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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は接着フィルムに用いられる剥離フィルムにかかり、特に、異方導電性接着フィルムに用いられる剥離フィルムに関する。
【0002】
【従来の技術】
従来より、半導体チップを基板に接続するために、接着フィルムが広く用いられている。
【0003】
図5(a)の符号110は従来技術の接着フィルムを示している。接着フィルム110は剥離フィルム111と、剥離フィルム111の表面に密着配置された接着剤層118とを有している。
剥離フィルム111は基材112と、基材112表面に形成された離型剤層115とを有しており、離型剤層115は剥離フィルム111の接着剤層118に密着した面に配置されている。
【0004】
図5(a)の符号102は基板を示している。基板102はベースフィルム103と、ベースフィルム103表面に配置された金属配線104とを有している。この基板102と後述する半導体チップとを接続するには、先ず、接着フィルム110の接着剤層118が配置された側の面を、基板102の金属配線104が配置された側の面に押しつける(図5(b))。
【0005】
一般に離型剤層115はシリコーンオイルにより構成されており、シリコーンオイル(離型剤層)と接着剤層118との接着力は、シリコーンオイルと基材112との接着力よりも小さく、かつ、接着剤層118と基板102との接着力よりも小さくされているので、図5(b)に示した状態で、剥離フィルム111を剥離すると、剥離フィルム111は接着剤層118から剥離され、基板102上には接着剤層118が残る(図5(c))。
【0006】
図5(d)の符号105は半導体チップを示しており、半導体チップ105はチップ本体106とチップ本体106の一面に形成されたバンプ状の接続端子107とを有している。半導体チップ105の接続端子107が形成された側の面と基板102の金属配線104が配置された側の面とを対向させ、位置合せを行った後、半導体チップ105を基板102上の接着剤層118に押し当て、その状態で、半導体チップ105を押圧しながら加熱すると、半導体チップ105の接続端子107が基板102の金属配線104表面に当接される。また、接着剤層118は加熱によって接着性を発現するので、半導体チップ105と基板102とは機械的にも接続され、図5(e)に示す電気装置101が得られる。
【0007】
このように、離型剤層115を有する剥離フィルム111を用い、接着フィルム110を構成すれば、接着剤層118から剥離フィルム111を容易に剥離し、基板102と半導体チップ105との接続を行うことができる。
しかしながらシリコーンオイルからなる離型剤は基材112に対する接着性が低いので、接着フィルム110を製造する工程で離型剤層115が部分的に脱落したり、接着剤層118から剥離フィルム111を剥離する際に離型剤層115の一部が接着剤層118に転着する場合がある。
【0008】
離型剤層115が剥離フィルム111から脱落すると、脱落した部分では接着剤層118と基材112とが直接接触し、その部分の接着剤層118に対する接着力が高くなるので、剥離フィルム111から接着剤層118が剥れ難くなる。また、接着剤層118表面に転着した離型剤層115が残留している場合には、離型剤層115接着剤層118と半導体チップ105との接着力が低下し、得られる電気装置101の信頼性が悪くなってしまう。
【0009】
また、特開平5−154857に記載されているように、離型剤層を形成せず、フッ素樹脂フィルムのような離型性を有する基材を剥離フィルムとして用いる方法が公知である。
【0010】
しかしながら、フッ素樹脂フィルムは一般に延伸法により製造されており、製造の工程でフィルムに延びが発生するのでフィルムの厚さにばらつきが生じやすく、得られるフィルムの幅の精度や、接着フィルムを形成した場合の膜厚の精度が低くなってしまう。
