JPH0816736B2

JPH0816736B2 - 顕微鏡及びその操作方法

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Publication number: JPH0816736B2
Application number: JP2056155A
Authority: JP
Inventors: 孝明小島; 宏光古嶋
Original assignee: Mitutoyo Corp
Current assignee: Mitutoyo Corp
Priority date: 1989-07-05
Filing date: 1990-03-06
Publication date: 1996-02-21
Anticipated expiration: 2011-02-21
Also published as: JPH03213811A

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕本発明は、複数の対物レンズを保持するレボルバを備
えた顕微鏡及びその操作方法に係り、特にそのレボルバ
の回転駆動手段及びその操作方法の改良に関し、工業用
顕微鏡等に利用できる。

〔背景技術〕高集積化される半導体、微細加工が施されているビデ
オヘッド等の部品は、μｍオーダーの単位で製作されて
いるので、その製作工程毎に精密な検査を行う必要があ
る。しかし、肉眼ではその細部が視認不能なため、これ
らの部品、すなわち、被測定物を正確に検査する装置と
して種々の顕微鏡が提案されている。

ところで、前記被測定物を製作工程毎に検査する場合
には、当然これらの顕微鏡を生産工場内に設置しなけれ
ばならず、また、この工場内では作業者によってその検
査が行われることになる。作業者はこの検査を行う前工
程として、例えば、工作機械等により製品等を切削加工
することが考えられ、この場合、その切削屑、塵埃等が
作業者の指等に付着し、次工程である顕微鏡を使用して
の部品検査を行うことになる。

これら生産工場内に設置される顕微鏡は、例えば、被
測定物を載置する載置台と、前記被測定物の倍率を変換
するための複数の対物レンズと、これらの対物レンズを
回動自在に保持するレボルバとを含んで構成されてい
る。従って、作業者は前記顕微鏡の倍率を変更するため
には、対物レンズを指等で把持してレボルバを回転させ
る必要があり、その回転中に指等を付着した切削屑、塵
埃等が被測定物上に落下する虞れがある。

そこで、この種の顕微鏡の中には、複数の対物レンズ
が配設されるレボルバを手動で操作しても、前記被測定
物上に指等に付着した塵埃等がなるべく落下しないよう
構成される顕微鏡が発表されており、例えば第13図に示
すようなものがある。

すなわち、第13図において、顕微鏡１は、略コ字状の
本体４を含み、この本体４の略中央に設けられた支持台
５上には、上下２枚の相対移動可能な板材からなる載置
台６が、水平面内における直交２方向、すなわち、矢印
Ｘ方向及びＹ方向に摺動可能に設けられている。この載
置台６には、被測定物Ｗが載置されるとともに、一側角
部には粗動ピン7A,7Bが突出して取着されている。この
粗動ピン7A,7Bを把持して矢印X,Y方向に変位させると、
この変位に伴って載置台６も大きく移動する。

また、前記支持台５の下面一端側には、ハンドル8A,8
Bが設けられており、このハンドル8A,8Bを矢印Ａ方向に
回動させると、図示しないラック、ピニオン等を介して
前記載置台６が小さく矢印X,Y方向に移動するよう構成
される。

前記本体４の上部には、反射照明手段９と、前記被測
定物Ｗの表面を視認するための接眼レンズ10とが配設さ
れ、前記接眼レンズ10の直下には矢印Ｂ方向に回転自在
なレボルバ12が設けられる。このレボルバ12には、複数
の回転棒13と、夫々倍率の異なった５つの対物レンズ14
とが取着される。

このように構成された顕微鏡１の接眼レンズ10内を目
視することにより、被測定物Ｗの表面を検査している時
に、所望の倍率の対物レンズ14に変更したい場合には、
前記回転棒13を矢印Ｂ方向に回転させることにより、所
望倍率の対物レンズ14を所定の位置に位置決めすること
ができる。

〔発明が解決しようとする課題〕

しかしながら、前記従来例において、前記回転棒13を
長尺に形成すると、指等に付着している塵埃は被測定物
Ｗ上にほとんど落下しないが、長尺なため、他の操作、
例えば、粗動ピン7A,7Bによる載置台６の移動等の邪魔
になる場合がある。この場合には、被測定物Ｗの検査中
に、不用意にこの回転棒13を回転させてしまうという不
都合が生じる。

また、他の操作の邪魔にならないように回転棒13を短
尺に形成すると、指等に付着している塵埃等が被測定物
Ｗ上に落下する虞れがあり、若し、このに塵埃等が被測
定物Ｗ付着すると、この被測定物Ｗの表面は、高集積化
された半導体のように凹凸形状を呈しているので、塵埃
等の除去作業が非常に煩雑となる欠点が露呈する。

そこで、指等をレボルバ12に近づけることなく、レボ
ルバ12を自動的に回転させることにより、塵埃等の付着
を阻止する装置として、特開昭62−218915号にその技術
的思想が開示されている。

この思想は、第14図に示すように、顕微鏡15の本体16
側に、磁気センサ17A乃至17Cと、弾性的に支持される係
止球18と、マイクロスイッチ20とを設けている。一方、
複数の対物レンズ（図示せず）が装着されるレボルバ19
側に、Ｖ溝22A乃至22Eと、２進法符号を形成する磁石24
A乃至24Gとがそれぞれ、所定位置に取着される。この状
態で、例えば、レボルバ19が矢印方向に回転した際に、
磁気センサ17A乃至17Cは、磁石24A乃至24Gの存在する位
置を「０」と読み取り、磁石24A乃至24Gの存在しない位
置を「１」と読み取るように構成されるので、図の位置
においては「101」すなわち、10進法で「５」と読み取
るようにされている。

このように構成されたレボルバ19等を図示しない回転
手段で矢印方向へ回転させて所望の位置、例えば「10
1」で停止させたい時には、磁気センサ17A乃至17Cに「1
01」の信号が入力されるまで比較器（図示せず）で判断
し、その信号が入力された時に、前記レボルバ19の回転
を停止させ、Ｖ溝22Eに係止球18を係合させることによ
り、位置決めを行っている。

しかしながら、この場合、前記レボルバ19は、対物レ
ンズ（図示せず）を装着しているので、かなりの重量物
となり、このレボルバ19を回転させる際、その回転によ
る慣性力は比較的大きなものとなる。このため、磁気セ
ンサ17A乃至17Cが所望の信号を検知してからその回転を
停止させたので、慣性力によりＶ溝22Eに係止球18が係
合した位置で停止せず、Ｖ溝22Eを通過した位置でレボ
ルバ19が停止する虞れがある。このような時は、結局、
指等でレボルバ19を所望の位置に変位させる必要があ
り、この時、特に指等に付着した切削屑、塵埃等が被測
定物Ｗ上に落下する虞れがある。

従って、この思想の場合には、自動的にレボルバ19を
しっかりと所望の位置に位置決めすることが難しくな
り、この結果、被測定物Ｗの精密な検査が困難となる欠
点が露呈する。

また、前記特開昭62−218915号の思想は、レボルバ19
が本体16に対し、着脱可能でないため、レボルバ19に既
に取付けられている対物レンズと異なる倍率の対物レン
ズを必要とするときは、いちいちねじ込み操作しなけれ
ばならず、操作が煩雑であるという問題点もある。更
に、レボルバ19は、着脱可能でないことから、駆動源等
のメンテナンスが容易でないという問題点もある。

一方、これらの顕微鏡を用いて温度、湿度とも略一定
に保持された測定室で測定する場合、この測定室内の作
業者の指には塵埃等が付着していない場合が多いので、
対物レンズを指で把持して変位させることが考えられ
る。

そこで、手動操作しても、レボルバの位置が検出可能
な顕微鏡が要請される。

本発明の第１の目的は、レボルバの正確な位置決めが
自動的に可能で、メンテナンスも容易な顕微鏡及びその
操作方法を提供するにある。

本発明の第２の目的は、レボルバを自動、手動のどち
らで操作しても、前記レボルバの回転を正確に検出する
ことが可能となる顕微鏡を提供するにある。

〔課題を解決するための手段〕

本発明の第１の目的を達成する顕微鏡は、レボルバを
回転可能に支持するレボルバユニットを設けるととも
に、このレボルバユニットを本体に着脱可能に設け、か
つ、レボルバユニットには、レボルバを回転伝達手段を
介して回転駆動する回転駆動源と、レボルバに取付けら
れた対物レンズのそれぞれの位置を検知する回転位置検
知手段を設けたことを特徴とする。

また、本発明の第１の目的を達成する操作方法は、レ
ボルバを回転させることにより複数の対物レンズの中か
ら指定対物レンズを所定位置に変位させて被測定物の精
密検査を行う顕微鏡の操作方法において、先ず、回転駆
動源を高速回転させてこの回転を回転伝達手段を介して
レボルバに伝達し、次いで各対物レンズが前記所定位置
より手前の所定場所に達してから前記回転駆動源を低速
回転させ、この状態において所定位置に接近する対物レ
ンズが指定対物レンズであるかを識別し、所定位置に接
近する対物レンズが指定対物レンズでない場合、前記回
転駆動源を高速回転させ、次いで対物レンズが所定位置
より手前の所定場所に達してから低速回転させ、この状
態において所定位置に接近する対物レンズが指定対物レ
ンズであるかを識別する処理を繰り返す一方、所定位置
に接近する対物レンズが指定対物レンズである場合、前
記回転駆動源の回転方向を頭初の回転方向と逆方向に所
定時間回転させ、更に、前記回転駆動源の回転に一時的
にブレーキをかけてから、前記回転駆動源を完全に停止
させ、これにより、対物レンズを所定位置に位置決めす
ることを特徴とする。

