JP3667493B2 - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体装置の製造方法に関し、特に絶縁膜に接続孔を形成するためのドライエッチングを含む半導体装置の製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
多層配線を有する半導体装置において、配線層間の絶縁は層間絶縁膜によって行われる。配線層間の電気的接続を形成するために、レジストパターンを用いて層間絶縁膜を貫通する接続孔が形成される。高いパターン精度を得るために異方性エッチングまたは等方性エッチングと異方性エッチングとの組み合わせが用いられる。層間絶縁膜の異方性エッチングにはCF4 、CHF3 、C2 F6 、C4 F8 等のフッ素を含むエッチングガスが用いられる。接続孔形成後、レジストパターンは除去される。
【0003】
ところで、接続孔形成工程終了後、接続孔部にクラウンと呼ばれる残さが残ることがある。クラウンを残したまま引き続く工程を行うと歩留り低下、信頼性低下の原因となる。そこでクラウンを除去する種々の方法が提案されている。
【0004】
特開平6−37188号は、アルミニウム配線上のレジストをアッシングする際に、まずレジストを部分的にアッシング(ハーフアッシング)し、その後発煙硝酸により残りのレジストとクラウンを同時に除去する方法を提案している。
【0005】
しかしながら、この方法をアルミニウムまたはアルミニウム合金の層とその上に形成したTi化合物等のキャップ層とを含む積層配線に適用すると、キャップ層が硝酸によって消失してしまうという問題が生じる。
【0006】
特開平6−77178号は、アルミニウム合金層の上にTiON反射防止膜を積層した配線を有する半導体装置の製造方法においてクラウンを除去する方法を提案している。
【0007】
レジストパターンを用いて層間絶縁膜を貫通し、アルミニウム合金層に達する接続孔を形成する際、接続孔を途中まで形成してから、一旦エッチングを停止し、酸素プラズマによるアッシングによってレジストパターンの側壁を後退させてから、エッチングを再開する。レジストと接続孔との側壁に形成される再付着物層を分断することで、その後の硝酸等による再付着物層の除去を容易にしている。
【0008】
しかしながら、エッチングの途中でレジストパターンを後退させるとエッチングの精度は低下する。また、硝酸を用いて再付着物層を除去するとアルミニウム合金層上のTiON反射防止膜等を残しておきたい場合にも消失してしまう恐れがある。アルミニウム合金層上にTi化合物等のキャップ層を形成した場合も同様である。
【0009】
特開平7−99188号は、層間絶縁膜を貫通してアルミニウム合金層に達する接続孔を形成する際に、O2 を含まないガスに窒素を添加してエッチングを行う方法を提案している。
【0010】
アルミニウムがスパッタされて側壁上に再付着しても再付着物が硬化することを防止できる。エッチング後に硝酸洗浄と水洗浄を行う。
【0011】
しかしながら、この方法をアルミニウム合金層上にTi合金等のキャップ層を設けた配線構造に適用すると、硝酸によってキャップ層が消失してしまうという問題が生じる。
【0012】
【発明が解決しようとする課題】
以上説明したように、従来の技術によれば、絶縁層を貫通して配線層に達する接続孔をエッチングする際発生するクラウンを除去しようとすると、配線層に影響を与える可能性が高かった。
【0013】
本発明の目的は、配線層に与える影響が少なく、クラウンを有効に除去することの可能な半導体装置の製造方法を提供することである。
【0014】
【課題を解決するための手段】
本発明の一観点によれば、a)半導体基板上に、AlまたはAl合金から成る層とその上に形成したTiまたはTi合金から成る層との積層を含む配線層を形成する工程と、b)前記配線層上にレジスト層を塗布し、パターニングすることによって配線用レジストパターンを形成する工程と、c) 前記配線用レジストパターンをマスクとして、前記配線層をパターニングすることにより配線パターンを形成する工程と、d)前記配線パターンを覆って前記半導体基板上に層間絶縁膜を形成する工程と、e) 前記層間絶縁膜上にレジスト層を塗布し、パターニングすることによって接続孔用レジストパターンを形成する工程と、f)前記接続孔用レジストパターンをマスクとして前記層間絶縁膜をフッ素を含むエッチングガスを用いてドライエッチングし、前記配線パターンに達する接続孔を形成する工程と、 g)工程f)に続いて前記半導体基板にピリジンによる洗浄を施す工程と、h) 工程g)に続いて、前記接続孔用レジストパターンをアッシングする工程とを含む半導体装置の製造方法が提供される。
【0015】
