
を交互に積層させる。この実施例では遮蔽板(6) を用い
ることによって、(b) の概念図に示すような、組成変調
層を実質的に有しない超薄膜積層膜(a/b/a・・・) 、す
なわち、(c) の組成分布図に示すような組成分布を有す
る超薄膜積層膜が基材(2) 上に形成される。
置の第2実施例の概念図である。この第2実施例は組成
変調層cを有する超薄膜積層膜が得られるようにした点
で第1実施例と相違している。すなわち、この実施例で
は例えば図示したようにAlとTiの4つの蒸発原(1
0), (10'), (11), (11')を用いて、回転ホルダー(5) を
回転させることによって、基材(2) 上のAlおよびTi
の両方の蒸気が到達する部分にAlとTiの窒化物すな
わち組成変調層cが作られる。(b) はこの実施例で得ら
れる超薄膜積層膜の概念図であり、(c) はその超薄膜積
層膜の概念的な組成分布図である。
厚が0.05〜5 μmの少なくとも1層の中間層(3) を設け
るのが好ましい。この中間層(3) は周期律表第IVa、V
aおよびVIa元素の硼化物、窒化物、炭化物、酸化物並
びにこれらの固溶体より成る群の中から選択される材料
で作るのが好ましい。この中間層(3) は超薄膜積層膜
(1) と基材(2) との間の密着性を向上させる役目をす
る。また、特性が大きく異なる基材および超薄膜積層膜
の間に中間的な特性の中間層を設けることは、特性の変
化を段階的に制御して、膜の残留応力を低減する効果が
期待できる。
厚が 0.1〜5 μmの表面層(4) を形成することもでき
る。この表面層(4) はIVa、Va、VIa族元素の窒化
物、炭化物、炭窒化物または酸化物中から選択する材料
で作るのが好ましい。
る結晶型を有し、高い硬度と優れた耐熱性を示す。例え
ば焼結体として用いられている窒化アルミ(AlN)は常
温、常圧、平衡相でウルツァイト構造をもち、硬度と耐
熱性の両者において優れた特性を示す。また、常温、常
圧下では非平衡相である立方晶型の結晶構造をもつ共有
結合性化合物であるダイヤモンドや立方晶窒化ホウ素
(CBN)も硬度と耐熱性の両者において極めて優れた
特性を有している。このことから、他の共有結合性物質
でも立方晶型の非平衡相は極めて優れた特性を有すると
予測される。しかし、非平衡相である立方晶型の共有結
合性化合物の薄膜は合成が非常に困難であり、また、合
成できたとしても、基材または中間層として一般に用い
られるTiN、TiCN等の立方晶 NaCl 型結晶構造を有す
る金属結合性の硬質薄膜との密着性が非常に低いため、
耐摩耗被膜・保護膜として用いられていないのが現状で
ある。
物の両者の性質を取り入れるために両化合物を積層構造
にしても、両化合物の界面の密着性が悪く、容易に剥離
が起こるため、やはり耐摩耗性被膜・保護膜として従来
の積層膜を用いることはできない。すなわち、共有結合
性に対して金属結合性という化合物のもつ結合性の違い
に加えて、結晶構造も異なるため、基材または境界層と
の界面または積層膜の各化合物界面において原子間の十
分な結合が形成されないためである。特公平 5-80547号
には金属表面の保護層として 0.5〜40nmの薄膜を積層
した多層保護膜が開示されているが、この多層保護膜は
結晶格子に対してコヒーレントな界面を有することが必
須である。すなわち、この多層保護膜は各薄膜が完全エ
ピタキシャルに成長するためには、結合が金属結合性化
合物どうしの組成であり,互いに隣接する2つの薄膜の
結晶格子定数(面間隔等)を含めた特性が実質的に同じ
ものでなければならない。
めて薄い立方晶の主として金属結合性の化合物の層(a)
と、常温、常圧、平衡状態で立方晶とは異なる結晶構造
を有する主として共有結合性化合物の層(b) とを繰り返
し積層して得られる全体が単一の立方晶型結晶構造を有
する超薄膜積層膜(1) を採用する。
態で立方晶型の結晶構造をもたない主として共有結合型
の化合物を20nm以下という極めて薄い層厚にし、その
前後に立方晶型の主として金属結合性化合物を同じく20
nm以下という極めて薄い層厚で積層し、超薄膜積層膜
全体を立方晶型の共有結合性化合物にする。換言すれ
ば、本発明の超薄膜積層膜では2種類の層(a) と(b) と
を交互にサンドイッチすることによって、互いに隣接す
る層の間で結晶構造の変化が起こり、全体が単一の立方
晶型結晶構造になる。このことはX線解析データからも
確認されている。
が立方晶型に変化する。この化合物層の結晶構造の変化
に伴って歪みエネルギーが蓄積される効果と、両方の化
合物の境界部分または組成変調層での原子の結合による
各化合物層の歪みによる歪みエネルギーが蓄積される効
果とによって超薄膜積層膜の硬度はさらに向上するもの
と考えられる。
結合性化合物の極めて優れた特性が発揮されるととも
に、結晶構造を同一にすることで超薄膜積層膜の各層の
間で十分な原子間結合が形成され、基材または中間層と
十分な密着力を示す。この超薄膜積層膜は従来の被膜ま
