JP3615291B2 - 引上げ結晶重量測定装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、ケーブル方式の単結晶引上げ機のケーブル巻取り機構に組込まれるロードセルによって結晶重量を測定する技術の改良に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、ケーブル方式の単結晶引上げ機において、ケーブル巻取り機構にロードセルを組込み、結晶重量の変化によって直径制御や引上げられた結晶重量の測定を行うような技術が知られている。この際、ロードセルの精度は通常フルスケールに対する誤差で表わされるため、例えば結晶重量が重くなってロードセルのフルスケールをそれに合せて高荷重用のものにするとそれだけ精度が低下し、これに対して大容量高精度のロードセルを使用しようとすると、それだけコスト高になるという問題がある。
【0003】
そこでケーブル巻取り機構にロードセルを組込む技術として、例えば特公平5−19087号の図面とか特開平7−172980号のような技術が開示されている。
そして前者の場合は、図3に示すように、結晶を引上げるケーブル51をガイドプーリ52を介して巻取りドラム53で巻取るようにしたケーブル巻取り回転機構において、結晶重量(W)の2倍の荷重(2W)が加わるガイドプーリ52を負荷板54で支持し、この負荷板54を複数の支柱55、56、…で支えて荷重を均一に分散させ、そのうち1ヵ所の支柱55にロードセル57を設置して重量を検出するようにしている。
【0004】
また、後者の場合は、図4に示すように、一端側が支柱58に枢支される水平アーム59の先端にガイドプーリ52を枢着するとともに、このアーム59先端をロードセル57を介して真上に懸吊支持し、ガイドプーリ52によって水平に方向変換されたケーブル51を巻取りドラム53で水平に巻取ることで、結晶重量(W)と同じ荷重のフルスケールのロードセル57を使用することが出来るようにしている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、前者のように負荷板54を複数の支柱55、56、…で支えて荷重を分散させ、そのうち1箇所のロードセル57で測定する方法は、各支柱55、56、…に均等に荷重を分散させることが前提になっており、誤差が出やすいという難点があった。
また、後者の場合は結晶重量と同じ荷重のフルスケースのロードセルを使用出来るものの、結晶重量が重くなると大容量高精度のロードセルが必要となり、しかもリンク機構を採用しているため機構が複雑で、組立精度の維持、メインテナンス性等に問題があった。
【0006】
そこで、近年の半導体技術の進歩によって、ますます大径高重量結晶が要求されるなか、構成が簡単で安価であり、しかも精度の良い測定技術が望まれていた。
【0007】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため本発明は、ケーブル方式の単結晶引上げ機のケーブル巻取り機構に引上げ荷重を検出するロードセルを組込み、このロードセルの検出値によって結晶直径制御又は引上げ結晶重量の測定を行うようにした引上げ結晶重量測定装置において、前記ロードセルを、引上げ荷重を同時に受ける複数の小荷重用ロードセルにて構成するようにした。
【0008】
この際、ロードセルaのフルスケールをAとし、この誤差をフルスケールAのε%とした場合に、結晶重量を単体のロードセルaで測定すると、誤差σa は下記数式1の▲1▼で表わされる。また、ロードセルbのフルスケールをBとし、このロードセルbの単体誤差をσb とすると、同一容量、同一形式のロードセルbをn個同時に使用して測定した場合に、総合誤差σt は下記の数式1の▲2▼で表わされることが知られている。
【0009】
【数1】
【0010】
このため、ロードセルbのフルスケールBが、ロードセルaのフルスケールAの1/nである場合、すなわち、B=A/nの場合、このロードセルbの誤差をε%とすると、個々のロードセルb、…の誤差σb は下記数式2の▲3▼のように表わされ、このロードセルbをn個同時に併用した場合、前記総合誤差σt は下記数式2の▲4▼のように纏められる。
すなわち、小容量のロードセルbをn個併用して測定した場合の総合誤差σt の方が、大容量のロードセルa単体で測定する場合の誤差σa よりも小さくなり測定精度が増す。
【0011】
【数2】
【0012】
【発明の実施の形態】
本発明の実施の形態の一例について添付した図面に基づき説明する。ここで図1は本発明の引上げ結晶重量測定装置の平面図、図2は図1のX−X線断面図である。本発明の引上げ結晶重量測定装置は、例えばシリコン単結晶の製造方法として知られるチョクラルスキー法の単結晶引上げ機等に適用され、ケーブル巻取り機構にロードセルを組込んで結晶重量を測定し、重量偏差によって結晶引上げ速度とか炉内温度等を調整して結晶直径を制御したり、或いは引上げられた結晶重量を炉内で測定する等のため使用される。
【0013】
この引上げ結晶重量測定装置は、図1及び図2に示すように、引上げケーブル1下端のシードチャック2が保持する種結晶3の下方に成長する結晶4の重量を測定することが出来るようにされ、ベースプレート5の上方のケーブル巻取り機構6に複数のロードセル7、…を組込んで構成するようにしている。
【0014】
