JP3656918B2 - 電動レボルバ制御装置 - Google Patents
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 28
- 230000006870 function Effects 0.000 claims description 4
- 230000002829 reductive effect Effects 0.000 description 7
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 239000003550 marker Substances 0.000 description 3
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 3
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000002441 reversible effect Effects 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 230000002401 inhibitory effect Effects 0.000 description 1
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は、顕微鏡等に用いられる複数の対物レンズを切換え可能な電動レボルバ制御装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年レボルバの回転は、（１）作業のスピードアップ、（２）操作による試料（標本）近傍のごみの落下防止等の観点から、電動機等により電気的に回転制御することが多くなっている。
【０００３】
従来この種の電動レボルバとして、特開平３ー２１３８１１号公報で示すものがあり、これにはレボルバの位置制御、対物レンズの指定のためのスイッチ等の構成が開示されている。
【０００４】
この公報に代表される電動レボルバは、スピードアップ、ごみ問題等で有用であるが、一方電気的に高速で動くため、不慮の事故も生じやすい。つまり、対物レンズは、一般にレボルバ取付け面と焦点面との距離を同一に設定しているが、実際の焦点面の位置は個々の対物レンズによって多少のずれがある（同焦誤差）。また、低倍率で焦点深度の深い対物レンズの場合、ピントを合わせた状態でも実際には試料と対物レンズとの距離が焦点深度の範囲内で真の値より短くなっている場合がある。さらに、試料が平坦でなく、段差を有している場合もある。このような状態で使用中の対物レンズより作動距離の短い（高倍率の）対物レンズに切換えようとすると、試料と対物レンズとが衝突して一方または双方が損傷する可能性がある。
【０００５】
この問題は、電動レボルバ固有であり、手動のレボルバにあっては、手で回して確認しながら行えるので、破損の危険性が少ない。
最近の顕微鏡の対物レンズは、作動距離（ＷＤ：対物レンズの先端と焦点面までの距離）が小さく、特に低倍率から高倍率へ５〜６本の対物レンズをつける場合、高倍率対物レンズの作動距離は、低倍率の対物レンズの１／１０（１mm）以下となる。さらに、焦点深度も低倍率である程深くなるので、高倍率での焦点位置とのずれが大きくなる恐れが大きい。特に、この問題で深刻なのは、大形の半導体検査等の場合である。
【０００６】
この作業は、主に低倍率と高倍率の２種類の対物レンズの相互変換により検査を行う。例として、対物レンズは各種倍率（５×，１０×，２０×，５０×，１００×）のものが５本付いており、主に使用するのは、５×，５０×である。作業者は、まず、５×で試料を観察し、レボルバ切換スイッチにより、順次または直接５０×へと切換える。
【０００７】
この場合、１００×の対物レンズは例えば１mmと作動距離が極端に短いことが多く、検査では特に詳しく観察する必要のある場合にしか使用しない。また、１００×を使用するときは、まず５０×でピント合せた後、１００×に切換えるので、焦点位置のずれは小さくて済み、衝突の恐れは小さい。
【０００８】
しかし、作業者は、安全に対物レンズの切換えができる５×〜５０×の間で検査を行うが、ブラインド操作によるスイッチの押し間違いや、レボルバの制御により作業者の意図に反して１００×を通る場合があるため、その度に試料と対物レンズの衝突がないかどうかを気にしなければならない。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
以上のような問題点を解決するため、現状でも以下に述べるような対策が講じられている。
１）長い作動距離の対物レンズを使用する方法
作動距離が長く設計された対物レンズをラインアップし、高倍率でも数mmの作動距離を確保できるようにしたものを使用しているが、この場合には解像力が劣ったり、高価であるという問題点がある。
【００１０】
２）緊急退避を考慮した方法（特開平４ー２０９１１号公報）
対物レンズが試料に衝突しそうになったら、別に設けられた緊急退避スイッチを操作すると、レボルバが元に戻るが、この場合タイミングが狂うと間に合わず、１度衝突してから緊急退避スイッチを操作すると再び衝突するという問題点がある。
本発明の目的は、対物レンズと試料の衝突を極力防止できる電動レボルバ制御装置を提供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
前記目的を達成するため、請求項１に対応する発明は、複数の対物レンズが作動距離を基準に配置固定され、回転可能に構成されたレボルバと、このレボルバに対して回転駆動力を与え、前記対物レンズのうちの一つを光路に移動させる電動機ならびにこの電動機に回転制御指令を与えるドライバと、前記光路に現在位置決めされている対物レンズの作動距離を認識するセンサと、前記各対物レンズに対応して設けられ、前記光路に目的とする対物レンズを選択可能なレボルバスイッチと、このレボルバスイッチにより選択された対物レンズの作動距離を認識し、この認識作動距離と前記センサにより認識された現在の対物レンズの作動距離を比較し、この比較結果により前記ドライバに対して回転方向指令を出力する制御回路を備え、前記制御回路は、現在の対物レンズの作動距離より目的とする対物レンズの作動距離が小さいときは、前記対物レンズの作動距離が小さくなる方向に、逆に現在の対物レンズの作動距離より目的とする対物レンズの作動距離が大きいときは、前記対物レンズの作動距離が大きくなる方向に、前記レボルバを回転するように前記ドライバに対して回転方向指令を出力することを特徴とする電動レボルバ制御装置である。
【００１２】