更に、本発明の第２の目的を達成する顕微鏡は、レボ
ルバを回転可能に支持するレボルバユニットと設けると
ともに、このレボルバユニットを本体に着脱可能に設
け、かつ、レボルバユニットには、レボルバを回転伝達
手段を介して回転駆動する回転駆動源と、通電時に対物
レンズの位置を検出する初期位置検出手段と、レボルバ
の手動あるいは自動回転を検知して対物レンズの位置を
検出する手動回転位置検出手段及び自動回転位置検出手
段と、対物レンズの数に対応してレボルバユニットの支
持板に所定間隔で設けられる磁気センサと、レボルバ内
に設けられた対物レンズの数より１つ少ない永久磁石と
が設けられたことを特徴とする。

〔作用〕

前述の構成において、対物レンズの自動的な選択は、
モータ等の回転駆動源を駆動し、回転位置検知手段から
の信号でこの回転駆動源の回転を停止させることで行
う。従って、従来のようにレボルバを指等で回転させる
ことがなくなるので、指等に付着している切削屑、塵埃
等が被測定物上に落下することがなくなり、この結果、
被測定物の精密な検査が可能となる。

また、レボルバユニットを取り外せば、回転駆動源や
回転伝達手段のメンテナンスを容易に行え、かつ、予め
用意した異なる倍率の対物レンズを有するレボルバユニ
ットに交換することで、異なる倍率での被測定物の検査
が容易に行なえる。

更に、本発明に係る顕微鏡が恒温、恒湿の測定室内等
に設置されており、レボルバを手動回転する場合には、
電源投入時のレボルバの初期位置が、永久磁石及び磁気
センサと初期位置検出手段とにより検出される。

次いで、手動でレボルバを回すと、同じく永久磁石及
び磁気センサと手動回転位置検出手段とによって、対物
レンズの位置が検出される。これにより、手動時の対物
レンズの位置を正確に設定できる。

また、前記測定室内等においても、自動設定は前述と
同様にして行える。その際、回転駆動源を低速回転さ
せ、この状態において、所定位置に接近する対物レンズ
が指定対物レンズであるかを識別し、指定対物レンズで
ない場合には、回転駆動源を高速回転させ、次いで低速
回転させた後、所定位置に接近する対物レンズが指定対
物レンズであるかを識別する処理を繰り返す一方、所定
位置に接近する対物レンズが指定対物レンズである場合
には、回転駆動源を逆回転させた後、ブレーキをかけて
停止させているから、複数の対物レンズの中から指定対
物レンズを所定位置に位置決めできる。

〔実施例〕

次に、本発明に係る顕微鏡及びその操作方法について
好適な実施例を挙げ、添付の図面を参照しながら詳細に
説明する。

第１図において、参照符号30は本発明の第１実施例に
係る顕微鏡を示し、前記顕微鏡30の近傍には、画像表示
部160と、コントロールボックス170と、操作ボックス18
0とが配置され、それぞれケーブル161及び171で接続さ
れている。

先ず、顕微鏡30について説明する。

前記顕微鏡30は、略コ字状の本体31を含み、この本体
31の下端には略台形状の底部32が形成されている。この
底部32の上部には、３つの斜面部32Aと上面部32Bとで形
成され、１つの斜面部32Aには、後述する反射用照明手
段と透過用照明手段とを切り換える切換スイッチ33と、
その照度を示す照度表示部34A,34Bとが設けられる。

また、上面部32Bには、透過用照明手段35が設けられ
ている。この透過用照明手段35は、底部32内に装着され
て照明光（図示せず）を上方に指向して出力する透過用
光源36を備えている。また、上面部32Bには、透過用光
源36からの照明光（図示せず）を上方へ導く円筒体37
と、この円筒体37を保護する保護部材38とが設けられ
る。

前記本体31の下部側面にはモータ39が取着され、この
モータ39の一端にはコントロールボックス170に接続さ
れるケーブル41が設けられている。また、本体31の前面
略中央には、本体31に固定された支持台42を介して載物
台43が装着されており、この載置台43は、前記モータ39
の回転軸（図示せず）を矢印Ｃ方向に回動させることに
より、図示しないラックとピニオンとを介して矢印Ｚ方
向に変位するよう構成される。

前記載置台43は、下台43Aと上台43Bとを含み、前記下
台43Aの下面にはハンドル44A,44Bがそれぞれ設けられて
いる。これらの一方のハンドル44Aを矢印Ａ方向に回動
させると、載置台43の下台43Aが、支持台42に設けられ
た図示しないラックとハンドル44Aに同軸に設けられた
同じく図示しないピニオンとの作用により、矢印Ｙ方向
へ移動される。また、他方のハンドル44Bを矢印Ａ方向
へ回動させると、載物台43の上台43Bが、上台43Bに設け
られたラック（図示せず）とハンドル44Bと同軸に設け
られたピニオン（図示せず）との作用により、矢印Ｘ方
向へそれぞれ変位するようになっている。

前記下台43と上台43Bとの一側面には、粗動ピン45A,4
5Bがそれぞれ取着されており、これらの粗動ピン45A,45
Bを指で持って操作することにより、載置台43を矢印X,Y
方向へ大きく変位させることができる。この際、載置台
43の変位に伴い、ハンドル44A,44Bは回転して追従する
こととなる。

更に、前記上台43Bにはガラス板46が固着され、この
ガラス板46上に被測定物Ｗが載置される。

前記本体31の上部一端（後端）には、反射用照明手段
47が装着され、この反射用照明手段47内には反射用光源
48が設けられる。一方、本体31の上部他端（前端）に
は、本体31に固設される取付部材49を介して２つの接眼
レンズ51が配設され、更に、前記取付部材49の上部には
CCDカメラ52が設けられている。このCCDカメラ52はケー
ブル53A,53Bを介して画像表示部160に接続される。

また、本体31の上部側面にはオートフォーカス載置54
が設けられ、このオートフォーカス装置54は、ケーブル
55を介してコントロールボックス170に接続される。

前記本体31の上部前端下面には、第2,3図に示す取着
手段60によってレボルバユニット70が本体31に対して着
脱自在に装着される。

第2,3図において、取着手段60は円柱体61を含み、こ
の円柱体61には、前記レボルバユニット70の一部が摺動
する蟻溝形の摺動面62が形成され、更に、レボルバユニ
ット70が当接した時点で位置決めするストッパ63が突設
される。前記摺動面62の一部には、摺動面62の斜面の形
状に対応した係合ピース64が操作ねじ65を介して進退自
在に取付けられている。また、円柱体61の中央部には、
被測定物Ｗの画像を入射させる貫通孔66が形成されてい
る。

前記レボルバユニット70は、第4,5図に示すように、
孔部71が穿設されたカバー72と、このカバー72の形状に
対応し、かつ、小ねじ73を介して前記カバー72に保持さ
れる支持板74とを含み、この支持板74には、レボルバ10
0と、このレボルバ100の一部を回転させるための回転駆
動源としての、例えば、直流コアレスモータ120と、こ
の直流コアレスモータ120の回転力をレボルバ100の一部
に伝達される回転伝達手段130と、前記レボルバ100の回
転を磁力によって検知する回転位置検知手段150とが支
持されており、このレボルバユニット70は、第１図に示
すように、ケーブル125を介してコントロールボックス1
70に接続される。

以下、各々の詳細を説明する。

前記支持板74は、第５図に示すように、前面74Aと後
面74Bとを有し、前記支持板74の下部の右及び左には矩
形状の孔部75,76が穿設されており、一方の孔部75の後
面74B側の一端には、取付板77が設けられ、この取付板7
7には、前記直流コアレスモータ120がその出力軸121を
突出された状態で取付けられている。直流コアレスモー
タ120の一部は、前面74A側に突出するように取付けら
れ、かつ、このモータ120の出力軸121は矢印Ｄ方向に回
転自在にされている。

また、他方の孔部76の両端には取付板78A,78Bが穿設
されており、これらの取付板78A,78Bには前記回転伝達
手段130の一部を構成するウォーム131がＤ方向に回転自
在に支持されている。このウォーム131に一体の回転軸1
32は、カップリング133を介して前記コアレスモータ120
の出力軸121に連結されている。

更に、前記左方の孔部76の上方には、円形の孔部79が
穿設されている。この孔部79には、前記ウォーム131に
噛合されるウォームホイール134に一体の円筒体135が挿
入されている。このウォームホイール134は、図示しな
いベアリングを介して保持板136に矢印Ｂ方向へ回動自
在に支持されており、この保持板136は、各２本の取付
けねじ137及びスペーサ138（各１個のみ図示）を介して
支持板74の後面74Bに取着される。

前記ウォームホイール134の円筒体135内には、歯車13
9に突設される円柱部141が圧入固定されている。前記歯
車139は、ベアリング142を介して保持板143に矢印Ｂ方
向へ回動自在に支持されている。この保持板143は、各
２本の取付けねじ144及びスペーサ145（各１個のみ図
示）、並びに支持板74の前記孔部79の両側に形成された
ねじ孔81A,81Bにより、支持板74の前面74A側に取着され
る。

前記歯車139にはベルト146が外装され、このベルト14
6には前記歯車139の形状に対応する複数の歯146Aが一方
の面（内面）に形成されており、このベルト146には、
前記レボルバ100の外周に形成される歯109（第４図参
照）にも噛合されることになる。ここにおて、ウォーム
131、カップリング133、ウォームホイール134、歯車13
9、ベルト146により回転伝達手段130が構成されてい
る。