たはコーティング膜よりも硬度、耐酸化性、耐摩耗性に
優れている。従って、本発明の超薄膜積層膜を有する工
具は優れた耐摩耗性、耐熱性を発揮する。
いが、共有結合性化合物の層厚に比べて金属結合性化合
物の層厚があまりにも大きくなり過ぎると共有結合性化
合物による高硬度、高耐酸化性などの効果が薄れるの
で、金属結合性化合物の層厚も上限は同じ20nmにする
のが好ましい。逆に、超薄膜積層膜の各化合物の各層
(a)および(b) の層厚を 0.2nm以下にすると、相互拡
散等の影響により超薄膜積層膜全体が均質な混合層とな
るので上記の効果は期待できない。超薄膜積層膜の全膜
厚が 0.5μm未満の場合には耐摩耗性の向上がほとんど
見られない。また、10μmを越えると超薄膜積層膜中の
残留応力等の影響で基材との密着強度が低下する。従っ
て、積層する超薄膜積層体の全体の膜厚は 0.5μm〜10
μmにする。
化合物層の間の界面で生ずるものではないので、化合物
層間に明瞭、不明瞭を問わず界面が存在する必要はな
い。つまり、隣接する化合物の全てまたは一部の元素が
連続的に変化して、ある組成の範囲が立方晶型の共有結
合性化合物である構造すなわち組成変調層でも上記の効
果は発現される。この場合、共有性化合物の結晶構造は
立方晶型により安定化され、硬度、耐酸化性は向上し、
耐摩耗性、耐熱性に優れた極めて優れた切削特性が実現
され、欠陥や膜応力の急激な変化等による剥離も回避で
きる。本発明の超薄膜積層膜は硬度が非常に高く、荷重
1gfでのビッカース硬度は4,000kgf/mm2以上である。
強度の向上が見られず、逆に5μmを越えても密着強度
は向上しない。従って、特性および生産性の観点から中
間層(3) の膜厚は0.05〜5μmの範囲にするのが好まし
い。また、本発明の超薄膜積層膜の最上層の上に形成さ
れる表面層(4) の厚さは 0.1μm以上且つ5μm以下に
するのが好ましい。この表面層(4) の膜厚が 0.1μm以
下では耐摩耗特性の向上は見られず、5μmを越えると
剥離等により、やはり、耐摩耗特性の向上は見られな
い。
プ、ドリル、エンドミル等の切削工具に加工して使用す
ることができる。本発明の工具用複合高硬度材料から作
った工具は切削性能および寿命が格段に向上することが
確認されている。また、切削工具チップにおいては、す
くい面の超薄膜積層膜の積層周期を逃げ面の超薄膜積層
膜の周期より大きくすると、切削チップの切削性能およ
び寿命が格段に向上することが確認されている。また、
異なるチップ形状、切削用途においては、逃げ面の超薄
膜積層膜の積層周期をすいく面の超薄膜積層膜の周期よ
り大きくすると、切削チップの切削性能および寿命が格
段に向上する場合がある。これは、各用途によって逃げ
面とすくい面に要求される耐摩耗性、耐酸化性等の特性
が異なり、最適な超薄膜積層膜の周期が互いに異なるも
のと思われる。
結体の中から選択できる。好ましいCBN焼結体として
は下記 (1)〜(3) のものを挙げることができる: (1) 立方晶型窒化硼素(CBN)を30〜90体積%含み、
残部が周期律表第IVa、VaおよびVIa元素の窒化物、
炭化物、硼化物、酸化物ならびにこれらの固溶体から成
る群の中から選択される少なくとも1種と、アルミニウ
ム化合物と、TiB2 とからなる結合材および不可避的
不純物である焼結体。残部結合材は、50〜98重量%のT
iC、TiN、TiCN、(TiM)C、(TiM)N
および(TiM)CNから成る群の中から選択される少
なくとも1種(ここで、MはTiを除く周期律表第IV
a、VaおよびVIa元素の中から選択される遷移金属)
と、2〜50重量%のアルミニウム化合物とからなるのが
好ましい。
体積%含み、残部がTiN、CoまたはWの硼化物また
は炭化物、窒化アルミニウム、硼化アルミニウムならび
にこれらの固溶体から成る群の中から選択される少なく
とも1種の結合材および不可避的不純物からなる焼結
体。残部結合材は1〜50重量%のTiNを含むのが好ま
しい。 (3) 立方晶型窒化硼素(CBN)を90体積%以上を含
み、残部が周期律表第1aまたは2a元素の硼窒化物と
TiNとを含む結合材と、不可避的不純物からなる焼結
体。残部結合材は1〜50重量%のTiNを含むのが好ま
しい。
あり、その特性および製造方法は特開昭53-77811号公報
に詳細に記載されている。タイプ1(2) のCBN焼結体
は特公昭52-43846号に記載の結合材にTiNを加えたも
のにすることができる。TiNを加えることによって超
薄膜積層膜との接着性が良くなる。タイプ1(3) のCB
N焼結体は特開昭59-57967号に記載の結合材にTiNを
加えたものにすることができる。このタイプのCBN焼
結体もTiNを加えることによって超薄膜積層膜との接
着性が良くなる。
Cおよびこれらの固溶体とアルミニウムおよび/または
アルミニウム化合物と、不可避的不純物とを出発原料と
したタイプ(1) のCBN焼結体では、高温高圧下での焼