前記目的を達成するため、請求項２に対応する発明は、次のように構成したものである。すなわち、複数の対物レンズが作動距離を基準に配置固定され、回転可能に構成されたレボルバと、このレボルバに対して回転駆動力を与え、前記対物レンズのうちの一つを光路に移動させる電動機ならびにこの電動機に回転制御指令を与えるドライバと、前記対物レンズ毎の少なくとも作動距離を記憶するメモリと、前記光路に現在位置決めされている対物レンズを認識するセンサと、前記各対物レンズに対応して設けられ、前記光路に目的とする対物レンズを選択可能なレボルバスイッチと、このレボルバスイッチにより選択された対物レンズの作動距離と前記センサにより認識された現在の対物レンズの作動距離とを、前記メモリから読み出して比較し、この比較結果により前記ドライバに対して回転方向指令を出力する制御回路を備え、前記制御回路は、現在の対物レンズの作動距離より目的とする対物レンズの作動距離が小さいときは、前記対物レンズの作動距離が小さくなる方向に、逆に現在の対物レンズの作動距離より目的とする対物レンズの作動距離が大きいときは、前記対物レンズの作動距離が大きくなる方向に、前記レボルバを回転するように前記ドライバに対して回転方向指令を出力することを特徴とする電動レボルバ制御装置である。
【００１３】
前記目的を達成するため、請求項３に対応する発明は、次のように構成したものである。すなわち、前記制御回路は、前記センサにより認識された現在の対物レンズの作動距離が最小のときは、最短の回転方向となるように前記ドライバに対して回転方向指令を出力する機能が付加されていることを特徴とする請求項１又は２記載の電動レボルバ制御装置である。
前記目的を達成するため、請求項４に対応する発明は、次のように構成したものである。すなわち、前記制御回路は、前記センサにより認識された現在の対物レンズの作動距離が最も大きいときに、前記レボルバスイッチの操作によりさらに作動距離が最も小さい対物レンズに切換える操作が選択されたときには、前記レボルバの回転を禁止するようにした
ことを特徴とする請求項１又は２記載の電動レボルバ制御装置である。
前記目的を達成するため、請求項５に対応する発明は、次のように構成したものである。すなわち、前記制御回路は、現在の対物レンズから目的とする対物レンズに切換えるとき、目的とする対物レンズに最短ルートで変換できる速度優先モードと、対物レンズと試料の保護を優先させるモードとが選択できることを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の電動レボルバ制御装置である。
【００１４】
【作用】
請求項１及び２に対応する発明によれば、対物レンズの切換時急激な作動距離の減少がなくなるので、対物レンズと試料の衝突が避けられる。
請求項３に対応する発明によれば、対物レンズの作動距離を小さい側から大きい側に切換るとき、最短ルートで対物レンズが切換えられるので、対物レンズの切換時間のロスが少ない。
【００１５】
請求項４に対応する発明によれば、対物レンズの作動距離が最大から最小に切換えられることがないので、操作ミス等で対物レンズと試料の衝突の危険を避けることができる。
請求項５に対応する発明によれば、最短ルートで対物レンズを変換できる速度優先のモードと、対物レンズと試料の保護を優先させるモードが、作業者側で選択でき、この結果、種々の用途にも適用が可能になる。
【００１６】
【実施例】
以下、本発明の実施例について図面を参照して説明する。
＜第１実施例＞
図１は、本発明の第１実施例の概略構成を示す図であり、電動レボルバ１は、回転自在に支持された円板状の取付体２と、取付体２に円環状に所定の順序で配置され、倍率が例えば５倍（以下５×と称する），１０×，２０×，５０×，１００×と異なる複数の対物レンズ（１〜５）３と、取付体２を回転するための回転用電動機（回転用モータ）４と、取付体２に有する対物レンズ３を取付けるための取付け穴の位置を認識する機能を有し、取付体２の外周面に配列されている図示しない磁気部材の配列パターンを検出できる磁気センサ５を備えている。磁気センサ５は、例えば取付体２の外周面に配列される例えば３種類の磁性材パターンを読み取ることで、光路にある取付け穴の位置、すなわち認識番号を認識するための信号を出力するものである。
【００１７】
制御装置としては、電動機４に対して駆動指令を与えるドライバ６と、各対物レンズ３に対応して設けられ、目標
（目的）とする対物レンズ３を選択し光路に入れるためのレボルバスイッチ７（対物レンズ切換スイッチ：ＳＷ１〜ＳＷ５）と、センサ５により認識された光路位置にある取付け穴を認識するための信号が入力されたとき、この信号に該当する識別番号に対応する現在の対物レンズ３の倍率を、後述するメモリ８ｃから読み出す。一方、レボルバスイッチ７により選択された対物レンズに対応する倍率を後述するメモリ８ｃから読み出入力し、両方の倍率からドライバ６に対して電動機４の回転方向指令を与える制御回路８からなっている。
【００１８】
制御回路８は、比較部８ａと出力部８ｂとメモリ８ｃを有し、メモリ８ｃには、例えば図２（ｂ）に示すような識別番号と倍率、さらには作動距離ＷＤの関係が記憶されている。比較部８ａは現状の取付け穴に対応する前記メモリ８ｃから読出された対物レンズ３の倍率が、レボルバスイッチ７により選択される目標対物レンズの倍率より大きいかどうかを判断し、出力部８ｂは比較部８ａの出力により回転方向指令を与えるもので、現状の対物レンズが目標対物レンズより大きい倍率の場合には、回転方向指令としては低倍率方向に電動機４を回転させる指令を与え、また現状の対物レンズが目標対物レンズより小さい倍率の場合には、回転方向指令としては高倍率方向に電動機４を回転させる指令を与える。
【００１９】
対物レンズ３は、図２（ａ）に示すように低倍率から高倍率例えば５×，１０×，２０×，５０×，１００×の順番に並べられるのが一般的であり、これらの作動距離ＷＤは、（ｂ）に示すように１５mm，１０mm，５mm，３mm，１mmと高倍率になる程小さくなっている。焦点深度は低倍率ほど深く、高倍率との焦点位置の差が大きくなる可能性がある。
【００２０】
以下、本実施例の作用効果について、図２、図３、図４を参照して説明する。図３は従来の電動レボルバ装置の動作を説明するためのもので、始めにレボルバスイッチ７のうちの目的とする倍率に対応するレボルバスイッチ７を押圧操作すると、制御回路８がそのスイッチ入力を検出し（Ｓ１）、レボルバスイッチ７がオン状態かどうかを判断し（Ｓ２）、レボルバスイッチ７がオンのとき、そのオンとなっているレボルバスイッチ７を認識し（Ｓ３）、その後現状の対物レンズと目的の対物レンズの位置が異なるかどうかを判断し（Ｓ４）、両者の位置異なる場合には最短の回転方向と目的対物レンズ位置を決定し（Ｓ５）、これに従って電動機４に対して指令を与えることにより、電動機４が回転する（Ｓ６）。
【００２１】
電動機４の回転と同時に、タイマーがスタートし（Ｓ７）、対物レンズ３の位置を検出し（Ｓ８）、目的対物レンズが光路に到達するかどうかを判断し（Ｓ９）、光路に目的とする対物レンズが到達すると、電動機４に対して停止指令を与えて電動機４を停止させる（Ｓ１０）。
【００２２】
Ｓ９において、目的対物レンズが光路に到達しない場合には、その時間がタイムオーバとならないかどうかを判断し（Ｓ１１）、タイムオーバの場合には回転用モータ３に対して緊急停止指令を与え（Ｓ１２）、またタイムオーバでない場合には、目的とする対物レンズが光路位置に到達するまで、対物レンズの位置の検出を続ける（Ｓ８）。
【００２３】
以上述べた動作の説明で、例えば５×→５０×の対物レンズ３を指定した時に、対物レンズは指定された対物レンズに最短で到着するため、５×→１００×→５０×と回転するが、この時作動距離ＷＤの変化は１５mm→１mm→３mmとなり、１００×の対物レンズを通過する時に作動距離が激減し、対物レンズと標本の接触の危険性が大きい。これは、５×で焦点深度が深いことや、対物レンズの同焦点誤差により１mm程度の作動距離ＷＤでは非常に危険である。また、対物レンズは環状に回転するので、切換時の対物レンズ枠の縁部の軌跡はレンズ先端よりも突出することになり、実質的な標本との隙間はさらに短くなるので、衝突の恐れも高まる。