クラウンは、層間絶縁膜を貫通して配線層に達する接続孔のエッチングにおいてオーバーエッチングを行う際、配線層の表面がイオンによりスパッタされ、AlやTiのフッ化物が接続孔の側壁やレジストパターンの側壁に付着することが原因と考えられる。これらの付着物がレジスト剥離のアッシングの際に酸化されると、除去が困難な形状不定の安定な酸化物になってしまう。
【0016】
ところが、Alのフッ化物AlF3 は、25℃において水に対する溶解度が0.559g/100mlあり、水に可溶性である。また、Tiのフッ化物TiF4 は硫酸、アルコール、ピリジン、水に溶け、分解されることが知られている。ただし、水を用いる場合には水の温度は室温より低いことが好ましい。
【0017】
アッシングによりAlF3 やTiF4 が酸化される前にAlF3 やTiF4 を溶解させ、接続孔側壁から取り去ることによりクラウンの発生を防止できると考えられる。
【0018】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明を説明する。
【0019】
図1(A)に示すように、Si基板1の表面上には、絶縁層2が形成されている。絶縁層2は、フィールド酸化膜であってもよいし、Si基板1表面部分にトランジスタ等の回路要素を形成した後、その表面を覆って形成された層間絶縁膜であってもよい。絶縁層2は、例えばSiO2 である。
【0020】
絶縁層2の表面上に、TiN膜3a、Al合金層3b、TiN層またはTiW層3cの積層から成る配線層3が堆積されている。Al合金は、たとえばAl−Si、Al−Cu、Al−Si−Cu等である。なお、Al合金の代わりにAlを用いてもよい。また、TiN膜の代わりにTiW等の他のTi合金膜またはTi膜を用いることもできる。Ti膜とTiN膜の積層を用いてもよい。
【0021】
配線層3の上に、ノボラックレジスト等のレジスト膜を塗布し、露光、現像することによってレジストパターン4を作成する。レジストパターン4をエッチングマスクとして用い、下の配線層3を異方的にエッチングする。この配線層3のエッチングは、たとえば誘導結合プラズマエッチング装置を用いて行うことができる。
【0022】
図2は、誘導結合プラズマエッチング装置の構成例を示す。エッチングチャンバ11は、上部に誘電体窓板12を有し、下部にウエハのサセプタとなる底部電極13を有する。誘電体窓板12、底部電極13を含むエッチングチャンバ11は真空排気可能な気密容器を構成する。底部電極13には、高周波電源14から13,56MHzの高周波電力が供給される。
【0023】
また、誘電体窓板12の上には、誘導コイル15が配置されており、誘導コイル15は高周波電源16に接続されている。高周波電源16は13.56MHzの高周波電力を誘導コイル15に供給する。
【0024】
図示しないガス導入口から塩素系ガス等のエッチングガスを導入し、排気口から排気することにより、エッチングチャンバ11内を適当な圧力のエッチングガス雰囲気に維持することができる。エッチングガスを導入した状態で、エッチングチャンバ11内にRF電力を供給することにより、プラズマ19を発生させることができる。
【0025】
たとえば、エッチングガスとしてCl2 /BCl3 /CHF3 (流量比:50/50/5sccm)を用い、チャンバ内圧力を10mTorrに保ち、誘導コイル15に350Wの高周波電力を供給し、底部電極13に130Wの高周波電力を供給することによって配線層のドライエッチングを行う。
【0026】
このようなドライエッチングにより、図1(A)に示すように、レジストパターン4の形状に沿った形に配線層3が異方的にエッチングされる。なお、誘導結合プラズマエッチングの代わりに平行平板型プラズマエッチング等の他のドライエッチングを用いてもよい。その後、レジストパターン4は除去する。
【0027】
図1(B)に示すように、パターニングした配線層3を覆ってSi基板1表面上に層間絶縁膜5を堆積する。たとえば、ソースガスとしてテトラエキシシラン(TEOS)を用い、プラズマCVDによりTEOS酸化膜を厚さ500nm堆積させる。TEOS酸化膜は、平坦化機能を有し、配線パターン3と比べ平坦化された表面を形成する。他の種類の酸化膜や酸化窒化膜、他の絶縁膜、複数の絶縁層の積層等で層間絶縁膜を形成してもよい。
【0028】
図1(C)に示すように、層間絶縁膜5表面上にレジスト膜を塗布し、露光現像することによってレジストパターン6を形成する。レジストパターン6は、配線層3上方に接続孔形成用の開口6aを有する。
【0029】
図1(D)に示すように、レジストパターン6をエッチングマスクとして用い、層間絶縁膜5に対してBHFの等方性エッチングを所望の深さ行う。レジストパターン6の開孔6a下部の層間絶縁膜がエッチングされると共に、等方性エッチングによりレジストパターン6の下側にもサイドエッチングが進み、ワイングラス状の断面形状7が形成される。この初期エッチングにおけるエッチング量は、たとえば深さ200nm〜400nmにする。