すなわち、前記巻取り機構6は、ベースプレート5によって支持されるケーブル巻取りドラム8と、このケーブル巻取りドラム8の上方に位置するガイドプーリ10を備え、前記ケーブル1はガイドプーリ10を介して方向を180度変換して巻取りドラム8によって巻取ることが出来るようにされるとともに、前記ベースプレート5にはケーブル1を挿通させるための貫通孔が設けられ、この貫通孔にはケーブルガイドスリーブ11が装着されている。
【0015】
そして、前記巻取りドラム8は、シャフト9に対して回転自在とされており、このシャフト9は、ベースプレート5から上方に向けて突設されたブラケット5aに軸受けされている。
【0016】
また、前記ガイドプーリ10は、平面視略三角形状の負荷板12の略中央部に回転可能に取付けられている。すなわち、負荷板12の中央には、ガイドプーリ10の上端の一部を突出させることの出来る切欠き孔12aを形成しており、この切欠き孔12aの長辺側の内面に接するよう下方に向けて一対のブラケット12b、12bを突設するとともに、このブラケット12b、12bにガイドプーリ10の回転軸13を枢着している。
そしてこの負荷板12の略三角形の頂点附近には、下方に向けて突出するピボット12c、‥を設けている。
【0017】
一方、ベースプレート5上には、前記負荷板12のピボット12c、‥に対応して3本の支柱14、‥を立設しており、各支柱14、‥の上部にはロードセル7、‥を取付けている。そしてこのロードセル7、‥によってピボット12c、‥の下端部を支えることが出来るようにされるとともに、図1に示すような状態にセットした際、ガイドプーリ10の中心Pから各ピボット12c、‥の支持点までの距離がいずれも同じ距離sになるようにしている。
【0018】
このため、例えば結晶4の重量がWであればガイドプーリ10を介して負荷板12に2Wの下向き荷重が加わり、各ロードセル7、‥には均等に2W/3の荷重が分散されて加わる。
【0019】
このような結晶重量測定装置において、例えば150kgの結晶重量を引上げる時の作用について従来例と比較しつつ説明する。
結晶重量が150kgである場合、負荷板12には300kgの荷重がかかり、単一のロードセル7には300×1/3=100kgが加わる。従って、フルスケールが100kg(実際は余裕を持たせる必要があるが、説明上限度一杯の100kgとする)のロードセルを使用し、このロードセル単体の精度がフルスケールの0.02%である場合、結晶重量測定精度ωは、下記の数式3のように11.6gとなる。
【0020】
【数3】
【0021】
これに対して、例えば図3に示す従来技術で測定する場合を考えると、この時の支柱55、56、…が3本であればロードセルのフルスケールは100kgで良いが、結晶重量測定精度ωは100×0.0002=0.02kg、すなわち20gとなり本発明の場合の約1/2の精度となる。しかもこの精度は各支柱に荷重が均等に分散された場合であり、荷重の分散精度が狂うと測定誤差は一層増す。
【0022】
また、例えば図4に示す従来技術で測定する場合を考えると、このロードセルのフルスケールは結晶重量と同じ150kgが必要となり、ロードセル単体の精度を同様に0.02%とすると、結晶重量測定精度ωは150×0.0002=0.03kg、すなわち30gの精度になり、本発明の精度の約1/3である。
【0023】
そして、引上げ結晶重量の測定精度を向上させることが出来れば、このロードセルの検出値で制御される結晶直径の精度も向上し、或いは引上げられた結晶重量の測定精度も向上する。尚、ロードセルの数は実施例のように3個に限られるものではなく、2個、或いは3個以上であっても良いことはいうまでもない。
【0024】
【発明の効果】
以上のように本発明は、ケーブル方式の単結晶引上げ機で引上げ荷重を測定するようにした引上げ結晶重量測定装置において、引上げ荷重を同時に受ける複数の小荷重用ロードセルを配設するようにしたため、構造が簡単で且つ安価なロードセルを使用しながらも測定精度を高めることが出来、このロードセルの検出値で制御される結晶直径、又は引上げ後の重量測定の精度を向上させることが出来る。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の引上げ結晶重量測定装置の平面図である。
【図2】図1のX−X線断面図である。
【図3】第1の従来例を示した図である。
【図4】第2の従来例を示した図である。
【符号の説明】
1 ケーブル 2 シードチャック
3 種結晶 4 結晶
5 ベースプレート 5a ブラケット
6 ケーブル巻取り機構 7 ロードセル
8 ケーブル巻取りドラム 9 シャフト
10 ガイドプーリ 11 ケーブルガイドスリーブ
12 負荷板 12a 切欠き孔
12b ブラケット 12c ピボット
13 回転軸 14 支柱
51 ケーブル 52 ガイドプーリ
53 巻取りドラム 54 負荷板
55、56、58 支柱 57 ロードセル
59 水平アーム
W 結晶重量 P ガイドプーリ中心
Claims (1)
- ケーブル方式の単結晶引上げ機のケーブル巻取り機構に引上げ荷重を検出するロードセルを組込み、このロードセルの検出値によって結晶直径制御又は引上げた結晶重量の測定を行うようにした引上げ結晶重量測定装置において、前記ロードセルを、引上げ荷重の全てを同時に受ける複数の同一容量の小荷重用ロードセルにて構成し、前記各ロードセルは荷重中心から支持点までの距離が同じ距離になるよう配置し、前記各ロードセルには均等に荷重が加わるものとしたことを特徴とする引上げ結晶重量測定装置。
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