【0011】
また、基材表面に離型剤を設けず、直接接着剤層を設ける場合には、接着剤層と基材(剥離フィルム)との接着力が基材表面の表面粗度(粗さ)に左右されてしまう。従って、基材表面の表面粗度にばらつきがある場合には、接着剤層と基材との接着力にばらつきが生じてしまう。
【0012】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は上記従来技術の不都合を解決するために創作されたものであり、その目的は、接着剤層の剥離性に優れ、信頼性の高い電気装置を製造するための接着フィルムを得ることにある。
【0013】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、請求項1記載の発明は、基材と、基材表面に形成された離型剤層とを有する剥離フィルムと、前記剥離フィルムの前記離型剤層表面に配置された接着剤層とを有し、前記基材の前記離型剤層が配置された側の面の表面粗さが3μm以下であり、前記離型剤層がフッ素化合物を主成分とする接着フィルムであって、前記接着剤層はエポキシ樹脂を有し、前記フッ素化合物の主成分はC8F16Oと、C8F18のいずれか一方又は両方を含有し、前記基材は、フィルム状に成形されたポリエステル樹脂を主成分とし、前記接着剤層を引き剥がすと、前記接着剤層と前記離型剤層との界面で剥離が起こり、前記離型剤層は前記基材表面に残る接着フィルムである。
請求項2記載の発明は、基材と、基材表面に形成された離型剤層とを有する剥離フィルムと、前記剥離フィルムの前記離型剤層表面に配置された接着剤層とを有し、前記基材の前記離型剤層が配置された側の面の表面粗さが1μm以上3μm以下であり、前記離型剤層がフッ素化合物を主成分とする接着フィルムであって、前記接着剤層はエポキシ樹脂を有し、前記フッ素化合物の主成分はC8F16Oと、C8F18のいずれか一方又は両方を含有し、前記基材は、フィルム状に成形されたポリエステル樹脂を主成分とし、前記接着剤層を引き剥がすと、前記接着剤層と前記離型剤層との界面で剥離が起こり、前記離型剤層は前記基材表面に残る接着フィルムである。
請求項3記載の発明は、請求項1又は請求項2のいずれか1項記載の接着フィルムであって、前記離型剤層は、前記フッ素化合物を主成分とする離型剤を前記基材表面1m2当たり0.01g以上5g以下塗布されてなる接着フィルムである。
請求項4記載の発明は、請求項1乃至請求項3のいずれか1項記載の接着フィルムであって、前記離型剤層の水に対する接触角が100°以上140°以下であり、シリコーンオイルに対する接触角が30°を超え、かつ、50°以下である接着フィルム。
請求項5記載の発明は、請求項1又は請求項2のいずれか1項記載の接着フィルムであって、前記基材の膜厚が12.5μm以上100μm以下である接着フィルム。
請求項6記載の発明は、請求項5記載の接着フィルムであって、前記基材はフィルム状に成形された前記ポリエステル樹脂と、前記ポリエステル樹脂中に分散されたフィラーとを有する接着フィルムである。
【0014】
尚、本発明で用いる表面粗さとは、レーザー顕微鏡型干渉計(例えばLasertec社製の商品名「Laser Microscope ILM21」)を用いて対象物(基材)表面の焦点の合い方によって得られるZ方向の高さを測定した場合に、得られる中心線の平均粗さのことである。
【0015】
本発明は上記のように構成されており、本発明の剥離フィルムでは基材表面の粗さが3μm以下にされており、剥離フィルムの離型剤層表面に接着剤層を形成した場合、接着剤層の離型剤層と密着する面の粗さが2μm以下になる。従って、接着剤層の剥離フィルムを剥離した面に貼着対象物に貼着した場合に過剰な空気が入りこまず、接着剤層と貼着対象物との間に気泡が生じない。
【0016】
