JP3598173B2 - 電子増倍器及び光電子増倍管 - Google Patents
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Description
【発明が属する技術分野】
本発明は、電子増倍器及び光電子増倍管に係り、特に、この電子増倍器及び光電子増倍管を構成する集束電極に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来から存在する光電子増倍管の一例として、特開平5−290793号公報に示されるものがある。この光電子増倍管は、複数段に板状のダイノード部を積層させたダイノードを備え、このダイノードは、格子状の仕切部分とその外周を囲む外周部とでマルチチャンネルを構成し、各チャンネルには複数の電子増倍孔が並設されている。また、このダイノードに対向する位置には集束電極が配置され、この集束電極には、ダイノードの仕切部分に対峙する位置に格子状の仕切グリッドが配置されている。この仕切グリッドは、ダイノードの仕切部分よりも十分に細い幅を有している。集束電極の各チャンネルには、入射された電子を集束させて電子増倍孔に導く複数の増倍孔用開口部が形成されている。更に、集束電極に対向する位置には、外部からの光を受容する受光面板が配置され、この受光面板の内面には光を電子に変換する光電面が形成されている。
【0003】
そこで、外部からの光に反応して、光電面から光電子が放出された場合、集束電極とダイノードとの間に形成される電位分布により、光電子は、集束電極の増倍孔用開口部を通過した後、電子増倍孔に入射する。このとき、ダイノードの仕切部分に隣接する電子増倍孔内に入射される予定であった光電子は、ダイノードの仕切部分に引き寄せられ、捕捉されてしまう。このため、各チャンネルの輪郭部分に入射する光電子数は減少し、結果的に陽極で検出される光電子数は減少する。このため、各チャンネルの輪郭部分で信号が欠落し、ユニフォミティが悪化するという問題があった。
【0004】
このユニフォミティ悪化の問題に対処するために、集束電極の仕切グリッドの幅を広くする構成が考えられる。このように集束電極の仕切グリッドの幅を広くした場合、ダイノードの仕切部分に引き寄せられて捕捉される光電子数は減少し、光電子を各チャンネルの輪郭部分に的確に入射させることができる。その結果、陽極で検出される光電子数は減少せず、各チャンネルの輪郭部分で信号は欠落せずに、各チャンネル毎のユニフォミティは向上する。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述した従来の光電子増倍管は、上述のように構成されているので、次のような問題が存在していた。
【0006】
すなわち、仕切グリッドの幅を広げた光電子増倍管では、光電子が仕切グリッドに入射して反発する確率が極めて高くなり、仕切グリッドで反発した光電子が電子増倍孔内に多量に紛れ込み、結果的に、クロストークが促進されるという問題が生じていた。
【0007】
本発明は、上述した問題に鑑みてなされたものであり、ユニフォミティを向上させつつクロストークの発生を抑制することのできる電子増倍器及び光電子増倍管を提供することを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】
本発明による電子増倍器は、複数段にダイノード部を積層させると共に仕切部分によってマルチチャンネルを構成するダイノードと、ダイノードのうちの第1段目のダイノード部の仕切部分に対応する位置に配置された仕切グリッドによってマルチチャンネルを構成する集束電極と、ダイノードにより増倍された電子を受容する陽極とを備え、電子流を集束電極の各チャンネル毎に入射させ集束させた後、電子流を前記ダイノードの各チャンネル毎に増倍させ、ダイノードの各チャンネル毎に出射した電子を陽極で検出する電子増倍器であって、集束電極の仕切グリッドには、第1段目のダイノード部の仕切部分に対峙させた位置に、電子を通過させる仕切用開口部が形成されていることを特徴としている。
【0009】