【0030】
図1(E)に示すように、等方性エッチングに続き、層間絶縁膜5の異方性ドライエッチングを行ってワイングラス状の断面形状7の下にほぼ垂直な側壁を有する接続孔8を形成する。接続孔8のエッチングはレジストパターン6の開口6aの形に倣い、下の配線層3が露出するまで行う。
【0031】
この異方性エッチングは、たとえばCH2 F2 、CF4 +CHF3 、C2 F6 、C4 F8 、あるいはこれらの組み合わせからなるガス等のフッ素を含むガスを用いたドライエッチングにより行う。この層間絶縁膜5に対するドライエッチングは、配線層3が露出した後は配線層3もエッチしてしまう。
【0032】
図3は、層間絶縁膜の異方性エッチングを行うために用いるエッチング装置の例としてマグネトロン反応性イオンエッチング(RIE)装置の構成を概略的に示す。図3(A)に示すように、エッチングチャンバ21内の上方には多数のガス吹き出し口を有する上部電極22が配置されている。上部電極22は、電気的には例えば接地される。上部電極22と対向するように、エッチングチャンバ21内の下方に下部電極23が配置されており、13.56MHzの高周波電源24に接続されている。
【0033】
エッチングチャンバ21の下部には排気口が設けられ、真空排気装置に接続されている。下部電極23の上に、エッチングを行う半導体ウエハ18を載置する。さらに、下部電極23の表面と平行な方向に磁場Bが印加される。
【0034】
図3(B)は、磁場Bを形成するための構成例を示す。図示の構成においては、X方向に磁場を発生させるためのX軸磁石MxとY方向の磁場を発生させるためのY軸磁石Myとが組み合わされて配置されている。磁石Mx、Myは永久磁石であっても電磁石であってもよい。
【0035】
たとえば、エッチングガスとしてCF4 /CHF3 /Ar(流量比:5/30/60sccm)を用い、チャンバ内圧力200mTorrとし、下部電極23に700Wの高周波電力を供給し、磁束密度B=30Gaussの条件下で層間絶縁膜を貫通する接続孔の異方性エッチングを行う。
【0036】
図1(E)に示すように、配線層3の表面が露出するまで層間絶縁膜5をエッチングし、さらにオーバーエッチングを行うと、配線層3の表面がスパッタされ、接続孔8側壁上にTiF4 、AlF3 等を含んだ側壁保護膜9が形成される。この側壁保護膜は、異方性エッチングを行うためには有効なものであるが、酸化されると安定な化合物に変化し、除去が困難となる。すなわち、クラウンの原因である。
【0037】
図1(F)に示すように、半導体ウエハを水10中に浸積し、洗浄を行う。水温は室温(25℃)より低いことが好ましい。この時、水10に超音波を印加し超音波洗浄を行えば、さらに洗浄効果が向上する。TiF4 やAlF3 は水に可溶もしくは分解可能なため、水洗を行うことにより側壁保護膜9は消滅する。
【0038】
なお、TiF4 を除去するためには、水のほかアルコール、ピリジンを用いることもできる。アルコールとしては、メチルアルコール(CH3 OH)、エチルアルコール(C2 H5 OH)、イソプロピルアルコール{CH3 CH(OH)CH3 }等を用いることができる。ピリジンとしては、ピリジン(C5 H5 N)、ピコリン(メチルピリジン:C6 H7 N)、ルチジン(ジメチルピリジン:C7 H9 N)、コリジン(エチルメチルピリジン:C8 H11N)や、エチルピリジン、トリメチルピリジン、プロピルピリジン、テトラメチルピリジン等を用いることができる。
【0040】
側壁保護膜除去後、半導体ウエハをアッシング装置に搬入し、レジストパターン6を酸素プラズマのアッシングにより除去する。
【0041】
図4は、アッシング装置の構成例を概略的に示す。真空容器31内にウエハチャック32が配置され、その上に半導体ウエハ18を載置する。真空容器31には軸対称な形状に排気孔35が設けられている。
【0042】
真空容器31の上部には、酸素を含むガスを導入するための石英等で形成されたガス配管33が接続されている。ガス配管33の一部は、マイクロ波キャビティ34と結合されている。ガス配管33のマイクロ波キャビティ34内の部分でマイクロ波によるプラズマ36が発生する。
【0043】
たとえば、マイクロ波パワー:400WでO2 流量を6slm、N2 O流量を0.5slmとし、圧力を4Torrに保ち、ウエハチャック32の温度を240℃に設定し、約60秒間の処理を行うことにより、レジストパターン6をアッシングすることができる。
【0044】
図1(G)は、このようにしてレジストパターンをアッシングした後の半導体ウエハの構造を示す。なお、アッシングに続き、レジスト剥離液を用いた洗浄を行うことが好ましい。たとえばアミン系の有機有機溶剤による洗浄を行う。アミン系有機溶剤としては、たとえばモノエタノールアミンとジメチルスルフォキシドの混合液を用いることができる。
【0045】