【００２４】
これに対して本実施例は、図４のフローチャートに示すように、図３のフローチャートとは異なる点は、Ｓ４とＳ７の間に以下の処理ステップ（Ｓ１３，Ｓ１４，Ｓ１５）が加わったことである。すなわち、現状の対物レンズと目的の対物レンズの位置が異なるかどうかを判断し（Ｓ４）、異なると判断した場合には現状の対物レンズの倍率が目的とする対物レンズの倍率より大きいかを判断し（Ｓ１３）、目的対物レンズが現状対物レンズの倍率より大きい場合には、電動機４に対して高倍率方向の回転指令を出力して電動機４を回転させ（Ｓ１４）、目的対物レンズが現状対物レンズの倍率より小さい場合には、電動機４に対して低倍率方向の回転指令を出力して電動機４を回転させる（Ｓ１５）。
【００２５】
第１実施例によれば、例えば現状の対物レンズ３の倍率を、図２（ｃ）に示すように、５×→５０×の倍率に切換える場合には、５×→１０×→２０×→５０×の順に行われ、最高倍率（最低動作距離ＷＤ）を通過しなくて済む。また、１００×に切換える時は、前述のように、まず５０×でピントを合せてから切換えることにより、同焦誤差、焦点深度による焦点位置のずれが小さくなり、衝突の恐れを小さくできる。
【００２６】
＜第２実施例＞
本発明の第２実施例は、その構成は前述の第１実施例とほぼ同じであり、第１実施例と異なる点は図５のフローチャートに示すように、新たにＳ１６、Ｓ１７Ｓ１８のサブルーチンを付加したものである。すなわち、現状の対物レンズと目的の対物レンズの位置が異なるかどうかを判断し（Ｓ４）、異なると判断した場合には、現状の対物レンズが最高倍率かどうかを判断し（Ｓ１６）、最高倍率と判断したときは最短の回転方向と目的の対物レンズ位置を決定し（Ｓ１７）、この決定に従って電動機４を回転させる（Ｓ１８）ように構成したものである。
【００２７】
このようなステップを追加することにより、効率のよい対物レンズの切換が行える。例えば、Ｓ１６において、現状の対物レンズが最高倍率のときのみ、最短ルートで対物レンズの切換を許すように制御する。具体的には、第１実施例で、１００×→５×、１００×→１０×を指定したとき、各１００×→５０×→２０×→１０×→５×、各１００×→５０×→２０×→１０×へと順次低倍率側に送られるところを、１００×→５×、１００×→５０×→１０×へと送られることになる。
【００２８】
この結果、急激な作動距離の増加に関しては、許容し最短ルートを選択できるので、対物レンズの切換の時間が短縮される。
＜第３実施例＞
本発明の第３実施例は、図３と図４のフローチャートまたは図５のフローチャートを選択できるような制御回路８に構成したものである。このように構成することにより、最短ルートで対物レンズを変換できる速度優先のモードと、対物レンズと試料の保護を優先させるモードが、作業者側で選択できる。この結果、種々の用途にも適用が可能になる。
【００２９】
＜第４実施例＞
図６は第４実施例を説明するための概略構成図であり、前述した第１、第２、第３実施例は、いずれも作動距離ＷＤの急激変化防止型ダイレクト切換方式であるが、第４実施例は回転方向指示型対物切換方式の例である。
【００３０】
倍率の異なる複数の対物レンズ３が作動距離または倍率の順に配置固定され、回転可能に構成された取付体２と、対物レンズ３のうちの現在光路に位置する対物レンズ３と隣接する対物レンズを前記光路に順次移動させる電動機４ならびにこの電動機４に回転制御指令を与える制御回路８Ａと、前記光路に現在位置決めされている対物レンズを認識するセンサ５と、前記光路に目的とする対物レンズ３を位置決めする際に操作するものであって、取付体２に対して正転方向、逆転方向のいずれかの回転指令を与えると共に、前記光路に隣接の対物レンズを順次切換える２個のレボルバスイッチ（ＳＷＨ，ＳＷＬ）７Ａと、センサ５により認識された現在の対物レンズ３に対応する倍率が最低倍率のときであって、レボルバスイッチ７Ａの操作によりさらに低倍率側、すなわち最高倍率の対物レンズ方向が選択された場合には、レボルバの回転を禁止する制御回路８Ａとからなっている。
【００３１】
ここで、レボルバスイッチＳＷＨ，ＳＷＬの機能について詳細に説明すると、ＳＷＨを操作すると、レボルバは対物レンズの倍率が順に上がる方向に回転し、またＳＷＬを操作すると、逆にレボルバは対物レンズの倍率が順に下がる方向に回転する。
【００３２】
このような構成のものにおいて、レボルバスイッチ７ＡのうちのＳＷＨを操作することにより、現在光路に位置している対物レンズ３に隣接する対物レンズ３のうちの高倍率側（ＳＷＨの操作により回転する方向）が選択されるように制御回路８Ａからドライバ６に対して回転指令が与えられ、この回転指令によりレボルバが例えば正転方向に回転し、ＳＷＨを操作する毎に光路に倍率の大きい対物レンズ３が順次移動する。またレボルバスイッチ７ＡのうちのＳＷＬを操作することにより、現在光路に位置している対物レンズ３に隣接する対物レンズ３のうちの低倍率側（ＳＷＬの操作により回転する方向）が選択されるように制御回路８Ａからドライバ６に対して回転指令が与えられ、この回転指令によりレボルバが例えば逆転方向に回転し、ＳＷＬを操作する毎に光路に倍率の小さい対物レンズ３が順次移動する。
【００３３】
このように作業者が操作を行うことにより、低倍率→高倍率、高倍率→低倍率の対物レンズに自在に切換えることができるが、光路に最低倍率（例えば５×）の対物レンズ３が位置しているときに、レボルバスイッチ７ＡのＳＷＬを操作すると、レボルバの回転が禁止されるので、最高倍率（例えば１００×）側に切換わることがない。このため、作業者の操作ミス等で対物レンズ３と試料の衝突の可能性を極力少なくできる。
【００３４】
作業者は、１００×で観察する時は必ず５０×で（再度）フォーカスを行なってから５０×から１００×に切換えることになるので、同焦誤差、焦点深度の違い等の誤差が少なくなり、衝突の危険がなくなる。
【００３５】
＜第５実施例＞
図７は第５実施例を説明するためのフローチャートであり、図４の実施例と異なる点は、Ｓ１３〜Ｓ１５の代りにＳ１９〜Ｓ２２を追加したものである。すなわち、レボルバスイッチ（対物レンズ切換スイッチ）がオンのとき、回転方向を認識し（Ｓ１９）、現状の対物レンズ３が最低倍率であるかどうかが判断され（Ｓ２０）、最低倍率と判断された状態で、レボルバスイッチ７Ａにより電動機４の回転方向がさらに低倍率側、すなわち最高倍率方向に操作されないかどうかを判断し（Ｓ２１）、もし最高倍率方向に操作された場合には、警報情報の報知、例えばビープ音（Ｂｅｅｐ音）等を発生するブザーを動作させたり、あるいは警告ランプが点灯するようにしたものである。
【００３６】
このような構成となっているので、警報情報の報知により操作ミスをしたことがわかるので、次の対処が可能となり、特にブラインド操作の多い半導体検査等で便利である。
【００３７】
＜変形例＞
本発明は前述した実施例に限定されず、例えば以下のように変形して実施できる。前述した実施例のレボルバは、が５個の場合について説明したが、これの個数に限らず、３個以上であって環状に配設されればどんな構成でもよい。
