JP3215486B2 - 光電子増倍管 - Google Patents
光電子増倍管Info
- Publication number
- JP3215486B2 JP3215486B2 JP08892292A JP8892292A JP3215486B2 JP 3215486 B2 JP3215486 B2 JP 3215486B2 JP 08892292 A JP08892292 A JP 08892292A JP 8892292 A JP8892292 A JP 8892292A JP 3215486 B2 JP3215486 B2 JP 3215486B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- stem
- side tube
- light
- metal
- glass
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J43/00—Secondary-emission tubes; Electron-multiplier tubes
- H01J43/04—Electron multipliers
- H01J43/28—Vessels, e.g. wall of the tube; Windows; Screens; Suppressing undesired discharges or currents
Landscapes
- Measurement Of Radiation (AREA)
- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は外部光電効果を用いる光
電子増倍管に関し、より詳しくは、ノイズの減少と製造
時における作業性の向上等を図ることのできる光電子増
倍管に関するものである。
電子増倍管に関し、より詳しくは、ノイズの減少と製造
時における作業性の向上等を図ることのできる光電子増
倍管に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来におけるボックス型の光電子増倍管
は図９に示す如く、バルブ１の内部上面に、図示しない
入射光を電子に変換する光電面５を被着し、該バルブ１
の内部には、光電面５から放射される光電子を増倍させ
る電子増倍部８を内設している。
は図９に示す如く、バルブ１の内部上面に、図示しない
入射光を電子に変換する光電面５を被着し、該バルブ１
の内部には、光電面５から放射される光電子を増倍させ
る電子増倍部８を内設している。
【０００３】上記バルブ（真空容器）１は同図に示す如
く、全部分がガラスから構成され平面略円筒形を露呈し
た側管２と、この側管２の開口上部に一体的に気密融着
され下面に図示しない光電子を放射する光電面５が被着
された平面略円板形で透明の受光面板３と、側管２の開
口下端の気密溶接部２ａに図示しないガスバーナーで加
熱溶解して気密融着された平面略円板形のステム４とを
備えて構成されている。
く、全部分がガラスから構成され平面略円筒形を露呈し
た側管２と、この側管２の開口上部に一体的に気密融着
され下面に図示しない光電子を放射する光電面５が被着
された平面略円板形で透明の受光面板３と、側管２の開
口下端の気密溶接部２ａに図示しないガスバーナーで加
熱溶解して気密融着された平面略円板形のステム４とを
備えて構成されている。
【０００４】このステム４は同図に示す如く、ガラスか
ら構成された平面略円板形の円板状ガラス板４Ａに、光
電面５や電子増倍部８である各ダイノードに電圧を供給
する複数のピン６が垂直に挿通して貫設され、円板状ガ
ラス板４Ａの中央には、垂下するガラス排気管７が熱融
着して連設されており、このガラス排気管７が光電子増
倍管と図示しない排気系を連結する機能を有している。
ら構成された平面略円板形の円板状ガラス板４Ａに、光
電面５や電子増倍部８である各ダイノードに電圧を供給
する複数のピン６が垂直に挿通して貫設され、円板状ガ
ラス板４Ａの中央には、垂下するガラス排気管７が熱融
着して連設されており、このガラス排気管７が光電子増
倍管と図示しない排気系を連結する機能を有している。
【０００５】また、このガラス排気管７は、光電子増倍
管の製造後においては不必要であるという理由から、光
電子増倍管の製造工程における最終段階で、排気系から
図示しないガスバーナーで溶解して切断され、極力短縮
化が図られるようになっている。
管の製造後においては不必要であるという理由から、光
電子増倍管の製造工程における最終段階で、排気系から
図示しないガスバーナーで溶解して切断され、極力短縮
化が図られるようになっている。
【０００６】また、バルブ１は排気系にガラス排気管７
が連結された後に、内部が真空状態にされるとともに、
当該内部に、光電面５を形成するためのアルカリ金属蒸
気が導入されるようになっている。
が連結された後に、内部が真空状態にされるとともに、
当該内部に、光電面５を形成するためのアルカリ金属蒸
気が導入されるようになっている。
【０００７】そして、上記電子増倍部８のダイノード内
面には、図示しない２次電子放出面が被着されている。
面には、図示しない２次電子放出面が被着されている。
【０００８】然して、従来の光電子増倍管は、側管２の
気密溶接部２ａに、平面略円板形のステム４がガスバー
ナーで加熱溶解して気密融着され、排気系にガラス排気
管７が連結された後に、バルブ１の内部が真空状態にさ
れるとともに、バルブ１の内部にアルカリ金属蒸気が導
入され、光電面５と電子増倍部８の２次電子放出面とが
被着・活性化される。そしてその後、排気系からガラス
排気管７がガスバーナーで溶解して切断され、ガラス排
気管７が極力短縮される。
気密溶接部２ａに、平面略円板形のステム４がガスバー
ナーで加熱溶解して気密融着され、排気系にガラス排気
管７が連結された後に、バルブ１の内部が真空状態にさ
れるとともに、バルブ１の内部にアルカリ金属蒸気が導
入され、光電面５と電子増倍部８の２次電子放出面とが
被着・活性化される。そしてその後、排気系からガラス
排気管７がガスバーナーで溶解して切断され、ガラス排
気管７が極力短縮される。
【０００９】尚、この種の先行技術文献として特開昭６
０−１１２２２４号、５８−５４５３９号、及び６０−
２１１７５８号公報等がある。
０−１１２２２４号、５８−５４５３９号、及び６０−
２１１７５８号公報等がある。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】従来における光電子増
倍管は以上のように、側管２の全部分がガラスから構成
され、しかも、ステム４の全部分もガラスから構成され
ているので、ガラス内に含有される放射性物質、例えば