また、基材表面の粗さが1μm以上である場合、剥離フィルム表面の凹凸によって剥離フィルムと接着剤層との間に適度な摩擦力が生じるので、接着フィルムを切断する場合に接着剤層が剥離フィルムから剥離しない。
【0017】
基材表面に凹凸(粗さ)を形成する方法には、基材中にフィラーを含有させる方法や、コロナ放電や研磨等によって基材表面を粗面化する方法などがある。
基材にフィラーを含有させる場合には、含有させるフィラーの粒径(平均粒径)や含有量を調整することによって、基材表面の粗さを調整することができる。
【0018】
【発明の実施の形態】
以下に本発明の剥離フィルムと接着フィルムとを、それらの製造方法と共に詳細に説明する。図1(a)の符号12は基材を示している。この基材12はフィルム状に成形されたポリエステル樹脂と、ポリエステル樹脂中に分散されたフィラーとからなる。
【0019】
図1(a)の符号13は基材12中のフィラーを示しており、基材12の表面近傍に位置するフィラー13によって基材12の表面が盛り上がり、基材12表面には凹凸が形成されている。
【0020】
この基材12を用いて接着フィルムを製造するには、先ず、基材12表面にフッ素化合物を主成分とする離型剤を所定量(基材12表面の面積1m2当たり0.01g以上5g以下)塗布する。このとき、塗工液の塗布量は充分に少ないので、基材12表面の凹凸は塗工液によって埋まらない。
【0021】
次いで、全体を加熱乾燥させると、基材12表面に離型剤層15が形成される(図1(b))。
図1(b)の符号11は離型剤層15が形成された状態の剥離フィルムを示している。剥離フィルム11の離型剤層15が形成された側の面は、基材12の凹凸のパターンに沿って凹凸が形成されている。また、離型剤層15を形成する工程で、離型剤層15と基材12との間に架橋構造が形成されている。
【0022】
次に、熱硬化性樹脂を主成分とする接着剤を用意する。フッ素化合物を有する離型剤層15の接着剤に対するぬれ性は高いので、剥離フィルム11の離型剤層15が形成された側の表面に接着剤を塗布すると、接着剤液は離型剤層15にはじかれず、膜厚の均一な接着剤層18が形成される。次いで、全体を乾燥すると、本発明の接着フィルム10が得られる(図1(c))。
【0023】
次に、この接着フィルム10を用いて電気装置を製造する工程を説明する。
図2(a)の符号21は基板を示しており、基板21はベースフィルム22と、ベースフィルム22の一面に配置された金属配線23とを有している。この基板21に後述する半導体チップを接続するには、先ず、接着フィルム10の接着剤層18が形成された側の面を基板21の金属配線23が配置された側の面に押し当てる(図2(b))。
【0024】
接着剤層18と基板21との接着力は接着剤層18と離型剤層15との接着力よりも大きく、また、基板21と離型剤層15との接着力も充分に大きいので、図2(b)で示した状態の剥離フィルム11を接着剤層18から剥離すると、接着剤層18に離型剤層15が転着せず、基板21上に接着剤層18のみが残る。
【0025】
図2(c)はその状態を示しており、接着剤層18の剥離フィルム11が剥離された側の面には、剥離フィルム11表面の凹凸のパターンが転写されている。
図2(d)の符号31は半導体チップを示している。半導体チップ31はチップ本体32とチップ本体32の一面に配置されたバンプ状の接続端子33とを有しており、接続端子33は半導体チップ31の不図示の内部回路に接続されている。
【0026】
半導体チップ31の接続端子33が配置された面を基板21の接着剤層18が配置された面に向け、接続端子33と金属配線23とが対向するよう位置合せを行った後、半導体チップ31を接着剤層18の表面に押し当てる。
【0027】
半導体チップ31を押圧しながら、全体を加熱すると、加熱によって接着剤層18が軟化し、半導体チップ31の接続端子33が押圧によって接着剤層18を押し退け、接続端子33が対向する金属配線23に当接される。