【００３８】
前述の実施例ではセンサ５は、取付体２の外周面に配列されている磁性材の配列パターンから取付け穴の位置を検出し、この位置に対応する対物レンズ３の倍率をメモリ８ｃから読み出すようにしたが、これを対物レンズ３の番号等の識別記号で行うようにしてもよい。これまでの実施例と同様に、各対物レンズ間の切換え時に最小作動距離の対物レンズを通過しない回転方向を選択すると共に、最小作動距離の対物レンズへは２番目に小さい作動距離の対物レンズからだけ切換え可能にして、他の対物レンズからの切換えは禁止する。これにより、低倍率観察時に同焦誤差や深い焦点深度による焦点位置のずれがあっても、一旦２番目に小さい作動距離の対物レンズに切換えた後でないと最小作動距離対物レンズに切換えられないので、２番目に小さい作動距離の対物レンズでピントを合わせ直すことにより最小作動距離の対物レンズでの衝突の恐れが小さくなる。
【００３９】
また、図７のフローチャートで、対物レンズを最低倍率→最高倍率への切換を行うモードと、この切換を禁止するモードの切換を可能に構成することにより、種々の用途にも適用が可能になる。
【００４０】
さらに、前述の実施例では、対物レンズの倍率の大きい順あるいは小さい順に配列した場合を例にあげたが、これに限らず対物レンズは倍率に関係なくランダムに配列する場合であっても同様に実施できる。この場合には、対物レンズ側に識別可能な標識例えば識別番号を設けておくと共に、この標識を読取り可能なセンサを設け、また制御回路８側に例えば図２（ｂ）に示すような識別番号と倍率、さらには作動距離ＷＤの関係が記憶されているメモリ８ｃを設け、かつ前記センサで読み取った標識に対応する対物レンズの倍率を前記メモリ８ｃから読み出せる構成とする必要がある。これまでの実施例と同様に、各対物レンズ間の切換え時に最小ＷＤの対物レンズを通過しない回転方向を選択すると共に、最小ＷＤの対物レンズへは２番目に小さいＷＤの対物レンズからだけ切換え可能にして、他の対物レンズからの切換えは禁止するように制御回路８で制御する。これにより、低倍率観察時に同焦誤差や深い焦点深度による焦点位置のずれがあっても、一旦２番目に小さいＷＤの対物レンズに切換えた後でないと最小ＷＤ対物レンズに切換えられないので、２番目に小さいＷＤの対物レンズでピントを合わせ直すことにより、最小ＷＤ対物レンズでの衝突のおそれが小さくなる。
【００４１】
また、前述の実施例では対物レンズの倍率を基準にして対物レンズの切換え順序をきめたが、これを対物レンズの作動距離を基準にして対物レンズの切換え順序をきめても同様な効果が得られる。これは、一般的には倍率と作動距離は逆比例関係になっているからである。ところが、最近特殊な用途として同じ倍率であっても作動距離の異なるものが作られており、この場合には作動距離で対物レンズの切換え順序をきめる必要がある。なお、対物レンズの倍率と作動距離のいずれかを選択可能な場合には、作動距離を基準とする方が、よりレボルバの制御が正確に行なえる。
【００４２】
【発明の効果】
以上述べた本発明によれば、対物レンズと試料の衝突を極力防止できる電動レボルバ制御装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の電動レボルバ制御装置の第１実施例の概略構成を示す図。
【図２】図１の実施例を説明するための図。
【図３】従来の技術を説明するためのフローチャート。
【図４】図１の実施例の動作を説明するためのフローチャート。
【図５】本発明の電動レボルバ制御装置の第２実施例および第３実施例を説明するためのフローチャート。
【図６】本発明の電動レボルバ制御装置の第４実施例の概略構成を示す図。
【図７】本発明の電動レボルバ制御装置の第５実施例を説明するためのフローチャート。
【符号の説明】
１…電動レボルバ、２…取付体、３…対物レンズ、４…回転用電動機、５…センサ、６…ドライバ、７，７Ａ…レボルバスイッチ（対物レンズ切換スイッチ）、８，８Ａ…制御回路。
【産業上の利用分野】
本発明は、顕微鏡等に用いられる複数の対物レンズを切換え可能な電動レボルバ制御装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年レボルバの回転は、（１）作業のスピードアップ、（２）操作による試料（標本）近傍のごみの落下防止等の観点から、電動機等により電気的に回転制御することが多くなっている。
【０００３】
従来この種の電動レボルバとして、特開平３ー２１３８１１号公報で示すものがあり、これにはレボルバの位置制御、対物レンズの指定のためのスイッチ等の構成が開示されている。
【０００４】
この公報に代表される電動レボルバは、スピードアップ、ごみ問題等で有用であるが、一方電気的に高速で動くため、不慮の事故も生じやすい。つまり、対物レンズは、一般にレボルバ取付け面と焦点面との距離を同一に設定しているが、実際の焦点面の位置は個々の対物レンズによって多少のずれがある（同焦誤差）。また、低倍率で焦点深度の深い対物レンズの場合、ピントを合わせた状態でも実際には試料と対物レンズとの距離が焦点深度の範囲内で真の値より短くなっている場合がある。さらに、試料が平坦でなく、段差を有している場合もある。このような状態で使用中の対物レンズより作動距離の短い（高倍率の）対物レンズに切換えようとすると、試料と対物レンズとが衝突して一方または双方が損傷する可能性がある。
【０００５】
この問題は、電動レボルバ固有であり、手動のレボルバにあっては、手で回して確認しながら行えるので、破損の危険性が少ない。
最近の顕微鏡の対物レンズは、作動距離（ＷＤ：対物レンズの先端と焦点面までの距離）が小さく、特に低倍率から高倍率へ５〜６本の対物レンズをつける場合、高倍率対物レンズの作動距離は、低倍率の対物レンズの１／１０（１mm）以下となる。さらに、焦点深度も低倍率である程深くなるので、高倍率での焦点位置とのずれが大きくなる恐れが大きい。特に、この問題で深刻なのは、大形の半導体検査等の場合である。
【０００６】
この作業は、主に低倍率と高倍率の２種類の対物レンズの相互変換により検査を行う。例として、対物レンズは各種倍率（５×，１０×，２０×，５０×，１００×）のものが５本付いており、主に使用するのは、５×，５０×である。作業者は、まず、５×で試料を観察し、レボルバ切換スイッチにより、順次または直接５０×へと切換える。
【０００７】
この場合、１００×の対物レンズは例えば１mmと作動距離が極端に短いことが多く、検査では特に詳しく観察する必要のある場合にしか使用しない。また、１００×を使用するときは、まず５０×でピント合せた後、１００×に切換えるので、焦点位置のずれは小さくて済み、衝突の恐れは小さい。
【０００８】
しかし、作業者は、安全に対物レンズの切換えができる５×〜５０×の間で検査を行うが、ブラインド操作によるスイッチの押し間違いや、レボルバの制御により作業者の意図に反して１００×を通る場合があるため、その度に試料と対物レンズの衝突がないかどうかを気にしなければならない。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
以上のような問題点を解決するため、現状でも以下に述べるような対策が講じられている。