Ｋ4 0 に基づくガラスの発光が生じ、ノイズが否応なく
増加してしまうのを防止できなかった。また、側管２若
しくはステム４のガラスに、電子増倍過程で発生した浮
遊電子やイオンが入射してガラスを発光させてしまうの
で、ノイズが発生してしまうという問題点があった。
倍管は以上のように、側管２の全部分がガラスから構成
され、しかも、ステム４の全部分もガラスから構成され
ているので、ガラス内に含有される放射性物質、例えば
Ｋ4 0 に基づくガラスの発光が生じ、ノイズが否応なく
増加してしまうのを防止できなかった。また、側管２若
しくはステム４のガラスに、電子増倍過程で発生した浮
遊電子やイオンが入射してガラスを発光させてしまうの
で、ノイズが発生してしまうという問題点があった。
【００１１】また、従来の光電子増倍管は上記の如く、
側管２の気密溶接部２ａに、円板形のステム４がガスバ
ーナーで加熱溶解して気密融着されているので、ガラス
の溶解に一定の高温と時間が必要不可欠となり、このた
め電子増倍部８が劣化してしまうのを防止し得なかっ
た。
側管２の気密溶接部２ａに、円板形のステム４がガスバ
ーナーで加熱溶解して気密融着されているので、ガラス
の溶解に一定の高温と時間が必要不可欠となり、このた
め電子増倍部８が劣化してしまうのを防止し得なかっ
た。
【００１２】
【００１３】
【００１４】本発明は上記に鑑みなされたもので、ノイ
ズの著しい減少、電子増倍部の劣化の確実な防止及び製
造時における作業性の大幅な向上を図ることのできる光
電子増倍管を提供することを目的としている。
ズの著しい減少、電子増倍部の劣化の確実な防止及び製
造時における作業性の大幅な向上を図ることのできる光
電子増倍管を提供することを目的としている。
【００１５】
【課題を解決するための手段】本発明においては上述の
目的を達成するため、バルブを構成する金属製側管と、
この側管の開口を有する上部に気密接合させた光透過性
の受光面板と、この受光面板の下面に被着されて入射し
てくる光を電子に変換する光電面と、側管の下部に真空
気密接合されて側管との接合部分が金属からなるステム
と、このステムにハーメチックガラスを介して固定させ
た複数のピンと、バルブの内部に設けられて光電面から
放出させた光電子を増倍させる電子増倍部とを備えたこ
とを特徴とする。
目的を達成するため、バルブを構成する金属製側管と、
この側管の開口を有する上部に気密接合させた光透過性
の受光面板と、この受光面板の下面に被着されて入射し
てくる光を電子に変換する光電面と、側管の下部に真空
気密接合されて側管との接合部分が金属からなるステム
と、このステムにハーメチックガラスを介して固定させ
た複数のピンと、バルブの内部に設けられて光電面から
放出させた光電子を増倍させる電子増倍部とを備えたこ
とを特徴とする。
【００１６】また、ハーメチックガラスの側面形状をテ
ーパー形状にすると好適である。
ーパー形状にすると好適である。
【００１７】また、側管の下部外周に、ステムと接合さ
せるフランジ形の気密溶接部を設けると好適である。
せるフランジ形の気密溶接部を設けると好適である。
【００１８】さらに、ステムに金属排気管を設けると好
適である。そして、側管の上部で、受光面板を外側から
気密覆着させてもよい。
適である。そして、側管の上部で、受光面板を外側から
気密覆着させてもよい。
【００１９】
【作用】本発明によれば、側管の全てが金属から構成さ
れているので、ガラス内に含有される放射性物質、例え
ばＫ4 0 に基づくガラスの発光を防止でき、ノイズの発
生を確実に防止することが可能になる。また、側管に、
電子増倍過程で発生した浮遊電子やイオンが入射しても
発光することが無いので、ノイズを大幅に抑制すること
が可能になる。更に、金属製の側管の下部とステムの金
属製の接合部分とをヘリューム（Ｈｅ）アーク溶接又は
抵抗溶接等で気密溶着させることができるので、作業時
間の短縮と発熱量の抑制を達成でき、熱による電子増倍
部の劣化を著しく抑制することが期待できる。
れているので、ガラス内に含有される放射性物質、例え
ばＫ4 0 に基づくガラスの発光を防止でき、ノイズの発
生を確実に防止することが可能になる。また、側管に、
電子増倍過程で発生した浮遊電子やイオンが入射しても
発光することが無いので、ノイズを大幅に抑制すること
が可能になる。更に、金属製の側管の下部とステムの金
属製の接合部分とをヘリューム（Ｈｅ）アーク溶接又は
抵抗溶接等で気密溶着させることができるので、作業時
間の短縮と発熱量の抑制を達成でき、熱による電子増倍
部の劣化を著しく抑制することが期待できる。
【００２０】また、ハーメチックガラスの側面形状をテ
ーパー形状にすると、耐電圧やリーク電流を配慮した適
切な構成となる。また、側管の下部外周に、ステムと接
合させるフランジ形の気密溶接部を設けることで、ステ
ムに対する側管の位置決めが容易かつ確実になる。ま
た、ステムに金属排気管を設けることにより、ピンチオ
フシールによって切断と封止が簡単に達成され、光電子
増倍管の内部にガスが発生・残留してしまうのを防止で
き、金属排気管を極力短くすることができ、作業時間の
大幅な短縮を図ることも可能になる。
ーパー形状にすると、耐電圧やリーク電流を配慮した適
切な構成となる。また、側管の下部外周に、ステムと接
合させるフランジ形の気密溶接部を設けることで、ステ
ムに対する側管の位置決めが容易かつ確実になる。ま
た、ステムに金属排気管を設けることにより、ピンチオ
フシールによって切断と封止が簡単に達成され、光電子
増倍管の内部にガスが発生・残留してしまうのを防止で
き、金属排気管を極力短くすることができ、作業時間の
大幅な短縮を図ることも可能になる。
【００２１】
【実施例】以下、図１に示す一実施例に基づき本発明を
詳述すると、本発明に係る光電子増倍管は図１（ａ）
（ｂ）（ｃ）に示す如く、バルブ１Ａの内部上面に、図
示しない入射光を電子に変換する光電面（光電陰極）５
を被着し、該バルブ１Ａの内部には、光電面５から放射
される光電子を増倍させる電子増倍部８として積層型ダ
イノードを内設している。電子増倍部８は２次元のマト
リクス状又は１次元のアレイ状になっている尚、図１
（ａ）は本発明に係る光電子増倍管を示す平面図、同図
（ｂ）は本発明に係る光電子増倍管を示す断面側面図、
同図（ｃ）は本発明に係る光電子増倍管を示す底面図で
ある。
詳述すると、本発明に係る光電子増倍管は図１（ａ）
（ｂ）（ｃ）に示す如く、バルブ１Ａの内部上面に、図
示しない入射光を電子に変換する光電面（光電陰極）５
を被着し、該バルブ１Ａの内部には、光電面５から放射
される光電子を増倍させる電子増倍部８として積層型ダ
イノードを内設している。電子増倍部８は２次元のマト