前記支持板74の円形の孔部79の上方には逆凸形状の孔
部82が穿設され、その上下左右方向には４つの固定孔83
が設けられる。また、孔部82の外周には、プリント基板
84が固着されている。このプリント基板84には、同心円
上であって、かつ、等角度（好適には90度）の間隔だけ
離間する位置に、磁気センサ151A乃至151Dが取着されて
いる。これらの磁気センサ151A乃至151Dは、レボルバ10
0の回転を磁力により検知する回転位置検知手段150の一
部を構成し、かつ、ホールIC、マグネチックダイオー
ド、リードスイッチ等よりなる。

前記レボルバ100は、主として固定部材101と、ノーズ
ピース102とで構成され、この固定部材101が、支持板74
の固定孔83を介して挿入される取付けねじ103により、
前面74A側に固定されている。固定部材101の裏側には、
後面74側に突出形成される略円筒状の取付部材104（第
1,4図参照）が固定されている。この取付部材104は、裏
面２箇所に切欠部105を有し、この切欠部105が、第2,3
図に示される取着手段60の蟻溝形の摺動面62に摺動、係
合し、係合ピース64によって固定されるように構成され
る。また、取付部材104の中央には、被測定物Ｗからの
画像を透過させる貫孔106が形成されている。

前記固定部材101の取付部材104が設けられる側とは反
対側には、前記ノーズピース102がその外周部及び中央
部をそれぞれベアリング107,108を介して矢印Ｂ方向へ
回動自在に装着されることになり、ノーズピース102の
外周には、ベルト146の歯146Aと噛合する前記歯109が形
成される。従って、モータ120の回転軸121を矢印Ｄ方向
に回動させると、前記ノーズピース102はウォーム131、
ウォームホイール134、歯車139、ベルト146を介して矢
印Ｂ方向に回動することになる。

また、ノーズピース102の外周には、磁気センサ151A
乃至151Dの数に対応した切欠部111A乃至111Dが所定角度
（好適には90度）離間した位置に設けられ、これらのう
ち切欠部111Aと111Bとの間の略中間位置には、前記ノー
ズピース102を貫通するように永久磁石、例えば、円柱
状のフェライトマグネット152が取着される。

ここで、このフェライトマグネット152が磁気センサ1
51Aから151Bまで移動する時間は、本実施例の場合で
は、略１秒に設定されている。従って、ノーズピース10
2が一回転する時間は、略４秒となるようにされてい
る。

更に、前記ノーズピース102の各切欠部111A乃至111D
と対応した位置には、それぞれねじ孔112A乃至112Dが設
けられ、これらのねじ孔112A乃至112Dにそれぞれ倍率の
異なる対物レンズ115A乃至115Dが螺合される。また、こ
れらのねじ孔112A乃至112Dのいずれか１つ、図面ではね
じ孔112Aに対向され、かつ、前記取付部材104の貫孔106
に対向する位置において、前記固定部材101には、貫孔1
13が穿設されている。

なお、支持板74の前面74A側略中央には、位置決め手
段90が設けられ、この位置決め手段90は、前面74A側に
設けられる略Ｌ字状の取付板91を含み、この取付板91の
近傍には複雑な形状、すなわち、Ｌ字形に立上がり、そ
の先端側面に略コ字形のばね受け部92Aを有する受け板9
2が設けられている。取付板91には板ばね93の一端が固
定されており、この板ばね93の他端は、受け板92のばね
受け部92Aに係止されている。

また、板ばね93の途中に穿設された孔部93Aにはベア
リング94が図示しない軸受を介して支持され、更に、こ
のベアリング94は前記ノーズピース102の切欠部111A乃
至111Dと係合するようになっている。従って、前記板ば
ね93及びベアリング94と各切欠部111A乃至111Dとの作用
により、所謂クリック（節度）動作をすることとなる。

第１図において、前記操作ボックス180上には、対物
レンズ115A乃至115Dの位置を設定する選択スイッチ181A
乃至181Dが並設され、これらの右横にはシフトスイッチ
182が設けられる。また、これらの選択スイッチ181A乃
至181Dの下方には、ノーズピース102を矢印Ｂ方向のい
ずれの向きに回動させるかを指定する回動方向指定スイ
ッチ183A,183Bが取着されており、更に、これらの下方
には載物台43を下降させて測定を開始可能な状態にする
スタンバイスイッチ184及び被測定物Ｗの焦点を自動的
に合致させるオートフォーカススイッチ185、並びに、
前記シフトスイッチ182とともに押すことにより、載置
台43の最上限及び最下限位置を設定する上限スイッチ18
6A及び下限スイッチ186Bがそれぞれ設けられる。

前記上、下限スイッチ186A、186Bの右横には、回転子
187が矢印Ａ方向へ回動自在に取着されており、この回
転子187を回動させることで、被測定物Ｗの細部の画像
を鮮明に描写できるようになっている。

更に、操作ボックス180上の左側には、操作上のエラ
ーを表示するエラー表示部188、前記選択スイッチ181A
乃至181Dの選択位置を示す位置表示部189A乃至189Dが設
けられている。

本実施例に係る顕微鏡30等は、以上のように構成され
るものであり、次にその作用について説明する。

先ず、操作ボックス180のスタンバイスイッチ184を押
圧すると、本体31の側壁に設けられたモータ39が矢印C₁
方向に回転駆動され、図示しないラックとピニオンを介
して載物台43が矢印Z₁方向に下降し、所定位置で停止さ
れる。

次に、被測定物Ｗをガラス板46上に載置した後、オー
トフォーカススイッチ185を押すと、モータ39が矢印C₂
方向に回転され、ラックとピニオン（図示せず）を介し
て載置台43が矢印Z₂方向に変位して所定の位置でその変
位が停止される。

この時、被測定物Ｗの画像は、接眼レンズ51を目視し
ても確認できるが、画像表示部160においても、その画
像を表示することができる。

この画像の詳細部もしくは全体を描写したい時には、
選択スイッチ181A乃至181Dあるいは回動スイッチ186A,1
86Bを押して所望の倍率の対物レンズ115A乃至115Dのい
づれか１つに変更する。

例えば、第１図においては、レボルバ100の固定部材1
01に穿設された貫孔113に対向する位置に、被測定物Ｗ
の細部拡大画像視認用の対物レンズ115Aが設定されてい
るが、被測定物Ｗの全体画像を視認するために、対物レ
ンズ115Cに変更したい時には、選択スイッチ181Cを押
す。これにより、直流コアレスモータ120が駆動されて
回転伝達手段130を介してノーズピース102が矢印B₁方向
に回転され、次いで、対物レンズ115Cが被測定物Ｗの真
上に位置した時にその回転が停止される。

ここで、この回転動作の詳細を第６図のフローチャー
トに基づいて説明する。

すなわち、ステップ（以下、STPと略すことがあ
る。）１において、対物レンズ115Aが被測定物Ｗの上方
に位置している場合には、フェライトマグネット152は
磁気センサ151Aの真上に存在することになる。従って、
この位置検出は、前記フェライトマグネット152から出
力される磁力が、前記磁気センサ151Aに入力され、この
信号がコントロールボックス170内の検出回路（図示せ
ず）に到達することで行われる。

そこで、選択スイッチ181Cを押すと、前記検出回路か
ら「フェライトマグネット152が現在地から２番目の磁
気センサ（すなわち、磁気センサ151C）の真上に位置し
た時に停止せよ」（STP2）という場所指令信号が出力さ
れるので、直流コアレスモータ120が矢印D₁方向に高速
で回転される（STP3）。この時、高速運転を行うため、
具体的には前記直流コアレスモータ120に略9Vの電圧が
印加される。

前記直流コアレスモータ120の回転力は、カップリン
グ133を介してウォーム131に伝達され、更に、ウォーム
131に噛合するウォームホイール134に伝達されてこのウ
ォームホイール134を矢印B₁方向に回転させる。従っ
て、前記ウォームホイール134に固定される歯車139も同
方向に回転され、最終的にこの回転力は、ベルト146を
介してノーズピース102を矢印B₁方向に回転させること
になる。

ノーズピース102の回転により、切欠部111Aがベアリ
ング94から離脱し、更にノーズピース102の回転が進行
すると、前記検出回路（図示せず）で所定時間経過した
か否かが判断されて（STP4）、所定時間が経過した場合
にはステップ５において直流コアレスモータ120が低速
回転に切替えられる。この時、前記モータ120に印加さ
れる電圧は、低速回転を得るために略6Vに降下される。
一方、所定時間が経過しない場合は、経過するまでこの
判断が繰り返される。

なお、ノーズピース102の回転によりフェライトマグ
ネット152が１つの磁気センサから他の１つの磁気セン
サまで移動する時間は、前述のように略１秒になるた
め、本実施例では前記所定時間は、その半分の時間、す
なわち、1/2秒に設定されている。

このようにして、フェライトマグネット152が１つ目
の磁気センサ151Bの真上に位置されると、この場所が指
定された場所か否かがステップ６で判断されるが、ステ
ップ２において「２つ目の磁気センサ151Cで停止せよ」
という場所指令信号が出力されているので、この１つ目
の磁気センサ151Bは通過する（STP7）。この時、位置決
め手段90のベアリング94が切欠部111Bに係合するので、
再び前記モータ120が高速回転すなわち高電圧（9V）印
加に切替えられて運転される（STP3）。

この後、切欠部111Bがベアリング94から離脱して所定
時間（略1/2秒）経過してから（STP4）、前記モータ120
が低速回転にされる（STP5）。

更に、ノーズピース102が矢印B₁方向に回動される
と、磁力を出力しながら回転させられるフェライトマグ
ネット152は磁気センサ151Cに接近するので、この磁力
が前記磁気センサ151Cで感知される。この磁力検知がな
されると、ノーズピース102の回転による慣性力（イナ
ーシャ）に打ち克って回転数を小さくするために、モー
タ120を逆回転させるための時間を設定したタイマを作
動させる（STP8）。