【0028】
この状態で所定時間加熱を続けると、接続端子33が金属配線23に当接された状態で接着剤層18が硬化し、接続端子33が金属配線23に当接された状態で半導体チップ31が基板21に固定され、電気装置が得られる。
【0029】
図2(e)の符号1は上記の工程で作成された電気装置を示しており、この電気装置1では基板21と半導体チップ31とが接続端子33を介して電気的に接続されている。また、接着剤層18には離型剤層15が残留していないので、接着剤層18を介して基板21と半導体チップ31とが機械的に強固に接続されている。
【0030】
以上は、接着剤層18の一方の面に剥離フィルム11を密着させた場合について説明したが、本発明はこれに限定されるものでは無い。
図3の符号50は本発明の他の例の接着フィルムを示している。接着フィルム50は接着剤層58と、2枚の剥離フィルム11とを有しており、図1(b)に示した剥離フィルム11と同じ部材には、同じ数字を付し、2枚の剥離フィルム11a、11bの部材はそれぞれ添え字a、bを付して区別する。
【0031】
2枚の剥離フィルム11a、11bは接着剤層58の表面と裏面にそれぞれ密着配置されており、これら剥離フィルム11a、11bのうち、一方の剥離フィルム11a、11bを剥離した後、図2(a)〜(e)の工程で電気装置1の接続を行うことができる。
【0032】
また、以上は半導体チップ31を基板21とを接続する場合について説明したが、本発明はこれに限定されるものでは無く、種々の電気装置の接続に用いることができ、例えば、半導体チップを搭載可能なTCP(Tape Carrier Package)と、LCD(Liquid Crystal Display)との接続に用いることができる。
【0033】
離型剤層15を構成するフッ素化合物としては種々のものを用いることができるが、特に、C6H4(CF3)2、C8F16O、C8F18で示されるフッ素化合物を用いることが好ましい。また、これらのフッ素化合物を単独で用いてもよいし、2種類以上のフッ素化合物を混合して用いても良い。
【0034】
また、以上はフィラー13を含有する基材12を用いる場合について説明したが、本発明はこれに限定されるものでは無い。フィラーを含有しない基材12を用いる場合には、例えば、研磨剤を用いて基材12表面を研磨する方法や、コロナ放電によって基材12表面を粗面化する方法等によって基材12表面の粗さを調整することができる。
【0035】
基材12の材質としては、種々のポリエステル樹脂を用いることができるが、強度、価格の面からポリエチレンテレフタレートを用いることが好ましい。
接着剤層18に用いることのできる熱硬化性樹脂としては、エポキシ樹脂、尿素樹脂、メラミン樹脂、フェノール樹脂等種々のものを用いることができるが、熱硬化後の接着剤の強度等を考慮するとエポキシ樹脂を用いることが好ましい。
【0036】
エポキシ樹脂を用いる場合には、硬化剤を併用することが好ましく、本発明に用いられる硬化剤としてはイミダゾール系硬化剤、ポリアミン硬化剤、フェノール類、イソシアネート類、ポリメルカプタン類、酸無水物硬化剤など種々のものを用いることができる。これらの硬化剤をマイクロカプセル化し、所謂潜在性硬化剤として用いても良い。
【0037】
また、接着剤には、消泡剤、着色剤、老化防止剤など種々の添加剤を添加することもできる。接着剤に熱可塑性樹脂を配合すれば、熱可塑性樹脂の性質から接着剤の凝集力が増すので接着剤の接着性がより高くなる。このような熱可塑性樹脂としては、フェノキシ樹脂、ポリエステル樹脂、ポリウレタン樹脂、ポリビニルアセタール、エチレンビニルアセテート、ポリブタジエンゴム等のゴム類等種々のものを用いることができる。また、導電性粒子を分散させた接着剤を用い、接着剤層を形成することもできる。
【0038】
【実施例】