この電子増倍器において、集束電極に入射する電子は、仕切グリッドの仕切用開口部近傍に形成された電子レンズの作用によって、仕切用開口部に集束され、この開口部を通過した後、ダイノードのうちの第1段目のダイノード部の仕切部分に捕捉される。このため、仕切グリッドによって反発される電子数を極めて減少させることができる。
【0010】
また、上述した電子増倍器を、仕切部分の幅方向において仕切用開口部の長さを仕切部分の長さより短くする構成とした。
【0011】
また、ダイノードの各チャンネルには、複数の電子増倍孔が形成され、集束電極の各チャンネルには、各電子増倍孔に対峙させた位置に、電子を通過させる増倍孔用開口部が形成される構成とした。
【0012】
また、ダイノードのチャンネルをマトリクス状に配列させる構成とした。
【0013】
また、ダイノードのチャンネルをリニアに配列させる構成とした。
【0014】
更に、上述した電子増倍器において、電子増倍器を密封する真空気密容器と、真空気密容器に設けられると共に集束電極に対向する位置に光電面をもった受光面板とを更に備える構成とした。
【0015】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の好適な実施形態について詳細に説明する。
【0016】
図1は、光電子増倍管1の外観を示す斜視図である。図1に示すように、光電子増倍管1は角筒形状の金属容器2を有している。この金属容器2の一端部には、ガラス製の受光面板3が気密に取り付けられ、この受光面板3の内側には、光を電子に変換するためのアンチモン及びアルカリ金属を蒸着した光電面4が形成されている。また、金属容器2の他端部は開放され、電子増倍部27の挿入に利用されている。この電子増倍部27は、図2に示すように、金属容器2に対して気密に取り付けられる金属製のベースプレート5を有している。このベースプレート5の中央から、金属容器2の内部と外部とを連通させる円筒状の金属製の排気管6が延びている。この排気管6は、金属容器2と電子増倍部27とを組み付けた後、金属容器2の内部を真空ポンプ(図示せず)によって排気して真空状態にするのに利用されると共に、光電面4に蒸着させるアルカリ金属蒸気を金属容器2内に入れる場合にも利用される。
【0017】
図2に示すように、ベースプレート5に対向する位置には、16枚の平板状の陽極7が設けられ、この陽極7は、互いに一定の間隔をあけて4×4マトリクス状に並設されている。また、電子増倍部27は、陽極7に対向する位置にブロック状のダイノード10を有している。このダイノード10は平板状のダイノード部9を8枚積層させることによって構成されている。
【0018】
各ダイノード部9には、各陽極7に対応して4×4マトリクス状に16個のチャンネル12が形成され、各チャンネル12は、ダイノード部9の外枠38と、格子状の仕切部分14とで作り出されている。各チャンネル12には、電子を増倍させるための電子増倍孔11が4つ並設され、各電子増倍孔11はすべて同一方向に延在し、電子増倍孔11同士は、線状の増倍孔境界部分13で仕切られている。また、図2及び図3に示すように、仕切部分14の幅は、陽極7同士の間隔に対応して決定されると共に、増倍孔境界部分13より広い幅で形成されている。
【0019】
更に、図2に示すように、電子増倍部27は、ダイノード部9のうち最上段にある第1段目のダイノード部9aに対向する位置に平板状の集束電極16を有している。この集束電極16は、図1に示した光電面4に対向する位置に配置されている。集束電極16には、ダイノード部9aの各チャンネル12に対応して4×4マトリクス状に16個のチャンネル18が形成されている。各チャンネル18は、集束電極16の外枠39と格子状の仕切グリッド20とで構成され、各チャンネル18には、図3に示すように、電子を集束させ且つ電子をダイノード部9aの電子増倍孔11に導くための増倍孔用開口部17が4つ並設されている。各開口部17はすべて同一方向に延在し、開口部17同士は、フォーカスグリッド19で仕切られている。
【0020】
集束電極16において、図3及び図4に示すように、格子状のチャネル境界部分14の上方には、これに対応して延びる格子状の仕切グリッド20が設けられている。仕切グリッド20には、エッチング等により仕切用開口部21が形成され、この仕切グリッド20は、図5に示すように、前述したダイノード部9aの仕切部分14に対向する位置に配置されている。従って、開口部21は、ダイノード部9aの仕切部分14に対向するので、開口部21に電子が入射した場合、この電子を、第1段目のダイノード部9aの仕切部分14に集束させながら導くことができる。