その後、ステップ９において、前記タイマに作動指令
を出力してもタイマが実際に作動するまでには時間遅れ
があるため、この時間遅れ内での所定時間、具体的に
は、前記逆回転用のタイマが作動してからフェライトマ
グネット152が磁気センサ151Cの略真上に移動するまで
の微少時間が経過したか否かが判断され、所定時間経過
した場合には、ステップ10において、0.1〜500mS程度ま
で設定可能なタイマに設定された微少時間、例えば10〜
20mSだけ、モータ120に逆回転、すなわち、モータ120を
矢印D₂方向へ回転させる。この際、このモータ120の逆
回転を停止させるために、ステップ11において、直流コ
アレスモータ120の一時停止タイマを作動させる。

次いで、ステップ12でモータ120の逆回転（矢印D₂方
向）動作が所定時間経過したか否かがチェックされ、経
過した場合には、モータ120の図示しないプラス電極と
マイナス電極間とを瞬時的に短絡させることで、モータ
120の回転を一時的にブレーキをかけ（STP13）、この後
モータ120に印加されている電圧を解除して完全にモー
タ120を停止させる（STP14）。この時、切欠部111Cがベ
アリング94に係合して対物レンズ115Cの位置決めが行わ
れることになる。一方、ステップ12で、前記所定時間が
経過しない場合は、時間が経過するまでチェックが繰り
返される。

以上の説明では、対物レンズ115Aを反対側の対物レン
ズ115Cに交換する例について述べたので、直流コアレス
モータ120の回転方向はD₁に限らず、その逆でも交換に
要する時間は同一であるが、現在のポジションから交換
するポジションまでに経路の長短があるときは、最短の
方向を選んでモータ120が回転される。

また、前記説明では、自動的に対物レンズ115Cが選択
される例であったが、交換動作は、作業者が回転方向指
定スイッチ183A,183Bによりその回転方向を指定し、ス
テップ送りによって適当な倍率の位置で停止させてもよ
い。この際、回転方向指定スイッチ183A,183Bは、１回
の押圧動作で１ポジションづつレボルバ100が回動され
るようにされている。

前述のような本実施例によれば、次のような効果があ
る。

すなわち、ノーズピース102を回転させることによっ
て発生する慣性力（イナーシャ）は、前記ノーズピース
102を回転させるモータ120に所定時間逆回転させた後
に、一時的にその回転にブレーキをかけることによって
除去することができる。従って、切欠部111A乃至111D、
ベアリング94等の位置決め手段90を小さく設定しても、
その位置決めは正確に行われることになる。また、切欠
部111A乃至111Dがベアリング94から容易に離脱できるの
で、この結果、直流コアレスモータ120は比較的小さ
く、かつ、安価なモータを使用することが可能となり、
ひいては、レボルバユニット70を小型化できるととも
に、顕微鏡30をも廉価に提供することが可能となる効果
が得られる。

更に、ノーズピース102の駆動にあたり、高速駆動、
低速駆動、逆回転駆動、ブレーキ付与等の多段階制御を
行うから、ノーズピース102に取付けられる対物レンズ1
15A乃至115Dの間に倍率の差に基づく大幅な重量差があ
っても、常に円滑な駆動を行え、この点からも位置決め
動作を確実にすることができる。また、回転駆動源とし
て直流コアレスモータ120を用いているから、前記多段
階制御を、印加する電圧等で容易に制御でき、更には、
直流コアレスモータ120の回転イナーシャも小さいか
ら、この点からも制御を容易にできる。

また、前記モータ120の回転力は、回転伝達手段130を
介してノーズピース102へ確実に伝達されるので、ノー
ズピース102はすべり等を惹起することなく、正確にそ
の回転動作が行われるので、従来のように設定した位置
以外で停止するといった不具合が解消される。従って、
確実に所定の位置で位置決めができ、これにより、対物
レンズ115A乃至115Dの回転移動を正確、かつ、自動的に
行うことができる。このため、指等に付着している切削
屑、塵埃等を被測定物Ｗ上に落下させることがなくな
り、この結果、被測定物Ｗの精密な部品検査を行うこと
が可能となる効果を奏する。

また、回転伝達手段130にウォーム131とウォームホイ
ール134を用いて、直流コアレスモータ120を、その軸線
が支持板74の面に平行となるように配置したから、レボ
ルバユニット70を偏平小型に製作でき、ひいては顕微鏡
30そのものも小型化できる。

更に、レボルバユニット70は、本体31に着脱可能とさ
れているから、直流コアレスモータ120、回転伝達手段1
30等のメンテナンスを容易に行うことができ、かつ、現
在使用しているレボルバユニット70とはレンズ構成の異
なる他のレボルバユニットを用意しておくことで、広い
レンジの倍率での測定をレボルバユニット70の交換で容
易に行なえるという効果もある。

次に、本発明に係る顕微鏡及びその操作方法の第２実
施例を第７図乃至第12図に基づいて説明する。

なお、前記第１実施例と同一の構成要素には同一の参
照番号を付してその詳細な説明を省略する。

この第２実施例のレボルバ100Aには、第７図に示すよ
うに、３つのフェライトマグネット152A乃至152Cが設け
られており、具体的には、対物レンズ115Cと対物レンズ
115Dとの間の丁度中央位置にフェライトマグネット152A
が設けられ、また、対物レンズ115Dと対物レンズ115Aと
の間にフェライトマグネット152Bが固設され、更に、対
物レンズ115Bと対物レンズ115Cとの間にフェライトマグ
ネット152Cが取着される。

また、前記フェライトマグネット152Aとフェライトマ
グネット152B、及び、フェライトマグネット152Aとフェ
ライトマグネット152Cとは、それぞれ同一の所定角度θ
（好適にはθ＝100゜）だけ離間した位置に設けられて
いる。従って、フェライトマグネット152B及び152Cは、
必ずしも対物レンズ115Dと115Aあるいは対物レンズ115B
と115Cとの中央位置に位置するものではない。

このため、しっかりと位置決めされた状態、すなわ
ち、ベアリング94が90度間隔で形成された切欠部111A乃
至111Dのいずれかに係合した状態では、フェライトマグ
ネット152Aが、同じく90度間隔で形成された磁気センサ
151A乃至151Dの何れかの真上に位置することになる。一
方、このしっかり位置決めされた状態では、他のフェラ
イトマグネット152B及び152Cは、何れの磁気センサ151A
乃至151Dの真上にも位置しない。

ここで、これらの磁気センサ151A乃至151Dは、実質的
には、レボルバ100Aの下方に位置することになるが、こ
こでは図面の錯綜を避けるために、前記磁気センサ151A
乃至151Dは、レボルバ100Aに対し半径方向に離間した位
置に記載されている。

なお、この実施例の場合、対物レンズ115Aが測定位置
にある状態から対物レンズ115Bを測定位置に移動させる
時間は、前記第１実施例と同様に略1secと設定されてい
るので、レボルバ100Aが１回転する時間は、略4secとな
るように構成される。

また、この第２実施例では、第８図のフローチャート
に示すように、顕微鏡30の電気回路に通電した際に、対
物レンズ115A乃至115Dの何れかが、現在どこに位置して
いるかを検出する初期位置検出手段200と、レボルバ100
Aを手動回転させる際、対物レンズ115A乃至115Dの何れ
かが、どこに位置しているかを検出する手動回転位置検
出手段300と、操作ボックス180の所定のキーを入力した
際、その位置を検出する自動回転位置検出手段400とを
備えている。

そこで、これらの概略を説明する。

すなわち、第８図において、先ず、顕微鏡30の電源を
ON（STP15）すると、初期位置検出手段200が作動して現
在、レボルバ100Aが位置決めされているか否かを操作ボ
ックス180を視認することで検知できる（STP16）。そし
て、作業者の指等によってレボルバ100Aを所望の方向に
回動させると、手動位置検出手段300によってその位置
が検出され、操作ボックス180によって検知することが
できる（STP17）。

更に、今度はレボルバ100Aを自動回転させるために、
操作ボックス180の所定のキーを押圧（STP18）すると、
自動回転位置検出手段400によって、同じくその位置を
操作ボックス180から検知することが可能となる（STP1
9）。

そこで、初期位置検出手段200及び手動回転位置検出
手段300並びに自動回転位置検出手段400の詳細を、第９
図乃至第12図を参照しながら説明する。

先ず、初期位置検出手段200について、第９図及び第1
0図を参照して説明する。

第10図においても、第７図と同様に、磁気センサ151A
乃至151Dは、レボルバ100Aから半径方向に離間した位置
に記載されている。

前記初期位置検出手段200では、顕微鏡30の電気回路
に通電したとき、レボルバ100Aがしっかりと位置決めさ
れている状態〔例えば第10図（ａ）〕はもちろん検出で
きるが、位置決めされていない状態〔例えば第10図
（ｂ）〕でも検出できるので、以下両方の場合について
説明する。

第10図（ａ）の状態のときに、顕微鏡30の電源をONに
すると、フェライトマグネット152Aが斜線で示す磁気セ
ンサ151Cの真上にあるため、この磁気センサ151CがON
（STP20）する。このON信号により、モータ120に略3Vの
電圧を印加して所定時間（好適には0.1sec）前記モータ
120を低速回転させた後（STP21）、モータ120を停止さ
せる（STP22）。このとき、切欠部111Aにベアリング94
が係合しているので、モータ120を低速回転させても、
レボルバ100Aは回転しないため、フェライトマグネット
152Aも変位せず、磁気センサ151CはOFFせず、ON状態を
維持する（STP23）。