リクス状又は１次元のアレイ状になっている尚、図１
（ａ）は本発明に係る光電子増倍管を示す平面図、同図
（ｂ）は本発明に係る光電子増倍管を示す断面側面図、
同図（ｃ）は本発明に係る光電子増倍管を示す底面図で
ある。
【００２２】上記バルブ（真空容器）１Ａは同図（ｂ）
に示す如く、全部分が金属から構成され平面略円筒形を
露呈した側管２Ａと、この側管２Ａの開口を有する環形
上部に内部下方から一体的に気密融着され下面に光電面
５が被着された平面略円板形で透明の受光面板３と、側
管２Ａの下端外周面に周設され外部横方向に張り出した
フランジ形の気密溶接部２ｂと、この気密溶接部２ｂに
溶接で気密融着された平面略円板形のステム４とを備え
て構成されている。
に示す如く、全部分が金属から構成され平面略円筒形を
露呈した側管２Ａと、この側管２Ａの開口を有する環形
上部に内部下方から一体的に気密融着され下面に光電面
５が被着された平面略円板形で透明の受光面板３と、側
管２Ａの下端外周面に周設され外部横方向に張り出した
フランジ形の気密溶接部２ｂと、この気密溶接部２ｂに
溶接で気密融着された平面略円板形のステム４とを備え
て構成されている。
【００２３】このステム４には同図（ｂ）に示す如く、
各ダイノードに電圧を供給する複数のピン６がテーパー
状ハーメチックガラス９を介して垂直に挿通して貫設さ
れ、しかも、この複数のピン６が底面略矩形に配列され
ており、この複数のピン６の最上部には、アノード電極
１０が水平に接続して載置されている。テーパー状ハー
メチックガラス９は耐電圧、リーク電流を考慮して浴面
を長くする為にテーパー状としている。動作電圧が低い
場合には、テーパー状とせずフラット面とする事もで
き、ガラスの直径を大きくする事もできる。
各ダイノードに電圧を供給する複数のピン６がテーパー
状ハーメチックガラス９を介して垂直に挿通して貫設さ
れ、しかも、この複数のピン６が底面略矩形に配列され
ており、この複数のピン６の最上部には、アノード電極
１０が水平に接続して載置されている。テーパー状ハー
メチックガラス９は耐電圧、リーク電流を考慮して浴面
を長くする為にテーパー状としている。動作電圧が低い
場合には、テーパー状とせずフラット面とする事もで
き、ガラスの直径を大きくする事もできる。
【００２４】また、ステム４の中央には同図（ｂ）に示
す如く、垂下するフレアー付きの金属排気管７Ａが抵抗
溶接で融着して連設されており、この金属排気管７Ａが
光電子増倍管と真空ポンプ（図示せず）等からなる排気
系を連結する機能を有している。
す如く、垂下するフレアー付きの金属排気管７Ａが抵抗
溶接で融着して連設されており、この金属排気管７Ａが
光電子増倍管と真空ポンプ（図示せず）等からなる排気
系を連結する機能を有している。
【００２５】この金属排気管７Ａは、光電子増倍管の製
造後においては不必要であるという理由から、光電子増
倍管の製造工程における最終段階で、金属排気管７Ａを
冷間圧接で切断する。
造後においては不必要であるという理由から、光電子増
倍管の製造工程における最終段階で、金属排気管７Ａを
冷間圧接で切断する。
【００２６】また、ステム４の外周面には図１（ａ）
（ｂ）（ｃ）に示す如く、気密溶接部２ｂに溶着される
金属のフランジ形気密溶接部１１が外部横方向に張り出
して周設されている。このフランジ形気密溶接部１１
は、側管２Ａの気密溶接部２ｂに位置決めされた後に、
ヘリュームアーク溶接又は抵抗溶接で気密溶着されるよ
うになっている。 そして、上記電子増倍部（電子増倍
器）８のダイノード内面には、図示しない２次電子放出
面が被着されている。
（ｂ）（ｃ）に示す如く、気密溶接部２ｂに溶着される
金属のフランジ形気密溶接部１１が外部横方向に張り出
して周設されている。このフランジ形気密溶接部１１
は、側管２Ａの気密溶接部２ｂに位置決めされた後に、
ヘリュームアーク溶接又は抵抗溶接で気密溶着されるよ
うになっている。 そして、上記電子増倍部（電子増倍
器）８のダイノード内面には、図示しない２次電子放出
面が被着されている。
【００２７】然して、本発明に係る光電子増倍管は、側
管２Ａの気密溶接部２ｂに、ステム４のフランジ形気密
溶接部１１が位置決めされ、この位置決めされた気密溶
接部２ｂとフランジ形気密溶接部１１がヘリュームアー
ク溶接又は抵抗溶接で気密溶着される。この工程が終了
すると、排気系に金属排気管７Ａが連結され、バルブ１
Ａの内部が真空状態にされるとともに、バルブ１Ａの内
部に図示しないアルカリ金属蒸気が導入され、光電面５
と電子増倍部８の２次電子放出面とが堆積・活性化され
る。そしてその後、排気系から金属排気管７Ａがピンチ
オフシールで切断され、ガラス排気管７が極力短縮され
る。
管２Ａの気密溶接部２ｂに、ステム４のフランジ形気密
溶接部１１が位置決めされ、この位置決めされた気密溶
接部２ｂとフランジ形気密溶接部１１がヘリュームアー
ク溶接又は抵抗溶接で気密溶着される。この工程が終了
すると、排気系に金属排気管７Ａが連結され、バルブ１
Ａの内部が真空状態にされるとともに、バルブ１Ａの内
部に図示しないアルカリ金属蒸気が導入され、光電面５
と電子増倍部８の２次電子放出面とが堆積・活性化され
る。そしてその後、排気系から金属排気管７Ａがピンチ
オフシールで切断され、ガラス排気管７が極力短縮され
る。
【００２８】上記構成によれば、側管２Ａの全てが金属
から構成されているので、ガラス内に含有される放射性
物質、例えばＫ4 0 からの放射線に基づく光電子放出を
防止でき、ノイズの発生を確実に防止することができ
る。また、側管２Ａに、電子増倍過程で発生した浮遊電
子やイオンが入射しても発光することが無いので、ノイ
ズを大幅に抑制することが可能となる。
から構成されているので、ガラス内に含有される放射性
物質、例えばＫ4 0 からの放射線に基づく光電子放出を
防止でき、ノイズの発生を確実に防止することができ
る。また、側管２Ａに、電子増倍過程で発生した浮遊電
子やイオンが入射しても発光することが無いので、ノイ
ズを大幅に抑制することが可能となる。
【００２９】そして、金属からなるフランジ形の気密溶
接部２ｂに、金属からなるフランジ形気密溶接部１１が
位置決めされ、この位置決めされた気密溶接部２ｂとフ
ランジ形気密溶接部１１がヘリュームアーク溶接又は抵
抗溶接で気密溶着されるので、作業時間の短縮と発熱量
の抑制を達成でき、電子増倍部８の熱に伴う劣化を著し
く抑制することが期待できる。
接部２ｂに、金属からなるフランジ形気密溶接部１１が
位置決めされ、この位置決めされた気密溶接部２ｂとフ
ランジ形気密溶接部１１がヘリュームアーク溶接又は抵
抗溶接で気密溶着されるので、作業時間の短縮と発熱量