１）長い作動距離の対物レンズを使用する方法
作動距離が長く設計された対物レンズをラインアップし、高倍率でも数mmの作動距離を確保できるようにしたものを使用しているが、この場合には解像力が劣ったり、高価であるという問題点がある。
【００１０】
２）緊急退避を考慮した方法（特開平４ー２０９１１号公報）
対物レンズが試料に衝突しそうになったら、別に設けられた緊急退避スイッチを操作すると、レボルバが元に戻るが、この場合タイミングが狂うと間に合わず、１度衝突してから緊急退避スイッチを操作すると再び衝突するという問題点がある。
本発明の目的は、対物レンズと試料の衝突を極力防止できる電動レボルバ制御装置を提供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
前記目的を達成するため、請求項１に対応する発明は、複数の対物レンズが作動距離を基準に配置固定され、回転可能に構成されたレボルバと、このレボルバに対して回転駆動力を与え、前記対物レンズのうちの一つを光路に移動させる電動機ならびにこの電動機に回転制御指令を与えるドライバと、前記光路に現在位置決めされている対物レンズの作動距離を認識するセンサと、前記各対物レンズに対応して設けられ、前記光路に目的とする対物レンズを選択可能なレボルバスイッチと、このレボルバスイッチにより選択された対物レンズの作動距離を認識し、この認識作動距離と前記センサにより認識された現在の対物レンズの作動距離を比較し、この比較結果により前記ドライバに対して回転方向指令を出力する制御回路を備え、前記制御回路は、現在の対物レンズの作動距離より目的とする対物レンズの作動距離が小さいときは、前記対物レンズの作動距離が小さくなる方向に、逆に現在の対物レンズの作動距離より目的とする対物レンズの作動距離が大きいときは、前記対物レンズの作動距離が大きくなる方向に、前記レボルバを回転するように前記ドライバに対して回転方向指令を出力することを特徴とする電動レボルバ制御装置である。
【００１２】
前記目的を達成するため、請求項２に対応する発明は、次のように構成したものである。すなわち、複数の対物レンズが作動距離を基準に配置固定され、回転可能に構成されたレボルバと、このレボルバに対して回転駆動力を与え、前記対物レンズのうちの一つを光路に移動させる電動機ならびにこの電動機に回転制御指令を与えるドライバと、前記対物レンズ毎の少なくとも作動距離を記憶するメモリと、前記光路に現在位置決めされている対物レンズを認識するセンサと、前記各対物レンズに対応して設けられ、前記光路に目的とする対物レンズを選択可能なレボルバスイッチと、このレボルバスイッチにより選択された対物レンズの作動距離と前記センサにより認識された現在の対物レンズの作動距離とを、前記メモリから読み出して比較し、この比較結果により前記ドライバに対して回転方向指令を出力する制御回路を備え、前記制御回路は、現在の対物レンズの作動距離より目的とする対物レンズの作動距離が小さいときは、前記対物レンズの作動距離が小さくなる方向に、逆に現在の対物レンズの作動距離より目的とする対物レンズの作動距離が大きいときは、前記対物レンズの作動距離が大きくなる方向に、前記レボルバを回転するように前記ドライバに対して回転方向指令を出力することを特徴とする電動レボルバ制御装置である。
【００１３】
前記目的を達成するため、請求項３に対応する発明は、次のように構成したものである。すなわち、前記制御回路は、前記センサにより認識された現在の対物レンズの作動距離が最小のときは、最短の回転方向となるように前記ドライバに対して回転方向指令を出力する機能が付加されていることを特徴とする請求項１又は２記載の電動レボルバ制御装置である。
前記目的を達成するため、請求項４に対応する発明は、次のように構成したものである。すなわち、前記制御回路は、前記センサにより認識された現在の対物レンズの作動距離が最も大きいときに、前記レボルバスイッチの操作によりさらに作動距離が最も小さい対物レンズに切換える操作が選択されたときには、前記レボルバの回転を禁止するようにした
ことを特徴とする請求項１又は２記載の電動レボルバ制御装置である。
前記目的を達成するため、請求項５に対応する発明は、次のように構成したものである。すなわち、前記制御回路は、現在の対物レンズから目的とする対物レンズに切換えるとき、目的とする対物レンズに最短ルートで変換できる速度優先モードと、対物レンズと試料の保護を優先させるモードとが選択できることを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の電動レボルバ制御装置である。
【００１４】
【作用】
請求項１及び２に対応する発明によれば、対物レンズの切換時急激な作動距離の減少がなくなるので、対物レンズと試料の衝突が避けられる。
請求項３に対応する発明によれば、対物レンズの作動距離を小さい側から大きい側に切換るとき、最短ルートで対物レンズが切換えられるので、対物レンズの切換時間のロスが少ない。
【００１５】
請求項４に対応する発明によれば、対物レンズの作動距離が最大から最小に切換えられることがないので、操作ミス等で対物レンズと試料の衝突の危険を避けることができる。
請求項５に対応する発明によれば、最短ルートで対物レンズを変換できる速度優先のモードと、対物レンズと試料の保護を優先させるモードが、作業者側で選択でき、この結果、種々の用途にも適用が可能になる。
【００１６】
【実施例】
以下、本発明の実施例について図面を参照して説明する。
＜第１実施例＞
図１は、本発明の第１実施例の概略構成を示す図であり、電動レボルバ１は、回転自在に支持された円板状の取付体２と、取付体２に円環状に所定の順序で配置され、倍率が例えば５倍（以下５×と称する），１０×，２０×，５０×，１００×と異なる複数の対物レンズ（１〜５）３と、取付体２を回転するための回転用電動機（回転用モータ）４と、取付体２に有する対物レンズ３を取付けるための取付け穴の位置を認識する機能を有し、取付体２の外周面に配列されている図示しない磁気部材の配列パターンを検出できる磁気センサ５を備えている。磁気センサ５は、例えば取付体２の外周面に配列される例えば３種類の磁性材パターンを読み取ることで、光路にある取付け穴の位置、すなわち認識番号を認識するための信号を出力するものである。
【００１７】
制御装置としては、電動機４に対して駆動指令を与えるドライバ６と、各対物レンズ３に対応して設けられ、目標
（目的）とする対物レンズ３を選択し光路に入れるためのレボルバスイッチ７（対物レンズ切換スイッチ：ＳＷ１〜ＳＷ５）と、センサ５により認識された光路位置にある取付け穴を認識するための信号が入力されたとき、この信号に該当する識別番号に対応する現在の対物レンズ３の倍率を、後述するメモリ８ｃから読み出す。一方、レボルバスイッチ７により選択された対物レンズに対応する倍率を後述するメモリ８ｃから読み出入力し、両方の倍率からドライバ６に対して電動機４の回転方向指令を与える制御回路８からなっている。
【００１８】