結時に結合材とCBNとが反応して硼化チタン(Ti
B2)、硼化アルミニウム(AlB2)、窒化アルミニウム
(AlN)等の化合物がCBN粒子と結合材との界面に生
成して各粒子間の結合力を高め、焼結体の靭性および強
度を向上させている。
いた場合には、TiNZ およびTiCZのzの値をそれぞれ
0.5≦z≦0.85、0.65≦z≦0.85として化学量論比から
ずらして遊離チタン量を増やすことによって、CBNと
結合材との反応を効果的に促進させるたとができ、AlB
2 、AlN、TiB2 等の反応生成物によって良好な摩耗特
性および強度を有するCBN焼結体が得られる。ここ
で、TiNZ およびTiCZのzの値をそれぞれ 0.5≦z≦
0.85、0.65≦z≦0.85と規定したのは、それぞれのz値
が 0.5および0.65未満になると酸化反応による発熱によ
り粉末の充填操作が困難になり、0.85を超えるとCBN
と結合材との反応性が化学量論比のTiNおよびTiCを用
いた場合とほとんど変わらなくなるためである。
末としてTiNZ (0.5≦z≦0.85) またはTiCZ (0.65≦
z≦0.85)を用いた場合、CBN焼結体中のアルミニウ
ム化合物量が2重量%未満では、アルミニウムおよび/
またはアルミニウム化合物とCBNとの反応が不十分に
なるため、結合材によるCBNの保持力が弱くなる。逆
に40重量%を超えるとAlB2 およびAlNに比べ硬度や機
械的強度に優れるCBNの相対的な含有量が低下するた
め耐摩耗性が著しく低下する。従って、従来の工具用硬
度材料では、出発結合材粉末としてTiNZ (0.5 ≦z≦
0.85)またはTiCZ (0.65≦z≦0.85)を用いたタイプ
(1) のCBN焼結体を切削工具として用いる場合には、
焼結体中の結合材の組成としては60〜80重量%のTiNま
たはTiCと、20〜40重量%のアルミニウム化合物、TiB
2 および不可避的不純物からなるものが最も適してい
た。
おいては、耐摩耗性に優れた超薄膜積層膜を被覆するこ
とによって耐摩耗性に劣るCBN焼結体に優れた耐摩耗
性を付与させることができるので、本発明の工具用複合
高硬度材料の基材用のCBN焼結体には、耐摩耗性より
も高靭性かつ高強度であることがより重要な要素として
要求される。換言すれば、本発明では、従来では十分な
靭性を備えていても耐摩耗性に欠点があるために高硬度
の難削材の切削に用いることができなかった材料、例え
ば、焼結体中の結合材が多量のアルミニウム化合物とTi
B2 および不可避的不純物を含むCBN焼結体でも、本
発明の超薄膜積層膜を被覆することによって耐欠損性と
耐摩耗性とを兼ね備えた理想的な工具用複合高硬度材料
となり得る。
合材粉末として、TiNZ (0.5 ≦z≦0.85)またはTiC
Z (0.65≦z≦0.85)と、アルミニウムおよび/または
アルミニウム化合物と、不可避的不純物とを用いた場合
には、焼結体中の結合材部の組成が50〜80重量%のTiN
と、20〜50重量%のアルミニウム化合物、TiB2 および
不可避的不純物とからなる抗折力(JIS規格により測
定)が 110 kgf/mm2以上である材料と、焼結体中の結合
材部の組成が50〜80重量%のTiCと、20〜50重量%のア
ルミニウム化合物、TiB2 および不可避的不純物とから
なり抗折力(JIS規格により測定)が 105 kgf/mm2以
上である材料で上記の効果顕著であり、通常のCBN焼
結体工具や従来の耐摩耗層被覆CBN焼結体工具では切
削不可能であった高硬度焼入鋼の強断続切削においても
実用レベルを十分に満たす工具寿命を実現することがで
きる。なお、出発結合材粉末として、TiNZ (0.5≦z≦
0.85)またはTiCZ (0.65≦z≦0.85)を用いる場合、
焼結体中のアルミニウム化合物、TiB2 および不可避的
不純物が50重量%を超えるとCBN焼結体の硬度および
強度が不十分となり、本発明の工具用複合高硬度材料の
基材としては不適当になる。
3μm以下のCBN粉末を出発材料として用いることに
よって抗折力が 105 kgf/mm2以上のCBN焼結体を製造
することが可能となり、得られた高靭性のCBN焼結体
を基材として超薄膜積層膜を被覆することによって、通
常のCBN焼結体工具や従来の耐摩耗層被覆CBN焼結
体工具では切削不可能であった高硬度の焼入鋼の強断続
切削でも実用レベルを十分に満たす工具寿命を実現でき
る。
明が下記の実施例に限定されるものではない。
ミニウム粉末とを80:20の重量比で混合して、結合材粉
末を得た。次に、この結合材粉末とCBN粉末とを体積
比で30:70となるように配合した後、Mo製容器に充填
し、48kbの圧力で 1,400℃で20分間焼結した。
に加工した後、チップの切削に関与する部分に真空アー
ク放電によるイオンプレーティング法によって超薄膜積
層膜を付けた。すなわち、図2に示す成膜装置内にTi
のターゲットと、Alのターゲットとを配置し、これら