の抑制を達成でき、電子増倍部８の熱に伴う劣化を著し
く抑制することが期待できる。
【００３０】さらに、フレアー付きの金属排気管７Ａが
抵抗溶接で融着され、ピンチオフシールで切断されるの
で、光電子増倍管の内部にガスが発生・残留してしまう
のを防止でき、フレアー付きの金属排気管７Ａを極力短
縮することができる。さらにまた、作業時間の大幅な短
縮を図ることが可能となる。第１図では、バルブが略円
筒形という事で説明したが当然角形でも可能である。、
次に、図２（ａ）（ｂ）（ｃ）は本発明の第２の実施例
を示すもので、この場合には、真空中の溶接作業に基づ
き、金属排気管７Ａを省略するようにしている。即ち、
本実施例では、光電面５や電子増倍部８の２次電子放出
面の形成後に、トランスフォアー装置を用いて真空中で
インジュウムシール又は抵抗溶接を行い、気密溶接部２
ｂとフランジ形気密溶接部１１を溶着することで、フレ
アー付きの金属排気管７Ａを不要ならしめるようにして
いる。
抵抗溶接で融着され、ピンチオフシールで切断されるの
で、光電子増倍管の内部にガスが発生・残留してしまう
のを防止でき、フレアー付きの金属排気管７Ａを極力短
縮することができる。さらにまた、作業時間の大幅な短
縮を図ることが可能となる。第１図では、バルブが略円
筒形という事で説明したが当然角形でも可能である。、
次に、図２（ａ）（ｂ）（ｃ）は本発明の第２の実施例
を示すもので、この場合には、真空中の溶接作業に基づ
き、金属排気管７Ａを省略するようにしている。即ち、
本実施例では、光電面５や電子増倍部８の２次電子放出
面の形成後に、トランスフォアー装置を用いて真空中で
インジュウムシール又は抵抗溶接を行い、気密溶接部２
ｂとフランジ形気密溶接部１１を溶着することで、フレ
アー付きの金属排気管７Ａを不要ならしめるようにして
いる。
【００３１】本実施例によっても上記実施例と同様の作
用効果が期待し得られ、金属排気管７Ａの省略を通じて
部品点数の削減を図ることができるのは明白である。
用効果が期待し得られ、金属排気管７Ａの省略を通じて
部品点数の削減を図ることができるのは明白である。
【００３２】次に、図３（ａ）（ｂ）（ｃ）は本発明の
第３の実施例を示すもので、この場合には、アノードを
マルチアノード１２として位置検出を可能ならしめるよ
うにしている。即ち、本実施例では、ステム４に略矩形
の取付け孔が貫通して穿設され、この取付け孔には、マ
ルチアノード１２が嵌着されるようになっている。
第３の実施例を示すもので、この場合には、アノードを
マルチアノード１２として位置検出を可能ならしめるよ
うにしている。即ち、本実施例では、ステム４に略矩形
の取付け孔が貫通して穿設され、この取付け孔には、マ
ルチアノード１２が嵌着されるようになっている。
【００３３】このマルチアノード１２は図３（ａ）
（ｂ）（ｃ）に示す如く、取付け孔に嵌着される略矩形
のアノード支持用ハーメチックガラス１２０と、このア
ノード支持用ハーメチックガラス１２０に縦横に並べて
垂直に装着され出力信号を取り出す多数のアノードピン
１２１とを備えて構成されている。
（ｂ）（ｃ）に示す如く、取付け孔に嵌着される略矩形
のアノード支持用ハーメチックガラス１２０と、このア
ノード支持用ハーメチックガラス１２０に縦横に並べて
垂直に装着され出力信号を取り出す多数のアノードピン
１２１とを備えて構成されている。
【００３４】本実施例によっても上記諸実施例と同様の
作用効果が期待し得られ、しかも、位置検出が可能とな
るのは明白である。
作用効果が期待し得られ、しかも、位置検出が可能とな
るのは明白である。
【００３５】次に、図４（ａ）（ｂ）（ｃ）は本発明の
第４の実施例を示すもので、この場合には、側管２Ａの
開口上部に、受光面板３を内部下方からでは無く、上方
から一体的に気密融着し、光電面５の有効面積を拡大す
るようにしている。
第４の実施例を示すもので、この場合には、側管２Ａの
開口上部に、受光面板３を内部下方からでは無く、上方
から一体的に気密融着し、光電面５の有効面積を拡大す
るようにしている。
【００３６】本実施例によっても上記諸実施例と同様の
作用効果が期待し得られ、しかも、受光面板３を内部下
方からでは無く、上方から一体的に気密融着するので、
光電面（光電陰極）５の有効面積の大幅な拡大が期待で
きるのは明白である。また、大気圧が側管２Ａの開口上
部に受光面板３を圧着する圧着方向に作用するので、圧
着面積を縮小しつつバルブ１Ａの信頼性を大幅に向上さ
せることが可能となる。
作用効果が期待し得られ、しかも、受光面板３を内部下
方からでは無く、上方から一体的に気密融着するので、
光電面（光電陰極）５の有効面積の大幅な拡大が期待で
きるのは明白である。また、大気圧が側管２Ａの開口上
部に受光面板３を圧着する圧着方向に作用するので、圧
着面積を縮小しつつバルブ１Ａの信頼性を大幅に向上さ
せることが可能となる。
【００３７】次に、図５（ａ）（ｂ）（ｃ）は本発明の
第５の実施例を示すもので、この場合には、一体的に気
密融着した受光面板３に、側管２Ａの環形上部の開口を
貫通して外部に露呈する略半球形の突部１３を膨出して
形成するようにしている。
第５の実施例を示すもので、この場合には、一体的に気
密融着した受光面板３に、側管２Ａの環形上部の開口を
貫通して外部に露呈する略半球形の突部１３を膨出して
形成するようにしている。
【００３８】本実施例によっても上記諸実施例と同様の
作用効果が期待し得られ、しかも、受光面板３に突部１
３を膨出形成しているので、斜め方向の光をも反射する
こと無く、容易に入射させることができるのは明白であ
る。
作用効果が期待し得られ、しかも、受光面板３に突部１
３を膨出形成しているので、斜め方向の光をも反射する
こと無く、容易に入射させることができるのは明白であ
る。
【００３９】次に、図６（ａ）（ｂ）（ｃ）は本発明の
第６の実施例を示すもので、この場合には、抵抗溶接の
活用で電子増倍部８が殆ど熱の影響を受けないことを考
慮して、バルブ１Ａの内部に、薄形の電子増倍部８を内
設し、この薄形の電子増倍部８の大きさに応じて、バル
ブ１Ａを垂直方向に縮めて薄形に構成するようにしてい
る。
第６の実施例を示すもので、この場合には、抵抗溶接の
活用で電子増倍部８が殆ど熱の影響を受けないことを考
慮して、バルブ１Ａの内部に、薄形の電子増倍部８を内
設し、この薄形の電子増倍部８の大きさに応じて、バル
ブ１Ａを垂直方向に縮めて薄形に構成するようにしてい
る。
【００４０】本実施例によっても上記諸実施例と同様の
作用効果が期待し得られ、しかも、占有スペースの縮小
を図り得ることができるのは明白である。尚、電子増倍
部８としては、ダイノードを積層するタイプの他、ＭＣ
Ｐ（マイクロチャンネルプレート），半導体素子等が考