なお、ワイングラス形状部分を有する接続孔を形成する場合を説明したが、異方性エッチングのみで層間絶縁膜5の全深さに亘りほぼ垂直な側壁を有する接続孔を形成してもよい。また、接続孔側壁が傾斜するようなエッチングを行ってもよい。
【0046】
その後、上層配線層を堆積し、図1(A)を参照して説明した工程と同様のパターニング工程を行って上層配線パターンを形成する。上層配線パターンを覆って絶縁層を形成する。必要に応じて接続孔形成、上層配線パターン形成、絶縁層形成の工程を繰り返す。
【0047】
図5は、上述の接続孔形成工程と、従来技術による接続孔形成工程を行った場合の実験結果を示す。
【0048】
図5(A)は、接続孔形成用の異方性ドライエッチングの後、水洗を行い、その後アッシングおよび剥離液洗浄を行った場合の結果を示すスケッチである。図5(B)は水洗を行わず、接続孔形成用ドライエッチングに続き、アッシングおよび剥離液洗浄を行った場合の結果を示すスケッチである。
【0049】
両図において、サンプルの構成は下地層41の上にAl−Si−Cu合金層42、TiN層43を堆積し、その上にTEOS酸化膜44によって層間絶縁膜を形成した構造を有する。この層間絶縁膜44に、ワイングラス型形状45aおよびほぼ垂直な側壁45bを有する接続孔をエッチングによって形成している。
【0050】
図5(B)に示す従来技術の場合は、ほぼ垂直な側壁45b部分にクラウン47が形成され、さらにワイングラス状部分に残さ物の堆積46が認められる。これに対し、上述の方法で接続孔を形成した図5(A)においては、わずかに残さ物46が認められるが、接続孔を連続的に取り込むようなクラウンは形成されていない。
【0051】このように、アッシング前に水洗を行うと、エッチングの副産物である残さ物を大幅に減少できることが判った。
【0052】
以上、本発明を説明したが、本発明はこれらに制限されるものではない。たとえば種々の変更、改良、組み合わせ等が可能なことは当業者に自明であろう。
【0053】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、配線層に与える影響が少なく、層間絶縁膜エッチング時の残さを効率的に除去することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 半導体装置の製造方法を説明するための半導体ウエハの概略断面図である。
【図2】 誘導結合プラズマエッチング装置の構成例を示す概略断面図である。
【図3】 マグネトロンRIE装置の構成を示す概略断面図および磁石の概略斜視図である。
【図4】 マイクロ波アッシング装置の構成を示す概略断面図である。
【図5】 従来技術による接続孔の表面状態と、形成後に水洗してからアッシングした接続孔の表面状態とを比較して示すスケッチである。
【符号の説明】
1 Si基板、 2 絶縁膜、 3 配線、 4 レジストパターン、 5 層間絶縁膜、 6 レジストパターン、 6a 開口、 7 ワイングラス形状、 8 接続孔、 9 側壁保護膜、 10 水
Claims (5)
- a)半導体基板上に、AlまたはAl合金から成る層とその上に形成したTiまたはTi合金から成る層との積層を含む配線層を形成する工程と、
b) 前記配線層上にレジスト層を塗布し、パターニングすることによって配線用レジストパターンを形成する工程と、
c) 前記配線用レジストパターンをマスクとして、前記配線層をパターニングすることにより配線パターンを形成する工程と、
d) 前記配線パターンを覆って前記半導体基板上に層間絶縁膜を形成する工程と、
e) 前記層間絶縁膜上にレジスト層を塗布し、パターニングすることによって接続孔用レジストパターンを形成する工程と、
f) 前記接続孔用レジストパターンをマスクとして前記層間絶縁膜をフッ素を含むエッチングガスを用いてドライエッチングし、前記配線パターンに達する接続孔を形成する工程と、
g) 工程f)に続いて前記半導体基板にピリジンによる洗浄を施す工程と、
h) 工程g)に続いて、前記接続孔用レジストパターンをアッシングする工程とを含む半導体装置の製造方法。 - さらに、i)工程h)に続いて、有機溶剤から成る液体で前記半導体基板を洗浄する工程を含む請求項1記載の半導体装置の製造方法。
- 工程g)が前記液体に超音波を印加して洗浄を行うことを含む請求項1または2記載の半導体装置の製造方法。
- 工程f)が、等方性エッチングを行い、その後異方性エッチングを行う請求項1〜3のいずれかに記載の半導体装置の製造方法。
- 工程f)において、フッ素を含むエッチングガスは、CH2F2 、CF4 、CHF3 、C2 F6 、C4 F8 あるいはこれらの組み合わせからなるガスである請求項1記載の半導体装置の製造方法。
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