フィラー13が分散されたポリエチレンテレフタレート(以下PETと略記する)フィルムからなり、表面の粗さと膜厚とがそれぞれ異なる4種類の基材12と、フィラーを有しないPETフィルムからなる基材12を1種類とをそれぞれ用意した。これら基材12の表面の粗さと膜厚とをそれぞれ下記表1に記載する。
【0039】
【表1】
【0040】
フレオンとシンナーとからなるフッ素系溶剤にフッ素化合物であるC8F16Oを75重量部と、同じくフッ素化合物であるC8F18を25重量部とを添加、混合し、フッ素系の離型剤を作製した。
上記5種類の基材12の一面に、上記表1の「塗布量」の欄に記載した量の離型剤をグラビアコーターを用いて塗布、乾燥し、5種類の剥離フィルム11を形成した。
【0041】
次いで、ソニーケミカル(株)社製の異方導電性接着剤(商品名「FP16613」)に用いられる固形のエポキシ樹脂60重量部を有機溶媒40重量部に溶解、混合し、固形分を60重量%含有する接着剤を作製した。各剥離フィルム11の離型剤層15表面に上記接着剤をナイフコーターを用いてそれぞれ塗布し、次いで、全体を80℃、5分間の条件で乾燥し、膜厚25μmの接着剤層18を形成し、実施例1〜5の接着フィルム10を得た。
【0042】
また、これとは別に、離型剤としてシリコーンオイルを用い、該シリコーンオイルの塗布量を0.3g/m2とした以外は、実施例1と同じ条件で比較例1の接着フィルムを作製した。また、フッ素樹脂フィルム(日東電工(株)社製の商品名「ニトフロン#900」、膜厚75μm)の表面に実施例1〜5と同じ工程で接着剤層を形成し、離型剤層を有しない比較例2の接着フィルムを作製した。これら実施例1〜5、比較例1、2の接着フィルムを用いて下記に示す「スリット性」、「加工性」、「巻じまり」の各評価試験を行った。
【0043】
〔スリット性〕
接着フィルム10を切断(スリット)して1.5mm幅の細長の小片を作製し、得られた小片を観察した。試験片の接着剤層18が剥離フィルム11に密着した状態のものを「○」、接着剤層18が剥離フィルム11から剥離したものを「×」として評価した。
【0044】
〔加工性〕
カッターを用い、接着フィルム10から接着剤層18のみを切りだした(ハーフカット)。このとき、剥離フィルム11の損傷なしに接着剤層18が切り出されたものを「○」、剥離フィルム11が破損した、又は、接着剤層18が基材12から剥離されなかったものを「×」として評価した。
【0045】
〔巻じまり〕
幅1.5mm、長さ50mの実施例1〜5、比較例1、2の接着フィルム10を作製し、これらの接着フィルム10を直径110cmのリールに一定張力(10gf/h)で巻き取り、巻き取られた状態の接着フィルム10を30℃で48時間保存した後、接着フィルム10の接着剤層18の状態を観察した。接着フィルムの接着剤層18にはみ出し等が観察されないものを「○」、接着剤層18がはみ出したものを「×」として評価した。
【0046】
上記表1から明らかなように、基材12としてフィラーを含有するPETフィルムを用いた実施例1〜5の接着フィルム10では、巻きじまりに優れた結果が得られたが、剥離フィルムとしてフッ素樹脂フィルムを用いた比較例2では、巻き取りによってフッ素樹脂フィルムに延びが生じたため、巻き取り後の接着フィルムに接着剤層のはみ出しが観察された。
【0047】
また、基材12の膜厚が12.5μmの実施例4は他の実施例に比べ加工性(ハーフカット性)が劣ったが、実用上は何の問題も無い。
基材12がフィラーを含有せず、表面粗さが0μmの実施例5では、切断時に剥離フィルム11表面から接着剤層18が剥離したが、接着剤層18の剥離の程度は実用上は問題が無い範囲であった。
【0048】
【実施例】
次に、実施例1に用いたものと同じ基材12の表面に、実施例1に用いたものと同じ離型剤を、それぞれ下記表2に示す塗布量塗布し、4種類の剥離フィルム11を作製した。次いで、これらの剥離フィルム11を用いて実施例1と同じ工程で実施例6〜9の接着フィルム10を作製した。