従って、前記フェライトマグネット152Aが磁気センサ
151Cの真上にある状態、すなわち、対物レンズ115Aが測
定位置、すなわち、第４図の貫孔106に対向された状態
なので、操作ボックス180の位置表示部189Aが点灯され
（STP35）、かつ、モータ120を完全に停止（STP36）さ
せて、初期位置検出が終了する。

次に、レボルバ100Aが位置決めされていない状態、例
えば、第10図（ｂ）の状態にあるときもその位置を検出
することができるので、その場合について説明する。

先ず、ステップ20において、磁気センサ151A乃至151D
の何れかのセンサがONしているか否かを判断している。
この場合、ベアリング94が何れの切欠部111A乃至111Dに
も係合されておらず、レボルバ100Aが位置決めされてい
ないため、フェライトマグネット152Aは、いずれの磁気
センサ151A乃至151Dとも対向されておらず、他のフェラ
イトマグネット、第10図（ｂ）では、フェライトマグネ
ット152Bが斜線で示す磁気センサ151Dの真上にある。従
って、このセンサ151DがON状態となるため、ステップ21
でモータ120を所定時間（0.1sec）低速回転させた後、
停止（STP22）させる。すると、この間にレボルバ100A
が矢印B₁方向に少し変位した状態で停止するため、フェ
ライトマグネット152Bが磁気センサ151Dから離間する。
これにより、この磁気センサ151DがOFF（STP23）し、操
作ボックス180のエラー表示部188が点灯する（STP2
4）。

そして、この状態から操作ボックス180の所定のキ
ー、例えば、回動方向指定スイッチ183Aを押圧（STP2
5）すると、モータ120に略9Vの電圧が印加されて、この
モータ120が矢印D₁方向（第５図）へ微少時間高速回転
する（STP26。これにより、レボルバ100Aが矢印B₁方向
に変位する。この高速回転後、ステップ27において、磁
気センサ151AがONするまでの間〔実質的には第10図
（ｂ）から（ｃ）までの間〕は、モータ120に略6Vの電
圧を印加して中速回転（STP28）させた後、その時間を
カウント（STP29）させる。

その後、レボルバ100Aの回転（B₁方向）が進行してフ
ェライトマグネット152Cが斜線で示すセンサ151Aの真上
〔第10図（ｃ）〕に位置すると、ステップ27で磁気セン
サ151AがONとなり、ステップ30で前記ステップ29でカウ
ントした時間が所定時間（好適には0.4sec）経過したか
否かを判断する。この場合、タイムカウントした時間
は、第10図（ｂ）から（ｃ）までの時間となり、この時
間は略0.8secとなるため、ステップ31へと進行して、モ
ータ120を低速回転にする。その後、低速で、更にレボ
ルバ100Aを回転させると、フェライトマグネット152Cが
磁気センサ151Aから離間するので、この磁気センサ151A
がOFF（STP32）となった後、今度はフェライトマグネッ
ト152Aが斜線で示す磁気センサ151Bの真上に位置するの
で、この磁気センサ151BがON状態（STP33）となる〔第1
0図（ｄ）〕。

そして、ステップ34で、モータ120の電極を一時的に
短絡させてブレーキをかけると、回転方向（B₁方向）に
作用するレボルバ100Aの慣性力（イナーシャ）が最小限
となり、ベアリング94が切欠部111Bに係合、すなわち、
位置決めされた状態となる。従って、操作ボックス180
の位置表示部189Bが点灯して表示（STP35）され、か
つ、モータ120に印加されている電圧を解除して完全に
モータ120を停止（STP36）させる。これにより、レボル
バ100Aの初期位置の設定及び検出が終了する。

なお、４つの磁気センサ151A乃至151Dのいずれにもフ
ェライトマグネット152A乃至152Cが対向されておらず、
全ての磁気センサ151A乃至151DがOFFのときは、ステッ
プ20からステップ24に進行してエラー表示がなされ、以
下ステップ25のキー入力以後、前述と同様な手順で進行
して初期位置設定及び初期位置検出がなされる。

次に、手動回転位置検出手段300について、第10図及
び第11図を参照して説明する。

手動回転位置検出手段300は、レボルバ100Aを手動
で、第10図（ａ）乃至（ｄ）まで変位させて対物レンズ
115A乃至115Dの１つ分の変位をさせる場合はもちろん検
出できるが、検出が困難と考えられる操作状態、すなわ
ち、レボルバ100Aを（ａ）から（ｃ）〔実質的には、フ
ェライトマグネット152Cが磁気センサ151Aの位置を通過
した（ｃ）と（ｄ）の間〕まで変位させてから、更に今
度はレボルバ100Aを前記と逆方向に回転させて再度
（ａ）の位置に戻す場合、換言すると、対物レンズ115A
乃至115Dの１つ分までは移動せずに、途中から戻す場合
においても、その位置を検出することができるので、以
下、前記２通りの検出方法について説明する。

先ず、第10図（ａ）の状態、すなわち、位置決め停止
され、電源がONされた状態では、初期位置の状態なの
で、図示しない演算手段に入力するための位置情報Ｐが
０と設定されるとともに、磁気センサ151Cが、新位置
（初期位置）、すなわち、新たに何れかのフェライトマ
グネット152A乃至152Dに向い合った磁気センサである
と、図示しない記憶手段に記憶される。

そして、この状態から、前記レボルバ100Aを手動で矢
印B₁方向に回転させると、第10図（ｂ）の状態となり、
フェライトマグネット152Bが磁気センサ151Dの真上にく
るので、このセンサ151DがON（STP37）し、ステップ38
でこのセンサ151Dの信号が新しい位置として入力され
る。従って、センサ151Cの位置は旧位置とされる。

次いで、ステップ39に進行し、新位置、すなわちセン
サ151Dの位置と、旧位置、すなわちセンサ151Aの位置と
を比較するが、この場合、新位置と旧位置とは別の位置
なので、ステップ40へと進行する。このステップ40で
は、連続して入力される前記旧位置（センサ151C）と新
位置（センサ151D）とから、この時のレボルバ100Aの回
転方向を判断し、矢印B₁方向を検出する。

次に、ステップ41ではこの方向（B₁方向）が順方向か
否かを判断する。

このとき、順方向とは、位置決めされた状態から、最
初に回転させた方向を順方向と設定されるので、この場
合B₁方向は、順方向と判断されてステップ47へと進行す
る。ここでは、前記新位置（センサ151D）を旧位置とし
て設定してから、位置情報Ｐを１つプラス（STP48）し
てＰ＝１とする。ここで、位置情報Ｐは、0,1,2,3の４
つの数字で表されるが、位置情報Ｐが３になると基本的
に３つのセンサがONした状態を経過し、再びフェライト
マグネット152Aが何れかのセンサ向い合った状態、すな
わち、位置決めされた状態となるので、自動的に位置情
報Ｐが０にリセットされるよう構成される（STP50参
照）。そして、今度はステップ49へと進行して位置情報
Ｐが３であるか否かを判断するが、この場合、Ｐ＝１な
ので操作ボックス180のエラー表示部188を点灯させる
（STP46）。

更に、手動でレボルバ100Aを矢印B₁方向に回転させる
と、今度はフェライトマグネット152Cがセンサ151Aの真
上に位置〔第10図（ｃ）〕するので、このセンサ151Aが
ON状態となる。このセンサ151AのON状態が再びステップ
37で判断され、このセンサ151Aが今度の新位置として入
力（STP38）され、ステップ39でこの新位置（センサ151
A）と旧位置（センサ151D）とが比較される。この場
合、当然、新位置と旧位置とが異なるので、この時の回
転方向（B₁方向）が検出（STP40）された後、ステップ4
1で順方向か否かが判断される。

この場合、矢印B₁方向は、前記と同様に順方向なの
で、ステップ47へと進み、新位置、すなわち、センサ15
1Aの位置が旧位置に設定されて、位置情報Ｐを１つプラ
ス（STP48）してＰ＝２とする。そして、この情報を基
にステップ49へと進行するが、今、Ｐ＝２なので、エラ
ー表部188は点灯（STP46）されたままとなる。

そして、更にレボルバ100Aを手動でB₁方向に回転させ
ると、今度は、フェライトマグネット152Aがセンサ151B
の真上に位置〔第10図（ｄ）〕するので、このセンサ15
1BがON状態（STP37）となり、このセンサ151Bの位置を
新位置として入力（STP38）する。その後、ステップ39
へと進み、新位置（センサ151B）と旧位置（センサ151
A）とを比較するが、当然同一ではないので、この時の
回転方向をB₁方向と検出（STP40）してから、ステップ4
1へと進行して、この方向は順方向（B₁方向）なので、
更に位置情報Ｐを１つプラス（STP48）してＰ＝３とし
てからステップ49へと進む。

ここでは、前記ステップ48でＰ＝３とされたので、ス
テップ49ではYESと判断されるため、ステップ50へと進
み、位置情報Ｐを０にリセットするとともに、B₁方向を
順方向としたことも解除する。そして、ステップ51へと
進み、正しい位置、すなわち、対物レンズ115Bが測定位
置にあるので、操作ボックス180の位置表示部189Bを点
灯させて手動回転位置の検出が終了する。

次に、手動でレボルバ100Aを第10図（ａ）の状態から
（ｂ），（ｃ）と回転させて、（ｃ）と（ｄ）との間、
すなわち、フェライトマグネット152Cがセンサ151Aを通
過した位置まで変位させた後、今度はレボルバ100Aを前
記と逆方向に変位させて最終的に（ａ）の位置に戻す場
合も位置検出できるので、以下、その検出方法を説明す
る。

先ず、レボルバ100Aを（ａ）の状態から（ｂ）の状態
まで矢印B₁方向に回転させると、フェライトマグネット
152Bの作用によりセンサ151DがON（STP37）するので、
このセンサ151Dの位置を新位置として入力（STP38）す
る。次いで、この新位置（センサ151D）と旧位置（セン
サ151C）とは当然異なるので（STP39）、その時の回転
方向、すなわち、矢印B₁方向をステップ40で検出する。