えられる。
作用効果が期待し得られ、しかも、占有スペースの縮小
を図り得ることができるのは明白である。尚、電子増倍
部８としては、ダイノードを積層するタイプの他、ＭＣ
Ｐ（マイクロチャンネルプレート），半導体素子等が考
えられる。
【００４１】次に、図７（ａ）（ｂ）（ｃ）は本発明の
第７の実施例を示すもので、この場合には、ステム４に
略円板形の取付け孔を貫通して穿設し、この取付け孔に
は、大形で円板形のテーパー状ハーメチックガラス９Ａ
を嵌着しており、このテーパー状ハーメチックガラス９
Ａの底面周縁には、複数のピン６を直接挿通して貫設す
るようにしている。また、ステム４の中央には、金属排
気管７Ａである金属チップ管７Ｂを融着で垂下連設して
いる。
第７の実施例を示すもので、この場合には、ステム４に
略円板形の取付け孔を貫通して穿設し、この取付け孔に
は、大形で円板形のテーパー状ハーメチックガラス９Ａ
を嵌着しており、このテーパー状ハーメチックガラス９
Ａの底面周縁には、複数のピン６を直接挿通して貫設す
るようにしている。また、ステム４の中央には、金属排
気管７Ａである金属チップ管７Ｂを融着で垂下連設して
いる。
【００４２】本実施例によっても上記諸実施例と同様の
作用効果が期待し得られ、しかも、部品点数の削減を通
じてコストダウンを図ることができるのは明白である。
作用効果が期待し得られ、しかも、部品点数の削減を通
じてコストダウンを図ることができるのは明白である。
【００４３】最後に、図８（ａ）（ｂ）（ｃ）は本発明
の第８の実施例を示すもので、この場合には、上記第７
実施例のステム４から金属チップ管７Ｂを省略するよう
にしている。尚、この場合には上記第２実施例のよう
に、真空中でインジュウムシール等による封止が成され
る。
の第８の実施例を示すもので、この場合には、上記第７
実施例のステム４から金属チップ管７Ｂを省略するよう
にしている。尚、この場合には上記第２実施例のよう
に、真空中でインジュウムシール等による封止が成され
る。
【００４４】本実施例によっても上記諸実施例と同様の
作用効果が期待し得られ、しかも、部品点数の削減を通
じてコストダウンを図ることができるのは明白である。
さらに、ピン６の近傍に位置する金属チップ管７Ｂが全
く残存しないので、光電子増倍管をソケットに挿着して
使用するのが極めて容易となる。
作用効果が期待し得られ、しかも、部品点数の削減を通
じてコストダウンを図ることができるのは明白である。
さらに、ピン６の近傍に位置する金属チップ管７Ｂが全
く残存しないので、光電子増倍管をソケットに挿着して
使用するのが極めて容易となる。
【００４５】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、バルブを
構成する金属製側管と、この側管の開口を有する上部に
気密接合させた光透過性の受光面板と、この受光面板の
下面に被着されて入射してくる光を電子に変換する光電
面と、側管の下部に真空気密接合されて側管との接合部
分が金属からなるステムと、このステムにハーメチック
ガラスを介して固定させた複数のピンと、バルブの内部
に設けられて光電面から放出させた光電子を増倍させる
電子増倍部とを備えたことにより、ノイズの著しい減
少、電子増倍部の劣化の確実な防止及び製造時における
作業性の大幅な向上が可能となる。
構成する金属製側管と、この側管の開口を有する上部に
気密接合させた光透過性の受光面板と、この受光面板の
下面に被着されて入射してくる光を電子に変換する光電
面と、側管の下部に真空気密接合されて側管との接合部
分が金属からなるステムと、このステムにハーメチック
ガラスを介して固定させた複数のピンと、バルブの内部
に設けられて光電面から放出させた光電子を増倍させる
電子増倍部とを備えたことにより、ノイズの著しい減
少、電子増倍部の劣化の確実な防止及び製造時における
作業性の大幅な向上が可能となる。
【００４６】
【００４７】
【図１】本発明に係る光電子増倍管の第１の実施例を示
す説明図である。
す説明図である。
【図２】本発明に係る光電子増倍管の第２の実施例を示
す説明図である。
す説明図である。
【図３】本発明に係る光電子増倍管の第３の実施例を示
す説明図である。
す説明図である。
【図４】本発明に係る光電子増倍管の第４の実施例を示
す説明図である。
す説明図である。
【図５】本発明に係る光電子増倍管の第５の実施例を示
す説明図である。
す説明図である。
【図６】本発明に係る光電子増倍管の第６の実施例を示
す説明図である。
す説明図である。
【図７】本発明に係る光電子増倍管の第７の実施例を示
す説明図である。
す説明図である。
【図８】本発明に係る光電子増倍管の第８の実施例を示
す説明図である。
す説明図である。
【図９】従来の光電子増倍管を示す説明図である。
１・１Ａ…バルブ、２・２Ａ…側管、２ａ・２ｂ…気密
溶接部、３…受光面板、４…ステム、５…光電面（光電
陰極）、６…ピン、７…ガラス排気管、７Ａ・７Ｂ…金
属排気管、８…電子増倍部（電子増倍器）、９・９Ａ…
テーパー状ハーメチックガラス、１１…フランジ形の気
密溶接部。
溶接部、３…受光面板、４…ステム、５…光電面（光電
陰極）、６…ピン、７…ガラス排気管、７Ａ・７Ｂ…金
属排気管、８…電子増倍部（電子増倍器）、９・９Ａ…
テーパー状ハーメチックガラス、１１…フランジ形の気
密溶接部。
フロントページの続き (72)発明者 竹内 純一 静岡県浜松市市野町1126番地の１ 浜松 ホトニクス株式会社内 (72)発明者 大庭 弘一郎 静岡県浜松市市野町1126番地の１ 浜松 ホトニクス株式会社内 (56)参考文献 特開 昭60−211758（ＪＰ，Ａ) 特開 昭55−95264（ＪＰ，Ａ) 特開 昭52−30152（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H01J 43/00 - 43/30
Claims (5)
- 【請求項１】 バルブを構成する金属製側管と、 この側管の開口を有する上部に気密接合させた光透過性
の受光面板と、 この受光面板の下面に被着されて入射してくる光を電子
に変換する光電面と、 前記側管の下部に真空気密接合されて前記側管との接合
部分が金属からなるステムと、 このステムにハーメチックガラスを介して固定させた複
数のピンと、前記バルブの内部に設けられて前記光電面
から放出させた光電子を増倍させる電子増倍部とを備え
たことを特徴とする光電子増倍管。 - 【請求項２】 前記ハーメチックガラスの側面形状をテ
ーパー形状にしたことを特徴とする請求項１記載の光電
子増倍管。 - 【請求項３】 前記側管の下部外周に、前記ステムと接
合させるフランジ形の気密溶接部を設けたことを特徴と