のターゲットの中心に設けた回転式の基材保持具にチッ
プを装着し、成膜装置を 10 -5 Torr の真空度まで減圧
し、アルゴン(Ar)ガスを導入して 10 -2Torrの雰囲気に
して 500℃に加熱し、基材保持具を回転させながらチッ
プに−2,000 Vの電圧を加えて洗浄する。次いで、Arガ
スを排気し、N2 ガスを300 cc/min の割合で導入し、
真空アーク放電によってTiおよびAlのターゲットと
を蒸発イオン化してチップ上にTiNの層とAlNの層
とを交互に積層した。超薄膜積層膜の積層周期と層厚は
基材保持具の回転速度と真空アーク放電量とを調整して
制御し、全体の層厚は積層時間で制御した。Tiターゲ
ットを周期律表IVa〜VIa族の他の元素(Zr等)に代
えて同様な超薄膜積層膜層を形成させた。比較例とし
て、同じチップに公知の方法でコーテング膜を付けたも
のを作った(試料番号1−28〜30) 。被覆層の構成は
〔表1〕〜〔表4〕にまとめて示してある。
定義からズレる部分を示している。例えば、試料1−1
では、TiN層=0.14 nm 、AlN層= 0.16 nmで、積
層周期が 0.3 nm の超薄膜積層膜 (全膜厚さ=3.4 μ
m)であり、本発明の定義に入らない。この超薄膜積層
膜膜をTEMで観察したところ、明瞭な積層構造は観ら
れず、アイランド状の混合層となる。
り、公知のコーティングした切削チップである。試料1
−28、29は通常の成膜装置を使用して真空アーク放電を
用いたイオンプレーティング法で上記と同じ組成・形状
の切削チップの表面にTiN層とTiCN層とを単独ま
たは組み合せたて付けた硬質被覆層を有するチップであ
る。試料1−30は通常のCVD法で上記と同じ組成・形
状のチップの表面にTiNとA12O3 とを組合せて付け
た硬質被覆層を有するチップである。
って耐摩耗性を調べた。すなわち、被削材として硬度H
RC60のSUJ2の丸棒を用い、この丸棒の外周を切削
速度120 m/min 、切込み量 0.2 mm 、送り量 0.1 mm/re
v で乾式で20分間切削した後の逃げ面の摩耗幅 (mm) を
測定した。結果は〔表5〕にまとめて示してある。
ものに代え(TiおよびAlのターゲット数を合計4つ
にした)、実施例1の試料1−6と同じ材料と同じ条件
(TiN 層厚:5.9 nm、AlN 層厚:4.0 nm) を用いて超薄
膜積層膜を作った。この超薄膜積層膜が組成変調層を有
することはTEM(透過電子顕微鏡)、EDX(分析T
EM付帯のエネルギー分散型X線分析計)およびEEL
S(電子エネルギー損失分析)で確認された。この場合
の逃げ面摩耗幅は 0.100mmであった。
(体積%)および結合材の組成(重量%)を〔表6〕に
示すものに代えた。得られた焼結体をX線回折で観察す
ると、不可避不純物としてのα- Al2O3 、WCおよびCo
と思われるピークが観察された。各CBN焼結体を用い
て切削チップを作製し、チップの切削に関与する表面に
TiNの中間層をPVD法で2μmの厚さに被覆した
後、実施例1と同様な方法TiNとAlNとを超薄膜積
層膜の全膜厚が 4.2μmとなるように交互に成膜した。
各層の厚さは 2.6 nm で、積層周期は 5.2 nm である。
なお、成膜装置を図2のものを使用した。全ての超薄膜
積層膜のX線回折パターンは立方晶構造であることを示
した。〔表6〕には外周4箇所にV形状の溝を有する浸
炭焼き入れしたSCM415 の丸棒の外周を各工具を用い
て切削した場合の欠損時間(工具が欠損するまでの時
間:分)が示してある。
よりなる結合材とを体積比で80:20となるように混合し
たものを焼結圧力 50kb 、焼結温度1,450 ℃で0.5 時間
焼結して得られたCBN焼結体を作った。 なお、成膜
装置を図2のものを使用した。各CBN焼結体を切削工
具用チップの形に加工した後、実施例1と同様な方法で
チップの切削に関与する部分に真空アーク放電によるイ
オンプレーティング法で超薄膜積層膜を成膜した。ター
ゲットとしてはTi、Al、Ti−Al、Zr、V、HfおよびCrを
用いた。各積層膜TiN、AlN、TiAlN、TiCN、ZrN、
VN、CrNおよびHfNの層厚は被覆時間を調節して制御
した。被覆層の構成は〔表7〕〜〔表10〕にまとめて
示してある。
定義からズレる部分を示している。また、試料3−27〜
29は比較例の従来法の被覆切削チップであり、実施例1
の比較例と同じ方法で作製した。得られた各切削チップ
を用い切削テストを行った。切削テストでは、硬度HR
C60のSKD11材の丸棒からなる被削材の外周を切削速
度 220m/min 、切込み量 0.5mm、送り量 0.25mm/rev
で、乾式で15分間切削した場合の逃げ面摩耗幅(mm)を測
定した。結果は〔表11〕にまとめて示してある。
代わりにBターゲットを用いた。超薄膜積層膜の構成は
〔表12〕〔表13〕に、また、結果は〔表14〕に示してあ
る。
幅: 0.230 mm