【0049】
【表2】
【0050】
これら実施例6〜9の接着フィルム10と、上記実施例1〜5、比較例1、2の接着フィルム10とを用いて下記に示す「外観」、「コスト」、「剥離力」、「接着力」、「導通」、「スタートエンド剥離強度」の各試験を行った。
〔外観〕接着フィルム10を観察し、接着剤層18中に空孔(ピンホール)が観察されないものを「○」、空孔が観察されるものを「×」として評価した。
【0051】
〔剥離力〕接着フィルム10の接着剤層18を剥離フィルム11から剥離するときに必要な力を測定した。
〔コスト〕接着フィルム10の製造コストを、一般的な剥離PETフィルムを用いた場合の製造コストよりも低い場合を「○」、製造コストが高いが、実施可能な範囲である場合を「△」、製造コストが高く、実施不可能な場合を「×」として評価した。
【0052】
〔接着力〕
実施例1〜9、比較例1、2の接着フィルムを用いて上記図2(a)〜(e)の工程で基板21と半導体チップ31とを接続した後、半導体チップ31から基板21を剥離する際に必要な力(接着力)を測定した(初期)。これとは別に、接着フィルム10を温度条件50℃で24時間保存(エージング)した後、上記と同様の条件で接着力を測定した(エージング後)。
【0053】
ここでは、半導体チップ31として、平面形状が6.3mm角の正方形であり、平面形状が50μm角の正方形であり、高さが20μmである接続端子33が240個形成されたものを用い、基板21として厚さ20μmのポリイミドフィルム(ベースフィルム22)表面に幅50μmの金属配線23(ここでは、膜厚12μmの銅配線表面に金メッキ層を形成したものを用いた)を50μmの間隔を開けて複数本配置したものを用い、加熱温度190℃、荷重5.85kPa、10秒間の条件で熱圧着を行った。
【0054】
〔導通〕実施例1〜5、比較例1、2の接着フィルム10を用いて上記図2(a)〜(e)に示した工程で7種類の電気装置1を作製した。ここでは、平面形状が1cm角のチップ本体32に平面形状が100nm角、高さ20μmの接続端子33を150nmの間隔で264個形成したものを半導体チップ31として用い、膜厚25μmのポリイミドフィルム(ベースフィルム22)の表面に、膜厚12μmの銅配線(金属配線23)を形成したものを基板21として用いた。
【0055】
これら7種類の電気装置1の基板21と半導体チップ31との導通を測定した後(初期)、それらの電気装置1を240℃に加熱(リフロー)し、加熱後の導通を測定した(リフロー後)。測定された導通抵抗値が10mΩ未満のものを「○」、10mΩ以上50mΩ未満のものを「△」、50mΩ以上のものを「×」として評価した。
【0056】
〔スタートエンド剥離強度〕
実施例1〜5、比較例1、2の接着フィルム10を長さ10mになるよう作製し、得られた接着フィルム10の長さ方向の一方の端部(スタート)と、他方の端部(エンド)とからそれぞれ小片を切りだし、得られた小片について上記「剥離力」と同じ条件で剥離力の測定をそれぞれ行い、一方の端部から切りだした小片の剥離力と、他方の端部から切り出した小片の剥離力との差を求めた。
【0057】
実施例6〜7について得られた測定結果及び評価結果を上記表2に、実施例1〜5、比較例1、2について得られた測定結果及び評価結果を下記表3にそれぞれ記載した。
【0058】
【表3】
【0059】
上記表2、表3から明らかなように、実施例1〜9の接着フィルムでは「外観」、「導通」共に高い評価が得られただけでは無く、「初期」と「エージング後」で接着力の差も無かった。
また、スタードエンド剥離試験において得られた剥離強度の差も小さく、本発明の接着フィルム10は比較例1、2に比べ接着フィルム10の剥離強度にむらが無いことが確認された。
【0060】
他方、離型剤としてシリコーンオイルを用いた比較例1や、剥離フィルムとして離型剤層を有しないフッ素樹脂フィルムを用いた比較例2では、接着剤層中に気泡が確認されただけでは無く、スタートエンド剥離強度で得られた剥離強度の差も大きかった。