する請求項１又は請求項２に記載の光電子増倍管。 - 【請求項４】 前記ステムに金属排気管を設けたことを
特徴とする請求項１から請求項３のいずれか一項に記載
の光電子増倍管。 - 【請求項５】 前記側管の前記上部で、前記受光面板を
外側から気密覆着させたことを特徴とする請求項１から
請求項４のいずれか一項に記載の光電子増倍管。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP08892292A JP3215486B2 (ja) | 1992-04-09 | 1992-04-09 | 光電子増倍管 |
| US08/029,227 US5504386A (en) | 1992-04-09 | 1993-03-09 | Photomultiplier tube having a metal-made sidewall |
| DE69310603T DE69310603T2 (de) | 1992-04-09 | 1993-03-17 | Photovervielfacher-Röhre mit metallischer Seiten-Wand |
| EP93302007A EP0565247B1 (en) | 1992-04-09 | 1993-03-17 | Photo-multiplier tube having a metal side wall |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP08892292A JP3215486B2 (ja) | 1992-04-09 | 1992-04-09 | 光電子増倍管 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05290793A JPH05290793A (ja) | 1993-11-05 |
| JP3215486B2 true JP3215486B2 (ja) | 2001-10-09 |
Family
ID=13956411
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP08892292A Expired - Lifetime JP3215486B2 (ja) | 1992-04-09 | 1992-04-09 | 光電子増倍管 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5504386A (ja) |
| EP (1) | EP0565247B1 (ja) |
| JP (1) | JP3215486B2 (ja) |
| DE (1) | DE69310603T2 (ja) |
Families Citing this family (40)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3392240B2 (ja) * | 1994-11-18 | 2003-03-31 | 浜松ホトニクス株式会社 | 電子増倍管 |
| JPH08222178A (ja) * | 1995-02-16 | 1996-08-30 | Hamamatsu Photonics Kk | 光電子増倍管 |
| US5656807A (en) * | 1995-09-22 | 1997-08-12 | Packard; Lyle E. | 360 degrees surround photon detector/electron multiplier with cylindrical photocathode defining an internal detection chamber |
| JP3598173B2 (ja) * | 1996-04-24 | 2004-12-08 | 浜松ホトニクス株式会社 | 電子増倍器及び光電子増倍管 |
| JP3640464B2 (ja) * | 1996-05-15 | 2005-04-20 | 浜松ホトニクス株式会社 | 電子増倍器及び光電子増倍管 |
| EP0814496B1 (en) * | 1996-06-19 | 2003-11-19 | Hamamatsu Photonics K.K. | Photomultiplier |
| CN1089187C (zh) * | 1996-09-26 | 2002-08-14 | 浜松光子学株式会社 | 紫外线检测器 |
| JP3919265B2 (ja) * | 1996-09-26 | 2007-05-23 | 浜松ホトニクス株式会社 | 紫外線検知管 |
| JP3854669B2 (ja) * | 1996-10-14 | 2006-12-06 | 浜松ホトニクス株式会社 | 紫外線検出管 |
| US5880458A (en) * | 1997-10-21 | 1999-03-09 | Hamamatsu Photonics K.K. | Photomultiplier tube with focusing electrode plate having frame |
| US6472664B1 (en) * | 1998-06-01 | 2002-10-29 | Hamamatsu-Photonics, Ltd. | Photomultiplier tube tightly arranged with substantially no space between adjacent tubes |
| US6650049B1 (en) * | 1998-06-01 | 2003-11-18 | Hamamatsu Photonics K.K. | Photomultiplier tube |
| JP4237308B2 (ja) | 1998-11-10 | 2009-03-11 | 浜松ホトニクス株式会社 | 光電子増倍管 |
| US6852979B1 (en) * | 1998-11-10 | 2005-02-08 | Hamamatsu Photonics K. K. | Photomultiplier tube, photomultiplier tube unit, radiation detector |
| JP3919363B2 (ja) * | 1998-11-10 | 2007-05-23 | 浜松ホトニクス株式会社 | 光電子増倍管、光電子増倍管ユニット及び放射線検出装置 |
| JP3944322B2 (ja) * | 1998-11-10 | 2007-07-11 | 浜松ホトニクス株式会社 | 光電子増倍管、光電子増倍管ユニット及び放射線検出装置 |