N含有率(体積%)および結合材組成(重量%)のもの
に代えた。各組成は50kb、1450°で15分間焼結した。得
られた焼結体をSNGN120408(ISO規格)型のチッ
プに加工した後、CH4 ガスとN2 ガスとを用いて実施
例1と同様の方法で、先ず、TiCNから成る中間層を
2μm被覆し、次に、TiCとAlNとからなる超積層
薄膜を膜厚が5μmと成るように被覆した。なお、Ti
Cの層厚は3nm、AlNの層厚は3nmであった。この超
薄膜積層膜を被覆した切削工具を用いて、外周に4箇所
のU字形状の溝を有する硬度HRC60のSKD11を被削
材として、切削速度 120m/分、切り込み 0.2mm、送り
0.1mm/回転で乾式切削し、1km切削したときの欠損率
(サンプル数5)を測定した。比較ために、超薄膜積層
膜を被覆していない通常のCBN焼結体もテストした。
得られた結果は〔表17〕にまとめて示してある。
く、耐摩耗性に優れ、高温硬度(耐酸化性)に優れてい
るので、難削鋼の切削に用いることができる。
する1つの実施例の装置と、この装置で得られる超薄膜
積層膜の概念図と、超薄膜積層膜の組成分布とを示す概
念図。
する別の実施例の装置と、この装置で得られる組成変調
層を有する超薄膜積層膜の概念図と、この超薄膜積層膜
の組成分布とを示す概念図。
Claims (18)
- 【請求項1】 立方晶型窒化硼素(CBN)を20体積%
以上含むCBN焼結体からなる基材(2) を有する工具用
の複合高硬度材料において、 周期律表第IVa、VaおよびVIa族元素、Al並びにB
から成る群の中から選択される少なくとも1種の元素の
立方晶型結晶構造を有する主として金属結合性の窒化
物、炭化物または炭窒化物(a) と、常温、常圧、平衡状
態で立方晶型以外の結晶構造を有する少なくとも1種の
主として共有結合性の化合物(b) とが交互に積層された
超薄膜積層膜(1) を基材(2) の少なくとも切削に関与す
る箇所の表面上に有し、超薄膜積層膜(1) を構成する個
々の単位層は厚さが 0.2〜20nmであり、超薄膜積層膜
(1) 全体が立方晶型の結晶構造を有することを特徴とす
る工具用の複合高硬度材料。 - 【請求項2】 超薄膜積層膜(1) の互いに隣接した2つ
の単位層の間に組成が連続的に変化する組成変調層を有
する請求項1に記載の材料。 - 【請求項3】 共有結合性の化合物(b) がAlまたはB
の少なくとも一方を含む化合物である請求項1に記載の
材料。 - 【請求項4】 金属結合性の窒化物、炭化物または炭窒
化物(a) がTi、Zr、Cr、V、Hf、AlおよびB
からなる群の中から選択される少なくとも一つの元素を
含む窒化物、炭化物、炭窒化物、複合窒化物、複合炭化
物または複合炭窒化物である請求項1〜3のいずれか一
項に記載の材料。 - 【請求項5】 周期律表第IVa、VaおよびVIa元素の
硼化物、窒化物、炭化物、酸化物並びにこれらの固溶体
より成る群の中から選択される少なくとも1種の材料か
らなる膜厚が0.05〜5 μmの中間層(3) を基材(2) と超
薄膜積層膜(1)との間に有する請求項1〜4のいずれか
一項に記載の材料。 - 【請求項6】 周期律表第IVa、VaおよびVIa元素の
窒化物、炭化物、炭窒化物および酸化物から成る群の中
から選択される少なくとも1種の材料からなる膜厚が
0.1〜5 μmの表面層(4) を超薄膜積層膜(1) の外側表
面有する請求項1〜5のいずれか一項に記載の材料。 - 【請求項7】 超薄膜積層膜(1) の厚さが 0.5〜10μm
である請求項1〜6のいずれか一項に記載の材料。 - 【請求項8】 基材(2) が立方晶型窒化硼素(CBN)
を30〜90体積%含む焼結体であり、このCBN焼結体の
残部結合材が周期律表第IVa、VaおよびVIa元素の窒
化物、炭化物、硼化物、酸化物並びにこれらの固溶体か
ら成る群の中から選択される少なくとも1種とアルミニ
ウム化合物とからなる結合材および不可避的不純物であ
る請求項1〜7のいずれか一項に記載の材料。 - 【請求項9】 残部結合材が、50〜98重量%のTiC、Ti
N、TiCN、(TiM)C、(TiM)Nおよび(TiM)C
Nから成る群の中から選択される少なくとも1種(ここ
で、MはTiを除く周期律表第IVa、VaおよびVIa元素
の中から選択される遷移金属)と、2〜50重量%のアル
ミニウム化合物とからなる請求項8に記載の材料。 - 【請求項10】 残部結合材が50〜98重量%のTiN
と、2〜50重量%のアルミニウム化合物および不可避的
不純物とからなる請求項9に記載の材料。 - 【請求項11】 基材(2) が、CBN粉末と、結合材粉
末であるTiNZ (0.5≦z≦0.85)、アルミニウムおよ
び/またはアルミニウム化合物および不可避的不純物と
を出発原料とした焼結体であって、50〜80重量%のTi
Nと20〜50重量%のアルミニウム化合物、TiB2 および
不可避不純物とからなり、抗折力(JIS規格により測