【0021】
図5及び図6に示すように、陽極7のマルチ化に起因して、ダイノード10の仕切部分14の幅が増倍孔境界部分13の幅に対して広く形成されているので、広くなった分だけ集束電極16の仕切グリッド20の幅は、フォーカスグリッド19より広く形成されている。そして、開口部21の幅は、仕切部分14の幅よりも小さくなっている。この開口部21は、仕切グリッド20の幅内において十分に広く形成されるのが好ましい。また、開口部21を広げた場合、広げた分だけ仕切グリッド20を細くすると好ましい。
【0022】
なお、電子増倍部27を組み立てるに際して、図2に示すように、各陽極7には、金属容器2の外部からベースプレート5を貫通して延びる陽極ピン8が取り付けられ、陽極7は、この陽極ピン8によって、所定の電位が与えられると共に支持される。また、各ダイノード部9にはダイノードピン15が取り付けられ、このピン15によって、各ダイノード部9は、電位を与えられ、支持される。ダイノード10は、陽極7より低い電位に設定され、各ダイノード部9の電位は、陽極7から離隔するに従って小さくなるように設定される。更に、集束電極16には集束電極ピン22が取り付けられ、このピン22によって、集束電極16は、所定の電位を与えられ、支持される。集束電極16は、第1段目のダイノード部9aより低い電位に設定される。また、図2及び図5に示すように、集束電極16には、一対のピン23が形成され、このピン23によって光電面4には集束電極16と同じ電位が与えられる。
【0023】
次に、前述した構成に基づき、光電子増倍管1の作用について図6を参照して説明する。
【0024】
まず、集束電極16、ダイノード10および陽極7に、それぞれ集束電極ピン22、ダイノードピン15および陽極ピン8を介して所定の電位を与える。このとき、仕切グリッド20の近傍には、光電面4、集束電極16、ダイノード9,9a及び陽極7によって電位の分布が形成され、特に、仕切グリッド20の開口部21の近傍には、電子レンズが形成される。この状態で光を受光面板3に入射させると、光は、受光面板3を透過して光電面4に入射し、光電面4で光電子を発生させる。
【0025】
そして、ダイノード部9aの仕切部分14の上方(領域25)で発生した光電子は、図6の1点鎖線の矢印で示すように、電子レンズの作用によって集束されて開口部21を通過し、第1段目のダイノード部9aのチャンネル境界領域14に到達し、この位置に捕捉される。従って、仕切グリッド20で反発される光電子数は減少し、クロストークが抑制される。なお、開口部21の幅を広げて仕切グリッド20を細くした場合、仕切グリッド20で反発される電子数は更に減少するので、クロストークは更に抑制される。
【0026】
また、電子増倍孔11の上方(領域26)で発生した光電子は、図6の実線矢印で示すように、増倍孔用開口部17の近傍に形成される電位分布によって、増倍孔用開口部17に集束されて開口部17を通過し、第1段目のダイノード部9aのチャンネル12の電子増倍孔11に入り込み、各ダイノード部9にて多段増倍されて、陽極7に到達する。この場合、仕切グリッド20の開口部21の幅は、境界領域14の幅より小さく形成されているので、領域26の端部から発生する光電子は、仕切グリッド20の開口部21で捕捉され難くなる。このため、仕切部分14近傍において、増倍孔用開口部17で集束される光電子数が増加し、この光電子の増加に起因して、各陽極7のユニフォミティが向上する。
【0027】
本発明は、前述した実施形態に限定されるものではない。例えば、図7に示す光電子増倍管36のように、ダイノード28のチャンネル29をリニアに配列させたものであってもよい。各チャンネル29は、陽極30のリニア化に対応して形成されたものであり、各チャンネル29は1つの電子増倍孔33で構成される。そして、ダイノード28の各チャンネル29に対応して、集束電極31にはチャンネル32がリニアに並設されている。この場合、各チャンネル32は、仕切用開口部34を有した複数本の仕切グリッド35で仕切られる。このような構成の光電子増倍管36においても、電子は仕切用開口部34に集束され、結果としてクロストークが抑制される。