| JP4132305B2 (ja) | 1998-11-10 | 2008-08-13 | 浜松ホトニクス株式会社 | 光電子増倍管及びその製造方法 |
| JP4230606B2 (ja) * | 1999-04-23 | 2009-02-25 | 浜松ホトニクス株式会社 | 光電子増倍管 |
| CN1242449C (zh) | 2000-05-08 | 2006-02-15 | 滨松光子学株式会社 | 光电倍增管、光电倍增管单元及放射线检测装置 |
| WO2002067287A1 (fr) * | 2001-02-23 | 2002-08-29 | Hamamatsu Photonics K. K. | Photomultiplicateur |
| JP4471609B2 (ja) * | 2003-09-10 | 2010-06-02 | 浜松ホトニクス株式会社 | 電子管 |
| JP4926392B2 (ja) * | 2004-10-29 | 2012-05-09 | 浜松ホトニクス株式会社 | 光電子増倍管及び放射線検出装置 |
| JP4754805B2 (ja) | 2004-10-29 | 2011-08-24 | 浜松ホトニクス株式会社 | 光電子増倍管及び放射線検出装置 |
| JP4754804B2 (ja) | 2004-10-29 | 2011-08-24 | 浜松ホトニクス株式会社 | 光電子増倍管及び放射線検出装置 |
| JP4593238B2 (ja) * | 2004-10-29 | 2010-12-08 | 浜松ホトニクス株式会社 | 光電子増倍管及び放射線検出装置 |
| JP4689234B2 (ja) | 2004-10-29 | 2011-05-25 | 浜松ホトニクス株式会社 | 光電子増倍管及び放射線検出装置 |
| JP4744844B2 (ja) * | 2004-10-29 | 2011-08-10 | 浜松ホトニクス株式会社 | 光電子増倍管及び放射線検出装置 |
| FR2881874B1 (fr) * | 2005-02-09 | 2007-04-27 | Photonis Sas Soc Par Actions S | Tube photomultiplicateur a moindre ecarts de temps de transit |
| JP4699134B2 (ja) * | 2005-08-12 | 2011-06-08 | 浜松ホトニクス株式会社 | 電子管、及び電子管の製造方法 |
| US7468515B2 (en) * | 2005-12-12 | 2008-12-23 | Honeywell International Inc. | Ultra violet light sensor |
| JP4804172B2 (ja) | 2006-02-28 | 2011-11-02 | 浜松ホトニクス株式会社 | 光電子増倍管、放射線検出装置および光電子増倍管の製造方法 |
| JP4711420B2 (ja) | 2006-02-28 | 2011-06-29 | 浜松ホトニクス株式会社 | 光電子増倍管および放射線検出装置 |
| JP4849521B2 (ja) | 2006-02-28 | 2012-01-11 | 浜松ホトニクス株式会社 | 光電子増倍管および放射線検出装置 |
| JP4804173B2 (ja) | 2006-02-28 | 2011-11-02 | 浜松ホトニクス株式会社 | 光電子増倍管および放射線検出装置 |
| US7456412B2 (en) * | 2007-04-11 | 2008-11-25 | Honeywell International Inc. | Insulator for tube having conductive case |
| CN103567685B (zh) * | 2012-07-25 | 2015-04-15 | 上海联影医疗科技有限公司 | 光电倍增管与分压器的焊接装置 |
| US9696439B2 (en) | 2015-08-10 | 2017-07-04 | Shanghai United Imaging Healthcare Co., Ltd. | Apparatus and method for PET detector |
| CN106725560B (zh) | 2015-11-19 | 2021-01-12 | 上海联影医疗科技股份有限公司 | 光传感器的性能检测方法和医学成像设备 |
| US10163599B1 (en) * | 2018-01-03 | 2018-12-25 | Eagle Technology, Llc | Electron multiplier for MEMs light detection device |
| US20230326728A1 (en) * | 2022-04-07 | 2023-10-12 | Kla Corporation | Micro-lens array for metal-channel photomultiplier tube |
Family Cites Families (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3567948A (en) * | 1969-04-14 | 1971-03-02 | Us Navy | Method and apparatus for improving the quantum efficiency of phototubes |
| US3757151A (en) * | 1972-08-11 | 1973-09-04 | Ace Sophisticates Inc | Internal cooling for photodetectors |
| US3868524A (en) * | 1973-10-12 | 1975-02-25 | Us Army | Stabilization of semiconductor photocathodes |
| US4431943A (en) * | 1980-12-16 | 1984-02-14 | Rca Corporation | Electron discharge device having a high speed cage |
| US4376246A (en) * | 1981-01-22 | 1983-03-08 | Rca Corporation | Shielded focusing electrode assembly for a photomultiplier tube |