次に、この方向（B₁方向）は、最初に回転させた方向
なので、ステップ41では順方向と判断される。ステップ
47では、新位置（センサ151D）を旧位置の代りに設定し
た後、位置情報Ｐを１つプラス（STP48）してＰ＝１と
してから、ステップ49でＰ＝３か否かを判断する。今、
Ｐ＝１なのでステップ46へと進み、エラー表示部188を
点灯させる。

そして、レボルバ100Aを更に矢印B₁方向に回転させ
て、第10図（ｃ）の状態にすると、フェライトマグネッ
ト152Cの磁力作用によりセンサ151AがON（STP37）し、
この信号を新位置として入力（STP38）した後、新位置
（センサ151A）と旧位置（センサ151D）とを比較（STP3
9）するが、値は、当然異なるので、この時の回転方向
（B₁方向）を検出（STP40）する。

その後、この方向（B₁方向）は順方向（STP41）なの
で、新位置（センサ151A）を旧位置の代りに設定（STP4
7）してから、位置情報Ｐを１つプラス（STP48）し、Ｐ
＝２としてからステップ49でＰ＝３か否かを判断する。
今、Ｐ＝２なのでステップ46へと進み、エラー表示部18
8を点灯させておく。

そして、今度はフェライトマグネット152Cがセンサ15
1Aを通過するまでレボルバ100Aを手動でB₁方向に回転さ
せ、フェライトマグネット152Cがセンサ151Aを通過した
ら、一旦レボルバ100Aの回転を停止させた後、今度はレ
ボルバ100Aを矢印B₂方向へ回転させる。

すると、フェライトマグネット152Cが再度センサ151A
の真上に位置するので、このセンサ151AがON（STP37）
状態となり、センサ151Aを新位置として入力（STP38）
してから、ステップ39へと進行する。ここで、新位置
（センサ151A）と旧位置（センサ151A）とは同一のた
め、回転方向を検出する必要がないのでステップ41へと
進行し、ここで順方向か否かを判断されるが、矢印B₁方
向ではないので、ステップ42へと進む。ここで、順方向
（B₁方向）に対して逆方向か否かを判断するが、今入力
されている情報は、新位置、旧位置ともにセンサ151Aの
ため、逆方向とは判断されず、この場合、位置変更なし
（STP52）とされてステップ45へと進行する。

ここで、前記位置情報Ｐ＝２なので、Ｐは０ではない
と判断されて、エラー表示部188を点灯（STP46）させて
おく。

そして、更にレボルバ100Aを矢印B₂方向に回転させ
て、第10図（ｂ）の状態にすると、フェライトマグネッ
ト152Bの作用によりセンサ151DがON（STP37）するの
で、この位置を新位置として入力（STP38）した後、ス
テップ39で新位置（センサ151D）と旧位置（センサ151
A）と比較するが、当然異なるので、ステップ40へと進
行する。ここでは、この時の回転方向、すなわち、矢印
B₂方向が検出されてステップ41へと進行する。

すると、ここでは、矢印B₂方向は、順方向ではないと
判断されるので、ステップ42へと進む。ここで、B₂方向
は逆方向と判断されて、新位置（センサ151D）を旧位置
に設定（STP43）してから、位置情報Ｐを１つマイナス
（STP44）してＰ＝１とする。そして、ステップ45では
Ｐ＝０か否かを判断するが、今Ｐ＝１なので、エラー表
示部188を点灯（STP46）させたまま、更に、レボルバ10
0Aを手動で矢印B₂方向に回転させると、今度はフェライ
トマグネット152Aがセンサ151Cの真上に位置〔第10図
（ａ）〕するので、このセンサ151CがON（STP37）状態
となり、センサ151Cの位置を新位置として入力（STP3
8）する。

その後、新位置（センサ151C）と旧位置（センサ151
D）とは異なる（STP39）ので、この時の回転方向を矢印
B₂方向と検出（STP40）してから、ステップ41で順方向
（B₁方向）か否かを判断するが、この方向はB₂方向なの
でステップ42に進み、ここで逆方向（B₂方向）と判断さ
れて、新位置（センサ151C）を旧位置に設定（STP43）
する。

そして、ステップ44では位置情報Ｐから１つマイナス
してＰ＝０として、ステップ45へと進行し、ここでＰが
０か否かが判断されるが、今Ｐ＝０、すなわち、対物レ
ンズ115Aが正しい位置（測定位置）にあると判断される
ので、操作ボックス180の位置表示部189Aを点灯させ
て、手動回転位置の検出が終了する。

このようにして、自動でなく手動回転によっても、各
磁気センサ151A乃至151D及びフェライトマグネット152A
乃至152Cの作用を受けて、所定の対物レンズが測定位置
に正しく設定されたか否かが、検出され、操作ボックス
180で視認できることとなる。

次に、自動回転位置検出手段400について説明する。

この自動回転位置検出手段400は、位置決めされた状
態〔例えば第10図（ａ）〕からは勿論検出できるが、位
置決めされていない場合〔例えば第10図（ｂ）〕でもそ
の位置を検出して所望の位置に位置決めできるので、以
下、両方の場合について第12図のフローチャートを中心
とし、この他に、第11図及び第10図並びに第９図等をも
参照しながら詳細に説明する。

先ず、しっかりと位置決めされた状態、例えば、対物
レンズ115Aが測定位置にある状態〔第10図（ａ）〕か
ら、操作ボックス180の所定のキー、例えば、回動方向
指定スイッチ183Aを押圧して、隣接して配置された対物
レンズ115Bを測定位置〔第10図（ｄ）〕まで回転する場
合について説明する。

この時、第10図（ａ）の状態からB₁方向に90度移動し
た（ｄ）の状態まで回転する時間を、略1secとなるよう
設定してあるので、レボルバ100Aが１回転（360度回
転）する時間は、略4secとなる。

先ず、第８図のステップ18で所望のキー、例えば、操
作ボックス180の回動方向指定スイッチ183Aを押圧する
と、キー入力したと判断されるので、ステップ１の自動
回転位置検出手段400に進行する。

そして、この自動回転位置検出手段400では、第12図
に示すように、先ず、ステップ53でセンサ151A乃至151D
の何れかが、ONしているか否かが判断される。この場
合、フェライトマグネット152Aが磁気センサ151Cの真上
にあるので、このセンサ151CがONしているため、モータ
120を高速回転（STP54）させる。これにより、レボルバ
100Aが矢印B₁方向に回転して、切欠部111Aがベアリング
94から離脱する。

次に、ステップ60に進行するが、ここでは、モータ12
0が誤作動して回転し続けることを阻止するために、通
常のモータ120の駆動設定時間（本実施例では1sec）よ
り長い所定時間（２〜3sec）を設定してあり、一方、そ
の時間以上、モータ120が回転するようであれば、この
モータ120を強制的に停止（STP61）させてエラー表示部
188を点灯（STP84）させた後、第８図のステップ18へと
進行するよう構成されている。前記所定時間（２〜3se
c）は設定自在であり、本実施例の場合は2secとしてい
る。

この場合、経過時間は1sec以下なので、ステップ62へ
と進み、レボルバ100Aの回転が更に進行すると、フェラ
イトマグネット152Bの磁力作用により、センサ151DがON
〔第10図（ｂ）〕するので、ステップ63へと進行して、
このセンサ151Dの位置を新位置として入力する。そし
て、ステップ64へと進み、このステップ64では最初に回
転させた方向（B₁方向）を順方向とするため、当然順方
向と判断されてステップ73へと進行する。ここで、新位
置（センサ151D）を旧位置の代りに設定するとともに、
位置情報Ｐに１つプラスしてＰ＝１とする。

その後、ステップ74に進行して、Ｐが１か否かを判断
するが、前記ステップ73でＰ＝１とされているので、モ
ータ120を中速回転（STP75）させる。すると、再度ステ
ップ60に進行して所定時間（好適には2sec）経過してい
るか否かを判断するが、この時、実際の経過時間はやは
り1sec以下のため、ステップ62へと進む。

そして、更にレボルバ100Aの回転（B₁方向）が進行す
ると、フェライトマグネット152Cの磁力作用により、セ
ンサ151AがON〔第10図（ｃ）〕するので、ここではセン
サONと判断されて、このセンサ151Aの位置を新位置とし
て入力（STP63）する。

その後、ステップ64でこの回転方向（矢印B₁）は順方
向と判断されてステップ73に進み、ここで新位置（セン
サ151A）を旧位置に設定するとともに、位置情報Ｐを１
つプラスしてＰ＝２とする。このため、ステップ74では
Ｐ＝１ではないと判断されるので、ステップ76へと進行
し、ここでＰ＝２と判断されてモータ120を低速回転（S
TP77）させる。

そして、再度ステップ60に進行するが、この場合でも
経過時間はやはり1sec以下のため、ステップ62へと進
む。レボルバ100Aの回転が更に進行して第10図（ｄ）の
状態になると、フェライトマグネット152Aの磁力作用に
よりセンサ151BがONするので、このステップ62でセンサ
ONと判断される。その後、このセンサ151Bの位置を新位
置として入力（STP63）した後、この回転方向が順方向
と判断（STP64）されてから、ステップ73に進行する。
このステップ73では、位置情報Ｐを１つプラスしてＰ＝
３とし、ステップ74,76と進行するが、これらのステッ
プ74,76では、何れもＰ＝３のためNOと判断されて、ス
テップ78へと進み、ここで現在３となっている位置情報
Ｐを０にリセットするとともに、B₁方向を順方向と設定
したことを解除する。