制御回路８は、比較部８ａと出力部８ｂとメモリ８ｃを有し、メモリ８ｃには、例えば図２（ｂ）に示すような識別番号と倍率、さらには作動距離ＷＤの関係が記憶されている。比較部８ａは現状の取付け穴に対応する前記メモリ８ｃから読出された対物レンズ３の倍率が、レボルバスイッチ７により選択される目標対物レンズの倍率より大きいかどうかを判断し、出力部８ｂは比較部８ａの出力により回転方向指令を与えるもので、現状の対物レンズが目標対物レンズより大きい倍率の場合には、回転方向指令としては低倍率方向に電動機４を回転させる指令を与え、また現状の対物レンズが目標対物レンズより小さい倍率の場合には、回転方向指令としては高倍率方向に電動機４を回転させる指令を与える。
【００１９】
対物レンズ３は、図２（ａ）に示すように低倍率から高倍率例えば５×，１０×，２０×，５０×，１００×の順番に並べられるのが一般的であり、これらの作動距離ＷＤは、（ｂ）に示すように１５mm，１０mm，５mm，３mm，１mmと高倍率になる程小さくなっている。焦点深度は低倍率ほど深く、高倍率との焦点位置の差が大きくなる可能性がある。
【００２０】
以下、本実施例の作用効果について、図２、図３、図４を参照して説明する。図３は従来の電動レボルバ装置の動作を説明するためのもので、始めにレボルバスイッチ７のうちの目的とする倍率に対応するレボルバスイッチ７を押圧操作すると、制御回路８がそのスイッチ入力を検出し（Ｓ１）、レボルバスイッチ７がオン状態かどうかを判断し（Ｓ２）、レボルバスイッチ７がオンのとき、そのオンとなっているレボルバスイッチ７を認識し（Ｓ３）、その後現状の対物レンズと目的の対物レンズの位置が異なるかどうかを判断し（Ｓ４）、両者の位置異なる場合には最短の回転方向と目的対物レンズ位置を決定し（Ｓ５）、これに従って電動機４に対して指令を与えることにより、電動機４が回転する（Ｓ６）。
【００２１】
電動機４の回転と同時に、タイマーがスタートし（Ｓ７）、対物レンズ３の位置を検出し（Ｓ８）、目的対物レンズが光路に到達するかどうかを判断し（Ｓ９）、光路に目的とする対物レンズが到達すると、電動機４に対して停止指令を与えて電動機４を停止させる（Ｓ１０）。
【００２２】
Ｓ９において、目的対物レンズが光路に到達しない場合には、その時間がタイムオーバとならないかどうかを判断し（Ｓ１１）、タイムオーバの場合には回転用モータ３に対して緊急停止指令を与え（Ｓ１２）、またタイムオーバでない場合には、目的とする対物レンズが光路位置に到達するまで、対物レンズの位置の検出を続ける（Ｓ８）。
【００２３】
以上述べた動作の説明で、例えば５×→５０×の対物レンズ３を指定した時に、対物レンズは指定された対物レンズに最短で到着するため、５×→１００×→５０×と回転するが、この時作動距離ＷＤの変化は１５mm→１mm→３mmとなり、１００×の対物レンズを通過する時に作動距離が激減し、対物レンズと標本の接触の危険性が大きい。これは、５×で焦点深度が深いことや、対物レンズの同焦点誤差により１mm程度の作動距離ＷＤでは非常に危険である。また、対物レンズは環状に回転するので、切換時の対物レンズ枠の縁部の軌跡はレンズ先端よりも突出することになり、実質的な標本との隙間はさらに短くなるので、衝突の恐れも高まる。
【００２４】
これに対して本実施例は、図４のフローチャートに示すように、図３のフローチャートとは異なる点は、Ｓ４とＳ７の間に以下の処理ステップ（Ｓ１３，Ｓ１４，Ｓ１５）が加わったことである。すなわち、現状の対物レンズと目的の対物レンズの位置が異なるかどうかを判断し（Ｓ４）、異なると判断した場合には現状の対物レンズの倍率が目的とする対物レンズの倍率より大きいかを判断し（Ｓ１３）、目的対物レンズが現状対物レンズの倍率より大きい場合には、電動機４に対して高倍率方向の回転指令を出力して電動機４を回転させ（Ｓ１４）、目的対物レンズが現状対物レンズの倍率より小さい場合には、電動機４に対して低倍率方向の回転指令を出力して電動機４を回転させる（Ｓ１５）。
【００２５】
第１実施例によれば、例えば現状の対物レンズ３の倍率を、図２（ｃ）に示すように、５×→５０×の倍率に切換える場合には、５×→１０×→２０×→５０×の順に行われ、最高倍率（最低動作距離ＷＤ）を通過しなくて済む。また、１００×に切換える時は、前述のように、まず５０×でピントを合せてから切換えることにより、同焦誤差、焦点深度による焦点位置のずれが小さくなり、衝突の恐れを小さくできる。
【００２６】
＜第２実施例＞
本発明の第２実施例は、その構成は前述の第１実施例とほぼ同じであり、第１実施例と異なる点は図５のフローチャートに示すように、新たにＳ１６、Ｓ１７Ｓ１８のサブルーチンを付加したものである。すなわち、現状の対物レンズと目的の対物レンズの位置が異なるかどうかを判断し（Ｓ４）、異なると判断した場合には、現状の対物レンズが最高倍率かどうかを判断し（Ｓ１６）、最高倍率と判断したときは最短の回転方向と目的の対物レンズ位置を決定し（Ｓ１７）、この決定に従って電動機４を回転させる（Ｓ１８）ように構成したものである。
【００２７】
このようなステップを追加することにより、効率のよい対物レンズの切換が行える。例えば、Ｓ１６において、現状の対物レンズが最高倍率のときのみ、最短ルートで対物レンズの切換を許すように制御する。具体的には、第１実施例で、１００×→５×、１００×→１０×を指定したとき、各１００×→５０×→２０×→１０×→５×、各１００×→５０×→２０×→１０×へと順次低倍率側に送られるところを、１００×→５×、１００×→５０×→１０×へと送られることになる。
【００２８】
この結果、急激な作動距離の増加に関しては、許容し最短ルートを選択できるので、対物レンズの切換の時間が短縮される。
＜第３実施例＞
本発明の第３実施例は、図３と図４のフローチャートまたは図５のフローチャートを選択できるような制御回路８に構成したものである。このように構成することにより、最短ルートで対物レンズを変換できる速度優先のモードと、対物レンズと試料の保護を優先させるモードが、作業者側で選択できる。この結果、種々の用途にも適用が可能になる。
【００２９】
＜第４実施例＞
図６は第４実施例を説明するための概略構成図であり、前述した第１、第２、第３実施例は、いずれも作動距離ＷＤの急激変化防止型ダイレクト切換方式であるが、第４実施例は回転方向指示型対物切換方式の例である。
【００３０】
倍率の異なる複数の対物レンズ３が作動距離または倍率の順に配置固定され、回転可能に構成された取付体２と、対物レンズ３のうちの現在光路に位置する対物レンズ３と隣接する対物レンズを前記光路に順次移動させる電動機４ならびにこの電動機４に回転制御指令を与える制御回路８Ａと、前記光路に現在位置決めされている対物レンズを認識するセンサ５と、前記光路に目的とする対物レンズ３を位置決めする際に操作するものであって、取付体２に対して正転方向、逆転方向のいずれかの回転指令を与えると共に、前記光路に隣接の対物レンズを順次切換える２個のレボルバスイッチ（ＳＷＨ，ＳＷＬ）７Ａと、センサ５により認識された現在の対物レンズ３に対応する倍率が最低倍率のときであって、レボルバスイッチ７Ａの操作によりさらに低倍率側、すなわち最高倍率の対物レンズ方向が選択された場合には、レボルバの回転を禁止する制御回路８Ａとからなっている。
【００３１】
ここで、レボルバスイッチＳＷＨ，ＳＷＬの機能について詳細に説明すると、ＳＷＨを操作すると、レボルバは対物レンズの倍率が順に上がる方向に回転し、またＳＷＬを操作すると、逆にレボルバは対物レンズの倍率が順に下がる方向に回転する。
【００３２】