| US4554481A (en) * | 1983-10-28 | 1985-11-19 | Rca Corporation | Electron discharge device having a ceramic member with means for reducing luminescence therein |
| NL8801657A (nl) * | 1988-06-30 | 1990-01-16 | Philips Nv | Elektronenbuis. |
| US5077504A (en) * | 1990-11-19 | 1991-12-31 | Burle Technologies, Inc. | Multiple section photomultiplier tube |
| US5120949A (en) * | 1991-01-17 | 1992-06-09 | Burle Technologies, Inc. | Semiconductor anode photomultiplier tube |
-
1992
- 1992-04-09 JP JP08892292A patent/JP3215486B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1993
- 1993-03-09 US US08/029,227 patent/US5504386A/en not_active Expired - Lifetime
- 1993-03-17 EP EP93302007A patent/EP0565247B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1993-03-17 DE DE69310603T patent/DE69310603T2/de not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE69310603D1 (de) | 1997-06-19 |
| EP0565247B1 (en) | 1997-05-14 |
| JPH05290793A (ja) | 1993-11-05 |
| DE69310603T2 (de) | 1997-09-11 |
| EP0565247A1 (en) | 1993-10-13 |
| US5504386A (en) | 1996-04-02 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3215486B2 (ja) | 光電子増倍管 | |
| JP3401044B2 (ja) | 光電子増倍管 | |
| JP5439079B2 (ja) | 電子管 | |
| JP3260901B2 (ja) | 電子増倍管 | |
| US6762555B1 (en) | Photomultiplier tube and radiation detector | |
| EP1089320B1 (en) | Electron tube | |
| JP2000149860A (ja) | 光電子増倍管 | |
| US4355229A (en) | Intensified charge coupled image sensor having universal header assembly | |
| EP1995762B1 (en) | Photomultiplier and radiation detecting apparatus | |
| US5519284A (en) | Short pumping stem for flat display screens | |
| JP2003338260A (ja) | 半導体光電面とその製造方法、及びこの半導体光電面を用いた光検出管 | |
| JP4231120B2 (ja) | 光電子増倍管及び放射線検出装置 | |
| EP0860857B1 (en) | Electron tube | |
| US4575657A (en) | Photomultiplier tube having an improved centering and cathode contacting structure | |
| US4094563A (en) | Method of fabricating an electron tube | |
| JP3944322B2 (ja) | 光電子増倍管、光電子増倍管ユニット及び放射線検出装置 | |
| JP3352491B2 (ja) | 放射線検出器 | |
| JP4231121B2 (ja) | 光電子増倍管及び放射線検出装置 | |
| US4306188A (en) | Photomultiplier tube having a photocurrent collector | |
| US4157484A (en) | Pip inverter tube cathode housing | |
| JP4627431B2 (ja) | 光検出器及び放射線検出装置 | |
| EP1670030B1 (en) | Electron tube | |
| US7141926B2 (en) | Photomultiplier tube with improved light collection | |
| JP3312772B2 (ja) | 光電子増倍管 | |
| KR830000322B1 (ko) | 내부로 삽입된 광증폭 변환관용 광전음극 하우징 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313532 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090727 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090727 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100727 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110727 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110727 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120727 Year of fee payment: 11 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term | ||
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120727 Year of fee payment: 11 |