そして、操作ボックス180の位置表示部189Bを点灯（S
TP80）させて、モータ120の電極を一時的に短絡させ、
このモータ120にブレーキ（STP81）をかけることで、レ
ボルバ100Aの矢印B₁方向に作用する慣性力（イナーシ
ャ）を最小限にさせる。その後、ステップ83へ進み、モ
ータ120に印加されている電圧を解除して、このモータ1
20を完全に停止させる。このようにして、レボルバ100A
をしっかりと位置決めさせる〔第10図（ｄ）〕ことで、
自動回転の位置検出が終了する。

次に、本実施例に係る顕微鏡30の他の使用状態につい
て説明する。

すなわち、顕微鏡30を、対物レンズ交換等の理由で、
第10図（ａ）の状態からレボルバ100Aを矢印B₁方向に手
動回転させ、フェライトマグネット152Cがセンサ151Aを
通過した後〔第10図（ｃ）と（ｄ）の間〕、一旦その回
転を停止させて現在螺合されている対物レンズを任意の
対物レンズと交換してから、操作ボックス180の所定の
キー、例えば、回動方向指定スイッチ183Bを押圧して、
レボルバ100Aを前記と逆方向（B₂方向）に回転させて、
再び所定の位置〔第10図（ａ）〕に位置決めされるよう
な使用法もあり、以下、この場合について説明する。

先ず、第10図（ａ）の状態から手動でレボルバ100Aを
矢印B₁方向に回転させると、第10図（ｂ）に示すよう
に、フェライトマグネット152Bの磁力作用によりセンサ
151DがONする（第11図STP37）ので、このセンサ151Dの
位置を新位置として入力（STP38）した後、この新位置
（センサ151D）と旧位置（センサ151C）とが、同一か否
かを比較（STP39）する。この場合、同一ではないの
で、この時の回転方向を矢印B₁を検出（STP40）してか
ら、ステップ41へと進む。

ステップ41では、前記ステップ40で検出された方向が
順方向か否かを判断するが、この場合、最初に回転させ
た方向は矢印B₁方向なので、当然順方向と判断し、新位
置（センサ151D）を旧位置に設定（STP47）してから、
位置情報Ｐを１つプラス（STP48）してＰ＝１とする。
その後、ステップ49では位置情報Ｐが３か否かを判断す
るが、ここではＰ＝１のため、操作ボックス180のエラ
ー表示部188を点灯（STP46）させる。

そして、更にレボルバ100Aを回転（B₁方向）させる
と、第10図（ｃ）の状態、すなわち、フェライトマグネ
ット152Cの磁力作用によりセンサ151AがON（STP37）す
る。このため、このセンサ151Aの位置を新位置として入
力（STP38）してから、新位置（センサ151A）と旧位置
（センサ151D）とが同一か否かを比較（STP39）する。
この場合、これら２つは異なるので、この時の回転方向
を矢印B₁方向と検出（STP40）する。すると、ステップ4
1では、この方向はB₁方向、すなわち、順方向と判断さ
れるので、新位置（センサ151A）を旧位置の代りに設定
（STP47）した後、位置情報Ｐを１つプラス（STP48）し
てＰ＝２とする。

その後、ステップ49で位置情報Ｐが３か否かを判断さ
れるが、前記ステップ48でＰ＝２とされたので、エラー
表示部188を点灯（STP46）させたままにしておく。

そして、更にレボルバ100AをB₁方向に少し回転させ
て、フェライトマグネット152Cがセンサ151Aを通過した
後に、その回転を停止させる〔実際は第10図（ｃ）と
（ｄ）の間で停止させる〕。

次いで、操作ボックス180の所定のキー、例えば、回
動方向指定スイッチ183Bを押圧（第８図STP18）する
と、ステップ19へと進行し、自動位置検出手段400が作
動する。

前記回動方向指定スイッチ183Bを押圧すると、第12図
のステップ53に進み、センサがONしているか否かを判断
するが、今、エラー表示部188が点灯しているため、当
然NOと判断されて、ステップ55へと進む。ここでは、第
11図のステップ40で最後に検出した方向、すなわち、い
ずれかのフェライトマグネット152A乃至152C（第10図で
はマグネット152Bと152C）によるセンサ151DのON状態か
らセンサ151AのON状態に回転する方向（矢印B₁）に対し
て、逆回転か否かを判断している。今、レボルバ100Aを
フェライトマグネット152Cがセンサ151Dからセンサ151A
へと向かう方向（矢印B₂）に回転させようとしているの
で、この方向（矢印B₂）は逆回転と判断されて、ステッ
プ58に進行し、Ｐ＝０か否かを判断するが、この場合、
第13図のステップ48でＰ＝２と設定されているので、モ
ータ120を中速回転（STP57）させて、レボルバ100Aを矢
印B₂方向に回転させる。

この後、所定時間（好適には2sec）が経過したか否か
を、ステップ60で判断する。この場合、所定のキーを入
力（第８図STP18）してから現在までの経過時間、すな
わち、1sec以下なので、NOと判断される。

そして、レボルバ100Aが更に矢印B₂方向に回転する
と、第10図（ｃ）に示すようにフェライトマグネット15
2Cの磁力作用によりセンサ151AがON（STP62）するの
で、このセンサ151Aの位置を新位置として入力（STP6
3）して、ステップ64に進む。

ここでは、旧位置がセンサ151Aで、新位置もセンサ15
1Aとなるので、順方向ではないと判断されて、ステップ
65へと進むが、ここでも新位置と旧位置とが同一のた
め、逆方向ではないと判断されて、ステップ60へと進行
する。

そして、レボルバ100Aが更に矢印B₂方向に回転する
と、第10図（ｂ）に示すように、今度はフェライトマグ
ネット152Bの作用下にセンサ151DがON（STP62）するの
で、このセンサ151Dの位置を新位置として入力（STP6
3）すると、旧位置が151Aで、新位置151Dとなるので、
回転方向が矢印B₂方向と設定される。ステップ64では、
この方向（B₂）が順方向（B₁）であるか否かを判断する
が、ここでは順方向ではないので、ステップ65へと進行
する。そして、ここで、この方向（B₂）は逆方向と判断
され、新位置（センサ151D）を旧位置に設定（STP68）
した後、位置情報Ｐから１つマイナス（STP69）してＰ
＝１とされる。すると、ステップ70でＰ＝１か否かが判
断されるが、前記ステップ69でＰ＝１とされたのでステ
ップ72へと進み、ここでモータ120を低速回転にする。
その後、再度ステップ60で所定時間（2sec）経過したか
否かを判断するが、ここでもやはり、経過時間は1sec以
下なのでNOと判断される。

そして、レボルバ100AのB₂方向の回転が更に進行する
と、第10図（ａ）に示すように、フェライトマグネット
152Aの作用下により、センサ151CがON（STP62）するの
で、このセンサ151Cの位置を新位置として入力（STP6
3）した後、この方向（B₂）は逆方向なのでステップ64
ではNOとなり、ステップ65ではYESとなって、この新位
置（センサ151C）を旧位置に設定（STP68）してから、
位置情報Ｐから１つマイナス（STP69）してＰ＝０とす
る。

すると、ステップ70ではNOと判断されるのでステップ
71へと進み、ここでYESと判断されて、ステップ80へと
進み、Ｐ＝０とされたので操作ボックス180の位置表示
部189Aを点灯させる。次いで、ステップ81に進み、モー
タ120にブレーキをかけてレボルバ100Aに作用する慣性
力（イナーシャ）を最小限にしてから、ステップ83でモ
ータ120を完全に停止させる。このようにして、レボル
バ100Aがしっかりと位置決めされ、自動回転位置の検出
が終了する。

この場合、本実施例によれば、フェライトマグネット
を３つ設けることにより、特に、手動回転の位置を容易
に検出することができ、これにより、自動回転と手動回
転とを併用してレボルバ100Aを回動させることができる
ので、この結果、その操作性を飛躍的に向上させること
が可能となる効果が得られる。

また、初期位置検出手段200を設けているので、当該
顕微鏡30の電源をONさせれば、その時点の４つの対物レ
ンズ115A乃至115Dの位置は、操作ボックス180を視認す
るだけで正確に検出することができる。従って、位置決
めされていないのに、位置表示部189A乃至189Dが点灯す
るという誤表示を阻止することができる。

更に、本実施例では、手動回転位置検出手段300及び
自動回転位置検出手段400を設けているので、対物レン
ズの交換作業等のためにレボルバ100Aを所望の位置に手
で回動させても、その位置を正確に検出することができ
るので、その後、キー入力して自動回転させても前記レ
ボルバ100Aを所定の位置で位置決めすることができる。
この結果、常に正確な位置にレボルバ100Aを位置決めす
ることが可能となる効果が得られる。

また、自動回転位置検出手段400には、モータ120が所
定時間（２〜3sec）以上回転すると、このモータ120の
回転を自動的に停止させる手段があるので、モータ120
が誤作動した場合でも、所定時間経過すれば、速やかに
その回転を停止させることができる。この結果、モータ
120の無駄な回転を防止でき、ひいては、焼き付き、破
損等を未然に阻止することが可能となる。

また、本実施例において、第１実施例と同一の構成要
素に対しては、同一の効果を奏することは勿論である。

以上、本発明について好適な実施例を挙げて説明した
が、本発明はこの実施例に限定されるものではなく、本
発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の改良並びに
設計の変更が可能なことは勿論である。