このような構成のものにおいて、レボルバスイッチ７ＡのうちのＳＷＨを操作することにより、現在光路に位置している対物レンズ３に隣接する対物レンズ３のうちの高倍率側（ＳＷＨの操作により回転する方向）が選択されるように制御回路８Ａからドライバ６に対して回転指令が与えられ、この回転指令によりレボルバが例えば正転方向に回転し、ＳＷＨを操作する毎に光路に倍率の大きい対物レンズ３が順次移動する。またレボルバスイッチ７ＡのうちのＳＷＬを操作することにより、現在光路に位置している対物レンズ３に隣接する対物レンズ３のうちの低倍率側（ＳＷＬの操作により回転する方向）が選択されるように制御回路８Ａからドライバ６に対して回転指令が与えられ、この回転指令によりレボルバが例えば逆転方向に回転し、ＳＷＬを操作する毎に光路に倍率の小さい対物レンズ３が順次移動する。
【００３３】
このように作業者が操作を行うことにより、低倍率→高倍率、高倍率→低倍率の対物レンズに自在に切換えることができるが、光路に最低倍率（例えば５×）の対物レンズ３が位置しているときに、レボルバスイッチ７ＡのＳＷＬを操作すると、レボルバの回転が禁止されるので、最高倍率（例えば１００×）側に切換わることがない。このため、作業者の操作ミス等で対物レンズ３と試料の衝突の可能性を極力少なくできる。
【００３４】
作業者は、１００×で観察する時は必ず５０×で（再度）フォーカスを行なってから５０×から１００×に切換えることになるので、同焦誤差、焦点深度の違い等の誤差が少なくなり、衝突の危険がなくなる。
【００３５】
＜第５実施例＞
図７は第５実施例を説明するためのフローチャートであり、図４の実施例と異なる点は、Ｓ１３〜Ｓ１５の代りにＳ１９〜Ｓ２２を追加したものである。すなわち、レボルバスイッチ（対物レンズ切換スイッチ）がオンのとき、回転方向を認識し（Ｓ１９）、現状の対物レンズ３が最低倍率であるかどうかが判断され（Ｓ２０）、最低倍率と判断された状態で、レボルバスイッチ７Ａにより電動機４の回転方向がさらに低倍率側、すなわち最高倍率方向に操作されないかどうかを判断し（Ｓ２１）、もし最高倍率方向に操作された場合には、警報情報の報知、例えばビープ音（Ｂｅｅｐ音）等を発生するブザーを動作させたり、あるいは警告ランプが点灯するようにしたものである。
【００３６】
このような構成となっているので、警報情報の報知により操作ミスをしたことがわかるので、次の対処が可能となり、特にブラインド操作の多い半導体検査等で便利である。
【００３７】
＜変形例＞
本発明は前述した実施例に限定されず、例えば以下のように変形して実施できる。前述した実施例のレボルバは、が５個の場合について説明したが、これの個数に限らず、３個以上であって環状に配設されればどんな構成でもよい。
【００３８】
前述の実施例ではセンサ５は、取付体２の外周面に配列されている磁性材の配列パターンから取付け穴の位置を検出し、この位置に対応する対物レンズ３の倍率をメモリ８ｃから読み出すようにしたが、これを対物レンズ３の番号等の識別記号で行うようにしてもよい。これまでの実施例と同様に、各対物レンズ間の切換え時に最小作動距離の対物レンズを通過しない回転方向を選択すると共に、最小作動距離の対物レンズへは２番目に小さい作動距離の対物レンズからだけ切換え可能にして、他の対物レンズからの切換えは禁止する。これにより、低倍率観察時に同焦誤差や深い焦点深度による焦点位置のずれがあっても、一旦２番目に小さい作動距離の対物レンズに切換えた後でないと最小作動距離対物レンズに切換えられないので、２番目に小さい作動距離の対物レンズでピントを合わせ直すことにより最小作動距離の対物レンズでの衝突の恐れが小さくなる。
【００３９】
また、図７のフローチャートで、対物レンズを最低倍率→最高倍率への切換を行うモードと、この切換を禁止するモードの切換を可能に構成することにより、種々の用途にも適用が可能になる。
【００４０】
さらに、前述の実施例では、対物レンズの倍率の大きい順あるいは小さい順に配列した場合を例にあげたが、これに限らず対物レンズは倍率に関係なくランダムに配列する場合であっても同様に実施できる。この場合には、対物レンズ側に識別可能な標識例えば識別番号を設けておくと共に、この標識を読取り可能なセンサを設け、また制御回路８側に例えば図２（ｂ）に示すような識別番号と倍率、さらには作動距離ＷＤの関係が記憶されているメモリ８ｃを設け、かつ前記センサで読み取った標識に対応する対物レンズの倍率を前記メモリ８ｃから読み出せる構成とする必要がある。これまでの実施例と同様に、各対物レンズ間の切換え時に最小ＷＤの対物レンズを通過しない回転方向を選択すると共に、最小ＷＤの対物レンズへは２番目に小さいＷＤの対物レンズからだけ切換え可能にして、他の対物レンズからの切換えは禁止するように制御回路８で制御する。これにより、低倍率観察時に同焦誤差や深い焦点深度による焦点位置のずれがあっても、一旦２番目に小さいＷＤの対物レンズに切換えた後でないと最小ＷＤ対物レンズに切換えられないので、２番目に小さいＷＤの対物レンズでピントを合わせ直すことにより、最小ＷＤ対物レンズでの衝突のおそれが小さくなる。
【００４１】
また、前述の実施例では対物レンズの倍率を基準にして対物レンズの切換え順序をきめたが、これを対物レンズの作動距離を基準にして対物レンズの切換え順序をきめても同様な効果が得られる。これは、一般的には倍率と作動距離は逆比例関係になっているからである。ところが、最近特殊な用途として同じ倍率であっても作動距離の異なるものが作られており、この場合には作動距離で対物レンズの切換え順序をきめる必要がある。なお、対物レンズの倍率と作動距離のいずれかを選択可能な場合には、作動距離を基準とする方が、よりレボルバの制御が正確に行なえる。
【００４２】
【発明の効果】
以上述べた本発明によれば、対物レンズと試料の衝突を極力防止できる電動レボルバ制御装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の電動レボルバ制御装置の第１実施例の概略構成を示す図。
【図２】図１の実施例を説明するための図。
【図３】従来の技術を説明するためのフローチャート。
【図４】図１の実施例の動作を説明するためのフローチャート。
【図５】本発明の電動レボルバ制御装置の第２実施例および第３実施例を説明するためのフローチャート。
【図６】本発明の電動レボルバ制御装置の第４実施例の概略構成を示す図。
【図７】本発明の電動レボルバ制御装置の第５実施例を説明するためのフローチャート。
【符号の説明】
１…電動レボルバ、２…取付体、３…対物レンズ、４…回転用電動機、５…センサ、６…ドライバ、７，７Ａ…レボルバスイッチ（対物レンズ切換スイッチ）、８，８Ａ…制御回路。
Claims (5)
- 複数の対物レンズが作動距離を基準に配置固定され、回転可能に構成されたレボルバと、
このレボルバに対して回転駆動力を与え、前記対物レンズのうちの一つを光路に移動させる電動機ならびにこの電動機に回転制御指令を与えるドライバと、
前記光路に現在位置決めされている対物レンズの作動距離を認識するセンサと、
前記各対物レンズに対応して設けられ、前記光路に目的とする対物レンズを選択可能なレボルバスイッチと、
このレボルバスイッチにより選択された対物レンズの作動距離を認識し、この認識作動距離と前記センサにより認識された現在の対物レンズの作動距離を比較し、この比較結果により前記ドライバに対して回転方向指令を出力する制御回路を備え、