【0028】
また、電子増倍部27は、前述した金属容器2が無い状態の単体部品として使用された場合、電子増倍器として構成され、この電子増倍器は、真空チャンバ(図示せず)内で使用される。
【0029】
更にまた、仕切グリッド20の幅を、ダイノード9aの仕切部分14の幅と同じにした場合でも、クロストークを抑制すると共にユニフォミティを向上させることが可能である。
【0030】
また、陽極としてマルチタイプのものが用いられているが、陽極としてPSD等を用いたシングルタイプのものとすることもできる。この場合であっても、1次元又は2次元的に電子の位置検出を行うことができる。
【0031】
【発明の効果】
本発明の電子増倍器又は光電子増倍管は、以上のように構成されているので、以下に示す効果を有する。
【0032】
すなわち、本発明の電子増倍器又は光電子増倍管は、集束電極の仕切グリッドにおいて、第1段目のダイノード部の仕切部分に対峙させた位置に、電子を通過させる仕切用開口部が形成されているので、クロストークの発生を抑制することができ、電子増倍器の性能を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る光電子増倍管の第1の実施形態を示す斜視図である。
【図2】図1の光電子増倍管の内部を示す分解斜視図である。
【図3】集束電極およびダイノードの拡大斜視図である。
【図4】図2の集束電極の平面図である。
【図5】集束電極とダイノードとの位置関係を示す平面図である。
【図6】図5のVI−VI線に沿った断面図である。
【図7】本発明に係る光電子増倍管の第2の実施形態を示す分解斜視図である。
【符号の説明】
1,36…光電子増倍管、2…金属容器(真空気密容器)、3…受光面板、4…光電面、7,30…陽極、9…ダイノード部、9a…第1段目のダイノード部、10,28…ダイノード、11…電子増倍孔、12,29…チャンネル、14…仕切部分、16,31…集束電極、17…増倍孔用開口部、18,32…チャンネル、20,35…仕切グリッド、21,34…仕切用開口部、27…電子増倍部。
Claims (6)
- 複数段にダイノード部を積層させると共に仕切部分によってマルチチャンネルを構成するダイノードと、前記ダイノードのうちの第1段目のダイノード部の前記仕切部分に対応する位置に配置された仕切グリッドによってマルチチャンネルを構成する集束電極と、前記ダイノードにより増倍された電子を受容する陽極とを備え、電子流を前記集束電極の各チャンネル毎に入射させ集束させた後、前記電子流を前記ダイノードの各チャンネル毎に増倍させ、前記ダイノードの各チャンネル毎に出射した電子を前記陽極で検出する電子増倍器であって、
前記集束電極の前記仕切グリッドには、前記第1段目のダイノード部の仕切部分に対峙させた位置に、電子を通過させる仕切用開口部が形成されていることを特徴とする電子増倍器。 - 前記仕切部分の幅方向において、前記仕切用開口部の長さを前記仕切部分の長さより短くしたことを特徴とする請求項1記載の電子増倍器。
- 前記ダイノードの前記各チャンネルには、複数の電子増倍孔が形成され、前記集束電極の前記各チャンネルには、前記各電子増倍孔に対峙させた位置に、電子を通過させる増倍孔用開口部が形成されていることを特徴とする請求項1又は2のいずれか一項に記載の電子増倍器。
- 前記ダイノードの前記チャンネルをマトリクス状に配列させたことを特徴とする請求項1ないし3のいずれか一項に記載の電子増倍器。
- 前記ダイノードの前記チャンネルをリニアに配列させたことを特徴とする請求項1ないし3のいずれか一項に記載の電子増倍器。
- 請求項1ないし5のいずれか一項に記載の電子増倍器において、前記電子増倍器を密封する真空気密容器と、前記真空気密容器に設けられると共に前記集束電極に対向する位置に光電面をもった受光面板とを更に備えたことを特徴とする光電子増倍管。
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