例えば、フェライトマグネット152Aとフェライトマグ
ネット152B、フェライトマグネット152Aとフェライトマ
グネット152Cとの角度θをそれぞれ100度に設定した
が、この角度は100度に限らず、90度を越え180度未満な
ら何度でもよい。但し、90度と135度付近では検出が困
難となるので、この２つは除外する。その理由として、
θ＝90゜とすると、全てのフェライトマグネットが３つ
のセンサの上に位置することになるので、検出困難とな
り、また、θ＝135゜にすると２つのフェライトマグネ
ットが同時に２つのセンサの真上に位置することが考え
られるので、この場合も検出困難となるからである。

また、第２実施例では、モータ120に略9V,6V,3Vの電
圧を印加してそれぞれ高速、中速、低速としたが、これ
はレボルバ100Aの重量等によって勿論変更することは、
可能である。この場合、モータ120の速度を変更するの
に、電圧を変化させるものに限らず、減速機の減速比を
変える等、他の手段によってもよい。しかし、電圧を変
化させるのが簡易である。

更に、第１実施例の変形例としてフェライトマグネッ
ト152の両側にそれぞれ１個づつ予備のフェライトマグ
ネットを設けることもでき、この場合、これらの予備フ
ェライトマグネットの一方が磁気センサ上に位置した時
に、モータ120を低速回転にして、前記フェライトマグ
ネット152が前記磁気センサ上に位置した時にモータ120
を逆回転させた後、停止させることもできる。

また、モータ120の回転制御をティーチングによって
行うこともできる。このようにティーチング機能付きと
すれば、経時変化による位置決め精度の狂いが生じない
という効果を付加できる。

更に、ウォーム131とウォームホイール134とに代替し
て一対のまがり歯かさ歯車を使用することもでき、更に
は、ベルト146に代わって、断面が円形状の丸ベルトや
Ｖベルト等を使用することもできる。要するに、直流コ
アレスモータ120の回転を、すべり等を惹起させずに確
実にノーズピース102に伝達できるものであればよい。

また、前記実施例では対物レンズが４つ螺合されたノ
ーズピース102を用いたが、この他に、2,3若しくは５以
上の対物レンズを螺合可能なノーズピースを使用できる
ことは勿論である。この場合、対物レンズの数をＮ個
（Ｎ＝2,3,4,……）とすると磁気センサの数はＮ個、フ
ェライトマグネットの数は（Ｎ−１）個とする。

更に、反射用照明手段は、本体31と別個に設けてもよ
い。

また、回転位置検知手段150は、磁気により検知する
ものに限らず、光等を用いて検知するものでもよい。こ
の際、磁気により検知する場合、磁石はフェライトマグ
ネット152に限らず、アルニコマグネット、希土類マグ
ネット等、他のタイプのマグネットでもよいが、フェラ
イトマグネット152とすれば安価で、磁性劣化が少ない
という利点がある。

更に、コントロールボックス170や操作ボックス180
は、前記実施例のように各々独立に設けるものに限ら
ず、結合して設けてもよく、更には顕微鏡30の本体31に
一体に組み込んでもよい。

また、回転駆動源としては、直流コアレスモータ120
に限らず、他の形式のモータ等でもよいが、直流コアレ
スモータ120とすれば前述のような利点がある。

更に、前記実施例では、モータ逆転用タイマあるいは
モータの一時ブレーキ用タイマの動作指令信号と実際動
作との遅れを、磁気センサ151でチェックしてモータ逆
回転動作あるいはモータの一時ブレーキ動作を行わせた
が、前記遅れを無視し、あるいは、予めコントロールボ
ックス170内でコンピュータ処理して、各タイマへの動
作指令信号で直ちに逆回転動作あるいは一時ブレーキ動
作が行われるものとして取り扱ってもよい。

〔発明の効果〕

前述のような本発明によれば、レボルバの正確な位置
決めを自動的に行うことができ、かつ、メンテナンスも
容易であるという効果がある。

また、自動操作のみならず、手動操作時にも、レボル
バの正確な位置決めが可能になるという効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図乃至第６図は本発明の第１実施例を示すもので、
第１図は全体構成を示す斜視図、第２図はその本体に設
けられた取着手段を示す正面図、第３図は第２図の底面
図、第４図はレボルバユニットの断面図、第５図はレボ
ルバユニットの分解斜視図、第６図は動作を示すフロー
チャート、第７図乃至第12図は本発明の第２実施例を示
すもので、第７図はレボルバと磁気センサとの位置関係
の説明図、第８図は第２実施例の全体の動作を示すフロ
ーチャート、第９図は第２実施例における初期位置検出
手段を示すフローチャート、第10図はレボルバと磁気セ
ンサとの動作説明図、第11図及び第12図は第２実施例に
おける手動回転位置検出手段及び自動回転位置検出手段
を示すフローチャート、第13図は従来の一例を示す全体
図、第14図は従来の他の例を示す要部の断面図である。Ｗ……被測定物、30……顕微鏡、31……本体、35……透
過用照明手段、43……載物台、47……反射用照明手段、
51……接眼レンズ、60……取着手段、70……レボルバユ
ニット、74……支持板、84……プリント基板、90……位
置決め手段、93……板ばね、94……ベアリング、100,10
0A……レボルバ、101……固定部材、102……ノーズピー
ス、111A,111B,111C,111D……切欠部、115A,115B,115C,
115D……対物レンズ、120……回転駆動源としての直流
コアレスモータ、130……回転伝達手段、131……ウォー
ム、134……ウォームホイール、139……歯車、146……
ベルト、150……回転位置検知手段、151A,151B,151C,15
1D……磁気センサ、152,152A,152B,152C……磁石として
のフェライトマグネット、200……初期位置検出手段、3
00……手動回転位置検出手段、400……自動回転位置検
出手段。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】被測定物を載置する載置台と、この載置台
を所望の方向へ変位自在に支持する本体と、前記被測定
物に照明光を照射する照明手段と、前記照明光が照射さ
れた被測定物の画像を入射させる複数の対物レンズを保
持するとともに前記本体に対して回転可能にされたレボ
ルバとを有する顕微鏡において、前記レボルバを回転可
能に支持するレボルバユニットを設けるとともに、この
レボルバユニットを前記本体に着脱可能にし、かつ、レ
ボルバユニットは、前記レボルバを回動させるための回
転駆動源と、この回転駆動源の回転力を前記レボルバに
伝達する回転伝達手段と、前記レボルバの回転を検知し
てそれぞれの対物レンズの位置を検知する回転位置検知
手段とを備えて構成されることを特徴とする顕微鏡。
【請求項２】請求項第１項に記載の顕微鏡において、回
転駆動源は、直流コアレスモータを用いることを特徴と
する顕微鏡。
【請求項３】請求項第１項または第２項に記載の顕微鏡
において、回転伝達手段は、回転駆動源と一体的に取着
されるウォームと、このウォームに噛合されるとともに
ウォームの回転をその軸線方向と略直交する方向に変換
するウォームホイールと、このウォームホイールの回転
をレボルバに伝達するとともに前記ウォームホイールと
その軸線が一致して固定される歯車と、この歯車の形状
に対応する歯がその一方の面に形成されるベルトとを備
えて構成されることを特徴とする顕微鏡。
【請求項４】請求項第１項乃至第３項のいづれかに記載
の顕微鏡において、回転位置検知手段は、対物レンズの
数に対応し、かつ、レボルバユニットに設けられた支持
板上の所定間隔離間する位置に取着される磁気センサ
と、前記レボルバ内に取着される少なくとも１つの永久
磁石とを備えて構成されることを特徴とする顕微鏡。
【請求項５】被測定物を載置する載置台と、この載置台
を所望の方向へ変位自在に支持する本体と、前記被測定
物に照明光を照射する照明手段と、前記照明光が照射さ
れた被測定物の画像を入射させる複数の対物レンズを保
持するとともに前記本体に対して回転可能にされたレボ
ルバとを有する顕微鏡において、前記レボルバを回転可
能に支持するレボルバユニットを設けるとともに、この
レボルバユニットを前記本体に着脱可能にし、かつ、レ
ボルバユニットは、前記レボルバを回動させるための回
転駆動源と、この回転駆動源の回転力を前記レボルバに
伝達する回転伝達手段と、通電時に前記対物レンズの位
置を検出する初期位置検出手段と、前記レボルバの手動
回転を検知して対物レンズの位置を検出する手動回転位
置検出手段と、前記レボルバの自動回転を検知して対物
レンズの位置を検出する自動回転位置検出手段と、前記
対物レンズの数に対応し、かつ、レボルバユニットに設
けられた支持板上の所定間隔離間する位置に取着される
磁気センサと、前記レボルバ内に設けられるとともに対
物レンズ数より１つ少ない数の永久磁石とを備えて構成
されることを特徴とする顕微鏡。
【請求項６】レボルバを回転させることにより複数の対
物レンズの中から指定対物レンズを所定位置に変位させ
て被測定物の精密検査を行う顕微鏡の操作方法におい
て、先ず、回転駆動源を高速回転させてこの回転を回転伝達
手段を介してレボルバに伝達し、次いで各対物レンズが
前記所定位置より手前の所定場所に達してから前記回転
駆動源を低速回転させ、この状態において所定位置に接
近する対物レンズが指定対物レンズであるかを識別し、所定位置に接近する対物レンズが指定対物レンズでない
場合、前記回転駆動源を高速回転させ、次いで対物レン
ズが所定位置より手前の所定場所に達してから低速回転
させ、この状態において所定位置に接近する対物レンズ
が指定対物レンズであるかを識別する処理を繰り返す一
方、所定位置に接近する対物レンズが指定対物レンズである
場合、前記回転駆動源の回転方向を頭初の回転方向と逆
方向に所定時間回転させ、更に、前記回転駆動源の回転
に一時的にブレーキをかけてから、前記回転駆動源を完
全に停止させ、これにより、対物レンズを所定位置に位
置決めすることを特徴とする顕微鏡の操作方法。