前記制御回路は、
現在の対物レンズの作動距離より目的とする対物レンズの作動距離が小さいときは、前記対物レンズの作動距離が小さくなる方向に、
逆に現在の対物レンズの作動距離より目的とする対物レンズの作動距離が大きいときは、前記対物レンズの作動距離が大きくなる方向に、
前記レボルバを回転するように前記ドライバに対して回転方向指令を出力することを特徴とする電動レボルバ制御装置。 - 複数の対物レンズが作動距離を基準に配置固定され、回転可能に構成されたレボルバと、
このレボルバに対して回転駆動力を与え、前記対物レンズのうちの一つを光路に移動させる電動機ならびにこの電動機に回転制御指令を与えるドライバと、
前記対物レンズ毎の少なくとも作動距離を記憶するメモリと、
前記光路に現在位置決めされている対物レンズを認識するセンサと、
前記各対物レンズに対応して設けられ、前記光路に目的とする対物レンズを選択可能なレボルバスイッチと、
このレボルバスイッチにより選択された対物レンズの作動距離と前記センサにより認識された現在の対物レンズの作動距離とを、前記メモリから読み出して比較し、この比較結果により前記ドライバに対して回転方向指令を出力する制御回路を備え、
前記制御回路は、
現在の対物レンズの作動距離より目的とする対物レンズの作動距離が小さいときは、前記対物レンズの作動距離が小さくなる方向に、
逆に現在の対物レンズの作動距離より目的とする対物レンズの作動距離が大きいときは、前記対物レンズの作動距離が大きくなる方向に、
前記レボルバを回転するように前記ドライバに対して回転方向指令を出力することを特徴とする電動レボルバ制御装置。 - 前記制御回路は、
前記センサにより認識された現在の対物レンズの作動距離が最小のときは、
最短の回転方向となるように前記ドライバに対して回転方向指令を出力する機能が付加されている
ことを特徴とする請求項１又は２記載の電動レボルバ制御装置。 - 前記制御回路は、
前記センサにより認識された現在の対物レンズの作動距離が最も大きいときに、前記レボルバスイッチの操作によりさらに作動距離が最も小さい対物レンズに切換える操作が選択されたときには、前記レボルバの回転を禁止するようにした
ことを特徴とする請求項１又は２記載の電動レボルバ制御装置。 - 前記制御回路は、
現在の対物レンズから目的とする対物レンズに切換えるとき、
目的とする対物レンズに最短ルートで変換できる速度優先モードと、
対物レンズと試料の保護を優先させるモードとが選択できる
ことを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の電動レボルバ制御装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14464895A JP3656918B2 (ja) | 1995-06-12 | 1995-06-12 | 電動レボルバ制御装置 |
| US08/662,449 US5737134A (en) | 1995-06-12 | 1996-06-10 | Revolver control device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14464895A JP3656918B2 (ja) | 1995-06-12 | 1995-06-12 | 電動レボルバ制御装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08338939A JPH08338939A (ja) | 1996-12-24 |
| JP3656918B2 true JP3656918B2 (ja) | 2005-06-08 |
Family
ID=15366971
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14464895A Expired - Fee Related JP3656918B2 (ja) | 1995-06-12 | 1995-06-12 | 電動レボルバ制御装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5737134A (ja) |
| JP (1) | JP3656918B2 (ja) |
Families Citing this family (20)
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| CN103364937B (zh) * | 2013-07-11 | 2016-05-04 | 四川美生科技有限公司 | 全自动检验分析显微镜 |
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| JP7202861B2 (ja) * | 2018-11-30 | 2023-01-12 | Hoya株式会社 | 欠陥検査方法、並びにマスクブランク、転写用マスクおよび半導体デバイスの製造方法 |
| DE102022105521A1 (de) | 2022-03-09 | 2023-09-14 | Carl Zeiss Meditec Ag | Operationsmikroskop und Verfahren zur Positionierung von Filterelementen in einem Operationsmikroskop |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| US4544236A (en) * | 1981-11-02 | 1985-10-01 | Olympus Optical Co., Ltd. | Turret |
| DE3410201A1 (de) * | 1983-03-22 | 1984-10-04 | Olympus Optical Co., Ltd., Tokio/Tokyo | Mikroskop |
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| JP2925647B2 (ja) * | 1990-04-16 | 1999-07-28 | オリンパス光学工業株式会社 | 顕微鏡変倍装置 |
| JP2975049B2 (ja) * | 1990-05-16 | 1999-11-10 | オリンパス光学工業株式会社 | 顕微鏡の電動レボルバ制御装置 |
-
1995
- 1995-06-12 JP JP14464895A patent/JP3656918B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1996
- 1996-06-10 US US08/662,449 patent/US5737134A/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH08338939A (ja) | 1996-12-24 |
| US5737134A (en) | 1998-04-07 |
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