定)が 110 kgf/mm2 以上である請求項10に記載の材
料。 - 【請求項12】 残部結合材が50〜98重量%のTiC
と、2〜50重量%のアルミニウム化合物、TiB2 および
および不可避的不純物とからなる請求項9に記載の材
料。 - 【請求項13】 基材(2) がCBN粉末と、結合材粉末
であるTiCZ (0.65≦z≦0.85)、アルミニウムおよ
び/またはアルミニウム化合物および不可避的不純物と
を出発原料とした焼結体であって、50〜80重量%のTiC
と、20〜50重量%のアルミニウムおよび/またはアルミ
ニウム化合物、TiB2 および不可避的不純物とからな
り、抗折力(JIS規格による測定)が 105 kgf/mm2
以上である請求項12に記載の材料。 - 【請求項14】 基材(2) が立方晶型窒化硼素(CB
N)を40〜95体積%含む焼結体であり、このCBN焼結
体の残部結合材が、TiN、CoまたはWの硼化物また
は炭化物、窒化アルミニウム、硼化アルミニウムおよび
これらの固溶体から成る群の中から選択される少なくと
も1種の結合材およびおよび不可避的不純物である請求
項1〜7のいずれか一項に記載の材料。 - 【請求項15】 CBN粒子の平均粒径が3μm以下
で、抗折力(JIS規格により測定)が 105 kgf/mm2
以上である請求項14に記載の材料。 - 【請求項16】 残部結合材が1〜50重量%のTiN
と、CoまたはWの硼化物または炭化物、窒化アルミニ
ウム、硼化アルミニウムおよびこれらの固溶体から成る
群の中から選択される少なくとも1種とを含む請求項14
に記載の材料。 - 【請求項17】 基材(2) が立方晶型窒化硼素(CB
N)を90体積%以上を含む焼結体であり、このCBN焼
結体の残部結合材が周期律表第IaまたはIIa元素の硼
窒化物と、TiNと、不可避的不純物とである請求項1
〜7のいずれか一項に記載の材料。 - 【請求項18】 残部結合材が1〜50重量%のTiN
と、周期律表第IaまたはIIa元素の硼窒化物とを含む
請求項17に記載の材料。
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Cited By (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007136655A (ja) * | 2005-10-19 | 2007-06-07 | Mitsubishi Materials Corp | 高硬度鋼の高速切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆立方晶窒化ほう素基超高圧焼結材料製切削工具 |
JP2007136653A (ja) * | 2005-10-19 | 2007-06-07 | Mitsubishi Materials Corp | 高硬度鋼の重切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆立方晶窒化ほう素基超高圧焼結材料製切削工具 |
JP2007136654A (ja) * | 2005-10-19 | 2007-06-07 | Mitsubishi Materials Corp | 高硬度鋼の重切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆立方晶窒化ほう素基超高圧焼結材料製切削工具 |
JP2007190668A (ja) * | 2005-12-22 | 2007-08-02 | Mitsubishi Materials Corp | 高硬度鋼の高速切削加工で優れた仕上げ面精度を長期にわたって発揮する表面被覆立方晶窒化ほう素基超高圧焼結材料製切削工具 |
JP2007313617A (ja) * | 2006-05-26 | 2007-12-06 | Mitsubishi Materials Corp | 高硬度鋼の高速切削加工できわめて優れた仕上げ面精度を長期にわたって発揮する表面被覆立方晶窒化ほう素基超高圧焼結材料製切削工具 |
JP2008018506A (ja) * | 2006-07-14 | 2008-01-31 | Mitsubishi Materials Corp | 高硬度鋼の高速断続切削加工ですぐれた耐欠損性を発揮する表面被覆立方晶窒化ほう素基超高圧焼結材料製切削工具 |
JP2008018509A (ja) * | 2006-07-14 | 2008-01-31 | Mitsubishi Materials Corp | 硬質難削材の高速連続切削加工ですぐれた耐欠損性を発揮する表面被覆立方晶窒化ほう素基超高圧焼結材料製切削工具 |
JP2008018508A (ja) * | 2006-07-14 | 2008-01-31 | Mitsubishi Materials Corp | 高硬度鋼の高速断続切削加工ですぐれた耐欠損性を発揮する表面被覆立方晶窒化ほう素基超高圧焼結材料製切削工具 |