【0061】
これらのうち、シリコーンオイルを用いた比較例1ではリフロー後の「導通」の評価が悪かった。これは剥離フィルムを剥離した後の接着剤層表面にシリコーンオイルが残留し、残留したシリコーンオイルによってリフロー中に導通不良が生じたためである。
【0062】
【実施例】
フィラーを分散させたフィルム状のPET(表面粗さ5μm)を基材として用い、上記実施例1と同じ条件で比較例3の接着フィルムを作成した。比較例3、上記実施例2、3、5の接着フィルム10の接着剤層18を剥離フィルム11からそれぞれ剥離し、接着剤層18の剥離フィルム11から剥離された側の面(剥離面)について、レーザー顕微鏡干渉計であるLasertec社製の商品名「Laser Microscope ILM21」を用い、表面粗さを測定した。それらの測定結果を図4のグラフに記載する。
【0063】
図4のグラフの縦軸は接着剤層18の剥離面の表面粗さ(μm)を、横軸は基材12表面の粗さ(μm)をそれぞれ示しており、図4の符号Lは得られたグラフの曲線を示している。図4からから明らかなように、基材12表面の粗さと接着剤層18の剥離面の粗さには相関性があり、基材12表面の粗さが3μmを超える場合には、接着剤層18の粗さが2μmを超えることが確認された。
次に、上記実施例2、3、5、及び比較例3の接着フィルム10を用いて下記に示す「気泡」の試験を行った。
【0064】
〔気泡〕接着フィルム10から幅2mmの小片を切りだし、試験片とした。これらの試験片の剥離フィルム11を接着剤層18から剥離し、接着剤層18の剥離フィルム11が剥離された面を、ガラス基板表面にそれぞれ押し当て、80℃、3kgf/cm2の条件で加熱押圧を行った(仮圧着)。次いで、仮圧着後の接着剤層18を観察した。接着剤層18中に気泡が無いものを「○」、接着剤層18の端部にのみ気泡が観察されるものを「△」、端部だけでは無く、接着剤層18の中央部分にも気泡が観察されるものを「×」として評価した。これらの評価結果を、基材12表面の粗さと共に下記表4に記載した。
【0065】
【表4】
【0066】
上記表4から明らかなように、実施例2、3、5の接着フィルム10では接着剤層18に気泡が殆ど観察されず、特に、実施例2、3では接着フィルム10の端部にも気泡が観察されなかった。他方、比較例3の接着フィルムでは、基材表面の粗さが大きすぎたため、剥離フィルムと接着剤層との間に多くの気泡が確認された。
【0067】
【実施例】
次に、上記実施例1に用いたものと同じ剥離フィルム11を実施例10とし、実施例10の剥離フィルム11を用いて下記に示す「接触角」と「接着剤ハジキ」の各試験をそれぞれ行った。
〔接触角〕剥離フィルム11の離型剤層15表面と、水との接触角を測定した。同様に、離型剤層15表面とシリコーンオイルとの接触角を測定した。尚、接触角測定時の温度は25℃であった。測定された各接触角を下記表2、接触角の水の欄とシリコーンオイルの欄にそれぞれ記載する。
【0068】
〔接着剤ハジキ〕剥離フィルム11をA4の大きさに切りだし、切りだした剥離フィルム11の離型剤層15表面一面に、実施例1に用いたものと同じ接着剤を塗布し、形成された接着剤の塗布膜を観察した。
形成された塗布膜の膜厚が均一であり、塗布膜中に空孔(ハジキ)が観察されない場合を「○」、離型剤層15表面に直径5μm以下の空孔が1個以上3個以下確認されるものを「○−△」、塗布膜の一部分に4個以上の空孔が観察されるものを「△」、塗布膜一面に空孔が観察されるものを「×」として評価した。これらの評価結果を下記表5に記載した。
【0069】
【表5】
【0070】
尚、比較例4〜7はそれぞれPETフィルムからなる基材表面にシリコーンオイルからなる離型剤層を形成した場合である。比較例4に用いた剥離フィルムは、帯電防止能が付与されたPETフィルム(膜厚25μm)を基材として用いた場合である。比較例5〜7は帯電防止能の付与された白色PETフィルム(フィラー含有、膜厚50μm)の表面に、それぞれ異なる種類のシリコーンオイルを用いて離型剤層を形成した場合である。また、比較例8は上記比較例2に用いたものと同じ剥離フィルムを用いた場合である。
【0071】
上記表5から明らかなように、実施例10の剥離フィルム11は、離型剤層15表面と水との接触角が100°以上140°以下であり、シリコーンオイルとの接触角が30°を超え、かつ50°以下であった。このような表面特性を有する実施例10の剥離フィルム11では、塗布膜にハジキは見られなかった。
【0072】
他方、離型剤としてシリコーンオイルを用いた比較例4〜7と、離型剤層を有しないフッ素樹脂フィルムからなる比較例8では、シリコーンオイルとの接触角が30°以下であり、このような剥離フィルムでは接着剤の塗布膜にハジキが観察された。
【0073】
【発明の効果】
スリット性が高く、かつ、剥離フィルムを接着剤層から剥離した際に接着剤層に離型剤が残留しない接着フィルムを得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】(a)〜(c):接着フィルムを製造する工程を説明するための図
【図2】(a)〜(e):電気装置を製造する工程を説明するための図
【図3】接着フィルムの他の例を説明するための図
【図4】基材表面の粗さと、接着剤層表面の粗さとの関係を示したグラフ
【図5】(a)〜(e):従来技術の接着フィルムを用いて電気装置を製造する工程を説明するための図
【符号の説明】
10……接着フィルム
11……剥離フィルム
12……基材
15……離型剤層
18……接着剤層
Claims (6)
- 基材と、基材表面に形成された離型剤層とを有する剥離フィルムと、前記剥離フィルムの前記離型剤層表面に配置された接着剤層とを有し、
前記基材の前記離型剤層が配置された側の面の表面粗さが3μm以下であり、
前記離型剤層がフッ素化合物を主成分とする接着フィルムであって、
前記接着剤層はエポキシ樹脂を有し、
前記フッ素化合物の主成分はC8F16Oと、C8F18のいずれか一方又は両方を含有し、
前記基材は、フィルム状に成形されたポリエステル樹脂を主成分とし、
前記接着剤層を引き剥がすと、前記接着剤層と前記離型剤層との界面で剥離が起こり、前記離型剤層は前記基材表面に残る接着フィルム。 - 基材と、基材表面に形成された離型剤層とを有する剥離フィルムと、前記剥離フィルムの前記離型剤層表面に配置された接着剤層とを有し、
前記基材の前記離型剤層が配置された側の面の表面粗さが1μm以上3μm以下であり、
前記離型剤層がフッ素化合物を主成分とする接着フィルムであって、
前記接着剤層はエポキシ樹脂を有し、
前記フッ素化合物の主成分はC8F16Oと、C8F18のいずれか一方又は両方を含有し、
前記基材は、フィルム状に成形されたポリエステル樹脂を主成分とし、
前記接着剤層を引き剥がすと、前記接着剤層と前記離型剤層との界面で剥離が起こり、前記離型剤層は前記基材表面に残る接着フィルム。 - 前記離型剤層は、前記フッ素化合物を主成分とする離型剤を前記基材表面1m2当たり0.01g以上5g以下塗布されてなる請求項1又は請求項2のいずれか1項記載の接着フィルム。
- 前記離型剤層の水に対する接触角が100°以上140°以下であり、シリコーンオイルに対する接触角が30°を超え、かつ、50°以下である請求項1又は請求項3のいずれか1項記載の接着フィルム。
- 前記基材の膜厚が12.5μm以上100μm以下である請求項1又は請求項2のいずれか1項記載の接着フィルム。
- 前記基材はフィルム状に成形された前記ポリエステル樹脂と、前記ポリエステル樹脂中に分散されたフィラーとを有する請求項5記載の接着フィルム。
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