JP2008018507A (ja) * | 2006-07-14 | 2008-01-31 | Mitsubishi Materials Corp | 硬質難削材の高速連続切削加工ですぐれた仕上げ面精度を長期に亘って発揮する表面被覆立方晶窒化ほう素基超高圧焼結材料製切削工具 |
JP2008517860A (ja) * | 2004-10-28 | 2008-05-29 | 京セラ株式会社 | 立方晶窒化硼素質焼結体およびそれを用いた切削工具 |
WO2010137429A1 (ja) * | 2009-05-25 | 2010-12-02 | 日立ツール株式会社 | 超硬合金製エンドミル及び該エンドミルを用いた切削加工方法 |
JP2010280051A (ja) * | 2009-06-03 | 2010-12-16 | Hitachi Tool Engineering Ltd | 硬質皮膜被覆エンドミル |
JP2011000696A (ja) * | 2009-06-17 | 2011-01-06 | Hitachi Tool Engineering Ltd | ニック付き超硬合金製エンドミル |
JP2011020257A (ja) * | 2009-06-15 | 2011-02-03 | Hitachi Tool Engineering Ltd | 超硬合金製エンドミル及び該エンドミルを用いた切削加工方法 |
WO2011129422A1 (ja) * | 2010-04-16 | 2011-10-20 | 株式会社タンガロイ | 被覆cBN焼結体 |
WO2012105710A1 (ja) * | 2011-02-04 | 2012-08-09 | 株式会社タンガロイ | cBN焼結体工具および被覆cBN焼結体工具 |
WO2015060320A1 (ja) * | 2013-10-22 | 2015-04-30 | 株式会社タンガロイ | 立方晶窒化硼素焼結体および被覆立方晶窒化硼素焼結体 |
JP2019156692A (ja) * | 2018-03-15 | 2019-09-19 | 株式会社タンガロイ | 立方晶窒化硼素焼結体、及び、立方晶窒化硼素焼結体を有する工具 |
WO2021085253A1 (ja) * | 2019-10-29 | 2021-05-06 | 三菱マテリアル株式会社 | 表面被覆切削工具 |
CN114173969A (zh) * | 2019-10-10 | 2022-03-11 | 住友电工硬质合金株式会社 | 切削工具 |
-
1995
- 1995-08-01 JP JP21526895A patent/JP3743984B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (27)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008517860A (ja) * | 2004-10-28 | 2008-05-29 | 京セラ株式会社 | 立方晶窒化硼素質焼結体およびそれを用いた切削工具 |
JP4927559B2 (ja) * | 2004-10-28 | 2012-05-09 | 京セラ株式会社 | 立方晶窒化硼素質焼結体およびそれを用いた切削工具 |
JP2007136653A (ja) * | 2005-10-19 | 2007-06-07 | Mitsubishi Materials Corp | 高硬度鋼の重切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆立方晶窒化ほう素基超高圧焼結材料製切削工具 |
JP2007136654A (ja) * | 2005-10-19 | 2007-06-07 | Mitsubishi Materials Corp | 高硬度鋼の重切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆立方晶窒化ほう素基超高圧焼結材料製切削工具 |
JP2007136655A (ja) * | 2005-10-19 | 2007-06-07 | Mitsubishi Materials Corp | 高硬度鋼の高速切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆立方晶窒化ほう素基超高圧焼結材料製切削工具 |
JP2007190668A (ja) * | 2005-12-22 | 2007-08-02 | Mitsubishi Materials Corp | 高硬度鋼の高速切削加工で優れた仕上げ面精度を長期にわたって発揮する表面被覆立方晶窒化ほう素基超高圧焼結材料製切削工具 |
JP2007313617A (ja) * | 2006-05-26 | 2007-12-06 | Mitsubishi Materials Corp | 高硬度鋼の高速切削加工できわめて優れた仕上げ面精度を長期にわたって発揮する表面被覆立方晶窒化ほう素基超高圧焼結材料製切削工具 |
JP2008018508A (ja) * | 2006-07-14 | 2008-01-31 | Mitsubishi Materials Corp | 高硬度鋼の高速断続切削加工ですぐれた耐欠損性を発揮する表面被覆立方晶窒化ほう素基超高圧焼結材料製切削工具 |
JP2008018507A (ja) * | 2006-07-14 | 2008-01-31 | Mitsubishi Materials Corp | 硬質難削材の高速連続切削加工ですぐれた仕上げ面精度を長期に亘って発揮する表面被覆立方晶窒化ほう素基超高圧焼結材料製切削工具 |
JP2008018509A (ja) * | 2006-07-14 | 2008-01-31 | Mitsubishi Materials Corp | 硬質難削材の高速連続切削加工ですぐれた耐欠損性を発揮する表面被覆立方晶窒化ほう素基超高圧焼結材料製切削工具 |
JP2008018506A (ja) * | 2006-07-14 | 2008-01-31 | Mitsubishi Materials Corp | 高硬度鋼の高速断続切削加工ですぐれた耐欠損性を発揮する表面被覆立方晶窒化ほう素基超高圧焼結材料製切削工具 |
WO2010137429A1 (ja) * | 2009-05-25 | 2010-12-02 | 日立ツール株式会社 | 超硬合金製エンドミル及び該エンドミルを用いた切削加工方法 |
US8827600B2 (en) | 2009-05-25 | 2014-09-09 | Hitachi Tool Engineering, Ltd. | Carbide end mill and cutting method using the end mill |
CN102365145A (zh) * | 2009-05-25 | 2012-02-29 | 日立工具股份有限公司 | 超硬合金制立铣刀以及使用该立铣刀的切削加工方法 |
JP2010280051A (ja) * | 2009-06-03 | 2010-12-16 | Hitachi Tool Engineering Ltd | 硬質皮膜被覆エンドミル |
JP2011020257A (ja) * | 2009-06-15 | 2011-02-03 | Hitachi Tool Engineering Ltd | 超硬合金製エンドミル及び該エンドミルを用いた切削加工方法 |
JP2011083891A (ja) * | 2009-06-15 | 2011-04-28 | Hitachi Tool Engineering Ltd | 超硬合金製エンドミル及び該エンドミルを用いた切削加工方法 |
JP2011000696A (ja) * | 2009-06-17 | 2011-01-06 | Hitachi Tool Engineering Ltd | ニック付き超硬合金製エンドミル |
JPWO2011129422A1 (ja) * | 2010-04-16 | 2013-07-18 | 株式会社タンガロイ | 被覆cBN焼結体 |
WO2011129422A1 (ja) * | 2010-04-16 | 2011-10-20 | 株式会社タンガロイ | 被覆cBN焼結体 |
WO2012105710A1 (ja) * | 2011-02-04 | 2012-08-09 | 株式会社タンガロイ | cBN焼結体工具および被覆cBN焼結体工具 |
JP5614460B2 (ja) * | 2011-02-04 | 2014-10-29 | 株式会社タンガロイ | cBN焼結体工具および被覆cBN焼結体工具 |
WO2015060320A1 (ja) * | 2013-10-22 | 2015-04-30 | 株式会社タンガロイ | 立方晶窒化硼素焼結体および被覆立方晶窒化硼素焼結体 |
JP6032375B2 (ja) * | 2013-10-22 | 2016-11-30 | 株式会社タンガロイ | 立方晶窒化硼素焼結体および被覆立方晶窒化硼素焼結体 |
JP2019156692A (ja) * | 2018-03-15 | 2019-09-19 | 株式会社タンガロイ | 立方晶窒化硼素焼結体、及び、立方晶窒化硼素焼結体を有する工具 |
CN114173969A (zh) * | 2019-10-10 | 2022-03-11 | 住友电工硬质合金株式会社 | 切削工具 |
WO2021085253A1 (ja) * | 2019-10-29 | 2021-05-06 | 三菱マテリアル株式会社 | 表面被覆切削工具 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP3743984B2 (ja) | 2006-02-08 |
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